JP2009098071A - 流体軸受装置用軸受部材の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】軸受性能の安定維持に不可欠な循環路の形状を容易にかつ正確に検査可能とする。
【解決手段】ハウジング７の内周面７ａと軸受スリーブ８の外周面８ｄとの間には循環路１２が形成される。循環路１２の一端側に配した光線照射装置１９から光線２０を照射し、循環路１２を通過させた通過光２１の形状に基づいて循環路１２の形状を評価する。
【選択図】図５

Description

本発明は、流体軸受装置用軸受部材の検査方法に関するものである。

流体軸受装置は、軸受隙間に形成される油膜で軸部材を回転自在に支持する軸受装置である。この流体軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を有するものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として、より具体的には、ＨＤＤ等のディスク駆動装置のスピンドルモータ、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、ＰＣ等のファンモータなどのモータ用軸受装置として好適に使用されている。

流体軸受装置の運転中、様々な要因によって内部空間を満たす潤滑油がその一部領域で負圧になる場合がある。かかる負圧の発生は、気泡の発生や潤滑油の漏れ、あるいは振動の発生等を招き、軸受性能低下の一因となる。この種の不具合を回避するには流体軸受装置の内部で潤滑油を流動循環させるのが有効であり、このような潤滑油の流動循環を実現する目的で、軸受部材に、その両端面に開口した循環路を設けるのが通例になっている。循環路は、例えば、軸受スリーブの外周面に設けた軸方向溝とハウジングの内周面とで形成される（例えば、特許文献１を参照）。
特開２００３−２３２３５３号公報

ところで、例えば、軸受スリーブをハウジングに接着固定した場合には軸方向溝に接着剤が回り込むことにより、また、軸受スリーブをハウジングに圧入固定した場合には圧迫力によって軸受スリーブが変形することにより、所定形状の循環路が形成されない場合がある。そのため、軸受部材の製作後に、所定形状の循環路が形成されているか、より厳密に言えば、循環路が貫通しているか否か、また貫通している場合でも所定の断面積を有するのか否か等を評価する必要がある。しかしながら、循環路は通常数十μｍ〜数百μｍ程度の微小径とされるため、これらの良否を正確に評価することは容易ではない。

本発明の課題は、軸受性能の安定維持に必要不可欠な循環路の形状を容易にかつ正確に検査可能とすることにある。

上記課題を解決するため、本発明では、軸受部材の両端面に開口した循環路を形成した後、循環路を通過させた通過光の形状に基づいて循環路形状の良否を判定することを特徴とする流体軸受装置用軸受部材の検査方法を提供する。

このように、本発明は、循環路を通過させた通過光の形状に基づいて循環路形状の良否を判定することを特徴とするものであるが、通過光は様々な形態に加工することが容易に行い得る。そのため、微小径である循環路の形状の良否、より厳密には、循環路が貫通しているか否か、また循環路が所定の断面積を有するのか否か等を簡易にかつ正確に判定することが可能となる。

具体的には、通過光を、通過光の進行方向延長線上に配置した受光部上に投影させることが考えられる。この場合、受光部上に投影された通過光の形状を目視によって評価することにより、またあるいは、受光部上に投影された通過光の形状をデータ化し、このデータを予め設定した閾値と比較することにより、循環路の形状の良否を簡易にかつ正確に判定することができる。前者の場合、受光部上に投影された通過光の形状が拡大表示されるようにすれば、投影された通過光形状の視認性が良好になり、より正確な判定が可能となる。

もちろん、上記のような受光部を配置することなく、通過光の形状を目視で直接評価することにより、循環路形状の良否を判定することも可能である。

本願発明は、軸受スリーブをハウジングの内周に圧入や接着固定して形成された循環路の形状を評価する際に好適に用いることができる他、循環路形成材を軸受スリーブの表面に供給した状態でハウジングを射出成形した後、循環路形成材を溶解させることで形成された循環路の形状を評価する際の検査方法として好適に用いることができる。

以上より、本発明によれば、軸受性能の安定維持に必要不可欠な循環路形状の良否を容易にかつ正確に判定することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、流体軸受装置を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を回転自在に支持する流体軸受装置１と、軸部材２に装着されたディスクハブ３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、流体軸受装置１を内周に装着したブラケット６とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取付けられる。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスクＤが一又は複数枚保持される。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間の電磁力でロータマグネット５が回転し、それによって、ディスクハブ３およびこれに保持されたディスクＤが軸部材２と一体に回転する。

図２は、流体軸受装置の第１実施形態を示すものである。同図に示す流体軸受装置１は、軸部材２と、内周に軸部材２を収容した軸受スリーブ８と、軸受スリーブ８を内周に固定したハウジング７と、ハウジング７の一端開口部をシールするシール部材９と、ハウジング７の他端開口部を封止する蓋部材１０とを主要な構成部品として備える。本実施形態では、ハウジング７と軸受スリーブ８とで軸受部材が構成される。なお、以下では、説明の便宜上、シール部材９の側を上側、これと軸方向反対側（蓋部材１０の側）を下側として説明を進める。

軸部材２は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で形成され、軸部２ａと、軸部２ａの下端に一体又は別体に設けられたフランジ部２ｂとを備えている。軸部材２は、その全体を金属材料で形成する他、例えばフランジ部２ｂの全体あるいはその一部（例えば両端面）を樹脂で構成し、金属と樹脂のハイブリッド構造とすることもできる。

軸受スリーブ８は、焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成される。なお、焼結金属に限らず、多孔質体ではない他の金属材料、例えば黄銅等の軟質金属で軸受スリーブ８を形成することも可能である。また、焼結金属以外の多孔質体（例えば、多孔質樹脂）で軸受スリーブ８を形成することも可能である。

軸受スリーブ８の内周面８ａには、第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受面となる上下２つの領域が軸方向に離隔して設けられ、該２つの領域には、動圧発生部として、例えば図３（ａ）に示すようなヘリングボーン状に配列された複数の動圧溝８ａ１、８ａ２がそれぞれ形成されている。上側の動圧溝８ａ１は、軸方向中心ｍ（上下の傾斜溝間領域の軸方向中央）に対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。動圧溝は、軸部２ａの外周面２ａ１に形成することもでき、またその形状は、スパイラル状等、公知のその他の形状とすることもできる。軸受スリーブ８の外周面８ｄには、１又は複数本の軸方向溝８ｄ１が形成され、本実施形態で、軸方向溝８ｄ１は、図３（ｂ）にも示すように円周方向の３箇所に等配されている。

軸受スリーブ８の下側端面８ｂには第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受面となる領域が設けられ、該領域には、動圧発生部として、図３（ｂ）に示すように、例えばスパイラル状に配列された複数の動圧溝８ｂ１が形成されている。動圧溝８ｂ１は、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１に形成することもでき、またその形状は、へリングボーン状等、公知のその他の形状とすることもできる。

軸受スリーブ８の上側端面８ｃの半径方向略中央部には円周溝８ｃ１が形成され、円周溝８ｃ１よりも内径側の領域には、一又は複数の半径方向溝８ｃ２が形成されている。本実施形態で、半径方向溝８ｃ２は、円周方向の三箇所に等配されている。

ハウジング７は、略円筒状をなし、軸受スリーブ８をインサートして樹脂で射出成形される。ハウジング７の内周面７ａは平滑な円筒面状をなし、この内周面７ａと軸受スリーブ８に設けた軸方向溝８ｄ１とで軸受スリーブ８の両端面８ｂ、８ｃに開口した循環路１２が形成される。なお、樹脂以外にも、例えばアルミニウム合金等の低融点金属でハウジング７を射出成形することも可能である。

ハウジング７の下端開口部は、円盤部１０ａおよび円筒部１０ｂを一体に有する有底筒状の蓋部材１０で封止される。円盤部１０ａの内底面１０ａ１には、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受面となる領域が設けられ、該領域には、図示は省略するが、例えばスパイラル状に配列された複数の動圧溝が形成されている。動圧溝は、フランジ部２ｂの下側端面２ｂ２に形成することもでき、またその形状は、ヘリングボーン状等、公知のその他の形状とすることができる。円筒部１０ｂの上側端面１０ｂ１には、一又は複数の半径方向溝１０ｂ１１が形成されている。

シール部材９は、例えば、黄銅等の軟質金属材料やその他の金属材料、あるいは樹脂材料でリング状に形成される。シール部材９の内周面９ａは、軸部２ａの外周面２ａ１と所定のシール空間Ｓ１を介して対向する。シール部材９の下側端面９ｂの外径側領域９ｂ１は、内径側領域よりも僅かに軸方向上方に後退させた状態に形成されている。

以上の構成からなる流体軸受装置１は、軸受スリーブ８の内周に軸部材２を挿入した後、ハウジング７の上端および下端開口部にシール部材９および蓋部材１０をそれぞれ固定し、シール部材９で密封されたハウジング７の内部空間に潤滑油を充満させることにより完成する。なお、本実施形態では、蓋部材１０を構成する円筒部１０ｂの上側端面１０ｂ１と円盤部１０ａの内底面１０ａ１との軸方向離間距離が、フランジ部２ｂの幅と両スラスト軸受隙間の軸方向寸法とを合算した値に設定されている。従って、円筒部１０ｂの上側端面１０ｂ１を軸受スリーブ８の下側端面８ｂに当接させるようにして蓋部材１０をハウジング７の内周に固定するだけで、両スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２のスラスト軸受隙間幅が精度良く設定される。

以上の構成からなる流体軸受装置１において、軸部材２が回転すると、軸受スリーブ８の内周面８ａのラジアル軸受面となる上下２箇所の領域は、それぞれ、軸部２ａの外周面２ａ１とラジアル軸受隙間を介して対向する。そして、軸部材２の回転に伴って、各ラジアル軸受隙間に形成される油膜は、ラジアル軸受面にそれぞれ形成された動圧溝８ａ１、８ａ２の動圧作用によってその油膜剛性を高められ、この圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とが形成される。

また、軸部材２が回転すると、軸受スリーブ８の下側端面８ｂのスラスト軸受面となる領域は、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１とスラスト軸受隙間を介して対向し、蓋部材１０の内底面１０ａ１のスラスト軸受面となる領域は、フランジ部２ｂの下側端面２ｂ２とスラスト軸受隙間を介して対向する。そして、軸部材２の回転に伴って、各スラスト軸受隙間に形成される油膜は、スラスト軸受面にそれぞれ形成された動圧溝の動圧作用によってその油膜剛性を高められ、この圧力によって軸部材２が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２を両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１と第２スラスト軸受部Ｔ２とが形成される。

また、上述のように、シール空間Ｓ１が、ハウジング７の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈しているため、軸部材２の回転時には、シール空間Ｓ１内の潤滑油は毛細管力による引き込み作用により、シール空間が狭くなる方向、すなわちハウジング７の内部側に向けて引き込まれる。これにより、ハウジング７の内部からの潤滑油の漏れ出しが効果的に防止される。また、シール空間Ｓ１は、ハウジング７の内部空間に充満された潤滑油の温度変化に伴う容積変化量を吸収するバッファ機能を有し、想定される温度変化の範囲内では、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ１内にある。

また、上側の動圧溝８ａ１は、軸方向中心ｍに対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。そのため、軸部材２の回転時、動圧溝８ａ１による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は上側領域が下側領域に比べて相対的に大きくなる。そして、この引き込み力の差圧によって、軸受スリーブ８の内周面８ａと軸部２ａの外周面２ａ１との間の隙間に満たされた潤滑油は、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間→蓋部材１０の上側端面１０ｂ１の半径方向溝１０ｂ１１→循環路１２→シール部材９の下側端面９ｂの外径側領域９ｂ１と軸受スリーブ８の上側端面８ｃとの間の環状隙間→軸受スリーブ８の上側端面８ｃの円周溝８ｃ１→軸受スリーブ８の上側端面８ｃの半径方向溝８ｃ２という経路を循環して、第１ラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間に再び引き込まれる。

このように、潤滑油がハウジング７の内部空間を流動循環するように構成することで、内部空間内の潤滑油の圧力が局部的に負圧になる現象を防止して、負圧発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや軸受性能の劣化、振動の発生等の問題を解消することができる。また、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際にシール空間Ｓ１内の潤滑油の油面（気液界面）から外気に排出されるので、気泡による悪影響はより一層効果的に防止される。

次に、上記構成からなる流体軸受装置１の製造工程を、ハウジング７を射出成形する工程を中心に以下説明する。

まず図４（ａ）に示すように、軸受スリーブ８の外周面８ｄに設けた軸方向溝８ｄ１に可溶性の循環路形成材１３を供給し、これを硬化させる。

循環路形成材１３は、本実施形態では、有機溶剤可溶性の樹脂を主成分（ベース樹脂）として構成される。使用可能な有機溶剤可溶性の樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルホルマール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸メチル樹脂、ポリスチレン、ナイロン、エチルセルロース、アセチルブチルセルロース、シェラック（天然樹脂）、アセチルセルロース等が挙げられる。なお、循環路形成材１３は、水溶性の樹脂を主成分として構成することもでき、この場合に使用可能な水溶性樹脂としては、例えば、デンプンやゼラチンに代表される天然素材、半合成のカルボキシメチルセルロース（ＣＭＣ）やメチルセルロース（ＭＣ）等のセルロース誘導体、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリアクリルアミド（ＰＡＭ）等の合成系のものを挙げることができる。また、上記のベース樹脂には、射出成形に対する耐圧性を付与するための強化材を含有させることもできる。

軸受スリーブ８の軸方向溝８ｄ１に対する循環路形成材１３の充填は、図示は省略するが、例えばマイクロディスペンサやインクジェット方式の印刷装置を用いて行われる。これらは、微小な幅の軸方向溝８ｄ１に精度良く循環路形成材１３を充填することができるから、特に好適である。

次いで、軸受スリーブ８は、図４（ｂ）に概念的に示すハウジング７の射出成形工程に移送される。同図に示す金型は、主に可動側の上型１４および固定側の下型１５からなり、両型１４，１５でハウジング７形状に対応したキャビティ１７が構成される。上型１４には、キャビティ１７内に溶融樹脂Ｐを射出するゲート１８が設けられる。ゲート１８形状は、成形すべきハウジング７の形状に対応させた任意形状のものが選択可能である。下型１５の軸線上には固定ピン１６が設けられ、軸受スリーブ８は固定ピン１６の外周に位置決め配置される。固定ピン１６の外周面１６ａは、例えば軸受スリーブ８を弾性的に圧入し得る程度の外径に設定されている。

上記構成の金型において、軸受スリーブ８を下型１５に位置決め配置した状態で上型１４を下型１５に接近させて型締めする。型締め完了後、ゲート１８を介してキャビティ１７内に溶融樹脂Ｐを射出・充填し、ハウジング７を軸受スリーブ８と一体に型成形する。

溶融樹脂Ｐを構成するベース樹脂としては、非晶性樹脂あるいは結晶性樹脂の何れも使用可能である。使用可能な非晶性樹脂としては、例えば、ポリサルフォン（ＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等が挙げられる。また使用可能な結晶性樹脂としては、例えば、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等を挙げられる。上記のベース樹脂には、これに種々の特性を付与する充填材を添加することができる。使用可能な充填材の種類にも特段の限定はないが、例えば、ガラス繊維等の繊維状充填材、チタン酸カリウム等のウィスカー状充填材、マイカ等の鱗片状充填材、カーボンファイバー、カーボンブラック、黒鉛、カーボンナノマテリアル、金属粉末等の繊維状又は粉末状の導電性充填材を用いることができる。これらの充填材は、単独で用いる他、二種以上を混合して使用しても良い。

溶融樹脂Ｐの固化完了後型開きを行うと、ハウジング７および軸受スリーブ８が一体となった成形品（軸受部材）２７が得られ、得られた軸受部材２７は循環路路形成材１３の除去工程に移送される。除去工程では、軸受部材２７の一端側から供給した有機溶剤で循環路形成材１３を溶解させることにより、循環路１２が形成される。

なお、使用可能な有機溶剤としては、塩素系溶剤、腐食性溶剤等の攻撃性が高い有機溶剤は除外するのが望ましく、例えば、９５％エタノール、ｎ−ブタノール、イソプロピルアルコール、酢酸メチル、酢酸ブチル、ｍ−クレゾール、ジオキサン、２−エトキシエタノール、アセトン、シクロヘキサン、トルエン、ニトロエタン、ピリジン、モルホリン等の有機溶剤が使用可能である。これらの有機溶剤は、ベース樹脂の種類に応じて適宜選択使用される。

ところで、上記構成の流体軸受装置１では、ハウジング７と軸受スリーブ８との間に形成した循環路１２の形状が、安定した軸受性能を確保する上で重要になる。そのため、上記のようにしてハウジング７を射出成形した後、循環路１２が貫通しているか否か、また貫通している場合でも所定の断面積を有するか否か等を評価（検査）する必要がある。本発明はこの検査方法に関するものであり、以下、その要旨を図５に基づいて詳述する。

図５に示す検査装置は、主に、軸受部材２７の一端側に配設される光線照射装置１９と、軸受部材２７の他端側に配設される受光部２２を有する受光板とで構成される。光線照射装置１９は、軸受部材２７（厳密には、ハウジング７と軸受スリーブ８の間に形成した循環路１２）に向かって光線２０を照射する光源を有する。光線照射装置１９の光源としては任意のものを使用することができるが、直進性に優れる光線２０を照射し得る光源が望ましく、例えば、ハロゲンランプ、ＬＥＤランプ、ＨＩＤランプ等が好適である。なお、光源は、循環路１２の形成領域にのみ光線２０を照射し得るもので足りる。一方、受光部２２を有する受光板には図示しない画像処理装置が接続されている。画像処理装置には、必要とされる循環路１２の断面積等に関する閾値が設定されている。

上記構成からなる検査装置において、光線照射装置１９と受光部２２との間に軸受部材２７を配設し、図示しない適宜の手段で軸受部材２７（ハウジング７）を保持する。次いで、光線照射装置１９から軸受部材２７に向けて光線２０を照射すると、循環路１２を通過した通過光２１が受光部２２に投影され、投影された通過光２１は、その断面積等が画像処理装置によってデータ化される。通過光２１のデータは、予め設定された閾値と比較され、これにより形成された循環路１２形状についての合否判定がモニタリング表示される。そして、循環路１２形状について合格判定がなされた軸受部材２７は、シール部材９等の他部材との組み付け工程に移送される。

このように受光部２２（受光板）に画像処理装置を接続し、循環路１２形状の合否判定が自動的になされるようにすれば、かかる合否判定が高速かつ高精度になされるが、受光部２２には、必ずしも画像処理装置を接続する必要はない。すなわち、図示は省略するが、例えば、軸受部材２７と受光部２２との間に拡大鏡等の拡大表示装置を配設し、受光部２２に投影される通過光２１を拡大表示させることにより、微小径である循環路１２形状の合否判定を目視によって行うこともできる。このようにすれば、前述した手法に比べ、検査装置の低廉化が図られる。

また、特段の図示は省略するが、受光部２２に投影された通過光２１形状に基づいて循環路１２形状の合否を判定するのではなく、循環路１２を通過した通過光２１形状を直接目視することによって、循環路１２形状の合否を判定することも可能である。この際、通過光２１の出射側に上述したような拡大表示装置を配設しておけば、目視による合否判定が容易にかつ精度良く行い得るため、好適である。

以上のように、循環路１２を通過させた通過光２１の形状に基づいて循環路１２の形状を評価するようにすれば、通過光２１を様々な形態に加工することができるため、数十μｍ〜数百μｍ程度の微小径とされる循環路１２の形状、より厳密には、循環路１２が貫通しているか否か、また循環路１２が所定の断面積を有するのか否か等を簡易にかつ正確に判定することができる。従って、軸受性能を安定的に維持することが可能となり、信頼性に富む流体軸受装置１を提供することができる。

特に、軸受スリーブ８に供給した循環路形成材１３を溶解させることにより循環路１２を形成する本実施形態においては、循環路形成材１３が軸受スリーブ８の軸方向溝８ｄ１に残存して所定の循環路１２が形成されない事態が比較的多発する傾向にある。これに対して上記態様の検査工程を経れば、循環路１２が所定形状に形成されているか否かを簡便に確認することができるため、望ましい。

なお、以上では、軸受スリーブ８の外周面８ｄに軸方向溝８ｄ１を設け、軸方向溝８ｄ１に対して循環路形成材１３を供給した場合について説明を行ったが、所定の精度で循環路形成材１３を供給できるのであれば、軸方向溝８ｄ１は必ずしも設ける必要はない。すなわち、循環路形成材１３は、軸受スリーブ８の外周面８ｄに直接供給することも可能である。かかる手法でハウジング７を射出成形した場合、ハウジング７の内周面７ａに凹状の溝が形成され、この溝と軸受スリーブ８の外周面８ｄとで循環路１２が形成される（図示は省略）。この場合でも、上述した検査方法で循環路１２の形状を容易にかつ正確に評価することができる。

また、本発明は、上記のように軸受スリーブ８に循環路形成材１３を供給した状態でハウジング７を射出成形し、その後循環路形成材１３を溶解させることで循環路１２を形成した場合にのみ限定適用されるものではない。例えば、機械加工等の後加工で任意の部位に循環路１２を形成した軸受部材の検査方法として、またあるいは予め外周面８ｄに軸方向溝８ｄ１を設けた軸受スリーブ８をハウジング７の内周に固定することによって循環路１２を形成した軸受部材の検査方法としても好適に用いることが可能である。

図６は、本発明にかかる検査方法を適用可能な流体軸受装置の第２実施形態を示している。同図に示す流体軸受装置１が上述した流体軸受装置と異なる主な点は、第２スラスト軸受部Ｔ２が、軸部材２に固定されたディスクハブ３の下側端面３ａとハウジング７の上側端面７ｂとの間に設けられた点、およびシール空間Ｓ１がハウジング７の上部外周面７ｃとディスクハブ３の内周面３ｂとの間に形成された点にある。これ以外の構成は、図２に示す流体軸受装置１に準ずるので、共通の参照番号を付して重複説明を省略する。

流体軸受装置を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一例を概念的に示す断面図である。 本発明を適用可能な流体軸受装置の第１実施形態を示す断面図である。 ハウジングの内周に軸受スリーブを固定した状態を示す図であり、（ａ）図はその断面図、（ｂ）図はその下面図である。 （ａ）図は軸受スリーブに設けた軸方向溝に循環路形成材を供給する工程を概念的に示す断面図、（ｂ）図はハウジングを射出成形する工程を概念的に示す断面図である。 軸受部材の検査工程を概念的に示す斜視図である。 本発明を適用可能な流体軸受装置の第２実施形態を示す断面図である。

符号の説明

１ 流体軸受装置
２ 軸部材
７ ハウジング
８ 軸受スリーブ
８ｄ１ 軸方向溝
１２ 循環路
１３ 循環路形成材
１９ 光線照射装置
２０ 光線
２１ 通過光
２２ 受光部
Ｒ１、Ｒ２ ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２ スラスト軸受部

Claims (6)

1. 軸受部材の両端面に開口した循環路を形成した後、循環路を通過させた通過光の形状に基づいて循環路形状の良否を判定することを特徴とする流体軸受装置用軸受部材の検査方法。
2. 通過光を、通過光の進行方向延長線上に配置した受光部上に投影させる請求項１に記載の流体軸受装置用軸受部材の検査方法。
3. 受光部上に投影された通過光の形状を目視によって評価することにより、循環路形状の良否を判定する請求項２に記載の流体軸受装置用軸受部材の検査方法。
4. 受光部上に投影された通過光の形状を拡大表示する請求項３に記載の流体軸受装置用軸受部材の検査方法。
5. 受光部上に投影された通過光の形状をデータ化し、このデータを予め設定した閾値と比較することにより、循環路形状の良否を判定する請求項２に記載の流体軸受装置用軸受部材の検査方法。
6. 軸受部材は、ハウジングと、ハウジングの内周に配設された軸受スリーブとを備えるものであり、
   循環路が、軸受スリーブの表面に循環路形成材を供給した状態でハウジングを射出成形した後、循環路形成材を除去して形成されたものである請求項１に記載の流体軸受装置用軸受部材の検査方法。

Images