JP2009122570A - カラーフィルタ基板の製造工程管理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム10と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム20と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム30と、青色フィルタを作製するための工程管理システム40と、透明電極を作製するための工程管理システム50と、スペーサーを作製するための工程管理システム60と、カラーフィルタ基板の検査を行う検査管理システム70と、各工程管理システムを統括する製造管理システム100と、から構成されるカラーフィルタ基板の製造工程管理システム。
【選択図】図1
Description
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、これらの品質をクリアーするためには、徹底したカラーフィルタ基板の製造工程管理が望まれている。
造工程管理システムを提供することを目的とする。
前記工程管理システムには、PLC(Programming Logic Controller)を内蔵した少なくとも1つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットを有しており、前記製造管理システム100と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはLANで接続され、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程装置内の入り口と出口で、基板に付与された基板コードと識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造工程管理システムとしたものである。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品1枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
図1は、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの一実施例を示す模式構成図である。図2は、カラーフィルタ基板の製造工程のフローの一例を示す説明図である。本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム10と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム20と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム30と、青色フィルタを作製するための工程管理システム40と、透明電極(ITO)を作製するための工程管理システム50と、スペーサーを作製するための工程管理システム60と、カラーフィルタ基板の検査を行う検査管理システム70と、各工程管理システムを統括する製造管理システム100と、から構成されており、各工程管理システムには、PLC(Programming Logic Controller)を搭載した少なくとも1つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム100と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはLANで接続されている。
、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
まず、基板の受け入れを行い、個々の基板に基板コードが製造管理システム100より付与され、基板に印字され、所定の枚数予めとロット番号が設定された基板投入装置(カセット)に収納されて、ロボット等でブラックマトリクスを作製工程の基板投入装置(カセット)にセットされる。
製造管理システム100より各工程管理システムに、これから投入される基板コードと投入順序とが伝達される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ11が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ11と、工程管理システム10で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム10とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ12が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ12と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム10と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ13が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデ
ータ13と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードの設定データの確認作業を工程管理システム10と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ14が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ14と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム10とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ15が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ15と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム10と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置(カセット)へ収納される。ここで、フラッグデータ15の履歴データには、ブラックマトリクス基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるブラックマトリクス基板はこの時点で排除することもできる。
ここで、工程管理システム20では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ21が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ21と、工程管理システム20で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム20とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ22が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ22と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム20と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム20では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ23が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ23と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム20と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム10では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ24が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ24と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム20とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム20では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ25が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ25と、工程管理システム10で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム20と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置(カセット)へ収納される。ここで、フラッグデータ25の履歴データには、赤色フィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断される赤色フィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
。
ここで、工程管理システム50では、基板コードに対して、透明電極(ITO)成膜装置の識別コードと透明電極(ITO)成膜装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ51が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、透明電極(ITO)成膜装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ51と、工程管理システム50で予め設定された基板コード、透明電極(ITO)成膜装置の識別コード、透明電極(ITO)成膜装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム50と透明電極(ITO)成膜装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム50では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ52が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ52と、工程管理システム50で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム50と検査装置の間で行い、一致すれば、次の基板収納装置(カセット)へ収納される。
ここで、フラッグデータ52の履歴データには、透明電極(ITO)の検査結果が格納されているので、不良と判断される透明電極(ITO)基板はこの時点で排除することもできる。
ここで、工程管理システム60では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ61が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ61と、工程管理システム60で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム20とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム60では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ62が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ62と、工程管理システム60で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム60と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム60では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ63が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ63と、工程管理システム60で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム60と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
ここで、工程管理システム60では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ64が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ64と、工程管理システム60で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム60とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、基板収納装置(カセット)へ収納される。
ここで、工程管理システム70では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ71が作製され、製造管理システム100に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ71と、工程管理システム70で予め設定された基板コード、検査装置の識別コード、検査装置で検査される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム70と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置(カセット)へ収納される。ここで、フラッグデータ71の履歴データには、カラーフィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるカラーフィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品1枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
100……製造管理システム
Claims (2)
- 少なくともブラックマトリクスを作製するための工程管理システム(10)と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム(20)と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム(30)と、青色フィルタを作製するための工程管理システム(40)と、透明電極を作製するための工程管理システム(50)と、スペーサーを作製するための工程管理システム(60)と、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム(70)と、各工程管理システムを統括管理する製造管理システム(100)と、からなるカラーフィルタ基板の製造工程管理システムであって、
前記工程管理システムには、PLC(Programming Logic Controller)を搭載した少なくとも1つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム(100)と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはLANで接続され、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程装置内の入り口と出口で、基板に付与された基板コードと識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造工程管理システム。 - 前記各工程内装置の出口では、工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ基板の製造工程管理システム。
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JPH11101907A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびカラーフィルタ製造管理システム |
JP2002311226A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶素子 |
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JPH11101907A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびカラーフィルタ製造管理システム |
JP2002311226A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶素子 |
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