JP2009108360A - 電気めっき用アノード及び電気めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの被めっき面に対向してめっき液Q中に配置される電気めっき用アノード32であって、第1の不溶性材料から構成される第1の不溶性アノード36と、第1の不溶性材料と酸素発生過電圧が異なる第2の不溶性材料から構成される第2の不溶性アノード38とを、互いに導通させて平面状に配置した。
【選択図】図1
Description
これにより、アノード中を流れる電流を同心状に制御することできる。同心形状は、円状であっても、矩形状であってもよい。
これにより、単一材料で構成されるアノードと比較して、アノードと対向して配置される基板の中心部に流れる電流値を大きくすることができる。
これにより、アノード形状を、被めっき面の形状(パターン)に合わせて最適化することができる。
図1は、本発明の実施の形態の電気めっき装置を示す。この電気めっき装置は、いわゆるカップ式の電気めっき装置で、表面(被めっき面)を下向きにして基板Wを着脱自在に保持する上下動自在な基板ホルダ10と、基板ホルダ10の下方に配置されるめっき槽12を有している。
なお、この例では、アノードホルダ34を備えた例を示しているが、第2の不溶性アノード38の内部に第1の不溶性アノード36を焼ばめにより嵌合して、アノードホルダ34を備えることなく、第1の不溶性アノード36と第2の不溶性アノード38の導通を取るようにしてもよい。このことは、以下同様である。
この例にあっても、第1の不溶性アノード50aの代わりに溶解性アノードを、第2の不溶性アノード50bの代わりに任意の不溶性アノードをそれぞれ使用するようにしてもよい。
12 めっき槽
18 シールリング
20 カソード接点
22 オーバフロー槽
24 循環配管
32,32a,32b,32c アノード
34 アノードホルダ
36 第1の不溶性アノード
38 第2の不溶性アノード
40,40a,40b 整流器(めっき電源)
42a,42b 可変抵抗器
44a,44b,44c,46a,46b,46c,50a,50b 不溶性アノード
52,52a,52b アノード
54a,54b,56a,56b,56c,58a,58b,58c 不溶性アノード
70 基板ホルダ
72 めっき槽
74 オーバフロー槽
76 循環配管
84 アノードホルダ
86,86a アノード
88 遮蔽板
96 アノードバンド
98 第1の不溶性アノード
100 第2の不溶性アノード
102 整流器(めっき電源)
106a,106b 不溶性アノード
108 側枠(基板ホルダ)
Claims (6)
- 基板の被めっき面に対向してめっき液中に配置される電気めっき用アノードにおいて、
第1の不溶性材料から構成される第1の不溶性アノードと、前記第1の不溶性材料と酸素発生過電圧が異なる第2の不溶性材料から構成される第2の不溶性アノードとを、互いに導通させて平面状に配置したことを特徴とする電気めっき用アノード。 - 前記第1の不溶性アノードと前記第2の不溶性アノードは、前記第1の不溶性アノードの周囲を前記第2の不溶性アノードが包囲する同心状に配置されていることを特徴とする請求項1記載の電気めっき用アノード。
- 前記第1の不溶性アノードを構成する第1の不溶性材料は、前記第2の不溶性アノードを構成する第2の不溶性材料より酸素発生過電圧が低いことを特徴とする請求項2記載の電気めっき用アノード。
- 基板の被めっき面の形状に相似形に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電気めっき用アノード。
- 基板の被めっき面と対向してめっき液中に配置される電気めっき用アノードにおいて、
不溶性材料から構成される不溶性アノードと、溶解性材料から構成される溶解性アノードとを、互いに導通させつつ、前記溶解性アノードの周囲を前記不溶性アノードで包囲させて平面状に配置したことを特徴とする電気めっき用アノード。 - めっき液を保持するめっき槽と、
基板を保持して基板の被めっき面を前記めっき槽内のめっき液に接触させる基板ホルダと、
前記めっき槽内のめっき液中に前記基板ホルダで保持した基板の被めっき面に対向して配置される、請求項1乃至5のいずれかに記載のアノードと、
前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加するめっき電源とを有することを特徴とする電気めっき装置。
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