JP2009117687A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009117687A5 JP2009117687A5 JP2007290426A JP2007290426A JP2009117687A5 JP 2009117687 A5 JP2009117687 A5 JP 2009117687A5 JP 2007290426 A JP2007290426 A JP 2007290426A JP 2007290426 A JP2007290426 A JP 2007290426A JP 2009117687 A5 JP2009117687 A5 JP 2009117687A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- layer
- substrate
- formed above
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co] FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- -1 cobalt iron nickel borate Chemical compound 0.000 claims 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 claims 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007290426A JP5304978B2 (ja) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007290426A JP5304978B2 (ja) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009117687A JP2009117687A (ja) | 2009-05-28 |
| JP2009117687A5 true JP2009117687A5 (https=) | 2010-08-12 |
| JP5304978B2 JP5304978B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=40784459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007290426A Expired - Fee Related JP5304978B2 (ja) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5304978B2 (https=) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013114857A1 (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-08 | パナソニック株式会社 | 圧電アクチュエータデバイスとその製造方法 |
| JP6347086B2 (ja) * | 2014-02-18 | 2018-06-27 | アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 | 強誘電体セラミックス |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286560A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Mitsumi Electric Co Ltd | 温度センサの検査方法及び検査装置 |
| JP4222965B2 (ja) * | 2004-04-15 | 2009-02-12 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法、磁気記録装置 |
| JP2006019935A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
| JP4611847B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2011-01-12 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
| JP2007237717A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置 |
| JP5196105B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2013-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ |
-
2007
- 2007-11-08 JP JP2007290426A patent/JP5304978B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007287739A5 (https=) | ||
| JP2014199910A5 (https=) | ||
| JP2009295786A5 (https=) | ||
| JP2018019065A (ja) | 圧電振動装置及びこれを備える電子機器 | |
| JP2006352082A5 (https=) | ||
| JP2015116696A5 (https=) | ||
| JP2016033937A5 (ja) | 圧電デバイス | |
| JP2014146772A5 (https=) | ||
| JP2008305916A5 (https=) | ||
| JP2013080887A5 (https=) | ||
| JP2013080886A5 (https=) | ||
| JP2012148954A5 (https=) | ||
| JP2007287918A5 (https=) | ||
| JP2015130223A5 (ja) | 磁気スタック | |
| JP2011211141A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに超音波デバイス | |
| JP2011205064A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| EP2099082A3 (en) | Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor | |
| JP2009117687A5 (https=) | ||
| JP2014220022A5 (https=) | ||
| JP2011082782A5 (https=) | ||
| JP2011205066A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| JP2007286617A5 (https=) | ||
| JP2007287744A5 (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ | |
| JP2007284262A5 (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ | |
| JP2013184299A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー |