JP2009093985A - エキシマランプ - Google Patents

Abstract

【課題】 真空紫外光を効率よく反射することのできる紫外線反射膜が得られて真空紫外光を効率よく出射することができ、しかも、紫外線反射膜が剥がれることを確実に防止することのできるエキシマランプを提供すること。
【解決手段】 放電空間を有するシリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器を形成するシリカガラスが介在する状態で一対の電極が設けられると共に、放電空間内にキセノンガスが封入されてなるエキシマランプにおいて、放電容器の放電空間に曝される表面には、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成された紫外線反射膜が形成されており、紫外線反射膜の膜厚Ｙ（μｍ）は、紫外線散乱粒子の中心粒径をＸ（μｍ）とするとき、Ｙ＞４Ｘ＋５の関係を満足するよう構成されている。紫外線反射膜は、シリカ粒子の含有割合が３０ｗｔ％以上とされていることが好ましい。
【選択図】 図１

Description

本発明は、シリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器の放電空間に曝される表面に、紫外線反射膜が形成されてなるエキシマランプに関する。

近年、例えば金属、ガラスおよびその他の材料よりなる被処理体に、波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を照射することにより、当該真空紫外光およびこれにより生成されるオゾンの作用によって被処理体の表面処理、例えば洗浄処理、成膜処理、アッシング処理を行う技術が開発され、実用化されている。

真空紫外光を照射する装置としては、例えば、エキシマ放電によってエキシマ分子を形成し、当該エキシマ分子から放射される光を利用するエキシマランプを光源として具えてなるものが用いられており、このようなエキシマランプにおいては、より高強度の紫外線を効率よく放射するために多くの試みがなされている。
具体的には、例えば、図６を参照して説明すると、紫外線を透過するシリカガラスよりなる放電容器（５１）を備え、この放電容器（５１）の内側と外側にそれぞれ電極（５５，５６）が設けられてなるエキシマランプ（５０）において、放電容器（５１）の放電空間（Ｓ）に曝される表面に、紫外線反射膜（２０）を形成することが行われており、例えば、紫外線反射膜を、紫外線反射率が高い紫外線散乱粒子、例えばシリカ、酸化アルミニウム（アルミナ）、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、酸化マグネシウムなどにより形成する技術が開示されている（特許文献１参照）。
このエキシマランプ（５０）においては、放電容器（５１）の一部に、紫外線反射膜（２０）が形成されていないことにより放電空間（Ｓ）内で発生した紫外線を出射する光出射部（５８）が形成されている。

このような構成のエキシマランプ（５０）においては、紫外線反射膜に入射される放電空間（Ｓ）内で発生した紫外線が拡散反射されて、すなわち、複数の紫外線散乱粒子の表面での屈折、反射が繰り返し行われて、光出射部（５８）から出射される。

特許第３５８０２３３号公報

而して、上記構成の紫外線反射膜を備えたエキシマランプにおいては、紫外線反射膜に入射する紫外線が当該紫外線反射膜を透過してしまい、紫外線の反射率が低下するという問題が生じることを防止するために、紫外線反射膜を適正な膜厚で形成することが必要とされる。
そこで、本発明者らは、紫外線反射膜を構成する紫外線散乱粒子の中心粒径の大きさとの関係において、紫外線反射膜の膜厚を設定することにより、紫外線を効率よく利用することができることを見出し、本発明を完成させるに至った。

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、放電空間内で発生した真空紫外線を効率よく反射することのできる紫外線反射膜を得ることができて真空紫外光を効率よく出射することができ、しかも、紫外線反射膜が放電容器から剥がれることを確実に防止することのできるエキシマランプを提供することを目的とする。

本発明のエキシマランプは、放電空間を有するシリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器を形成するシリカガラスが介在する状態で一対の電極が設けられると共に、放電空間内にキセノンガスが封入されてなるエキシマランプにおいて、
前記放電容器の放電空間に曝される表面には、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成された紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜の膜厚Ｙ（μｍ）は、紫外線反射膜を構成する紫外線散乱粒子の中心粒径をＸ（μｍ）とするとき、Ｙ＞４Ｘ＋５の関係を満足することを特徴とする。

本発明のエキシマランプにおいては、前記紫外線反射膜が、シリカ粒子の含有割合が３０ｗｔ％以上である構成とされていることが好ましい。

本発明のエキシマランプによれば、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成された紫外線反射膜が、紫外線散乱粒子の中心粒径の大きさとの関係において設定された適正な大きさの膜厚で形成されていることにより、真空紫外光を紫外線反射膜によって確実に拡散反射させることができるので、真空紫外光を効率よく出射することができ、しかも、紫外線反射膜に含有されるシリカ粒子が放電容器を形成するシリカガラスに対する高い接着性を有することから、紫外線反射膜が放電容器から剥がれることを確実に防止することができる。

図１は、本発明のエキシマランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
このエキシマランプ１０は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Ｓが形成された、断面矩形状の中空長尺状の放電容器１１を備えており、この放電容器１１の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。
放電容器１１は、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスよりなり、誘電体としての機能を有する。

放電容器１１における長辺面の外表面には、一対の格子状の電極、すなわち、高電圧給電電極として機能する一方の電極１５および接地電極として機能する他方の電極１６が長尺な方向に伸びるよう対向して配置されており、これにより、一対の電極１５，１６間に誘電体として機能する放電容器１１が介在された状態とされている。
このような電極は、例えば、金属よりなる電極材料を放電容器１１にペースト塗布することにより、あるいは、プリント印刷することによって形成することができる。

このエキシマランプ１０においては、一方の電極１５に点灯電力が供給されると、誘電体として機能する放電容器１１の壁を介して両電極１５，１６間に放電が生成され、これにより、エキシマ分子が形成されると共にこのエキシマ分子から例えば波長１７０ｎｍ付近にピーク値を有する真空紫外光が放射されるエキシマ放電が生ずるが、このエキシマ放電によって発生する真空紫外光を効率良く利用するために、放電容器１１の放電空間Ｓに曝される内表面に、紫外線反射膜２０が設けられている。

紫外線反射膜２０は、例えば、放電容器１１における長辺面の、高電圧給電電極として機能する一方の電極１５に対応する内表面領域とこの領域に連続する短辺面の内表面領域の一部にわたって形成されており、放電容器１１における長辺面の、接地電極として機能する他方の電極１６に対応する内表面領域において紫外線反射膜２０が形成されていないことによって光出射部（アパーチャ部）１８が構成されている。

紫外線反射膜２０は、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成されており、アルミナ粒子がシリカ粒子と混在されてなるもの、例えばシリカ粒子とアルミナ粒子との堆積体により構成することができる。
紫外線反射膜２０は、シリカ粒子およびアルミナ粒子それ自体が高い屈折率を有する真空紫外光透過性を有するものであることから、シリカ粒子またはアルミナ粒子に到達した真空紫外光の一部が粒子の表面で反射されると共に他の一部が屈折して粒子の内部に入射され、さらに、粒子の内部に入射される光の多くが透過され（一部が吸収）、再び、出射される際に屈折される、このような反射、屈折が繰り返し起こる「拡散反射」をさせる機能を有する。
また、紫外線反射膜２０は、シリカ粒子およびアルミナ粒子、すなわちセラミックスにより構成されていることにより、不純ガスを発生させず、また、放電に耐えられる特性を有する。

紫外線反射膜２０を構成するシリカ粒子は、ガラス状態のものであっても、結晶状態のものであっても、いずれの状態のものであってもよいが、ガラス状態のものを用いることが好ましく、例えばシリカガラスを粉末状に細かい粒子としたものなどを用いることができる。
シリカ粒子は、以下のように定義される粒子径が例えば０．０１〜２０μｍの範囲内にあるものであって、中心粒径（数平均粒子径のピーク値）が、例えば０．１〜１０μｍであるものが好ましく、より好ましくは０．３〜３μｍであるものである。
また、中心粒径を有するシリカ粒子の割合が５０％以上であることが好ましい。

紫外線反射膜２０を構成するアルミナ粒子は、以下のように定義される粒子径が例えば０．１〜１０μｍの範囲内にあるものであって、中心粒径（数平均粒子径のピーク値）が、例えば０．１〜３μｍであるものが好ましく、より好ましくは０．３〜１μｍであるものである。
また、中心粒径を有するアルミナ粒子の割合が５０％以上であることが好ましい。

紫外線反射膜２０を構成するシリカ粒子およびアルミナ粒子の「粒子径」とは、紫外線反射膜２０をその表面に対して垂直方向に破断したときの破断面における、厚み方向におけるおよそ中間の位置を観察範囲として、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって拡大投影像を取得し、この拡大投影像における任意の粒子を一定方向の２本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔であるフェレー（Ｆｅｒｅｔ）径をいう。
具体的には、図２（ａ）に示すように、略球状の粒子Ａおよび粉砕粒子形状を有する粒子Ｂなどの粒子が単独で存在している場合には、当該粒子を一定方向（例えば紫外線反射膜２０の厚み方向）に伸びる２本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔を粒径ＤＡ，ＤＢとする。
また、出発材料の粒子が溶融して接合した形状を有する粒子Ｃについては、図２（ｂ）に示すように、出発材料である粒子Ｃ１，Ｃ２と判別される部分における球状部分のそれぞれについて、一定方向（例えば紫外線反射膜２０の厚み方向）に伸びる２本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔を測定し、これを当該粒子の粒径ＤＣ１，ＤＣ２とする。

紫外線反射膜２０を構成するシリカ粒子およびアルミナ粒子の「中心粒径」とは、上記のようして得られる各粒子の粒子径についての最大値と最小値との粒子径の範囲を、例えば０．１μｍの範囲で、複数の区分例えば１５区分程度に分け、それぞれの区分に属する粒子の個数（度数）が最大となる区分の中心値をいう。

シリカ粒子およびアルミナ粒子が、真空紫外光の波長と同程度である上記範囲の粒子径を有するものであることにより、真空紫外光を効率よく拡散反射させることができる。

上記エキシマランプ１０における紫外線反射膜２０に含有されるシリカ粒子の割合は、例えば３０ｗｔ％以上であることが好ましく、より好ましくは４０ｗｔ％以上である。これにより、紫外線反射膜２０の放電容器１１に対する十分な接着性を得ることができ、紫外線反射膜２０が放電容器から剥がれることを確実に防止することができる。
また、紫外線反射膜２０におけるアルミナ粒子の割合は、シリカ粒子とアルミナ粒子との合計の、例えば１ｗｔ％以上であることが好ましく、より好ましくは５ｗｔ％であり、更に好ましくは１０ｗｔ％以上であって、７０ｗｔ％以下であることが好ましい。アルミナ粒子は、シリカ粒子よりも高い屈折率を有するため、アルミナ粒子が含有されていることにより、シリカ粒子のみからなる紫外線反射膜２０に比して、高い反射率を得ることができる。

以上において、上記エキシマランプ１０における紫外線反射膜２０の膜厚Ｙ（μｍ）は、紫外線反射膜２０を構成する紫外線散乱粒子の中心粒径をＸ（μｍ）とするとき、Ｙ＞４Ｘ＋５の関係を満足する状態とされている。
紫外線散乱粒子の粒子径が紫外線反射膜２０の膜厚の大きさに対して大きすぎる場合には、紫外線反射膜２０における紫外線散乱粒子の密度が小さくなるために、当該紫外線反射膜２０に入射される真空紫外光が紫外線反射膜２０を透過する蓋然性が高くなって反射率が低下するおそれがある。また、紫外線散乱粒子の粒子径が小さい場合には、紫外線反射膜２０の膜厚を小さくした場合であっても、紫外線反射膜２０に入射される真空紫外光を十分に拡散反射させることができて高い照度を得ることができることから、紫外線反射膜２０の膜厚の下限値（必要膜厚）は、絶対値ではなく、紫外線散乱粒子の中心粒径との関係において設定される。
また、紫外線反射膜２０の膜厚を大きくすると、反射率が高くなる傾向にあるが、ある一定の厚み以上になるとそれ以上反射率は高くならず、逆に、放電容器１１内の放電ガスが充填されている放電空間Ｓに印加される電圧が膜厚が大きくなるに従って低下するためにランプの放電開始電圧が高くなって、エキシマランプを点灯させることができなくなる、という問題が生ずること、および、膜厚を大きくしすぎると、紫外線反射膜２０が剥がれやすくなり、例えばランプ輸送中の振動などにより剥がれることがあるという問題が生ずることから、紫外線反射膜２０の膜厚の上限値は、このような問題が生ずることが確実に防止されながら、十分な反射率が得られるよう設定されるものであり、例えば１０００μｍである。

このような紫外線反射膜２０は、例えば「流下法」と呼ばれる方法により、形成することができる。すなわち、水とＰＥＯ樹脂（ポリエチレンオキサイド）を組み合わせた粘性を有する溶剤に、シリカ粒子、または、シリカ粒子およびアルミナ粒子を混ぜて分散液を調製し、この分散液を放電容器形成材料内に流し込むことにより、放電容器形成材料の内表面における所定の領域に付着させた後、乾燥、焼成することにより水とＰＥＯ樹脂を蒸発させることにより、紫外線反射膜２０を形成することができる。
ここに、形成すべき紫外線反射膜２０の膜厚の大きさは、分散液の粘度を調整することにより調整することができ、例えば粘度を低くすることにより紫外線反射膜２０の膜厚を薄くすることができ、粘度を高くすることにより紫外線反射膜２０の膜厚を厚くすることができる。
紫外線反射膜２０を形成するに際して用いられるシリカ粒子およびアルミナ粒子の製造は、固相法、液相法、気相法のいずれの方法も利用することができるが、これらのうちでも、サブミクロン、ミクロンサイズの粒子を確実に得ることができることから、気相法、特に化学蒸着法（ＣＶＤ）が好ましい。
具体的には、例えば、シリカ粒子は、塩化ケイ素と酸素を９００〜１０００℃で反応させることにより、アルミナ粒子は、原料の塩化アルミニウムと酸素を１０００〜１２００℃で加熱反応させることにより、合成することができ、粒子径は、原料濃度、反応場での圧力、反応温度を制御することにより調整することができる。

而して、上記構成のエキシマランプ１０によれば、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成された紫外線反射膜２０が、紫外線散乱粒子の中心粒径の大きさとの関係において設定された適正な大きさの膜厚で形成されていることにより、真空紫外光を紫外線反射膜２０によって確実に拡散反射させることができるので、真空紫外光を効率よく出射することができ、しかも、紫外線反射膜２０に含有されるシリカ粒子が放電容器１１を形成するシリカガラスに対して高い接着性を有することから、紫外線反射膜２０が放電容器１１から剥がれることを確実に防止することができる。

更には、一般に、エキシマランプにおいては、エキシマ放電に伴って、プラズマが発生することが知られているが、上記のような構成のエキシマランプにおいては、プラズマが紫外線反射膜に対して略直角に入射して作用することになるため、紫外線反射膜の温度が局所的に急激に上昇され、紫外線反射膜が例えばシリカ粒子のみからなるものであれば、プラズマの熱によって、シリカ粒子が溶融されて粒界が消失されてしまうことがあり、真空紫外光を確実に拡散反射させることができなくなって反射率が低下するおそれがある。 然るに、紫外線反射膜２０がシリカ粒子とアルミナ粒子とからなることにより、上記構成のエキシマランプ１０によれば、プラズマによる熱にさらされた場合であっても、シリカ粒子より高い融点を有するアルミナ粒子は溶融しないため、互いに隣接するシリカ粒子とアルミナ粒子とが粒子同士で結合されることが防止されて粒界が維持されるので、長時間点灯された場合であっても、真空紫外光を効率よく拡散反射させることができて初期の反射率を維持することができる結果、真空紫外光を効率よく出射することができ、しかも、アルミナ粒子が混入されることによる紫外線反射膜２０の放電容器１１に対する接着性（結着性）が大幅に低下することがないため、紫外線反射膜２０が放電容器１１から剥がれることを確実に防止することができる。

また、エキシマ発光が生じる放電空間Ｓに曝される放電容器１１の内表面に紫外線反射膜２０が形成されていることにより、放電空間Ｓ内の真空紫外線が光出射部１８以外の領域におけるシリカガラスに入射されることに伴う紫外線歪みによるダメージを小さくすることができ、クラックが発生することを防止することができる。

以下、本発明の効果を確認するために行った実験例を説明する。
＜実験例１＞
図１に示す構成に従って、紫外線反射膜の構成が下記表１に従って変更されたことの他は同一の構成を有する７種類のエキシマランプにおいて、各々、紫外線反射膜の膜厚を１〜８０μｍの範囲内で適宜に変更したエキシマランプを作製した。各エキシマランプの基本構成は以下に示す通りである。
〔エキシマランプの基本構成〕
放電容器は、材質が合成石英ガラスであって、寸法が１０×４２×１５０ｍｍ、肉厚が２．５ｍｍであるものである。
放電容器内に封入される放電用ガスは、キセノンガスであり、その封入量は４０ｋＰａである。
高電圧供給電極および接地電極の寸法は、３０×１００ｍｍである。
紫外線反射膜を構成するシリカ粒子は、中心粒径を有する粒子の割合が５０％であるものであり、アルミナ粒子は、中心粒径を有する粒子の割合が５０％であるものである。
紫外線反射膜は、流下法によって、焼成温度を１０００℃として得られたものである。

シリカ粒子およびアルミナ粒子の粒子径は、出発材料の粒子径ではなく、紫外線反射膜における粒子径であって、シリカ粒子の粒子径およびアルミナ粒子の粒子径は、日立製電界放射型走査電子顕微鏡「Ｓ４１００」を用いて、加速電圧を２０ｋＶとし、拡大投影像における観察倍率を、粒子径が０．０５〜１μｍである粒子については２００００倍、粒子径が１〜１０μｍである粒子については２０００倍として、測定した。

各エキシマランプについて、１５０〜２００ｎｍの波長域の真空紫外光の照度を測定し、紫外線反射膜を有さないエキシマランプの当該波長域の光の照度を１とした場合の照度相対値を調べた。結果を図３に示す。
照度測定は、図４に示すように、アルミニウム製容器３０の内部に配置されたセラミックス製の支持台３１上に、エキシマランプ１０を固定すると共に、エキシマランプ１０の表面から１ｍｍ離れた位置において、エキシマランプ１０に対向するよう紫外線照度計３５を固定し、アルミニウム製容器３０の内部雰囲気を窒素で置換した状態において、エキシマランプ１０の電極１５，１６間に５ｋＶの交流高電圧を印加することにより、放電容器１１の内部に放電を発生させ、他方の電極（接地電極）１６の網目を介して放射される１５０〜２００ｎｍの波長域の真空紫外光の照度を測定した。

紫外線反射膜が設けられたエキシマランプにおいては、紫外線反射膜を有さないエキシマランプに比して２割以上高い照度を有すること、すなわち、照度相対値が１．２以上であれば、実用上十分な効果が得られるものと判断することができ、従って、照度相対値を１．２以上とするために必要とされる紫外線反射膜の膜厚（必要膜厚）を図３に基づいて求めたところ、下記表２に示される結果が得られた。

そして、図５に示す結果から明らかなように、紫外線反射膜の必要膜厚と、紫外線反射膜を構成する紫外線散乱粒子（シリカ粒子とアルミナ粒子）の中心粒径とは線形の関係にあって直線により近似することができ、照度相対値を１．２以上とするための紫外線反射膜の膜厚（必要膜厚）Ｙ（μｍ）は、紫外線散乱粒子の中心粒径Ｘ（μｍ）との関係において、Ｙ＝４Ｘ＋５で示される近似直線Ｌより上の領域における大きさ（Ｙ＞４Ｘ＋５）であれば、紫外線反射膜を所期の反射特性を有するものとして構成することができて真空紫外光を効率よく出射することができることが確認された。

＜実験例２＞
上記実験例１において作製したエキシマランプ５において、紫外線反射膜を構成するシリカ粒子とアルミナ粒子の含有割合を下記表３に従って変更したことの他は、上記実験例１で用いたエキシマランプ５と同一の基本構成を有する６種類のエキシマランプ（５，８〜１２）を各々１０本ずつ作製し、各エキシマランプについて、紫外線反射膜の剥がれの有無を目視にて観察した。結果を下記表３に示す。

以上の結果より、紫外線反射膜におけるシリカ粒子の含有割合が３０ｗｔ％以上であることにより、紫外線反射膜の剥がれが生じないことが確認された。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
本発明は、上記構成のエキシマランプに限定されるものではなく、図６に示すような、二重管構造のエキシマランプや、図７に示すような、いわゆる「角型」のエキシマランプにも適用することができる。
図６に示すエキシマランプ５０は、シリカガラスよりなる円筒状の外側管５２と、この外側管５２内においてその管軸に沿って配置された、当該外側管５２の内径より小さい外径を有する例えばシリカガラスよりなる円筒状の内側管５３とを有し、外側管５２と内側管５３とが両端部において溶融接合されて外側管５２と内側管５３との間に環状の放電空間Ｓが形成されてなる二重管構造の放電容器５１を備えており、例えば金属よりなる一方の電極（高電圧供給電極）５５が内側管５３の内周面に密接して設けられていると共に、例えば金網などの導電性材料よりなる他方の電極５６が外側管５２の外周面に密接して設けられており、放電空間Ｓ内に、例えばキセノンガスなどのエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されて、構成されている。
このような構成のエキシマランプ５０においては、例えば放電容器５１の内側管５３の内表面における全周にわたって上記紫外線反射膜２０が設けられると共に、外側管５２の内表面に、光出射部５８を形成する一部分の領域を除いてシリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線反射膜２０が設けられる。

また、図７に示すエキシマランプ４０は、例えば合成シリカガラスよりなる断面長方形の放電容器４１を備えてなり、放電容器４１の互いに対向する外表面に金属よりなる一対の外側電極４５，４５が放電容器４１の管軸方向に延びるように配設されると共に、放電用ガスである例えばキセノンガスが放電容器４１内に充填されている。図７において、符号４２は排気管であり、符号４３は例えばバリウムよりなるゲッターである。
このような構成のエキシマランプ４０においては、放電容器４１の内表面における、各々の外側電極４５，４５に対応する領域およびこれらの領域に連続する一方の内面領域にわたって、上記紫外線反射膜２０が設けられ、紫外線反射膜２０が設けられていないことにより光出射部４４が形成されている。

本発明のエキシマランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。 シリカ粒子およびアルミナ粒子の粒子径の定義を説明するための説明図である。 実験例における各エキシマランプの照度相対値の測定結果を示すグラフである。 実験例におけるエキシマランプの照度の測定方法を説明するための断面図である。 照度相対値が１．２以上とされるときの、紫外線散乱粒子の中心粒径と、紫外線反射膜の必要膜厚との関係を示すグラフである。 本発明のエキシマランプの更に他の例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す横断面図、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。 本発明のエキシマランプの他の例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）の紙面に垂直な平面による断面を示す断面図である。

符号の説明

１０ エキシマランプ
１１ 放電容器
１５ 一方の電極（高電圧供給電極）
１６ 他方の電極（接地電極）
１８ 光出射部（アパーチャ部）
２０ 紫外線反射膜
３０ アルミニウム製容器
３１ 支持台
３５ 紫外線照度計
４０ エキシマランプ
４１ 放電容器
４２ 排気管
４３ ゲッター
４４ 光出射部
４５ 外側電極
５０ エキシマランプ
５１ 放電容器
５２ 外側管
５３ 内側管
５５ 一方の電極（高電圧供給電極）
５６ 他方の電極
５８ 光出射部
Ｓ 放電空間

Claims (2)

1. 放電空間を有するシリカガラスよりなる放電容器を備え、当該放電容器を形成するシリカガラスが介在する状態で一対の電極が設けられると共に、放電空間内にキセノンガスが封入されてなるエキシマランプにおいて、
   前記放電容器の放電空間に曝される表面には、シリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線散乱粒子により構成された紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜の膜厚Ｙ（μｍ）は、紫外線反射膜を構成する紫外線散乱粒子の中心粒径をＸ（μｍ）とするとき、Ｙ＞４Ｘ＋５の関係を満足することを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記紫外線反射膜は、シリカ粒子の含有割合が３０ｗｔ％以上であるものであることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

Images