JP2009129728A - メタルマスク用保持具およびメタルマスクの検査方法ならびに搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メタルマスクを枠体に保持するための保持具であって、1辺にはメタルマスクを挟持する手段を有し、対向する他の1辺にはメタルマスクを挟持する手段とメタルマスク面と平行な外周方向に張力を与えるための張着手段とを有する。
【選択図】図1
Description
陥を目視検査する。適度な照明と観察のための角度設定や回転等の動きを伴う観察方法の詳細は、従来の強固な対象物を扱う方法がそのまま適用できる。また、測長検査においても、強固な枠体が外形を規定し、被測長部は平坦に張られた状態であるので、従来の方法をそのまま適用できる。
2・・・・・・・枠体
3・・・・・・・メタルマスクパターン加工部
4・・・・・・・枠体開口部
21,22,23,24・・・枠体の一辺
51,52,53,54・・・L字状固定具
61,62,63,64・・・挟持手段
72,74・・・・・・・・・張着手段
81,82・・・・・・・・・挟持手段の支点相当部
Claims (4)
- メタルマスクを保持するための保持具であって、枠体と、該枠体の互いに対向する辺の1辺にはメタルマスクを挟持する手段を有し、対向する他の1辺にはメタルマスクを挟持する手段とメタルマスク面と平行な外周方向に張力を与えるための張着手段とを有することを特徴とするメタルマスク用保持具。
- 請求項1記載の保持具において、メタルマスク面と平行な外周方向に与える張力が異なる2方向となるように、前記枠体の他の一対の互いに対向する辺の1辺にはメタルマスクを挟持する手段を有し、対向する他の1辺にはメタルマスクを挟持する手段とメタルマスク面と平行な外周方向に張力を与えるための張着手段とを有することを特徴とするメタルマスク用保持具。
- メタルマスクを請求項1または2記載の保持具に装着した状態で検査することを特徴とする、メタルマスクの検査方法。
- メタルマスクを請求項1または2記載の保持具に装着した状態で搬送することを特徴とする、メタルマスクの搬送方法。
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