JP2009129953A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子に設けられた電極の近傍に発生する応力を低減し、半導体素子の破損や、特性不良の発生を防止することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体素子6を有する半導体装置において、半導体素子6にはこの半導体素子6の表裏を貫通する電極2が設けられ、この電極2は中空部分を有し、この中空部分には半導体素子6と電極2との間に発生する応力を低減するための応力緩和材1を形成する。例えば、応力緩和材1には、感光性樹脂からなる低弾性体や、SiO2、ポリシリコン、導電性ペーストなどの材料を用いる。
【選択図】図11
【解決手段】半導体素子6を有する半導体装置において、半導体素子6にはこの半導体素子6の表裏を貫通する電極2が設けられ、この電極2は中空部分を有し、この中空部分には半導体素子6と電極2との間に発生する応力を低減するための応力緩和材1を形成する。例えば、応力緩和材1には、感光性樹脂からなる低弾性体や、SiO2、ポリシリコン、導電性ペーストなどの材料を用いる。
【選択図】図11
Description
本発明は、半導体装置に関し、特に、素子を貫通して設けられた電極(貫通電極)を有する半導体素子(チップ)が実装された半導体装置に適用して有効な技術に関する。
近年の半導体装置への益々の高機能、小型化の要求に対応するため、半導体素子に貫通電極を形成し、複数の半導体素子をバンプを介して積層接続する技術が注目され、開発が進められている。例として、特開平10−223833号公報(以下、特許文献1とする)と、特開2004−152810号公報(以下、特許文献2とする)を示す。特許文献1,2では、貫通孔内は金属材料で埋められ、電極が形成される。貫通電極を埋める金属材料は、電気特性を考慮すれば、電気抵抗の低い、特許文献2でも挙げられているCuが望ましい。
特開平10−223833号公報
特開2004−152810号公報
エレクトロニクス実装学会誌、Vol.7、No.1(2004)、pp.40−46
しかし、貫通電極の材料としてCuを用いる場合、半導体素子(シリコン)との熱膨張率の差異(Cuの熱膨張率:約17ppm/K、シリコンの熱膨張率:約3ppm/K)に起因した熱応力の発生が懸念される。特に、半導体素子を他の素子や基板に接続する際に、通常、300℃近くまで加熱するが、このときに、電極近傍に高い応力が発生し、シリコンにクラックが発生して破損することが懸念される。また、使用時の温度上昇によって、電極近傍に高い応力が生じ、その応力によって半導体素子の電気特性が変化し、特性不良となる可能性も懸念される。
そこで、本発明は、半導体素子に設けられた電極の近傍に発生する応力を低減し、半導体素子の破損や、特性不良の発生を防止することを目的とした半導体装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
すなわち、代表的なものの概要は、半導体素子を有する半導体装置において、半導体素子にはこの半導体素子の表裏を貫通する電極が設けられ、この電極は中空部分を有し、この中空部分には半導体素子と電極との間に発生する応力を低減するための応力緩和材を形成するようにしたものである。例えば、応力緩和材には、感光性樹脂からなる低弾性体や、SiO2、ポリシリコン、導電性ペーストなどの材料を用いるものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
すなわち、代表的なものによって得られる効果は、半導体素子に設けられた電極の近傍に発生する応力を低減し、半導体素子のクラック発生による破損と、応力起因の特性不良の発生を防止することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
(本発明の実施の形態の概要)
本発明の実施の形態における半導体装置の概要を、図1〜図10を用いて説明する。
本発明の実施の形態における半導体装置の概要を、図1〜図10を用いて説明する。
本実施の形態の半導体装置は、図1に要部を示すように、半導体素子6を有し、この半導体素子6には表裏を貫通する電極2が設けられ、この電極2の中空部分には半導体素子6と電極2との間に発生する応力を低減するための応力緩和材1を形成することにより、応力の低減を図ったものである。以下においては、例えば一例として、半導体素子6にはシリコン、電極2にはCu、応力緩和材1には樹脂からなる低弾性体の一例としての感光性樹脂の他に、SiO2、ポリシリコン、導電性ペーストの各材料をそれぞれ用いた場合を説明する。
この図1に要部を示す構造(9は接続用パッド、10,11は接続用バンプを示す)の半導体装置について、図2に示す有限要素法のモデルを用いて解析を行い、この解析結果を図3に示す。半導体素子6の材料であるシリコンと応力緩和材1の材料である感光性樹脂の材料定数は、図4に示した値を用いた。電極2の材料であるCuは、図5に示した応力−ひずみ線図を用いた(線膨張係数は17ppm/K、ポアソン比は0.3とした)。応力緩和材1の材料である感光性樹脂は、約300℃の温度でベークすることにより硬化するため、図6に示した解析履歴の通り、感光性樹脂に相当する要素は300℃の温度で追加されるように解析を行った。
図3は、電極2の中空部分の応力集中点(特異点)からの、x軸方向(図2参照)への距離に対する応力分布を示したものである。温度が300℃と20℃での応力分布をそれぞれ(a),(b)に示した。温度が300℃では、中空部分も含めて全てCuにした場合と、Cuの厚さを5μm、3μm、2μmにして中空部分を感光性樹脂で埋めた場合で解析し、20℃ではCuの厚さを5μm、3μm、2μmにして中空部分を感光性樹脂で埋めた場合で解析を行った。図3の結果から、電極2の中空部分を感光性樹脂で埋めた場合、300℃での応力が、電極2の中空部分も全てCuで形成した場合と比較して、1/2以下まで低下することが明らかである。300℃での応力は、Cuの厚さが薄いほど低下した。一方、20℃での応力は、その関係が逆転し、Cuの厚さが薄いほど応力が高くなった。
この原因は、以下のように考えられる。300℃での応力は、Cuの熱膨張によって発生する、電極2の円周方向の引張り応力である。これに対し、20℃での応力は、感光性樹脂の収縮によって発生する、電極2の円周方向に垂直な方向に発生する引張り応力である。そのため、この場合、Cuの厚さを厚くした方が応力が低下する。さらに、これらと比較するため、フリップチップのクラック発生事例(非特許文献1:エレクトロニクス実装学会誌、Vol.7、No.1(2004)、pp.40−46)を解析した。図7に、その解析結果を示した。図7は、クラックが発生した特異点からの、クラックの進行方向に沿った距離に対する応力分布を示したものである。これによれば、特異点からの距離が1μmにおける応力が、300MPa程度以下の場合、クラックが発生しないことが分かる。このことから、図3の応力分布によれば、電極2のCuの厚さは、今回検討した、2〜5μm程度が適当であると判断できる。
次に、電極2のCuの内部を、感光性樹脂以外の材料で埋める場合について検討した。検討したのは、SiO2、ポリシリコンと、導電性ペーストの3種である。それぞれの場合の解析履歴を図8に示す。SiO2とポリシリコンは、それぞれ、成膜温度が約700℃と約500℃であるため、それらの温度を要素追加の温度とした(図8(a))。導電性ペーストは、通常、300℃程度が硬化温度であるため、300℃を要素追加の温度とした(図8(b))。SiO2とポリシリコンの材料定数は、図4に示した値を用いた。導電性ペーストは、Cu系の材料を想定し、図5に示した特性を用いた(線膨張係数は17ppm/K、ポアソン比は0.3とした)。
図9(a),(b)に、SiO2とポリシリコンのそれぞれの場合の解析結果を示した。なお、Cuの厚さは、いずれも3μmの場合の結果である。また、SiO2の場合は、700℃(SiO2形成前とSiO2形成後)、300℃、20℃で解析し、ポリシリコンの場合は、500℃(ポリシリコン形成前と形成後)、300℃、20℃で解析を行った。図9の結果から、SiO2、ポリシリコンの両場合とも、図3(a)に示した、電極2の中空部分まで全てCuで形成した場合と比較して、応力が低下することが確認できる。ただし、SiO2の場合は、形成温度が高いことと、真性応力が圧縮であること、かつ、熱膨張率がシリコンよりも低いことの影響により、若干、応力が高めである。ポリシリコンの場合の方が、形成温度が低く、真性応力が引張りであるため、より応力低減量が大きく、有利である。なお、図9(a),(b)に示した応力は、いずれも電極2の円周方向の応力である。電極2の厚さが3μmよりも厚い場合、SiO2、ポリシリコンとも形成温度が高いため、その温度で応力が許容値を超える恐れがある。したがって、電極2のCuの厚さは、3μm以下が望ましい。なお、電極2の厚さの下限値は、電極として機能する厚さがあればよい。
図10には、導電性ペーストの場合の解析結果を示した。ここでは、Cuの厚さを5μm、3μm、2μmにして中空部分を導電性ペーストで埋めた場合で解析を行った。300℃の温度で硬化後、室温まで冷却したときに発生する応力を示した(300℃での応力は、図3(a)に示した分布と等しい)。ここでの応力は、電極2の円周方向に垂直な方向の応力である。これらは、導電性ペーストの熱収縮によって発生する応力であるため、導電性ペースト塗布前の、Cu膜の厚さが厚いほど、応力が低く、有利である。ただし、図3(a)のように、300℃での応力は、Cuが厚いほど高くなるので、約5μm程度(四捨五入して5μm)が適当であると考える。
以上のように検討した解析結果を採用した半導体装置について、以下において、各実施の形態の半導体装置を詳しく説明する。各実施の形態では、例えば後述する図15や図16に示すように、複数のチップを基板上に積層接続したパッケージ(モジュール)構造を半導体装置と呼ぶことにする。
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態における半導体装置を、図11〜図16を用いて説明する。
本発明の第1の実施の形態における半導体装置を、図11〜図16を用いて説明する。
図11に、本実施の形態の半導体装置におけるチップの要部を示し、(a)は電極近傍の断面、(b)は(a)内に示したA−B切断線における断面を示す。
本実施の形態の半導体装置におけるチップは、半導体素子6を有し、この半導体素子6には表裏を貫通する電極2が設けられ、この電極2の中空部分には応力緩和材1が形成されている。この半導体素子6には、電極2の周りを囲むように絶縁層3が形成されている。また、半導体素子6の裏面は、電極2の部分を除いて絶縁膜4で覆われている。この絶縁膜4で覆われていない電極2の表面には、この電極2に電気的に接続して接続用パッド5が形成されている。また、半導体素子6の表面には、回路素子7が形成され、さらにその最表面は接続用バンプを取付けるパッドの部分を除いて絶縁膜8で覆われている。この絶縁膜8で覆われていない回路素子7の最表面には、この回路素子7の端子に電気的に接続して接続用パッド9が形成され、さらにその表面に接続用バンプ10,11が形成されている。
図12〜図14に、本実施の形態の半導体装置におけるチップの電極形成プロセスの各工程の断面を示す。
まず、最初の工程では、図11に示した、電極2の周りのSiO2の絶縁層3を形成する。これは、電極2のCuが、半導体素子6のシリコン内に拡散していくことを防止するための障壁である。まず、図12(a)に示すように、ドライエッチングにより、半導体素子6のシリコンの表面に溝を形成する。その後、図12(b)のように、溝内にSiO2を形成する。なお、このときに、より絶縁効果を高めるため、下地にSiNを薄く形成するのが望ましい。この絶縁層3を形成するための溝の外径は20〜40μm程度、幅は1μm程度で、深さは50〜100μm程度である。
次に、図12(c)のように、半導体素子6のシリコン表面に、回路素子7を形成する。この回路素子7の形成工程では、1000℃以上の高温になるプロセスが存在するため、電極2のCuの形成は、回路素子7の形成工程後に実施する必要がある。
回路素子7の形成後、図12(d)のように、回路素子7の最表面を絶縁膜(例えば感光性樹脂)8で覆い、接続用バンプを取付ける接続用パッドの部分をエッチングで開口する。その後、図13(e)のように、接続用パッド9を形成し、さらにその表面に接続用バンプ10(11)を形成する。接続用パッド9は、TiやCrなどを下地(拡散防止膜)に、CuやNiなどを形成したものである。接続用バンプ10は、Cuやはんだ(Sn系金属)で形成する。はんだで形成する場合、Cuははんだ内に拡散しやすいため、接続用パッド9はNiが望ましい。はんだ以外の金属のバンプの場合は、バンプの先端部(接続用バンプ11)に、薄くはんだを形成し、接続性を向上させる場合が考えられる。
接続用バンプ10(11)の形成後、図13(f)のように、半導体素子6のシリコンの裏面側(回路を形成した面の反対側)を研削し、シリコンの厚さを薄くする。できるだけ多数のチップを、総厚さが薄くなるように積層できることが望ましいため、素子1個あたりのシリコンの厚さは、できるだけ薄いことが望ましく、少なくとも50μm程度以下の厚さとする。
次に、図13(g)のように、研削した半導体素子6の裏面に、SiNの絶縁膜4を厚さ1μm程度で形成する。これは、接続用パッド5のCuが、シリコン内に拡散することを防止するための絶縁膜である。SiO2でなく、SiNとするのは、SiO2の場合、Cuと接触する部分で、Cuの酸化を招くためである。また、SiNは、その真性応力(膜応力)の制御が比較的容易である。真性応力が圧縮となるように形成すれば、シリコンのクラック発生を防止するための、コーティング膜としての役割が期待できるため、その点でも有利である。
絶縁膜4の形成後、図14(h)のように、ドライエッチングで径10〜30μmの貫通孔を形成する。次に、図14(i)のように、貫通孔の壁面に、厚さ2〜5μmのCuの膜からなる電極2を形成する。なお、このとき、Cuの膜の下地として、TiやCrなどを形成すれば、Cuの密着性が向上し、かつ、Cuの拡散防止膜としても働くので、有効である。ここで、貫通孔の径を、SiO2からなる絶縁層3の輪よりも小さく形成するのは、貫通孔の位置精度の許容値を拡げ、より容易に貫通孔の形成ができるようにするためである。
電極2の形成後、図14(j)のように、このCuの膜の内部の中空部分に、応力緩和材1として、感光性樹脂などの低弾性体(弾性率が、少なくとも、20〜30GPa以下である材料)や、SiO2、ポリシリコン、導電性ペーストなどのいずれかを形成し、応力低減を図る。最後に、図14(k)のように、積層される他のチップのバンプとの接続を行うための接続用パッド5を電極2の表面に形成する。接続用パッド5は、CuやNiなどで形成する。
以上のようにして形成する電極2を、シリコン内に多数設けることで、多数の電極2を有するチップを製造することができる。このチップに設けられる電極2のピッチは、30〜100μm程度である。
なお、電極2の形状は、図11では円形としたが、円形以外の、例えば四角形、八角形といった多角形でも構わない。四角形や八角形の方が、極限まで電極ピッチを狭くする場合に、電極の面積をより広く確保できるために効率的である。ただし、多角形のコーナー部で応力集中が発生するため、その点は円形の場合よりも不利になる。
以上のようにして形成した電極2を活用し、複数のチップを基板上に積層接続し、例えば、図15や図16に示すようなパッケージ(モジュール)構造の半導体装置を提供することができる。
図15に示す半導体装置は、複数のチップ(半導体素子6などを含む)を、中空部分に応力緩和材1が形成された電極2を通じて接続用バンプ10で電気的に接続して基板13上に積層し、チップ間およびチップと基板13との間をアンダーフィル12と呼ばれる樹脂で充填して補強し、最上段のチップの裏面は露出したままの状態で提供する構造である。この半導体装置は、基板13の裏面にパッケージ接続用バンプ14が形成され、このパッケージ接続用バンプ14を通じて外部と接続される積層型の半導体装置である。例えば、基板13は樹脂、セラミックまたはシリコンなどからなり、パッケージ接続用バンプ14ははんだなどからなる。
図16に示す半導体装置は、図15の半導体装置に対して、最上段のチップの裏面を露出することなく、全体を封止用樹脂15で封止した状態で提供する構造である。例えば、封止用樹脂15はエポキシ系樹脂などからなる。
図15と図16の半導体装置を比較した場合に、チップの発熱が高く、高い放熱が求められる場合などには図15の構造が有利である。これに対し、より保護性を高める場合などには、全体を封止した図16のような構造が必要となる。
以上説明したように、本実施の形態の半導体装置によれば、半導体素子6の表裏を貫通する電極2は中空部分を有し、この中空部分には半導体素子6と電極2との間の熱膨張率の差異に起因した熱応力を低減するための応力緩和材1を形成することで、電極2の近傍に発生する応力を低減できるので、半導体素子6のクラック発生による破損を防止することができる。また、応力の低減によって半導体素子6の電気特性が変化することがないので、応力起因の特性不良の発生も防止することができる。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態における半導体装置を、図17を用いて説明する。
本発明の第2の実施の形態における半導体装置を、図17を用いて説明する。
図17に、本実施の形態の半導体装置におけるチップの電極近傍の断面を示す。
本実施の形態の半導体装置におけるチップが、前記第1の実施の形態と異なる点は、積層される他のチップのバンプと接続される接続用パッド5が、電極2の中心軸とはずれた位置に形成される点である。
これは、特に、応力緩和材1として感光性樹脂を電極2内に埋める場合、前記第1の実施の形態のように、接続用パッド5でふたをして感光性樹脂を内部に閉じ込める構造では、感光性樹脂が吸湿していた場合に高温時に水蒸気で破裂することが懸念されるためである。また、感光性樹脂を、電極2の内部にのみ、かつ、電極2の端面と同一の平面をきれいに形成することは複雑な技術を要し、コスト増につながることも、前記第1の実施の形態の懸念事項の一つである。また、電極2の内部をSiO2で埋める場合も、Cuなどの接続用パッド5を直接その上に形成すれば、SiO2の酸素の拡散による酸化が問題となるため、何らかの処理(SiNの形成など)が必要である。そのため、図17に示す本実施の形態の構造の方が有利となる。
すなわち、本実施の形態の半導体装置におけるチップは、半導体素子6の裏面側において、半導体素子6の表裏を貫通する電極2の表面には、この電極2の一部に電気的に接続して接続用パッド5が形成されている。特に、この接続用パッド5と電極2とは、接続用パッド5の中心軸と電極2の中心軸とが少なくとも電極2の直径分だけずれた位置に形成されている。さらに、電極2の中空部分に応力緩和材1が形成されている。
また、半導体素子6の表面側には回路素子7が形成され、その最表面の絶縁膜8で覆われていない回路素子7の最表面には、この回路素子7の端子に電気的に接続して接続用パッド9、さらにその表面に接続用バンプ10,11が形成されている。この半導体素子6の表面側に形成された接続用バンプ10,11は、チップを積層することを考慮して、半導体素子6の裏面側に形成された接続用パッド5の中心軸とほぼ等しくなるように形成されている。
本実施の形態の半導体装置におけるチップの電極形成プロセスでは、接続用パッド5は電極2の内部に応力緩和材1(感光性樹脂、SiO2、ポリシリコン、導電性ペースト)を埋める前に形成し、接続用パッド5の形成後に応力緩和材1を形成する。それ以外は、前記第1の実施の形態と同様である。このようにして形成する電極2を、シリコン内に多数設けることで、多数の電極2を有するチップを製造することができる。
本実施の形態の場合、前記第1の実施の形態よりも電極2を形成するために必要となるスペースが大きい。そのため、形成可能な最小バンプピッチが、前記第1の実施の形態よりも大きくなってしまうという点が不利と言える。しなしながら、本実施の形態の半導体装置においては、前述したように前記第1の実施の形態の懸念事項を解決することができるとともに、前記第1の実施の形態と同様に、半導体素子6の表裏を貫通する電極2の中空部分に応力緩和材1を形成することで、電極2の近傍に発生する応力を低減できるので、半導体素子6のクラック発生による破損を防止することができ、また、応力の低減によって半導体素子6の電気特性が変化することがないので、応力起因の特性不良の発生も防止することができる。
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態における半導体装置を、図18を用いて説明する。
本発明の第3の実施の形態における半導体装置を、図18を用いて説明する。
図18に、本実施の形態の半導体装置におけるチップの電極近傍の断面を示す。
本実施の形態の半導体装置におけるチップは、特に、応力緩和材1として感光性樹脂を用いて電極2の内部を埋める場合を想定したものであり、前記第2の実施の形態に対して半導体素子6の裏面側の構造が異なっている。
すなわち、本実施の形態の半導体装置におけるチップは、半導体素子6の裏面側において、半導体素子6の表裏を貫通する電極2の表面には、この電極2の一部に電気的に接続して接続用パッド5が形成され、さらに、この接続用パッド5の部分を露出して電極2の中空部分を埋めるとともに絶縁膜4を覆うように感光性樹脂が形成されている。
本実施の形態の半導体装置におけるチップの電極形成プロセスでは、感光性樹脂で電極2の内部を埋める工程で、電極2の内部だけを埋めるのではなく、チップの裏面全体を感光性樹脂で覆い、その後、接続用パッド5の部分のみをエッチングで開口させる。それ以外は、前記第2の実施の形態と同様である。このようにして形成する電極2を、シリコン内に多数設けることで、多数の電極2を有するチップを製造することができる。
本実施の形態の半導体装置においても、前記第2の実施の形態と同様に、形成可能な最小バンプピッチが前記第1の実施の形態よりも大きくなってしまうという点が不利と言えるが、前記第1の実施の形態の懸念事項を解決することができるとともに、前記第1の実施の形態と同様に、半導体素子6の表裏を貫通する電極2の中空部分に応力緩和材1を形成することで、電極2の近傍に発生する応力を低減できるので、半導体素子6のクラック発生による破損を防止することができ、また、応力の低減によって半導体素子6の電気特性が変化することがないので、応力起因の特性不良の発生も防止することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
本発明は、素子を貫通して設けられた電極を有する半導体素子が実装された半導体装置に利用可能であり、特に複数のチップを基板上に積層接続する積層型の半導体装置に好適である。
1…応力緩和材、2…電極、3…絶縁層、4…絶縁膜、5…接続用パッド、6…半導体素子、7…回路素子、8…絶縁膜、9…接続用パッド、10…接続用バンプ、11…接続用バンプ、12…アンダーフィル、13…基板、14…パッケージ接続用バンプ、15…封止用樹脂。
Claims (15)
- 半導体素子を有する半導体装置であって、
前記半導体素子には、前記半導体素子の表裏を貫通する電極が設けられ、
前記電極は中空部分を有し、前記中空部分には、前記半導体素子と前記電極との間に発生する応力を低減するための応力緩和材が形成され、
前記応力緩和材は、樹脂からなる低弾性体であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記電極の周りには、前記電極を囲むように絶縁層が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記半導体素子の裏面は、前記電極の部分を除いて絶縁膜で覆われていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜の材料は、SiNであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記電極に接続して前記半導体素子の裏面に形成される接続用パッドを有し、
前記接続用パッドと前記電極とは、前記接続用パッドの中心軸と前記電極の中心軸とが少なくとも前記電極の直径分だけずれた位置に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記低弾性体は、弾性率が20〜30GPa以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記低弾性体は、感光性樹脂からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記応力緩和材の材料は、前記低弾性体に代えて、SiO2からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記応力緩和材の材料は、前記低弾性体に代えて、ポリシリコンからなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記応力緩和材の材料は、前記低弾性体に代えて、導電性ペーストからなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記電極の厚さは、2〜5μmの範囲であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項8または9に記載の半導体装置において、
前記電極の厚さは、3μm以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置において、
前記電極の厚さは、約5μmであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記半導体素子は、基板上に積層して接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項14に記載の半導体装置において、
前記基板上に積層された前記半導体素子は、樹脂により封止されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (2)
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