JP2009092657A - Optical film inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光学フィルム検査装置に関し、より詳細には、光学フィルムの不良要素の検出時、光学フィルムの平坦度を確保するとともに、速い検査速度を実現することができる光学フィルム検査装置に関する。 The present invention relates to an optical film inspection apparatus, and more particularly to an optical film inspection apparatus capable of ensuring flatness of an optical film and realizing a high inspection speed when a defective element of an optical film is detected.
平板ディスプレイ産業に主に用いられる光学フィルムは、製造工程または取り扱い過程で不良が発生し、光学フィルムの不良は、LCDパネルやPDPモジュールの不良を誘発する主な原因となる。このような不良を含んでいる光学フィルムの流出を防止するために、光学フィルムを製造する企業は検査工程を運用させており、作業者の目視検査及び映像(ビジョン)を用いた自動検査装置を使用した検査を併行している。一方、技術の発展にともない、作業者の目視検査を効果的に代替できる光学フィルムの自動検査装置の導入や適用が増えている傾向にある。 An optical film mainly used in the flat panel display industry has a defect in a manufacturing process or a handling process, and the defect of the optical film is a main cause of causing a defect of an LCD panel or a PDP module. In order to prevent the outflow of the optical film containing such defects, the company that manufactures the optical film operates an inspection process, and employs an automatic inspection device using visual inspection and video (vision) of the worker. Concurrent with the inspection used. On the other hand, with the development of technology, the introduction and application of automatic inspection equipment for optical films that can effectively replace the visual inspection of workers tends to increase.
光学フィルムの検査方法は大別して2種類ある。1つは、連続した状態で生産される光学フィルムを切断する前に、ロール状態で検査するロール検査方法であり、他の1つは、光学フィルムを適正な大きさに切断した後、シート状態で検査するシート検査方法である。 There are roughly two types of inspection methods for optical films. One is a roll inspection method in which the optical film produced in a continuous state is cut before being cut, and the other is a sheet state after the optical film is cut to an appropriate size. This is a sheet inspection method for inspecting.
シート状態の光学フィルムの検査は、光学フィルムの製造工程が完了した後に行う最終検査であって、製造工程において発生する様々な不良を検出しなければならないため、その光学フィルムの検査においては、映像(ビジョン)の獲得、例えば、照明部材やカメラなどを用いた正確な映像の獲得を行うことが、自動検査処理による不良品の流出防止の最も重要な技術課題である。様々な不良に対応するためには、不良の種類に応じて別個の映像獲得方法を適用しなければならず、適用された映像獲得方法に合わせた数の不良要素の映像獲得のための光学系を検査装備に設置しなければならない。 The inspection of the optical film in the sheet state is a final inspection that is performed after the optical film manufacturing process is completed, and various defects that occur in the manufacturing process must be detected. Acquisition of (vision), for example, acquisition of an accurate image using a lighting member, a camera, or the like, is the most important technical issue for preventing the outflow of defective products by automatic inspection processing. In order to deal with various defects, a separate image acquisition method must be applied according to the type of defect, and an optical system for acquiring images of a number of defective elements in accordance with the applied image acquisition method. Must be installed in the inspection equipment.
シート状態の光学フィルムを順次自動検査装備に投入すると、コンベヤー、ロールなどを用いて光学フィルムを移送させるようになり、移送途中、複数個の光学系を通過しつつ、各光学系が専担している光学フィルムの一定部分が含んでいる不良要素の映像を獲得するようになる。しかし、特定不良要素の場合、映像獲得条件が極めて厳しく、通常許容できる良好な水準のシワや屈曲を有している光学フィルムの場合にも映像獲得が不可能であって、一般的なコンベヤーやロール方式の移送方式を利用して光学フィルムを移送させることができない。 When the optical film in the sheet state is sequentially put into the automatic inspection equipment, the optical film is transferred using a conveyor, roll, etc., and each optical system is dedicated while passing through a plurality of optical systems during the transfer. An image of a defective element included in a certain part of the optical film is acquired. However, in the case of a specific defective element, the image acquisition conditions are extremely strict, and even in the case of an optical film having a good level of wrinkles and bends that are usually acceptable, image acquisition is impossible. The optical film cannot be transferred using a roll-type transfer method.
前記不良要素の映像獲得のために、光学フィルムの四隅をクランピング部材を用して1〜2mmほど把持した(掴んだ)後、一定の圧力で引張る装置が開発され使用されている。しかし、従来の技術に係る光学フィルム検査装置は、光学フィルムを固定し、検査のために平らに維持するのに掛かる時間が長くなるという問題点がある。すなわち、光学フィルムをクランピング部材に供給し、正確な位置に光学フィルムを整列させた後、クランピング部材を用いて光学フィルムの四隅を同時にクランピングし、クランピングされた光学フィルムを同時に外側に引張った状態で光学フィルム及びクランピング部材が同時に移動する一連の工程に掛かる時間は、20秒から、長い場合には60秒ほどになり、全体の検査工程時間が増えるという問題点がある。 In order to acquire an image of the defective element, an apparatus has been developed and used in which an optical film is gripped (gripped) by 1 to 2 mm using a clamping member and then pulled at a constant pressure. However, the optical film inspection apparatus according to the prior art has a problem that it takes a long time to fix the optical film and keep it flat for inspection. That is, after supplying the optical film to the clamping member and aligning the optical film at the correct position, the clamping member is used to clamp the four corners of the optical film at the same time, and the clamped optical film is simultaneously moved outward. There is a problem that the time required for a series of processes in which the optical film and the clamping member move simultaneously in the tensioned state is from 20 seconds to 60 seconds in the case of a long time, and the entire inspection process time is increased.
また、クランピング部材の組立状態及び加工状態によって映像獲得条件が変わるという問題点があり、検査の対象になる光学フィルムの種類に応じてクランピング部材の位置、クランピング部材の圧力、クランピング部材間の間隔、使用する空圧配管、光学フィルムをクランピングした後、引張る距離などの条件を全て再設定しなければならないという問題点がある。 In addition, there is a problem that the image acquisition conditions vary depending on the assembled state and the processed state of the clamping member. The position of the clamping member, the pressure of the clamping member, the clamping member depending on the type of optical film to be inspected There is a problem in that all the conditions such as the distance between the two, the pneumatic piping to be used, and the clamping distance after the optical film are clamped must be reset.
本発明は、上記した従来の技術の問題を解決するために提案されたものであって、その目的は、光学フィルムの隅部を直接接触せずに、光学フィルムを一方向に進行させ、かつ、その光学フィルムを平らに維持させるために、光学フィルムの上下面に空気を噴射する非接触式クランピング部材を採用することによって、光学フィルムの不良要素を検出するのに掛かる時間を低減することができる光学フィルム検査装置を提供することにある。 The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems of the prior art, and its purpose is to allow the optical film to travel in one direction without directly contacting the corners of the optical film, and In order to keep the optical film flat, by adopting a non-contact type clamping member that injects air onto the upper and lower surfaces of the optical film, the time taken to detect defective elements of the optical film is reduced. An object of the present invention is to provide an optical film inspection apparatus capable of
また、検査される光学フィルムの種類が変更されても、クランピング部材の配置構造を再設定する必要がないため、多品種少量生産の構造において、光学フィルムの検査に掛かる時間を無くすことができる光学フィルム検査装置を提供することにある。 Even if the type of the optical film to be inspected is changed, it is not necessary to reset the arrangement structure of the clamping member, so that it is possible to eliminate the time required for the inspection of the optical film in the structure of high-mix low-volume production. The object is to provide an optical film inspection apparatus.
そこで、上記の目的を達成するための本発明の光学フィルム検査装置は、光学フィルムの不良要素を検出する光学フィルム検査装置であって、相対向して離隔するように形成される一対の平面と、前記光学フィルムに空気を噴射するために、前記平面にそれぞれ形成された複数の噴射口とを備え、前記平面間に流入された光学フィルムの上下面に空気を噴射し、その光学フィルムを平らに維持させるクランピング部材と、前記光学フィルムに光を照射する照明部材と、前記光学フィルムから反射される、または前記光学フィルムを透過する光を受光して、前記光学フィルムの不良要素を撮影するカメラ部材とを備えることを特徴とする。 Therefore, an optical film inspection apparatus of the present invention for achieving the above object is an optical film inspection apparatus for detecting defective elements of an optical film, and a pair of planes formed so as to be opposed to each other. In order to inject air into the optical film, a plurality of injection ports respectively formed in the plane are provided, and air is injected onto the upper and lower surfaces of the optical film flowing between the planes, and the optical film is flattened. A clamping member to be maintained, a lighting member for irradiating the optical film with light, and light reflected from the optical film or transmitted through the optical film to receive defective elements of the optical film And a camera member.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記クランピング部材は、第1のクランプと、前記光学フィルムの進行方向に前記第1のクランプから離隔するように設置される第2のクランプとを備え、前記平面は、前記第1のクランプに形成され、相対向して離隔するように形成される一対の第1の平面と、前記第2のクランプに形成され、相対向して離隔するように形成される一対の第2の平面とを備える。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the clamping member is a first clamp, and a second clamp installed so as to be separated from the first clamp in the traveling direction of the optical film. The plane is formed on the first clamp and is formed to be spaced apart from each other, and the pair of first planes is formed on the second clamp and is spaced apart from each other. A pair of second planes formed as described above.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、各々の前記第1のクランプ及び前記第2のクランプは、前記光学フィルムの進行方向と平行な方向に往復動可能に設置される。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, each of the first clamp and the second clamp is installed so as to be able to reciprocate in a direction parallel to the traveling direction of the optical film.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記クランピング部材は、前記第1のクランプを往復動させる第1の水平移動手段と、前記第2のクランプを往復動させる第2の水平移動手段とをさらに備え、各々の前記第1の水平移動手段及び前記第2の水平移動手段は、駆動モータと、該駆動モータの回転力が伝達されて回転する従動軸と、該従動軸に同軸的に結合されて回転する水平移動カムと、前記第1のクランプまたは第2のクランプに連結され、前記水平移動カムと接触して前記水平移動カムの回転力が伝達されて前記第1のクランプまたは第2のクランプを往復動させる水平移動カムフォロワーとを備える。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the clamping member includes a first horizontal moving means for reciprocating the first clamp and a second horizontal movement for reciprocating the second clamp. Each of the first horizontal moving means and the second horizontal moving means includes a drive motor, a driven shaft that is rotated by transmission of a rotational force of the drive motor, and is coaxial with the driven shaft. And a horizontal movement cam that is coupled and rotated, and is connected to the first clamp or the second clamp, and is in contact with the horizontal movement cam to transmit the rotational force of the horizontal movement cam to thereby transmit the first clamp. Alternatively, a horizontal movement cam follower that reciprocates the second clamp is provided.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、各々の前記第1の平面及び前記第2の平面は、互いに離隔する方向または互いに接近する方向に往復動可能に設置される。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, each of the first plane and the second plane is installed so as to be able to reciprocate in a direction away from each other or a direction approaching each other.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記クランピング部材は、前記第1の平面を往復動させる第1の昇降手段と、前記第2の平面を往復動させる第2の昇降手段とをさらに備え、各々の前記第1の昇降手段及び第2の昇降手段は、駆動モータと、該駆動モータの回転力が伝達されて回転する従動軸と、該従動軸に同軸的に結合されて回転する昇降カムと、前記第1の平面または前記第2の平面にそれぞれ連結され、前記昇降カムと接触して前記昇降カムの回転力が伝達されて前記第1の平面または前記第2の平面を往復動させる一対の昇降カムフォロワーとを備える。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the clamping member includes a first elevating unit that reciprocates the first plane, and a second elevating unit that reciprocates the second plane. Each of the first elevating means and the second elevating means is coupled to a drive motor, a driven shaft that rotates when the rotational force of the drive motor is transmitted, and is coaxially coupled to the driven shaft. The rotating elevating cam is connected to the first plane or the second plane, and the rotating force of the elevating cam is transmitted in contact with the elevating cam to transmit the first plane or the second plane. And a pair of lift cam followers.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記カメラ部材は、前記光学フィルムの不良要素を撮影するために、前記光学フィルムの幅方向に一定間隔離隔するように配置される複数のカメラを備える。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the camera member includes a plurality of cameras arranged to be spaced apart from each other in the width direction of the optical film in order to photograph defective elements of the optical film. Prepare.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記カメラ部材が前記光学フィルムから反射される光を受光するように、前記カメラ部材及び前記照明部材は、前記光学フィルムの上面の上側または前記光学フィルムの下面の下側に共に設置される。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the camera member and the illuminating member are disposed on an upper side of the optical film or the optical member so that the camera member receives light reflected from the optical film. Installed together below the bottom of the film.
本発明に係る光学フィルム検査装置において、望ましくは、前記カメラ部材が前記光学フィルムを透過する光を受光するように、前記カメラ部材は、前記光学フィルムの上面の上側及び前記光学フィルムの下面の下側のいずれか一側に設置され、前記照明部材は、他の一側に設置される。 In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the camera member is above the upper surface of the optical film and below the lower surface of the optical film so that the camera member receives light transmitted through the optical film. It is installed on either one side, and the lighting member is installed on the other side.
以下、本発明に係る光学フィルム検査装置の好ましい実施形態を添付された図面を参照して詳しく説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of an optical film inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一実施形態に係る光学フィルム検査装置の概略的な正面図であり、図2は、図1の光学フィルム検査装置の部分斜視図であり、図3は、図1の光学フィルム検査装置の第1、第2の水平移動手段及び第1、第2の昇降手段の部分を拡大した斜視図である。 1 is a schematic front view of an optical film inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial perspective view of the optical film inspection apparatus of FIG. 1, and FIG. It is the perspective view which expanded the part of the 1st, 2nd horizontal moving means and the 1st, 2nd raising / lowering means of an optical film test | inspection apparatus.
図1ないし図3に示すように、本実施形態の光学フィルム検査装置は、光学フィルム1の検査の際、光学フィルム1の上下面に向かって空気を噴射しつつ、その光学フィルムを平らに維持できるものであって、検査部と、供給部と、排出部とを備える。
As shown in FIGS. 1 to 3, the optical film inspection apparatus of the present embodiment keeps the optical film flat while injecting air toward the upper and lower surfaces of the
前記供給部は、光学フィルム1の不良要素を検出する検査部に光学フィルム1を供給するためのものであって、まだ検査されていない光学フィルム1を積載するローダ部(図示せず)と、該ローダ部から排出された光学フィルム1を移送する供給コンベヤー11と、該供給コンベヤー11から供給された光学フィルム1を検査部の方に移送する供給ローラ12とを備える。前記供給ローラ12は、光学フィルム1の上下面側にそれぞれ1つずつ設置され、前記光学フィルム1は、前記供給ローラ12と摩擦して、その供給ローラ12の回転力が伝達されて一方向に沿って移送される。
The supply unit is for supplying the
前記排出部は、検査が完了した光学フィルム1を前記検査部から排出するためのものであって、検査が完了した光学フィルム1を前記検査部から排出する排出ローラ22と、該排出ローラ22から排出された光学フィルム1を移送する排出コンベヤー21と、検査が完了した光学フィルム1を積載するアンローダ部(図示せず)とを備える。前記排出ローラ22も前記供給ローラ12と同様に、光学フィルム1の上下面側にそれぞれ1つずつ設置され、前記光学フィルム1は、前記排出ローラ22と接触して、その排出ローラ22の回転力が伝達されて光学フィルムの進行方向Aに沿って移送される。
The discharge section is for discharging the
前記検査部は、光学フィルム1の不良要素を検出するためのものであって、クランピング部材と、照明部材31と、カメラ部材32とを備える。
The inspection unit is for detecting defective elements of the
前記クランピング部材は、相対向して離隔するように形成された一対の平面間に流入された光学フィルム1の上下面に空気を噴射し、その光学フィルム1を平らに維持させるためのものであって、第1のクランプ41と、第2のクランプ51と、第1の水平移動手段と、第2の水平移動手段と、第1の昇降手段と、第2の昇降手段とを備える。
The clamping member is for injecting air onto the upper and lower surfaces of the
前記第1のクランプ41は、前記光学フィルムの進行方向Aに前記供給ローラ12から離隔するように設置されて、相対向して離隔するように形成された一対の第1の平面42と、前記光学フィルム1に空気を噴射するために、前記第1の平面42にそれぞれ形成された複数の噴射口43とを備える。
The
前記第2のクランプ51は、前記光学フィルムの進行方向Aに前記第1のクランプ41から離隔するように設置されて、相対向して離隔するように形成された一対の第2の平面52と、前記光学フィルム1に空気を噴射するために、前記第2の平面52にそれぞれ形成された複数の噴射口53とを備える。
The
前記第1の水平移動手段は、前記第1のクランプ41を前記光学フィルムの進行方向Aと平行な方向に往復動させるためのものであって、駆動モータ61と、該駆動モータ61の回転力が伝達されて回転する従動軸62と、前記駆動モータ61の回転軸及び前記従動軸62に巻き掛けられるベルト65とを備える。また、前記第1の水平移動手段は、前記従動軸62に同軸的に結合されて回転する水平移動カム63を備え、前記第1のクランプ41に連結され、前記水平移動カム63と接触して前記水平移動カム63の回転力が伝達される水平移動カムフォロワー64を備える。本実施形態において、前記水平移動カムフォロワー64はローラで構成される。
The first horizontal moving means is for reciprocating the
前記水平移動カム63が回転すると、水平移動カム63の側面の屈曲の形状に沿って前記水平移動カムフォロワー64は前記光学フィルムの進行方向Aと平行な方向に往復動するが、前記第1のクランプ41と前記水平移動カムフォロワー64とは、その下部において直線運動ガイド66により結合される。したがって、前記水平移動カムフォロワー64の往復動は、前記第1のクランプ41側にそのまま伝達される。
When the
前記第2の水平移動手段は、前記第2のクランプ51を前記光学フィルムの進行方向Aと平行な方向に往復動させるためのものであって、第1の水平移動手段と同様に、駆動モータ61と、該駆動モータ61の回転力が伝達されて回転する従動軸62と、前記駆動モータ61の回転軸と前記従動軸62に巻き掛けられるベルト65とを備える。また、前記第2の水平移動手段は、前記従動軸62に同軸的に結合されて回転する水平移動カム63を備え、前記第2のクランプ51に連結され、前記水平移動カム63と接触して前記水平移動カム63の回転力が伝達される水平移動カムフォロワー64を備える。
The second horizontal moving means is for reciprocating the
前記第1の昇降手段は、前記第1の平面42を互いに離隔する方向Cまたは互いに接近する方向Dに往復動させるためのものであって、駆動モータ61と、該駆動モータ61の回転力が伝達されて回転する従動軸62と、前記駆動モータ61の回転軸及び前記従動軸62に巻き掛けられるベルト65とを備える。本実施形態において、前記第1の昇降手段の駆動モータ61、従動軸62、及びベルト65は、第1の水平移動手段の駆動モータ61、従動軸62、及びベルト65と同じものである。また、前記第1の昇降手段は、前記従動軸62に同軸的に結合されて回転する昇降カム73を備え、前記第1の平面42にそれぞれ連結され、前記昇降カム73と接触して前記昇降カム73の回転力が伝達される一対の昇降カムフォロワー74を備える。本実施形態において、前記昇降カムフォロワー74のそれぞれはローラで構成される。
The first elevating means is for reciprocating the first
前記昇降カム73が回転すると、昇降カム73の側面の屈曲の形状に沿って前記昇降カムフォロワー74のそれぞれは互いに離隔する方向Cまたは互いに接近する方向Dに往復動するが、前記第1の平面42のうち、上側に配置された1つと前記昇降カムフォロワー74のうち、上側に配置された1つとは、直線運動ガイド76によって連結され、前記第1の平面42のうち、下側に配置された1つと前記昇降カムフォロワー74のうち、下側に配置された1つとはやはり直線運動ガイド76によって連結される。したがって、前記昇降カムフォロワー74の往復動は、前記第1の平面42側にそのまま伝達される。
When the elevating
前記第2の昇降手段は、前記第2の平面52を互いに離隔する方向または互いに接近する方向に往復動させるためのものであって、駆動モータ61と、該駆動モータ61の回転力が伝達されて回転する従動軸62と、前記駆動モータ61の回転軸及び前記従動軸62に巻き掛けられるベルト65とを備える。本実施形態において、前記第2の昇降手段の駆動モータ61、従動軸62、及びベルト65は、第2の水平移動手段の駆動モータ61、従動軸62、及びベルト65と同じものである。また、前記第2の昇降手段は、前記従動軸62に同軸的に結合されて回転する昇降カム73を備え、前記第2の平面52にそれぞれ連結され、前記昇降カム73と接触して前記昇降カム73の回転力が伝達される一対の昇降カムフォロワー74を備える。
The second lifting / lowering means is for reciprocating the second flat surfaces 52 in a direction away from each other or in a direction approaching each other, and a driving
前記照明部材31は、前記光学フィルム1に光を照射するためのものであって、本実施形態では、光学フィルム1の上面の上側に設置されて、前記光学フィルム1側に一定の角度傾斜した光を照射する。
The
前記カメラ部材32は、前記光学フィルム1から反射される、または前記光学フィルム1を透過する光を受光して、前記光学フィルム1の不良要素を撮影するためのものであって、前記光学フィルム1の幅方向に一定間隔離隔するように複数個が配置される。光学フィルム1が大型化されるにつれて、1つのカメラ部材32で光学フィルム1の幅方向の全体を撮影することが不可能であるため、光学フィルム1の幅方向にカメラ部材32の視野範囲FOV(Field Of View)に合わせて、その光学フィルム1を複数の領域に分割し、複数のカメラ部材32を用いて同時に撮影する。これによって、速い速度で移送される光学フィルム1を、その幅方向に全体的に撮影することが可能である。
The
本実施形態のカメラ部材32は、前記照明部材31が設置された側と同様に光学フィルム1の上面の上側に設置され、前記照明部材31から照射された光が光学フィルム1の上面によって反射されると、その反射された光を受光する構造で配置される。
The
次には、上述したように構成された本実施形態に係る光学フィルム検査装置を用いて光学フィルム1を検査する作動順序について、図4ないし図8を参照して概略的に説明する。
Next, an operation sequence for inspecting the
まず、図4は、光学フィルム1が第1のクランプ41に進入する前の段階を示した図である。前記供給コンベヤー11及び供給ローラ12によって移送された光学フィルム1が第1のクランプ41に容易に進入するために、第1の昇降手段及び第2の昇降手段を用いて第1の平面42と第2の平面52をそれぞれ互いに離隔した方向Cに移動させる。また、第1のクランプ41を通過した光学フィルム1の先端部が、第2のクランプ51に容易に進入するために、第2の水平移動手段を用いて光学フィルムの進行方向の反対方向Bに、すなわち、第1のクランプ41側に第2のクランプ51を移動させ、第2のクランプ51の先端部を第1のクランプ41の後端部に近接して配置させる。このとき、第1のクランプ41及び第2のクランプ51の内部に空気を注入しない。
First, FIG. 4 is a view showing a stage before the
その後、光学フィルム1の先端部が第1のクランプ41に進入すると、図5に示すように、第1の平面42間に進入した光学フィルム1を平らに維持するために、第1の昇降手段を用いて第1の平面42を互いに接近する方向Dに移動させる。空気の噴射力を、光学フィルム1を平らに維持するための張力に効果的に変換するには、光学フィルム1が進入した第1の平面42間の間隔が狭いほど有利である。次に、第1のクランプ41の内部に空気を注入して第1の平面42に形成された噴射口43を介して空気が噴射されるようにする。このとき、光学フィルム1の先端部が第2のクランプ51に進入する前には、第2のクランプ51の先端部を第1のクランプ41の後端部に近接して維持させる。
Thereafter, when the front end portion of the
次いで、光学フィルム1の先端部が第2のクランプ51に進入すると、図6に示すように、第2の平面52間に進入した光学フィルム1を平らに維持するために、第2の昇降手段を用いて第2の平面52を互いに接近する方向Dに移動させる。次に、第2のクランプ51の内部に空気を注入し、第2の平面52に形成された噴射口53を介して空気が噴射されるようにする。そして、光学フィルム1の先端部が第2のクランプ51に進入すると、光学フィルム1の進行速度に合わせて光学フィルムの進行方向Aに沿って第2のクランプ51を移動させる。
Next, when the tip of the
前記の状態を維持した状態で、光学フィルムの進行方向Aに沿って光学フィルム1を移送させつつ、光学フィルム1の不良要素を全体的に検出する。光学フィルム1は、速い速度で進行し、光学フィルム1の上下面上に噴射される空気によって光学フィルム1が平らに広がった状態に維持され、かつ、光学フィルム1についての検査が行われる。
In a state where the above state is maintained, the defective elements of the
光学フィルム1が進行しながら光学フィルム1の後端部が第1のクランプ41の後端部を抜け出る瞬間、図7に示すように、第1の水平移動手段を用いて光学フィルム1の進行速度に合わせて、光学フィルムの進行方向Aに沿って第1のクランプ41を第2のクランプ51に近接して移動させる。これは、光学フィルム1の後端部の平らを引続き維持するためである。次に、光学フィルム1の後端部が第1のクランプ41の後端部を抜け出ると、第1のクランプ41の内部に空気を注入することを停止する。
At the moment when the rear end portion of the
次いで、光学フィルム1の後端部が第2のクランプ51の後端部を完全に抜け出ると、図8に示すように、第1の平面42及び第2の平面52はそれぞれ第1の昇降手段及び第2の昇降手段によって互いに離隔した方向Cに移動され、第1のクランプ41及び第2のクランプ51の内部への空気の注入が中断される。また、今後検査が行われる光学フィルム1の供給を受けるために、第1の水平手段を用いて光学フィルムの進行方向の反対方向Bに第1のクランプ41を移動させて待機状態を維持する。
Next, when the rear end portion of the
上述したように構成された本実施形態に係る光学フィルム検査装置は、光学フィルムを平らに維持させるために、光学フィルムの隅部を直接接触する方式を利用せずに、光学フィルムを一方向に移送する状態で光学フィルムの上下面に空気を噴射しつつ、光学フィルムを平らに維持させることができるクランピング部材を採用することにより、光学フィルムの不良要素を検出するのに掛かる時間を顕著に低減することができるという効果を得ることができる。 The optical film inspection apparatus according to the present embodiment configured as described above, in order to keep the optical film flat, does not use the method of directly contacting the corners of the optical film, but in one direction. By adopting a clamping member that can keep the optical film flat while injecting air onto the upper and lower surfaces of the optical film in the transported state, the time taken to detect defective elements of the optical film is remarkably increased. The effect that it can reduce can be acquired.
また、非接触式方式を利用することにより、検査される光学フィルムの種類が変更されてもクランピング部材の配置構造を再設定する必要がないので、基板の変更による装置の再設定に掛かる時間を無くすことができるという効果を得ることができる。 In addition, by using the non-contact method, it is not necessary to reset the arrangement structure of the clamping member even if the type of optical film to be inspected is changed, so the time required for resetting the apparatus by changing the substrate The effect that it can be eliminated can be obtained.
なお、第1のクランプ及び第2のクランプが光学フィルムの進行方向と平行な方向に移動可能なように設置されるので、光学フィルムの先端部及び後端部でも光学フィルムを平らに維持することができ、光学フィルムの先端部及び後端部の不良要素に対して有効な映像を獲得することができるという効果を得ることができる。 In addition, since the first clamp and the second clamp are installed so as to be movable in a direction parallel to the traveling direction of the optical film, the optical film should be kept flat even at the front end portion and the rear end portion of the optical film. Thus, it is possible to obtain an effect that an effective image can be obtained for defective elements at the front end portion and the rear end portion of the optical film.
さらに、光学フィルムと対向する第1の平面及び第2の平面が互いに離隔する方向または互いに接近する方向に移動可能なように設置されるので、光学フィルムの先端部の進入を容易にし、空気の噴射力を、光学フィルムを平らに広げる張力に効果的に変換することができるという効果を得ることができる。 Further, since the first plane and the second plane facing the optical film are installed so as to be movable away from each other or in directions approaching each other, it is easy to enter the front end of the optical film, and It is possible to obtain an effect that the jet force can be effectively converted into a tension that spreads the optical film flat.
上述した本発明の実施形態において、前記カメラ部材が前記光学フィルムから反射される光を受光する構造で配置されているが、光学フィルムの材質または光学フィルムに含まれた不良要素の種類に応じて、前記カメラ部材が前記光学フィルムを透過する光を受光するように、前記カメラ部材及び前記照明部材が配置され得る。すなわち、図9に示すように、前記カメラ部材は、前記光学フィルムの上面の上側に設置され、前記照明部材は、照射された光が光学フィルムを透過してカメラ部材に入射されるように、カメラ部材と一直線上に配置された状態で前記光学フィルムの下面の下側に設置され得る。また、前記カメラ部材及び前記照明部材は、前記と反対に配置されても関係ない。 In the embodiment of the present invention described above, the camera member is arranged to receive light reflected from the optical film, but depending on the material of the optical film or the type of defective element included in the optical film. The camera member and the illumination member may be arranged such that the camera member receives light transmitted through the optical film. That is, as shown in FIG. 9, the camera member is installed on the upper surface of the optical film, and the illumination member is configured so that irradiated light is transmitted through the optical film and incident on the camera member. The optical film may be disposed below the lower surface of the optical film in a state of being aligned with the camera member. Further, the camera member and the illumination member may be arranged opposite to the above.
本発明の権利範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、添付された特許請求の範囲内で様々な形の実施形態で実現され得る。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有した者であれば、誰でも変形可能な多様な範囲まで本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。 The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be realized in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Any person who has ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can be applied to various scopes of the present invention. It is considered to be within the scope of the description.
1 光学フィルム
11 供給コンベヤー
12 供給ローラ
21 排出コンベヤー
22 排出ローラ
31 照明部材
32 カメラ部材
41 第1のクランプ
42 第1の平面
43、53 噴射口
51 第2のクランプ
52 第2の平面
61 駆動モータ
62 従動軸
63 水平移動カム
64 水平移動カムフォロワー
73 昇降カム
74 昇降カムフォロワー
DESCRIPTION OF
Claims (9)
相対向して離隔するように形成される一対の平面と、前記光学フィルムに空気を噴射するために、前記平面にそれぞれ形成された複数の噴射口とを備え、前記平面間に流入された光学フィルムの上下面に空気を噴射し、その光学フィルムを平らに維持させるクランピング部材と、
前記光学フィルムに光を照射する照明部材と、
前記光学フィルムから反射される、または前記光学フィルムを透過する光を受光して、前記光学フィルムの不良要素を撮影するカメラ部材と
を備えることを特徴とする光学フィルム検査装置。 An optical film inspection device for detecting defective elements of an optical film,
An optical system comprising a pair of planes formed to face each other and spaced apart from each other, and a plurality of injection ports respectively formed in the planes for injecting air to the optical film, and flowing between the planes A clamping member for injecting air onto the upper and lower surfaces of the film to keep the optical film flat;
An illumination member for irradiating the optical film with light;
An optical film inspection apparatus comprising: a camera member that receives light reflected from the optical film or transmitted through the optical film and photographs a defective element of the optical film.
前記平面は、前記第1のクランプに形成され、相対向して離隔するように形成される一対の第1の平面と、前記第2のクランプに形成され、相対向して離隔するように形成される一対の第2の平面とを備えることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルム検査装置。 The clamping member includes a first clamp, and a second clamp installed to be separated from the first clamp in the traveling direction of the optical film,
The planes are formed on the first clamp and are formed to be spaced apart from each other, and a pair of first planes are formed on the second clamp and are spaced apart from each other. The optical film inspection apparatus according to claim 1, further comprising a pair of second planes.
各々の前記第1の水平移動手段及び前記第2の水平移動手段は、
駆動モータと、該駆動モータの回転力が伝達されて回転する従動軸と、該従動軸に同軸的に結合されて回転する水平移動カムと、前記第1のクランプまたは第2のクランプに連結されて、前記水平移動カムと接触して前記水平移動カムの回転力が伝達されて前記第1のクランプまたは第2のクランプを往復動させる水平移動カムフォロワーとを備えることを特徴とする請求項3に記載の光学フィルム検査装置。 The clamping member further comprises first horizontal moving means for reciprocating the first clamp, and second horizontal moving means for reciprocating the second clamp,
Each of the first horizontal moving means and the second horizontal moving means includes:
A drive motor, a driven shaft that rotates when the rotational force of the drive motor is transmitted, a horizontal movement cam that is coaxially coupled to the driven shaft and rotates, and the first clamp or the second clamp. And a horizontal movement cam follower that makes contact with the horizontal movement cam to transmit a rotational force of the horizontal movement cam to reciprocate the first clamp or the second clamp. An optical film inspection apparatus according to 1.
各々の前記第1の昇降手段及び第2の昇降手段は、
駆動モータと、該駆動モータの回転力が伝達されて回転する従動軸と、該従動軸に同軸的に結合されて回転する昇降カムと、前記第1の平面または前記第2の平面にそれぞれ連結され、前記昇降カムと接触して前記昇降カムの回転力が伝達されて前記第1の平面または前記第2の平面を往復動させる一対の昇降カムフォロワーとを備えることを特徴とする請求項5に記載の光学フィルム検査装置。 The clamping member further includes first elevating means for reciprocating the first plane, and second elevating means for reciprocating the second plane,
Each of the first lifting means and the second lifting means is
A drive motor, a driven shaft that rotates by transmission of the rotational force of the drive motor, a lifting cam that is coaxially coupled to the driven shaft, and a rotating cam that is connected to the first plane or the second plane. And a pair of elevating cam followers that contact the elevating cam and transmit the rotational force of the elevating cam to reciprocate the first plane or the second plane. An optical film inspection apparatus according to 1.
前記光学フィルムの不良要素を撮影するために、前記光学フィルムの幅方向に一定間隔離隔するように配置される複数のカメラを備えることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルム検査装置。 The camera member is
The optical film inspection apparatus according to claim 1, further comprising a plurality of cameras arranged to be spaced apart from each other in a width direction of the optical film in order to photograph defective elements of the optical film.
前記カメラ部材及び前記照明部材は、前記光学フィルムの上面の上側または前記光学フィルムの下面の下側に共に設置されることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルム検査装置。 So that the camera member receives light reflected from the optical film,
The optical film inspection apparatus according to claim 1, wherein the camera member and the illumination member are installed on the upper side of the upper surface of the optical film or the lower side of the lower surface of the optical film.
前記カメラ部材は、前記光学フィルムの上面の上側及び前記光学フィルムの下面の下側のいずれか一側に設置され、前記照明部材は、他の一側に設置されることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルム検査装置。 So that the camera member receives light transmitted through the optical film,
The said camera member is installed in any one side of the upper side of the upper surface of the said optical film, and the lower side of the lower surface of the said optical film, The said illumination member is installed in the other one side, It is characterized by the above-mentioned. The optical film inspection apparatus according to 1.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070099975A KR100804033B1 (en) | 2007-10-04 | 2007-10-04 | Apparatus for inspecting optical film |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009092657A true JP2009092657A (en) | 2009-04-30 |
Family
ID=39382217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008258595A Pending JP2009092657A (en) | 2007-10-04 | 2008-10-03 | Optical film inspection device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009092657A (en) |
KR (1) | KR100804033B1 (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110809 |