JP2009124462A - 電力線通信を用いたファンフィルターユニットの監視制御システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ファンフィルターユニット監視制御システムは上記目的を達成するために、ネットワーク用のデータ伝送手段として電力線にデータを重畳させる電力線通信を用いたものである。この手段により通信ユニット専用の電源とネットワーク専用の通信線を敷設することが不要になる。
【選択図】図1
Description
図1に示すように電力線通信方式による本発明にかかわるファンフィルターユニット監視制御システムは、ファンフィルターユニットを監視するモニター、制御を行うキーボード、マウス、タッチパネルなどの入力装置を備えた中央監視装置(PC)1、電力線通信インターフェイス(PLC−I/F)2、同一電源系統内に接続された他の機器にノイズ障害を発生させないノイズ防止手段と、漏洩した電力線通信の信号から通信データが外部に解読されないセキュリティー手段を備えたブロッキングフィルター(BF)3、及び電力線通信ユニット(PLC通信ユニット)4とFFUコントローラ5から構成されている。
2 電力線通信インターフェイス
3 ブロッキングフィルター
4 電力線通信ユニット
5 FFUコントローラ
6 FFU本体
Claims (6)
- クリーンルームを所定のクリーン度に保つために天井部に設置された複数のファンフィルターユニット及び清浄度が要求される搬送システムの搬送路側面に設置された複数のファンフィルターユニットをAC100V又はAC200Vのファンフィルターユニットに供給される電力線に信号を重畳させて通信することにより監視制御する装置において、ファンフィルターユニット本体に取付られたファンモータを制御し運転するコントローラ及び電力線通信の信号を処理する電力線通信ユニット、同一電源系統接続される他の機器に影響を及ぼさせない為に通信データを絶縁するブロッキングフィルター、ファンフィルターユニットの運転状態、故障状態、回転数計測、プロセスの監視及びファンの発停、回転数指示の制御を行う電力線通信インターフェイスを備えた中央監視装置とで構成したことを特徴とするファンフィルターユニット監視制御システム。
- 前記電力線通信ユニットの内部には、ファンフィルターユニット本体コントローラとの通信部、信号処理部、送受信回路部、電力線への結合回路部から構成される回路を備え、電力線に重畳する信号の周波数帯域を100〜400kHzとした請求項1記載のファンフィルターユニット監視制御システム。
- 前記ブロッキングフィルターは、同一電源系統内に接続された他の機器にノイズ障害を発生させないノイズ防止手段と、漏洩した電力線通信の信号から通信データが外部に解読されないセキュリティー手段を備えた請求項1または2記載のファンフィルターユニット監視制御システム。
- 前記中央監視装置には、電力線通信インターフェース、ファンフィルターユニットを監視するモニター、制御を行うキーボード、マウス、タッチパネルなどの入力装置を備えた請求項1〜3いずれかに記載のファンフィルターユニット監視制御システム。
- 前記中央監視装置には、ファンフィルターユニットが複数台配置されたゾーン又はエリア内でファンフィルターユニットが故障等で停止した場合、同一ゾーン又はエリア内の他のファンフィルターユニットへ風量アップをする制御を行い、ファンフィルターユニット故障に該当ゾーン又はエリア内の清浄度を確保するためのバックアップ手段を備えた請求項1〜4いずれかに記載のファンフィルターユニット監視制御システム。
- 前記の中央監視装置には、ファンフィルターユニットが複数台配置されたゾーン又はエリア内で発塵が生じる作業工程(プロセス作業)が発生した場合にそのプロセス作業中信号を中央監視装置に通知する手段を有し、同一ゾーン又はエリア内の全てのファンフィルターユニットへ設定風量の回転数制御を行い、該当ゾーン又はエリア内の清浄度を確保する制御手段、ファンフィルターユニットが複数台配置されたゾーン又はエリア内で通常作業が行われず、通常時より発塵量が少ない場合にそのプロセス完了信号を中央監視装置に通知する手段を有し、同一ゾーン又はエリア内の他のファンフィルターユニットへ最低風量の回転数制御を行い、該当ゾーン又はエリア内の最低限の清浄度を確保しながらファンフィルターユニットの省エネを行う制御手段を備えた請求項1〜5いずれかに記載のファンフィルターユニット監視制御システム。
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