JP2009132567A - 石英ガラスルツボ - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 38
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
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- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
- Y10T117/1032—Seed pulling
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
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Abstract
【解決手段】引上げ相当温度下において、内表面側気泡の膨張率Xが、初期段階の膨張率X1に対し、初期段階経過後の膨張率X2が1/3以下であり、または、外表面側気泡の膨張率Yが、初期段階の膨張率Y1に対して、初期段階経過後の膨張率Y2が1/2以下である石英ガラスルツボ。
【選択図】なし
Description
〔1〕シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、引上げ相当温度下において、内表面透明層に含まれる気泡(内表面側気泡と云う)の膨張率Xが、初期段階の膨張率X1に対し、初期段階経過後の膨張率X2が1/3以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
〔2〕シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、引上げ相当温度下において、内表面透明層の外側からルツボ外表面の範囲に含まれる気泡(外表面側気泡と云う)の膨張率Yが、初期段階の膨張率Y1に対して、初期段階経過後の膨張率Y2が1/2以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
〔3〕引上げ相当温度下が、石英ガラスルツボを、室温から引上げ相当温度の1400℃〜1550℃まで5時間〜25時間で昇温し、不活性ガス雰囲気下で保持したときの温度である上記[1]または上記[2]に記載する石英ガラスルツボ。
〔4〕引上げ相当温度下での初期段階の膨張率が該温度下での保持開始から20時間までの膨張率であり、初期段階経過後の膨張率が20時間後から100時間までの膨張率である上記[1]〜上記[3]の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
〔5〕初期段階の膨張率が引上げ工程のシリコン溶融からネッキング工程終了までの段階の膨張率であり、初期段階経過後の膨張率がネッキング工程終了から引上げ終了までの膨張率である上記[1]〜上記[3]の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
〔6〕内表面側気泡がルツボ内表面から2mm以内の層厚に含まれる気泡であり、外表面側気泡が内表面深さ2mmからルツボ外表面までの範囲に含まれる気泡である上記[1]〜上記[5]の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
本発明の石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであり、引上げ相当温度下において、内表面側気泡の膨張率Xが、初期段階の膨張率X1に対し、初期段階経過後の膨張率X2が1/3以下であることを特徴とし、また、外表面側気泡の膨張率Yが、初期段階の膨張率Y1に対して、初期段階経過後の膨張率Y2が1/2以下であることを特徴とする石英ガラスルツボである。
〔試験A〕
石英ガラスルツボ(口径32インチ)について、室温(20℃)から1400℃まで5時間で昇温し、この温度に所定時間保持した。ルツボ内表面の透明層(内表面から2mm深さ)に含まれる気泡(内表面側気泡)について、保持開始から20時間までの膨張率X1と、20時間経過後から100時間までの膨張率X2とを測定した。X1/X2比を表1に示した。また、ルツボ外表面側に含まれる気泡(内表面の2mm深さから外表面までの範囲に含まれる気泡:外表面側気泡)について、保持開始から20時間までの膨張率Y1と、20時間経過後から100時間までの膨張率Y2とを測定した。Y1/Y2比を表1に示した。
試験Aと同様の石英ガラスルツボを用い、これに多結晶シリコン塊を入れ、30torrのアルゴンガス雰囲気に保持し、室温(20℃)から1400℃まで3時間で昇温し、この温度に所定時間保持して上記シリコン塊を溶融し、シリコン融液を形成した。このシリコン融液に種結晶を浸し(ネッキング工程)、ルツボを回転しながら徐々に引上げてシリコン単結晶を成長させた。
ルツボ内表面の透明層(内表面から2mm深さ)に含まれる気泡(内表面側気泡)について、シリコン溶融からネッキング工程終了までの膨張率X1と、ネッキング工程終了後から引上げ終了までの膨張率X2とを測定した。X1/X2比を表1に示した。また、ルツボ外表面側に含まれる気泡(内表面の2mm深さから外表面までの範囲に含まれる気泡:外表面側気泡)について、シリコン溶融からネッキング工程終了までの膨張率Y1と、ネッキング工程終了後から引上げ終了までの膨張率Y2とを測定した。Y1/Y2比を表1に示した。また、単結晶の歩留まりを表1に示した。
Claims (6)
- シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、引上げ相当温度下において、内表面透明層に含まれる気泡(内表面側気泡と云う)の膨張率Xが、初期段階の膨張率X1に対し、初期段階経過後の膨張率X2が1/3以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、引上げ相当温度下において、内表面透明層の外側からルツボ外表面の範囲に含まれる気泡(外表面側気泡と云う)の膨張率Yが、初期段階の膨張率Y1に対して、初期段階経過後の膨張率Y2が1/2以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 引上げ相当温度下が、石英ガラスルツボを、室温から引上げ相当温度の1400℃〜1550℃まで5時間〜25時間で昇温し、不活性ガス雰囲気下で保持したときの温度である請求項1または請求項2に記載する石英ガラスルツボ。
- 引上げ相当温度下での初期段階の膨張率が該温度下での保持開始から20時間までの膨張率であり、初期段階経過後の膨張率が20時間後から100時間までの膨張率である請求項1〜請求項3の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
- 初期段階の膨張率が引上げ工程のシリコン溶融からネッキング工程終了までの段階の膨張率であり、初期段階経過後の膨張率がネッキング工程終了から引上げ終了までの膨張率である請求項1〜請求項3の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
- 内表面側気泡がルツボ内表面から2mm以内の層厚に含まれる気泡であり、外表面側気泡が内表面深さ2mmからルツボ外表面までの範囲に含まれる気泡である請求項1〜請求項5の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007310194A JP4671999B2 (ja) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | 石英ガラスルツボの試験方法 |
US12/325,047 US20090145351A1 (en) | 2007-11-30 | 2008-11-28 | Vitreous silica crucible |
EP08020717.8A EP2067883B1 (en) | 2007-11-30 | 2008-11-28 | Method for producing a vitreous silica crucible |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007310194A JP4671999B2 (ja) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | 石英ガラスルツボの試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009132567A true JP2009132567A (ja) | 2009-06-18 |
JP4671999B2 JP4671999B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=40139196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007310194A Active JP4671999B2 (ja) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | 石英ガラスルツボの試験方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090145351A1 (ja) |
EP (1) | EP2067883B1 (ja) |
JP (1) | JP4671999B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5143292B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2013-02-13 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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TWI382963B (zh) * | 2007-11-30 | 2013-01-21 | Japan Super Quartz Corp | 石英玻璃坩堝之製造方法及製造裝置 |
JP4995068B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-08-08 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
JP4879220B2 (ja) * | 2008-05-28 | 2012-02-22 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英ガラスルツボとその製造方法 |
KR101154931B1 (ko) * | 2009-01-08 | 2012-06-13 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 석영 유리 도가니 제조 장치 |
JP5713903B2 (ja) * | 2009-08-12 | 2015-05-07 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法 |
US8281620B1 (en) * | 2011-04-27 | 2012-10-09 | Japan Super Quartz Corporation | Apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
CN105849321B (zh) * | 2013-12-28 | 2019-04-12 | 胜高股份有限公司 | 石英玻璃坩埚及其应变测定装置 |
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JP4781020B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-09-28 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボの製造方法 |
JP2007310194A (ja) | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Ricoh Co Ltd | 画像投影装置および可搬型画像投影装置 |
-
2007
- 2007-11-30 JP JP2007310194A patent/JP4671999B2/ja active Active
-
2008
- 2008-11-28 US US12/325,047 patent/US20090145351A1/en not_active Abandoned
- 2008-11-28 EP EP08020717.8A patent/EP2067883B1/en active Active
Patent Citations (1)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4671999B2 (ja) | 2011-04-20 |
US20090145351A1 (en) | 2009-06-11 |
EP2067883A3 (en) | 2010-08-11 |
EP2067883B1 (en) | 2016-01-27 |
EP2067883A2 (en) | 2009-06-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090325 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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