JP2009105353A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム膜のウエット・エッチングにおいて、フルコーンノズルを2本搭載し、1本のノズルをウエハ全面へ薬液が塗布可能な位置に設置し、もう1本のノズルを薬液濃度が薄くなるウエハ中心部(ウエハ直近の位置)に設置し同時に薬液を塗布することにより、回転数依存が少なくエッチングレート均一性を向上することが可能とするものである。
【選択図】図8
Description
となため回転数の依存性が少なくエッチングレート均一性向上が可能となる。
先ず、本願において開示される発明の代表的な実施の形態について概要を説明する。
(a)ウエハの第1の主面上に高融点金属を主要な成分とする第1導体膜を形成する工程;
(b)前記第1導体膜上に前記第1導体膜よりも厚く、アルミニウムを主要な成分とする第2導体膜を形成する工程;
(c)前記第2導体膜上にレジスト膜パターンを形成する工程;
(d)前記第2導体膜上に前記レジスト膜パターンがある状態で、前記ウエハをその中心の周りに回転させながら、混酸アルミニウム・エッチング液を前記ウエハの前記第1の主面に供給することにより、ウエット・エッチングして、前記第2導体膜をパターニングする工程;
(e)前記第2導体膜上に前記レジスト膜パターンがある状態で、ドライエッチングにより、前記第1導体膜をパターニングする工程、
ここで、前記工程(d)は以下の下位工程を含む:
(d1)前記ウエハの前記第1の主面の中央部に近接した第1のノズルから、前記中央部およびその周辺に向けて、前記混酸アルミニウム・エッチング液をスプレーする工程;
(d2)前記第1のノズルと比較して、前記ウエハの前記第1の主面から離れた第2のノズルから、前記ウエハの前記第1の主面のほぼ全体に供給されるように、前記混酸アルミニウム・エッチング液をスプレーする工程。
1.本願において、実施の態様の記載は、必要に応じて、便宜上複数のセクションに分けて記載する場合もあるが、特にそうでない旨明示した場合を除き、これらは相互に独立別個のものではなく、単一の例の各部分、一方が他方の一部詳細または一部または全部の変形例等である。また、原則として、同様の部分は繰り返しを省略する。また、実施の態様における各構成要素は、特にそうでない旨明示した場合、理論的にその数に限定される場合および文脈から明らかにそうでない場合を除き、必須のものではない。
実施の形態について更に詳述する。各図中において、同一または同様の部分は同一または類似の記号または参照番号で示し、説明は原則として繰り返さない。
以下では、半導体ウェハ上に、例えばトレンチゲート構造のnチャネル型パワーMISFET(以下、パワートランジスタ)を形成し、それぞれに導通する配線パターンを形成する工程を例示する。これには図1〜図4を用いて説明する。
ここでは、セクション1で説明したウエハ・プロセスの内、第2導体膜15の加工に関する装置プロセスを中心に説明する。
ここでは、セクション2に説明したエッチング装置を用いて、セクション1に説明した第2導体膜エッチング工程を実行する場合において、エッチング特性(配線幅・形状)のウエハ内分布が比較的良好な比較的低速回転領域でも均一なエッチングレート分布を得やすい液体供給ノズル機構26の詳細構成について説明する。
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
14 第1導体膜
15 第2導体膜
16 レジスト膜パターン
26a 第1のノズル
26b 第2のノズル
S ウエハの第1の主面
Claims (5)
- 以下の工程を含む半導体装置の製造方法:
(a)ウエハの第1の主面上に高融点金属を主要な成分とする第1導体膜を形成する工程;
(b)前記第1導体膜上に前記第1導体膜よりも厚く、アルミニウムを主要な成分とする第2導体膜を形成する工程;
(c)前記第2導体膜上にレジスト膜パターンを形成する工程;
(d)前記第2導体膜上に前記レジスト膜パターンがある状態で、前記ウエハをその中心の周りに回転させながら、混酸アルミニウム・エッチング液を前記ウエハの前記第1の主面に供給することにより、ウエット・エッチングして、前記第2導体膜をパターニングする工程;
(e)前記第2導体膜上に前記レジスト膜パターンがある状態で、ドライエッチングにより、前記第1導体膜をパターニングする工程、
ここで、前記工程(d)は以下の下位工程を含む:
(d1)前記ウエハの前記第1の主面の中央部に近接した第1のノズルから、前記中央部およびその周辺に向けて、前記混酸アルミニウム・エッチング液をスプレーする工程;
(d2)前記第1のノズルと比較して、前記ウエハの前記第1の主面から離れた第2のノズルから、前記ウエハの前記第1の主面のほぼ全体に供給されるように、前記混酸アルミニウム・エッチング液をスプレーする工程。 - 前記1項の半導体装置の製造方法において、前記第1のノズルおよび前記第2のノズルはフルコーン・ノズルである。
- 前記2項の半導体装置の製造方法において、前記下位工程(d1)および(d2)は実質的に同時に実行される。
- 前記1項の半導体装置の製造方法において、前記第1のノズルの前記ウエハの前記第1の主面からの垂直高さは、ウエハの直径を基準とするとき、5%から20%の範囲に含まれる。
- 前記1項の半導体装置の製造方法において、前記第2のノズルの前記ウエハの前記第1の主面からの垂直高さは、ウエハの直径を基準とするとき、50%から150%の範囲に含まれる。
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