JP2009109413A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 基板に形成されたマークの位置を検出する位置検出器であって、
   検出すべきマークを含む画像に基づいて当該マークを識別するために使用されるテンプレートを生成する生成部と、
   検出すべきマークを含む画像を前記生成部によって生成されたテンプレートを用いてサーチし、前記検出すべきマークのパターン以外に前記テンプレートとのマッチング度が基準値より高い偽パターンが存在するか否かを判断するサーチ部と、
   前記偽パターンが存在すると判断された場合に、前記偽パターンの情報に基いて、前記生成部によって生成されたテンプレートを補正して、前記偽パターンとのマッチング度が前記基準値を下回る補正されたテンプレートを生成する補正部と、
   を含むことを特徴とする位置検出器。
2. 前記偽パターンの情報は、前記検出すべきマークのパターン及び前記偽パターンのうち一方のパターンのみに存在する部分の情報であることを特徴とする請求項１に記載の位置検出器。
3. 前記偽パターンの情報は、前記検出すべきマークのパターンには存在するが前記偽パターンには存在しない部分の情報を含むことを特徴とする請求項２に記載の位置検出器。
4. 前記偽パターンの情報は、前記検出すべきマークのパターンには存在しないが前記偽パターンには存在する部分の情報を含むことを特徴とする請求項２に記載の位置検出器。
5. 前記サーチ部がサーチするのに使用する画像は、前記生成部がテンプレートを生成するのに使用した画像であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の位置検出器。
6. 前記サーチ部がサーチするのに使用する画像は、前記生成部がテンプレートを生成するのに使用した第１画像を含む複数の画像を結合して得られた該第１画像より広い領域を有する画像であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の位置検出器。
7. 基板に形成されたマークの位置を検出する位置検出方法であって、
   検出すべきマークを含む画像に基づいて当該マークを識別するために使用されるテンプレートを生成する生成工程と、
   検出すべきマークを含む画像を前記生成工程において生成されたテンプレートを用いてサーチし、前記検出すべきマークのパターン以外に前記テンプレートとのマッチング度が基準値より高い偽パターンが存在するか否かを判断するサーチ工程と、
   前記偽パターンが存在すると判断された場合に、前記偽パターンの情報に基いて、前記生成工程において生成されたテンプレートを補正して、前記偽パターンとのマッチング度が前記基準値を下回る補正されたテンプレートを生成する補正工程と、
   を含むことを特徴とする位置検出方法。
8. 請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の位置検出器を備えることを特徴とする露光装置。
9. 請求項８に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記工程で露光された基板を現像する工程と、
   を備えることを特徴とするデバイス製造方法。