JP2009088011A - Wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring board capable of correctly recognizing a positioning mark for recognizing a mounting position of an electronic component by an image recognizer and connecting an electrode of the electronic component with a connection pad via solder with excellent positioning accuracy, and to provide a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: The wiring board includes, on an upper surface of an insulating substrate 1, a conductor layer for the connection pad, an ink layer 12 for the positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component, and a solder resist layer 9 for selectively exposing the connection pad and the positioning mark, respectively. The ink layer 12 is formed by filling an ink composition on the upper surface of the insulating substrate 1 exposed in an opening 14 provided on an ink filled layer 13 adhered and formed on the upper surface of the insulating substrate 1. The center of an upper surface of the ink layer 12 is selectively exposed from an opening 10 provided on the solder resist layer 9 thereby forming the positioning mark 11. The wiring board thus constituted and the method of manufacturing the same are disclosed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマークが形成された配線基板およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a wiring board on which a positioning mark for recognizing a mounting position of an electronic component is formed, and a manufacturing method thereof.

従来から、電子部品が搭載される配線基板は、例えばガラス−エポキシ板等から成る絶縁板やエポキシ樹脂等から成る絶縁層を複数層積層して成る絶縁基板の内部および表面に、銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る配線導体を設けて成る。そして、絶縁基板の表面に設けた導体層の一部が、電子部品の電極が半田を介して接続される複数の接続パッドを形成している。   Conventionally, a wiring board on which electronic components are mounted has, for example, a copper foil or copper on the inside and surface of an insulating board formed by laminating a plurality of insulating layers made of an epoxy resin or an insulating board made of a glass-epoxy board. A wiring conductor made of a conductor layer such as a plating film is provided. A part of the conductor layer provided on the surface of the insulating substrate forms a plurality of connection pads to which the electrodes of the electronic component are connected via solder.

これらの接続パッドが形成された絶縁基板の表面には、各接続パッドを露出させる開口部を有するソルダーレジスト層が被着形成されている。ソルダーレジスト層から露出した接続パッド上には半田が溶着される。半田の溶着は、通常、接続パッドの露出表面に半田ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後、その半田ペーストを溶融させて溶着する方法が採用される。そして、半田が溶着された接続パッドに電子部品の電極を位置合わせした後、電子部品の電極と接続パッドとを前記半田を介して接合することにより電子部品が配線基板に搭載される。   On the surface of the insulating substrate on which these connection pads are formed, a solder resist layer having an opening for exposing each connection pad is deposited. Solder is deposited on the connection pads exposed from the solder resist layer. For solder welding, a method is generally employed in which a solder paste is printed on the exposed surface of the connection pad by screen printing, and then the solder paste is melted and welded. And after aligning the electrode of an electronic component with the connection pad to which solder was welded, the electronic component is mounted on the wiring board by joining the electrode of the electronic component and the connection pad via the solder.

ここで、前記接続パッドに電子部品の電極を位置合わせする際には、通常、CCDカメラ等の画像認識装置を備えた自動機が用いられる。すなわち、絶縁基板の上面に電子部品を位置合わせするための基準となる位置決めマーク(アライメントマーク)を設けておくと共に、この位置決めマークを自動機の画像認識装置で認識し、その情報に基づいて自動で電子部品を位置合わせする。位置決めマークは、通常、絶縁基板の表面に接続パッドと同じ導体層で形成され、ソルダーレジスト層に設けられた開口部から露出させることにより形成されている。   Here, when aligning the electrode of the electronic component with the connection pad, an automatic machine equipped with an image recognition device such as a CCD camera is usually used. That is, a positioning mark (alignment mark) serving as a reference for aligning the electronic component is provided on the upper surface of the insulating substrate, and the positioning mark is recognized by an image recognition device of an automatic machine, and automatically based on the information. Use to align the electronic components. The positioning mark is usually formed on the surface of the insulating substrate with the same conductor layer as the connection pad, and is formed by exposing from an opening provided in the solder resist layer.

しかしながら、このような構成の位置決めマークには、下記(i),(ii)に示すような問題がある。
(i)位置決めマークを構成する導体層は銅箔や銅めっき膜等からなるので、大気に曝されることにより位置決めマーク表面が酸化されて変色し、画像認識装置で正確に認識できなくなる。酸化は、半田プリコートや配線基板の脱湿工程等において加熱されることによっても発生する。
(ii)製造工程において、硫黄(S)、リン(P)等の不純物が位置決めマーク表面に付着することにより位置決めマーク表面が変色し、画像認識装置で正確に認識できなくなる。
However, the positioning mark having such a configuration has the following problems (i) and (ii).
(I) Since the conductor layer constituting the positioning mark is made of a copper foil, a copper plating film, or the like, the surface of the positioning mark is oxidized and discolored when exposed to the atmosphere, and cannot be accurately recognized by the image recognition apparatus. Oxidation also occurs when heated in a solder pre-coating, a wiring substrate dehumidification process, or the like.
(Ii) In the manufacturing process, impurities such as sulfur (S) and phosphorus (P) adhere to the surface of the positioning mark, causing the surface of the positioning mark to change color, and the image recognition apparatus cannot recognize it accurately.

一方、特許文献1には、第2の絶縁被膜から露出させた有色の第1の絶縁被膜の一部を、基板の位置合わせの指標となるアライメントマークとしたプリント配線板が記載されている。   On the other hand, Patent Document 1 describes a printed wiring board in which a part of a colored first insulating film exposed from a second insulating film is used as an alignment mark serving as an alignment index of a substrate.

しかしながら、特許文献1に記載されているマークは断面が凸状である。このため、マーク表面で光が乱反射され、当該マークを画像認識装置で正確に認識できないという問題がある。また、有色の前記第1の絶縁被膜を、導体層間を跨って被着形成すると、マーク表面に凹凸が発生するという問題もある。表面に凹凸が発生したマークは、前記と同様に光が乱反射され、画像認識装置で正確に認識できない。前記凹凸を少なくするために、前記第1の絶縁被膜を薄く形成することも考えられるが、引用文献1に記載されている前記第1の絶縁被膜の厚さは10〜20μmであり、その薄膜化は困難である。また、薄膜化された第1の絶縁被膜から導体層が露出するおそれもある。   However, the mark described in Patent Document 1 has a convex cross section. For this reason, there is a problem that light is irregularly reflected on the surface of the mark and the mark cannot be accurately recognized by the image recognition apparatus. In addition, when the colored first insulating coating is deposited across the conductor layers, there is a problem that irregularities occur on the mark surface. A mark having irregularities on the surface is diffusely reflected in the same manner as described above, and cannot be accurately recognized by the image recognition apparatus. In order to reduce the unevenness, it is conceivable to form the first insulating film thin. However, the thickness of the first insulating film described in Reference 1 is 10 to 20 μm, and the thin film Is difficult. In addition, the conductor layer may be exposed from the thinned first insulating film.

特許文献2には、基板面に位置合せマークを導体で形成すると共に、該位置合せマークの表面に透明被膜を形成した回路基板が記載されている。この文献によると、前記マーク表面に存在する微細な凹凸による光の乱反射が、該表面を覆う透明被膜によって効果的に抑えられると記載されている。   Patent Document 2 describes a circuit board in which an alignment mark is formed of a conductor on a substrate surface and a transparent film is formed on the surface of the alignment mark. According to this document, it is described that irregular reflection of light due to fine unevenness existing on the surface of the mark is effectively suppressed by a transparent film covering the surface.

しかしながら、前記透明被膜の膜厚や組成によっては、マークを画像認識装置で正確に認識できないおそれがある。また、特許文献2では、前記透明被膜を、マーク表面に透明ガラスを焼成するか、または溶融状態の透明樹脂を印刷乾燥して形成しているが、これらの熱によって導体からなるマーク表面が酸化されて変色するおそれもある。   However, depending on the film thickness and composition of the transparent film, there is a possibility that the mark cannot be accurately recognized by the image recognition apparatus. Further, in Patent Document 2, the transparent coating is formed by baking transparent glass on the mark surface or printing and drying a molten transparent resin. There is also a risk of discoloration.

特許文献3には、基板の上方に形成された第1アライメントマークと、この第1アライメントマークを覆う第2アライメントマークとからなり、前記第2アライメントマークが目合わせ用光を透過し、前記第1アライメントマークが目合わせ用光を反射することにより後工程の目合わせ基準となるアライメントマークが記載されている。   Patent Document 3 includes a first alignment mark formed above a substrate and a second alignment mark that covers the first alignment mark. The second alignment mark transmits alignment light, and An alignment mark serving as a reference for alignment in a later process is described by the fact that one alignment mark reflects alignment light.

しかしながら、特許文献3に記載されているマークは、特許文献2と同様に、第2アライメントマークの膜厚や組成によっては、第1アライメントマークを画像認識装置で正確に認識できないおそれがある。   However, the mark described in Patent Document 3 may not be able to be accurately recognized by the image recognition device, depending on the film thickness and composition of the second alignment mark, as in Patent Document 2.

特開平7−231149号公報(第6頁右欄5−7行、第4図)JP-A-7-231149 (page 6, right column, lines 5-7, FIG. 4) 特開平10−163588号公報JP-A-10-163588 特開2001−42547号公報JP 2001-42547 A

本発明の課題は、電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマークを画像認識装置で正確に認識して電子部品の電極と接続パッドとを半田を介して優れた位置精度で接続することが可能な配線基板およびその製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to accurately recognize a positioning mark for recognizing a mounting position of an electronic component with an image recognition device and connect the electrode of the electronic component and a connection pad with excellent positional accuracy via solder. It is to provide a possible wiring board and a manufacturing method thereof.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
(1)電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、前記電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマーク用のインク層と、前記接続パッドおよび前記位置決めマークをそれぞれ選択的に露出させるソルダーレジスト層とを備えて成る配線基板であって、前記インク層は、前記絶縁基板の上面に被着形成されたインク充填層に設けた開口部内に露出する前記絶縁基板の上面にインク組成物を充填することにより形成されており、該インク層の少なくとも上面中央部を前記ソルダーレジスト層に設けた開口部から選択的に露出させることにより前記位置決めマークが形成されていることを特徴とする配線基板。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found a solution means having the following constitution and have completed the present invention.
(1) A conductive layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted, and an ink layer for a positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component A wiring board comprising a solder resist layer for selectively exposing the connection pads and the positioning marks, wherein the ink layer is provided on an ink filling layer deposited on the upper surface of the insulating substrate. The upper surface of the insulating substrate exposed in the opening is filled with an ink composition, and at least the central portion of the upper surface of the ink layer is selectively exposed from the opening provided in the solder resist layer. A wiring board, wherein the positioning mark is formed by the following.

(2)電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、前記電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマーク用のインク層と、前記接続パッドおよび前記位置決めマークをそれぞれ選択的に露出させるソルダーレジスト層とを備えて成る配線基板であって、前記インク層は、前記絶縁基板の上面に被着形成されたインク充填層に設けた凹部内にインク組成物を充填することにより形成されており、該インク層の少なくとも上面中央部を前記ソルダーレジスト層に設けた開口部から選択的に露出させることにより前記位置決めマークが形成されていることを特徴とする配線基板。   (2) A conductive layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted; an ink layer for a positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component; A wiring board comprising a solder resist layer for selectively exposing the connection pads and the positioning marks, wherein the ink layer is provided on an ink filling layer deposited on the upper surface of the insulating substrate. The positioning marks are formed by selectively exposing at least the center of the upper surface of the ink layer from the opening provided in the solder resist layer. A wiring board characterized by comprising:

(3)前記インク充填層が、前記導体層と同じ導体層からなる前記(1)または(2)記載の配線基板。
(4)前記インク組成物が顔料を含まない前記(1)〜(3)のいずれかに記載の配線基板。
(3) The wiring board according to (1) or (2), wherein the ink filling layer is made of the same conductor layer as the conductor layer.
(4) The wiring board according to any one of (1) to (3), wherein the ink composition does not contain a pigment.

本発明の配線基板の製造方法は、電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、位置決めマーク用のインク層を形成するためのインク充填層とを被着形成する工程と、前記インク充填層に設けた開口部内に露出する前記絶縁基板の上面にインク組成物を充填して前記インク層を形成する工程と、前記絶縁基板の上面上、導体層上およびインク層上に、前記接続パッドおよび前記インク層の少なくとも上面中央部をそれぞれ選択的に露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成する工程とを含むことを特徴とする。   The method for manufacturing a wiring board according to the present invention is for forming a conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected and an ink layer for a positioning mark on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted. A step of depositing an ink filling layer, a step of filling the upper surface of the insulating substrate exposed in an opening provided in the ink filling layer with an ink composition to form the ink layer, Depositing a solder resist layer having an opening that selectively exposes at least a central portion of the upper surface of the connection pad and the ink layer on the upper surface, the conductor layer, and the ink layer, respectively. And

本発明の他の配線基板の製造方法は、電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、位置決めマーク用のインク層を形成するためのインク充填層とを被着形成する工程と、前記インク充填層に設けた凹部内にインク組成物を充填して前記インク層を形成する工程と、前記絶縁基板の上面上、導体層上およびインク層上に、前記接続パッドおよび前記インク層の少なくとも上面中央部をそれぞれ選択的に露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成する工程とを含むことを特徴とする。   In another method of manufacturing a wiring board according to the present invention, a conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected and an ink layer for a positioning mark are formed on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted. An ink filling layer for depositing, a step of filling the ink composition in a recess provided in the ink filling layer to form the ink layer, a top surface of the insulating substrate, a conductor layer And a step of depositing a solder resist layer having an opening for selectively exposing at least a central portion of the upper surface of the connection pad and the ink layer on the ink layer.

本発明によれば、電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマークがインク層からなるので、銅箔や銅めっき膜等からなる位置決めマークのように位置決めマーク表面が酸化されて変色することがない。また、硫黄(S)、リン(P)等の不純物が位置決めマーク表面に付着したとしても、位置決めマーク表面が変色するのを低減することができる。   According to the present invention, since the positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component is made of the ink layer, the surface of the positioning mark can be oxidized and discolored like the positioning mark made of copper foil or copper plating film. Absent. Further, even if impurities such as sulfur (S) and phosphorus (P) adhere to the positioning mark surface, it is possible to reduce discoloration of the positioning mark surface.

しかも、位置決めマーク用のインク層を、インク充填層に設けた開口部内に露出する絶縁基板の上面か、インク充填層に設けた凹部内にインク組成物を充填することにより形成する。これにより、充填したインク組成物の表面張力の作用で該インク層の上面中央部が平坦化される。そして、この平坦化されたインク層の少なくとも上面中央部をソルダーレジスト層に設けた開口部から選択的に露出させることにより前記位置決めマークが形成される。したがって、本発明にかかる位置決めマークは、その表面が平坦化されており、画像認識装置で正確に認識することができる。その結果、電子部品の電極と接続パッドとを半田を介して優れた位置精度で接続することが可能になる。   In addition, the ink layer for the positioning mark is formed by filling the ink composition into the upper surface of the insulating substrate exposed in the opening provided in the ink filling layer or in the recess provided in the ink filling layer. Thereby, the center part of the upper surface of the ink layer is flattened by the action of the surface tension of the filled ink composition. Then, the positioning mark is formed by selectively exposing at least the central portion of the upper surface of the flattened ink layer from the opening provided in the solder resist layer. Therefore, the positioning mark according to the present invention has a flat surface and can be accurately recognized by the image recognition apparatus. As a result, it is possible to connect the electrode of the electronic component and the connection pad with excellent positional accuracy via solder.

さらに、前記位置決めマークの表面は、前記ソルダーレジスト層の上面よりも低い位置にある。したがって、電子部品を搭載する際に位置決めマークが電子部品に接触することがなく、電子部品への汚染を防止することもできる。   Furthermore, the surface of the positioning mark is at a position lower than the upper surface of the solder resist layer. Therefore, when the electronic component is mounted, the positioning mark does not contact the electronic component, and contamination of the electronic component can be prevented.

特に、前記(3)のように、前記インク充填層が、前記導体層と同じ導体層からなると、導体層を形成するのと同時にインク充填層を形成することができるので、効率よく位置決めマークを形成することができる。   In particular, as in (3), when the ink filling layer is made of the same conductor layer as the conductor layer, the ink filling layer can be formed simultaneously with the formation of the conductor layer. Can be formed.

以下、本発明にかかる配線基板およびその製造方法の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、電子部品としての半導体素子と、この半導体素子を搭載する本実施形態にかかる配線基板を示す断面図である。図2は、図1に示した配線基板を示す平面図である。図3(a)は、本実施形態にかかる位置決めマーク近傍を示す部分拡大断面図であり、図3(b)は、その平面図である。図4(a)〜(c)は、本実施形態にかかる配線基板の製造方法を示す部分拡大工程図である。   Hereinafter, an embodiment of a wiring board and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a semiconductor element as an electronic component and a wiring board according to the present embodiment on which the semiconductor element is mounted. FIG. 2 is a plan view showing the wiring board shown in FIG. FIG. 3A is a partially enlarged sectional view showing the vicinity of the positioning mark according to the present embodiment, and FIG. 3B is a plan view thereof. 4A to 4C are partial enlarged process diagrams illustrating a method for manufacturing a wiring board according to the present embodiment.

図1に示すように、本実施形態の配線基板20が備える絶縁基板1は、板状の芯体1aの上下面に絶縁層1bをそれぞれ複数層ずつ積層して成り、その上面から下面にかけて複数の配線導体2が形成されている。芯体1aは、例えばガラス繊維を縦横に織り込んだガラス織物にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて成る。絶縁層1bは、例えばエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。配線導体2は、例えば銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る。   As shown in FIG. 1, the insulating substrate 1 included in the wiring board 20 of the present embodiment is formed by laminating a plurality of insulating layers 1b on the upper and lower surfaces of the plate-like core body 1a, and a plurality of layers from the upper surface to the lower surface. The wiring conductor 2 is formed. The core body 1a is formed, for example, by impregnating a glass fabric in which glass fibers are woven vertically and horizontally with a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin. The insulating layer 1b is made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin. The wiring conductor 2 consists of conductor layers, such as copper foil and a copper plating film, for example.

より具体的には、芯体1aは、厚みが0.3〜1.5mm程度であり、その上面から下面にかけて直径が0.2〜1.0mm程度の複数の貫通孔4を有している。そして、その上下面および各貫通孔4の内面には配線導体2の一部が被着されており、上下面の配線導体2が貫通孔4の内部を介して電気的に接続されている。   More specifically, the core body 1a has a thickness of about 0.3 to 1.5 mm and has a plurality of through holes 4 having a diameter of about 0.2 to 1.0 mm from the upper surface to the lower surface. . A part of the wiring conductor 2 is attached to the upper and lower surfaces and the inner surface of each through-hole 4, and the upper and lower wiring conductors 2 are electrically connected via the inside of the through-hole 4.

このような芯体1aは、ガラス織物に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させたシートを熱硬化させた後、これに上面から下面にかけてドリル加工を施すことにより製作される。芯体1a上下面の配線導体2は、芯体1a用のシートの上下全面に厚みが5〜50μm程度の銅箔を張着しておくとともに、この銅箔をシートの硬化後にエッチング加工することにより所定のパターンに形成される。貫通孔4内面の配線導体2は、芯体1aに貫通孔4を設けた後に、この貫通孔4内面に無電解めっき法および電解めっき法により厚みが5〜50μm程度の銅めっき膜を析出させることにより形成される。   Such a core 1a is manufactured by thermally curing a sheet in which a glass fabric is impregnated with an uncured thermosetting resin, and then drilling the sheet from the upper surface to the lower surface. The wiring conductors 2 on the upper and lower surfaces of the core body 1a have a copper foil having a thickness of about 5 to 50 μm attached to the entire upper and lower surfaces of the sheet for the core body 1a, and the copper foil is etched after the sheet is cured. Thus, a predetermined pattern is formed. In the wiring conductor 2 on the inner surface of the through hole 4, after the through hole 4 is provided in the core body 1 a, a copper plating film having a thickness of about 5 to 50 μm is deposited on the inner surface of the through hole 4 by an electroless plating method and an electrolytic plating method. Is formed.

さらに、芯体1aは、その貫通孔4の内部にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る樹脂柱5が充填されている。樹脂柱5は、貫通孔4を塞ぐことにより貫通孔4の直上および直下に絶縁層1bを形成可能とするためのものであり、未硬化のペースト状の熱硬化性樹脂を貫通孔4内にスクリーン印刷法により充填し、これを熱硬化させた後、その上下面を略平坦に研磨することにより形成される。そして、この樹脂柱5を含む芯体1aの上下面に絶縁層1bが積層されている。   Further, the core body 1a is filled with a resin column 5 made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin in the through hole 4 thereof. The resin pillar 5 is for making it possible to form the insulating layer 1b directly above and below the through-hole 4 by closing the through-hole 4, and an uncured paste-like thermosetting resin is placed in the through-hole 4. After filling with a screen printing method and thermosetting it, the upper and lower surfaces thereof are polished to be substantially flat. And the insulating layer 1b is laminated | stacked on the upper and lower surfaces of the core 1a containing this resin pillar 5. As shown in FIG.

芯体1aの上下面に積層された絶縁層1bは、それぞれの厚みが20〜50μm程度であり、各層の上面から下面にかけて直径が30〜100μm程度の複数のビア孔6を有している。これらの絶縁層1bは、配線導体2を高密度に配線するための絶縁間隔を提供するためのものであり、絶縁層1bにはその表面およびビア孔6内に配線導体2の一部が被着されている。そして、上層の配線導体2と下層の配線導体2とをビア孔6の内部を介して電気的に接続することにより高密度配線を立体的に形成可能としている。   The insulating layer 1b laminated on the upper and lower surfaces of the core body 1a has a thickness of about 20 to 50 μm, and has a plurality of via holes 6 having a diameter of about 30 to 100 μm from the upper surface to the lower surface of each layer. These insulating layers 1b are provided to provide an insulating interval for wiring the wiring conductors 2 at a high density. The insulating layer 1b is covered with a part of the wiring conductors 2 on the surface and in the via holes 6. It is worn. A high-density wiring can be formed three-dimensionally by electrically connecting the upper wiring conductor 2 and the lower wiring conductor 2 via the inside of the via hole 6.

このような絶縁層1bは、厚みが20〜50μm程度の未硬化の熱硬化性樹脂フィルムを芯体1aの上下面に張着し、これを熱硬化させるとともにレーザ加工によりビア孔6を穿孔し、さらにその上に同様にして次の絶縁層1bを順次積み重ねることによって形成される。なお、各絶縁層1b表面およびビア孔6内に被着された配線導体2は、各絶縁層1bを形成する毎に各絶縁層1bの表面およびビア孔6内に5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。   Such an insulating layer 1b is formed by sticking an uncured thermosetting resin film having a thickness of about 20 to 50 μm to the upper and lower surfaces of the core body 1a, thermosetting it, and drilling the via holes 6 by laser processing. Further, it is formed by sequentially stacking the next insulating layer 1b in the same manner. The wiring conductor 2 deposited on the surface of each insulating layer 1b and the via hole 6 has a thickness of about 5 to 50 μm on the surface of each insulating layer 1b and the via hole 6 every time each insulating layer 1b is formed. It is formed by depositing a copper plating film in a predetermined pattern by a pattern forming method such as a known semi-additive method or subtractive method.

最表層の絶縁層1b上にはソルダーレジスト層9が被着されている。ソルダーレジスト層9は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂にシリカやタルク等の無機物粉末フィラーを30〜70質量%程度分散させた絶縁材料から成り、表層の配線導体2同士の電気的絶縁信頼性を高めるとともに、後述する接続パッド2a、2bおよび位置決めマーク11の絶縁基板1への接合強度を大きなものとする作用をなす。   A solder resist layer 9 is deposited on the outermost insulating layer 1b. The solder resist layer 9 is made of an insulating material in which an inorganic powder filler such as silica or talc is dispersed in an acrylic modified epoxy resin, for example, in an amount of about 30 to 70% by mass, and improves the electrical insulation reliability between the wiring conductors 2 on the surface layer. The connection pads 2a and 2b and the positioning marks 11 described later serve to increase the bonding strength to the insulating substrate 1.

このようなソルダーレジスト層9は、その厚みが10〜50μm程度であり、下記(a),(b)に示すような方法で形成される。
(a)感光性を有するソルダーレジスト層9用の未硬化樹脂ペーストをロールコーター法やスクリーン印刷法を採用して最表層の絶縁層1b上に塗布し、これを乾燥させた後、露光および現像処理を行なって接続パッド2a、2bおよび位置決めマーク11を選択的に露出させる開口部を形成した後、これを熱硬化させることによって形成される。
(b)ソルダーレジスト層9用の未硬化の樹脂フィルムを最上層の絶縁層1b上に張着した後、これを熱硬化させ、しかる後、接続パッド2a、2bおよび位置決めマーク11に対応する位置にレーザ光を照射し、硬化した樹脂フィルムを部分的に除去することによって接続パッド2a、2bおよび位置決めマーク11を選択的に露出させる開口部を有するように形成される。
Such a solder resist layer 9 has a thickness of about 10 to 50 μm and is formed by a method as shown in the following (a) and (b).
(A) An uncured resin paste for the solder resist layer 9 having photosensitivity is applied on the outermost insulating layer 1b using a roll coater method or a screen printing method, dried, and then exposed and developed. The opening is formed by selectively exposing the connection pads 2a, 2b and the positioning mark 11, and then thermally cured.
(B) After an uncured resin film for the solder resist layer 9 is stuck on the uppermost insulating layer 1b, this is thermally cured, and then the positions corresponding to the connection pads 2a, 2b and the positioning marks 11 Are formed so as to have openings that selectively expose the connection pads 2a and 2b and the positioning marks 11 by partially removing the cured resin film.

絶縁基板1の上面から下面にかけて形成された配線導体2は、半導体素子30の各電極を外部電気回路基板に接続するための導電路として機能し、絶縁基板1の上面に露出している部位が半導体素子30の各電極が半田を介して接続される電子部品接続用の接続パッド2aを、絶縁基体1の下面に露出した部位が外部電気回路基板に半田を介して接続される外部接続用の接続パッド2bを形成している。   The wiring conductor 2 formed from the upper surface to the lower surface of the insulating substrate 1 functions as a conductive path for connecting each electrode of the semiconductor element 30 to the external electric circuit substrate, and the portion exposed on the upper surface of the insulating substrate 1 is A connection pad 2a for connecting an electronic component to which each electrode of the semiconductor element 30 is connected via solder is connected to an external electrical circuit board through which the portion exposed on the lower surface of the insulating substrate 1 is connected via solder. A connection pad 2b is formed.

接続パッド2a、2bには、半田7、8が溶着されており、それにより接続パッド2a、2bの変色や酸化が防止されるとともに半導体素子30の各電極と接続パッド2aとの半田を介した接合や接続パッド2bと外部電気回路基板との半田を介した接合が容易なものとなっている。半田7、8としては、特に限定されないが、例えば錫−銀合金や錫−銀−銅合金等の鉛フリー半田から成るのが、環境への配慮から好ましい。   Solder 7 and 8 is welded to the connection pads 2a and 2b, thereby preventing discoloration and oxidation of the connection pads 2a and 2b, and via the solder between each electrode of the semiconductor element 30 and the connection pad 2a. Bonding and bonding between the connection pad 2b and the external electric circuit board via solder are facilitated. The solders 7 and 8 are not particularly limited, but are preferably made of lead-free solder such as a tin-silver alloy or a tin-silver-copper alloy from the viewpoint of the environment.

接続パッド2a、2bに半田7、8を溶着させるには、接続パッド2a、2bの上に半田粉末とフラックスとを含有する半田ペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して印刷塗布し、それを220〜260℃の温度で加熱して半田を溶融させることにより溶着する方法が採用される。   In order to weld the solders 7 and 8 to the connection pads 2a and 2b, a solder paste containing solder powder and flux is printed and applied on the connection pads 2a and 2b by using a well-known screen printing method. A method of welding by melting the solder by heating at a temperature of 220 to 260 ° C. is adopted.

ここで、図2に示すように、半導体素子30の搭載位置を認識するための位置決めマーク11が、配線基板20のコーナー部にそれぞれ上面視で略十字形状に形成されている。この位置決めマーク11は、半導体素子30を搭載する際に半導体素子30の電極と接続パッド2aとを位置合わせするための基準となるものである。   Here, as shown in FIG. 2, the positioning marks 11 for recognizing the mounting position of the semiconductor element 30 are formed in a substantially cross shape at the corners of the wiring board 20 as viewed from above. The positioning mark 11 serves as a reference for aligning the electrode of the semiconductor element 30 and the connection pad 2a when the semiconductor element 30 is mounted.

位置決めマーク11は、図3(a),(b)に示すように、位置決めマーク用のインク層12の上面中央部をソルダーレジスト層9に設けた開口部10から選択的に、すなわち上面視で略十字形状となるように露出させることにより形成されている。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the positioning mark 11 is selectively formed from the opening 10 provided in the solder resist layer 9 at the center of the upper surface of the ink layer 12 for the positioning mark, that is, in a top view. It is formed by exposing so as to have a substantially cross shape.

具体的には、まず、図4(a)に示すように、絶縁基板1の上面にインク充填層13を被着形成する。インク充填層13は、図3(b)に示すように略円形であり、その中央部に略円形の開口部14が形成されている(リング形状)。   Specifically, first, as shown in FIG. 4A, the ink filling layer 13 is deposited on the upper surface of the insulating substrate 1. As shown in FIG. 3B, the ink filling layer 13 has a substantially circular shape, and a substantially circular opening 14 is formed at the center thereof (ring shape).

インク充填層13は、配線導体2(導体層)と同じ導体層からなる。これにより、配線導体2を形成するのと同時にインク充填層13を形成することができる。すなわち、インク充填層13は、配線導体2と同様に、5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。   The ink filling layer 13 is made of the same conductor layer as the wiring conductor 2 (conductor layer). Thereby, the ink filling layer 13 can be formed simultaneously with the formation of the wiring conductor 2. That is, the ink filling layer 13 is formed by depositing a copper plating film having a thickness of about 5 to 50 μm on a predetermined pattern by a pattern forming method such as a known semi-additive method or a subtractive method, like the wiring conductor 2. It is formed.

インク充填層13に設けた開口部14に露出する絶縁基板1の上面に、図4(b)に示すように、インク組成物をスクリーン印刷法等により充填し、これを加熱して塗膜を硬化させ、インク層12を形成する。これにより、充填したインク組成物の表面張力の作用で形成されたインク層12の上面中央部が平坦化される。そして、この平坦化されたインク層12の上面中央部を、図4(c)に示すように、ソルダーレジスト層9に設けた開口部10から選択的に露出させて位置決めマーク11を形成する。したがって、位置決めマーク11は、その表面が平坦化されており、画像認識装置で正確に認識することができる。   The upper surface of the insulating substrate 1 exposed in the opening 14 provided in the ink filling layer 13 is filled with an ink composition by a screen printing method or the like as shown in FIG. Curing is performed to form the ink layer 12. Thereby, the center part of the upper surface of the ink layer 12 formed by the action of the surface tension of the filled ink composition is flattened. Then, as shown in FIG. 4C, the center portion of the upper surface of the flattened ink layer 12 is selectively exposed from the opening 10 provided in the solder resist layer 9 to form the positioning mark 11. Therefore, the positioning mark 11 has a flat surface and can be accurately recognized by the image recognition device.

前記インク組成物としては、ソルダーレジスト層9に対する色のコントラストが大きく、画像認識装置で正確に認識される程度の色を有するものであればよい。このようなインク組成物としては、例えば配線基板に部品番号、文字等を印刷する際に使用されるいわゆるシルクインク等が挙げられる。シルクインクは、絶縁基板1、インク充填層13およびソルダーレジスト層9との親和性にも優れる。   The ink composition is not particularly limited as long as it has a large color contrast with respect to the solder resist layer 9 and has a color that can be accurately recognized by the image recognition apparatus. As such an ink composition, for example, a so-called silk ink used for printing a part number, characters, or the like on a wiring board can be used. Silk ink is also excellent in affinity with the insulating substrate 1, the ink filling layer 13, and the solder resist layer 9.

前記シルクインクとしては、例えばエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の熱硬化性樹脂と、顔料と、適当な溶剤等を含むものが挙げられる。前記顔料としては、ソルダーレジスト層9に対する色のコントラストが大きくなるものが好ましく、例えば二酸化チタン、亜鉛華、アンチモン白、硫化亜鉛、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等の白色顔料が好ましいが、これらに限定されるものではない。   Examples of the silk ink include those containing a thermosetting resin such as an epoxy resin or an acrylic resin, a pigment, an appropriate solvent, and the like. The pigment preferably has a large color contrast with respect to the solder resist layer 9, for example, titanium dioxide, zinc white, antimony white, zinc sulfide, barite powder, barium carbonate, clay, silica, white carbon, talc, alumina white. A white pigment such as, but not limited to, is preferred.

前記インク組成物の粘度は50〜400dPa・s、好ましくは100〜300dPa・sであるのがよい。これにより、インク層12の上面中央部が確実に平坦化される。前記粘度は、25℃における粘度であり、回転式粘度計により測定して得られる値である。   The ink composition has a viscosity of 50 to 400 dPa · s, preferably 100 to 300 dPa · s. Thereby, the center part of the upper surface of the ink layer 12 is reliably flattened. The viscosity is a viscosity at 25 ° C. and is a value obtained by measurement with a rotary viscometer.

インク層12は、開口部14内にインク充填層13の上面より低い高さで形成されていてもよく、インク充填層13の上面を超える高さで形成されていてもよい。特に、ソルダーレジスト層9を密着性よく被着形成させると共に、インク層12から絶縁基板1の上面が露出するのを抑制する上で、インク充填層13の高さと実質同一の高さ(高さの差が2μm以内)で形成されているのが好ましい。   The ink layer 12 may be formed in the opening 14 at a height lower than the upper surface of the ink filling layer 13, or may be formed at a height exceeding the upper surface of the ink filling layer 13. In particular, when the solder resist layer 9 is formed with good adhesion and the upper surface of the insulating substrate 1 is prevented from being exposed from the ink layer 12, the height (height) is substantially the same as the height of the ink filling layer 13. Is preferably within 2 μm).

ソルダーレジスト層9の開口部10は、前記(a),(b)の方法を用いて形成される。このとき、開口部10を、位置決めマーク11表面で光が乱反射されないような形状に形成する。このような形状としては、例えばソルダーレジスト層9の下面から上面に向かって順次内径が広くなるような形状等が挙げられる。   The opening 10 of the solder resist layer 9 is formed using the methods (a) and (b). At this time, the opening 10 is formed in a shape such that light is not irregularly reflected on the surface of the positioning mark 11. Examples of such a shape include a shape in which the inner diameter gradually increases from the lower surface to the upper surface of the solder resist layer 9.

位置決めマーク11の表面は、ソルダーレジスト層9の上面よりも低い位置にある。具体的には、図3(a)に示すように、位置決めマーク11の表面からソルダーレジスト層9の上面までの高さhが2〜45μm、好ましくは5〜25μm程度であるのがよい。これにより、半導体素子30を搭載する際にマーク11が半導体素子30に接触することがなく、半導体素子30への汚染を防止することができる。   The surface of the positioning mark 11 is at a position lower than the upper surface of the solder resist layer 9. Specifically, as shown in FIG. 3A, the height h from the surface of the positioning mark 11 to the upper surface of the solder resist layer 9 is 2 to 45 μm, preferably about 5 to 25 μm. Thereby, when mounting the semiconductor element 30, the mark 11 does not contact the semiconductor element 30, and contamination to the semiconductor element 30 can be prevented.

このような位置決めマーク11を画像認識装置で認識し、その情報に基づいて半導体素子30の電極と接続パッド2aとを自動機により位置合わせをした後、220〜260℃の温度に加熱することにより、半導体素子30の電極と接続パッド2aとが半田7を介して接合される。このとき、前記した通り、位置決めマーク11は、その表面が平坦化されており、画像認識装置で正確に認識することができるので、半導体素子30の電極と接続パッド2aとを半田7を介して優れた位置精度で接続することができる。   By recognizing such a positioning mark 11 with an image recognition device, aligning the electrode of the semiconductor element 30 and the connection pad 2a by an automatic machine based on the information, and then heating to a temperature of 220 to 260 ° C. The electrodes of the semiconductor element 30 and the connection pads 2 a are joined via the solder 7. At this time, as described above, since the surface of the positioning mark 11 is flattened and can be accurately recognized by the image recognition device, the electrode of the semiconductor element 30 and the connection pad 2a are connected via the solder 7. Connection can be made with excellent positional accuracy.

次に、本発明にかかる他の配線基板について説明する。図5は、本実施形態にかかる位置決めマーク近傍を示す部分拡大断面図である。なお、図5においては、前述した図1〜図4と同一の構成部分には同一の符号を付して説明は省略する。   Next, another wiring board according to the present invention will be described. FIG. 5 is a partially enlarged sectional view showing the vicinity of the positioning mark according to the present embodiment. In FIG. 5, the same components as those in FIGS. 1 to 4 described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

同図に示すように、本実施形態にかかる配線基板が備える位置決めマーク31は、位置決めマーク用のインク層32の上面中央部をソルダーレジスト層9に設けた開口部10から選択的に露出させることにより形成されている。   As shown in the figure, the positioning mark 31 provided in the wiring board according to the present embodiment selectively exposes the central portion of the upper surface of the positioning mark ink layer 32 from the opening 10 provided in the solder resist layer 9. It is formed by.

そして、絶縁基板1の上面に被着形成されたインク充填層33は、上面視で略円形であり、その中央部に略円形の凹部34が形成されている。この凹部34内にインク組成物をスクリーン印刷法等により充填し、これを加熱して塗膜を硬化させ、前記インク層32が形成されている。   The ink filling layer 33 deposited on the upper surface of the insulating substrate 1 is substantially circular when viewed from above, and a substantially circular recess 34 is formed at the center thereof. The ink composition is filled in the concave portion 34 by a screen printing method or the like, and this is heated to cure the coating film, whereby the ink layer 32 is formed.

このように構成しても、位置決めマーク31は、前記した位置決めマーク11と同様の効果を奏することができる。特に、本実施形態では、前記インク組成物が顔料を含まないのが好ましい。これにより、インク層32は透明になり、ソルダーレジスト層9の開口部10から露出する透明なインク層32の下方に位置する凹部34の底面35が位置決めマークとして機能する。底面35はインク層32で被覆されているので、酸化や変色が防止される。   Even if comprised in this way, the positioning mark 31 can have the same effect as the positioning mark 11 described above. In particular, in this embodiment, it is preferable that the ink composition does not contain a pigment. As a result, the ink layer 32 becomes transparent, and the bottom surface 35 of the recess 34 located below the transparent ink layer 32 exposed from the opening 10 of the solder resist layer 9 functions as a positioning mark. Since the bottom surface 35 is covered with the ink layer 32, oxidation and discoloration are prevented.

インク層32の厚さは、5〜25μm程度であるのが好ましい。凹部34の深さは、5〜25μm程度であるのが好ましい。その他の構成は、前記した一実施形態にかかる配線基板20と同様である。   The thickness of the ink layer 32 is preferably about 5 to 25 μm. The depth of the recess 34 is preferably about 5 to 25 μm. Other configurations are the same as those of the wiring board 20 according to the above-described embodiment.

以上、本発明にかかるいくつかの実施形態について説明したが、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において種々の改善や変更が可能である。例えば前記した実施形態では、上面視で略十字形状の位置決めマークについて説明したが、本発明にかかる位置決めマークの形状はこれに限定されるものではなく、例えば上面視で略L字形、略T字形、略円形、略四角形のような多角形等であってもよく、用いる画像認識装置に応じて所望の形状を採用することができる。   As mentioned above, although some embodiment concerning this invention was described, this invention is not limited to the above embodiment, A various improvement and change are possible within the range described in the claim. . For example, in the above-described embodiment, the positioning mark having a substantially cross shape in the top view has been described. However, the shape of the positioning mark according to the present invention is not limited to this, and for example, substantially L-shaped or T-shaped in the top view. Alternatively, it may be a polygon such as a substantially circular shape or a substantially square shape, and a desired shape can be adopted depending on the image recognition apparatus to be used.

配線導体2(導体層)と同じ導体層からなるインク充填層13について説明したが、インク充填層は、導体層と異なる組成(例えばアルミニウムやステンレス鋼(SUS)等の金属、エポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂等)で構成されてもよい。   The ink filling layer 13 composed of the same conductor layer as the wiring conductor 2 (conductor layer) has been described. The ink filling layer has a composition different from that of the conductor layer (for example, a metal such as aluminum or stainless steel (SUS), an epoxy resin, or bismaleimide. A thermosetting resin such as a triazine resin).

現像・硬化後のソルダーレジスト層9に対し、例えばウエットブラスト法等による表面加工を施すことによって、位置決めマーク11とソルダーレジスト層9との各表面粗さに差を付与してもよい。これにより、両者のコントラストが大きくなり、より鮮明に位置決めマーク11を画像認識装置で認識することができる。   A difference may be given to each surface roughness of the positioning mark 11 and the solder resist layer 9 by subjecting the solder resist layer 9 after development and curing to surface processing by, for example, a wet blast method. Thereby, both contrast becomes large and the positioning mark 11 can be recognized more clearly by the image recognition apparatus.

表面加工されたソルダーレジスト層9表面の算術平均粗さRaは0.1〜1μm程度であるのが好ましい。位置決めマーク11表面の算術平均粗さRaは、通常、0.01〜1μm程度である。前記算術平均粗さRaは、JIS B0601’01に従って触針式表面粗さ測定器を用いて、カットオフ値:0.25mm、基準長さ:0.8mm、走査速度:0.1mm/秒にて測定された値である。なお、ウエットブラスト法等に代えて、位置決めマーク11およびソルダーレジスト層9の各硬度を異ならせ、両者の表面粗さに差を付与してもよい。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the solder resist layer 9 subjected to the surface processing is preferably about 0.1 to 1 μm. The arithmetic average roughness Ra on the surface of the positioning mark 11 is usually about 0.01 to 1 μm. The arithmetic average roughness Ra is set to a cut-off value: 0.25 mm, a reference length: 0.8 mm, and a scanning speed: 0.1 mm / second using a stylus type surface roughness measuring instrument according to JIS B0601'01. Measured value. Instead of the wet blasting method or the like, the positioning marks 11 and the solder resist layer 9 may have different hardnesses, and a difference may be imparted to the surface roughness of both.

以下、実施例を挙げて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to a following example.

<位置決めマークの作製>
図4(a)〜(c)に示した方法に基づいて、図3(a),(b)に示したような位置決めマークを作製した。まず、厚さ15μmの銅めっき膜をセミアディティブ法によりリング形状のパターンで絶縁基板の上面に被着させてインク充填層を形成した。
<Production of positioning marks>
Based on the method shown in FIGS. 4A to 4C, positioning marks as shown in FIGS. 3A and 3B were produced. First, an ink filling layer was formed by depositing a copper plating film having a thickness of 15 μm on the upper surface of the insulating substrate in a ring-shaped pattern by a semi-additive method.

ついで、このインク充填層に設けられた内径0.5mmの開口部に露出する絶縁基板の上面に、インク組成物をスクリーン印刷法により充填し、これを加熱して塗膜を硬化させ、厚さ10〜13μmのインク層を形成した。   Next, the ink composition is filled on the upper surface of the insulating substrate exposed in the 0.5 mm inner diameter opening provided in the ink filling layer by screen printing, and this is heated to cure the coating film. An ink layer of 10 to 13 μm was formed.

インク組成物は、エポキシ樹脂と、二酸化チタンとを含む白色のシルクインクを用いた。このシルクインクの粘度は100〜300dPa・sであった。前記粘度は、25℃における粘度であり、回転式粘度計により測定して得られた値である。   As the ink composition, a white silk ink containing an epoxy resin and titanium dioxide was used. The viscosity of this silk ink was 100 to 300 dPa · s. The viscosity is a viscosity at 25 ° C. and is a value obtained by measurement with a rotary viscometer.

形成されたインク層の上面中央部を目視観察した結果、平坦化されていた。ついで、絶縁基板の上面上およびインク層上に、該インク層の上面中央部を上面視で略円形となるように露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成し、位置決めマークを作製した。   As a result of visual observation of the central portion of the upper surface of the formed ink layer, it was flattened. Subsequently, a solder resist layer having an opening that exposes the central portion of the upper surface of the ink layer so as to be substantially circular when viewed from above is deposited on the upper surface of the insulating substrate and the ink layer, thereby producing a positioning mark. .

このとき、ソルダーレジスト層の開口部は、以下のようにして形成した。すなわち、感光性を有するソルダーレジスト層用の未硬化樹脂ペーストを、スクリーン印刷法を採用して絶縁基板の上面上およびインク層上に塗布し、これを乾燥させた後、露光および現像処理を行なって位置決めマークを選択的に露出させる開口部を形成した。この開口部は、ソルダーレジスト層の下面から上面に向かって順次内径が広くなる形状であり、最大内径は0.8mmであった。   At this time, the opening of the solder resist layer was formed as follows. That is, the uncured resin paste for the solder resist layer having photosensitivity is applied on the upper surface of the insulating substrate and the ink layer by using a screen printing method, dried, and then exposed and developed. Thus, an opening for selectively exposing the positioning mark was formed. The opening had a shape in which the inner diameter gradually increased from the lower surface to the upper surface of the solder resist layer, and the maximum inner diameter was 0.8 mm.

前記ソルダーレジスト層用の未硬化樹脂ペーストは、アクリル変性エポキシ樹脂に無機物粉末フィラー(シリカ)を分散させたものを用いた。作製された位置決めマークの表面からソルダーレジスト層の上面までの高さは、21μmであった。   The uncured resin paste for the solder resist layer was obtained by dispersing an inorganic powder filler (silica) in an acrylic-modified epoxy resin. The height from the surface of the produced positioning mark to the upper surface of the solder resist layer was 21 μm.

<評価>
作製された位置決めマークが画像認識装置で認識されるか否かを評価した。具体的には、画像認識装置を用いて、しきい値(Threshold値)30および40における2値化画像比較を行った。しきい値30の測定結果を図6(a)に、しきい値40の測定結果を図6(b)にそれぞれ示す。
<Evaluation>
It was evaluated whether or not the produced positioning mark was recognized by the image recognition apparatus. Specifically, binarized image comparison at threshold values (Threshold values) 30 and 40 was performed using an image recognition apparatus. The measurement result of the threshold 30 is shown in FIG. 6A, and the measurement result of the threshold 40 is shown in FIG. 6B.

なお、画像認識装置はAOI(Automated Optical Inspection System)装置を用いた。前記しきい値とは、位置決めマークとソルダーレジスト層との境界部において画像が現れ始める数値のことを意味する。このしきい値は、使用する画像認識装置によって変動する。   The image recognition device used was an AOI (Automated Optical Inspection System) device. The threshold value means a numerical value at which an image begins to appear at the boundary between the positioning mark and the solder resist layer. This threshold value varies depending on the image recognition device to be used.

図6(a),(b)から明らかなように、本発明にかかる位置決めマークは、しきい値30および40において、いずれも位置決めマーク自体の画像が明確であり、かつソルダーレジスト層との境界部も明確である。したがって、この位置決めマークは、しきい値の差が10の条件で画像認識装置によって正確に認識されているのがわかる。   As is clear from FIGS. 6A and 6B, the positioning mark according to the present invention has a clear image of the positioning mark itself at the threshold values 30 and 40, and the boundary with the solder resist layer. The department is also clear. Therefore, it can be seen that this positioning mark is accurately recognized by the image recognition device under the condition that the difference in threshold is 10.

[比較例]
厚さ15μmの銅めっき膜をセミアディティブ法により円形状のパターンで絶縁基板の上面に被着させて位置決めマーク用の導体層を形成した。ついで、前記実施例と同様にして、絶縁基板の上面上および導体層上に、該導体層の上面中央部を上面視で略円形となるように露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成し、銅めっき膜からなる位置決めマークを作製した。
[Comparative example]
A copper plating film having a thickness of 15 μm was deposited on the upper surface of the insulating substrate in a circular pattern by a semi-additive method to form a positioning mark conductor layer. Next, in the same manner as in the previous example, a solder resist layer having an opening that exposes the central portion of the top surface of the conductor layer so as to be substantially circular when viewed from above is deposited on the top surface and the conductor layer of the insulating substrate. A positioning mark made of a copper plating film was formed.

作製された位置決めマークが、画像認識装置で認識されるか否かを前記実施例と同様にして評価した。しきい値30の測定結果を図7(a)に、しきい値40の測定結果を図7(b)にそれぞれ示す。   Whether or not the produced positioning mark was recognized by the image recognition apparatus was evaluated in the same manner as in the above example. The measurement result of the threshold value 30 is shown in FIG. 7A, and the measurement result of the threshold value 40 is shown in FIG. 7B.

図7(a),(b)から明らかなように、銅めっき膜からなる位置決めマークは、しきい値30および40において、いずれも位置決めマーク自体に斑点が見られ、ソルダーレジスト層との境界部も不明確であった。この斑点は、しきい値40において顕著であった。また、しきい値を30未満に設定して測定した結果、位置決めマーク周囲の斑点が図7(b)と同様に顕著になり、明確な画像を得ることはできなかった。   As is clear from FIGS. 7A and 7B, the positioning mark made of the copper plating film has spots on the positioning mark itself at the threshold values 30 and 40, and the boundary portion with the solder resist layer. Was also unclear. This spot was remarkable at the threshold 40. Further, as a result of the measurement with the threshold value set to less than 30, the spots around the positioning mark became noticeable as in FIG. 7B, and a clear image could not be obtained.

電子部品としての半導体素子と、この半導体素子を搭載する本発明の一実施形態にかかる配線基板を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the semiconductor substrate as an electronic component, and the wiring board concerning one Embodiment of this invention which mounts this semiconductor device. 図1に示した配線基板を示す平面図である。It is a top view which shows the wiring board shown in FIG. (a)は、本発明の一実施形態にかかる位置決めマーク近傍を示す部分拡大断面図であり、(b)は、その平面図である。(A) is a partial expanded sectional view which shows the positioning mark vicinity concerning one Embodiment of this invention, (b) is the top view. (a)〜(c)は、本発明の一実施形態にかかる配線基板の製造方法を示す部分拡大工程図である。(A)-(c) is a partial expansion process figure which shows the manufacturing method of the wiring board concerning one Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態にかかる位置決めマーク近傍を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows the positioning mark vicinity concerning other embodiment of this invention. (a),(b)は、実施例の2値化画像比較の結果を示す図である。(A), (b) is a figure which shows the result of the binarized image comparison of an Example. (a),(b)は、比較例の2値化画像比較の結果を示す図である。(A), (b) is a figure which shows the result of the binarized image comparison of a comparative example.

符号の説明Explanation of symbols

1 絶縁基板
1a 芯体
1b 絶縁層
2 配線導体
2a、2b 接続パッド
4 貫通孔
5 樹脂柱
6 ビア孔
7、8 半田
9 ソルダーレジスト層
10、14 開口部
11、31 位置決めマーク
12、32 インク層
13、33 インク充填層
20 配線基板
30 半導体素子
34 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulation board | substrate 1a Core 1b Insulation layer 2 Wiring conductor 2a, 2b Connection pad 4 Through hole 5 Resin pillar 6 Via hole 7, 8 Solder 9 Solder resist layer 10, 14 Opening 11, 31 Positioning mark 12, 32 Ink layer 13 33 Ink filling layer 20 Wiring board 30 Semiconductor element 34 Recess

Claims (6)

電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、
前記電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマーク用のインク層と、
前記接続パッドおよび前記位置決めマークをそれぞれ選択的に露出させるソルダーレジスト層とを備えて成る配線基板であって、
前記インク層は、前記絶縁基板の上面に被着形成されたインク充填層に設けた開口部内に露出する前記絶縁基板の上面にインク組成物を充填することにより形成されており、
該インク層の少なくとも上面中央部を前記ソルダーレジスト層に設けた開口部から選択的に露出させることにより前記位置決めマークが形成されていることを特徴とする配線基板。
A conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected to an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted;
An ink layer for a positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component;
A wiring board comprising a solder resist layer that selectively exposes the connection pads and the positioning marks,
The ink layer is formed by filling an ink composition on an upper surface of the insulating substrate exposed in an opening provided in an ink filling layer deposited on the upper surface of the insulating substrate;
The wiring board, wherein the positioning mark is formed by selectively exposing at least a central portion of the upper surface of the ink layer from an opening provided in the solder resist layer.
電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、
前記電子部品の搭載位置を認識するための位置決めマーク用のインク層と、
前記接続パッドおよび前記位置決めマークをそれぞれ選択的に露出させるソルダーレジスト層とを備えて成る配線基板であって、
前記インク層は、前記絶縁基板の上面に被着形成されたインク充填層に設けた凹部内にインク組成物を充填することにより形成されており、
該インク層の少なくとも上面中央部を前記ソルダーレジスト層に設けた開口部から選択的に露出させることにより前記位置決めマークが形成されていることを特徴とする配線基板。
A conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected to an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted;
An ink layer for a positioning mark for recognizing the mounting position of the electronic component;
A wiring board comprising a solder resist layer that selectively exposes the connection pads and the positioning marks,
The ink layer is formed by filling an ink composition into a recess provided in an ink filling layer deposited on the upper surface of the insulating substrate;
The wiring board, wherein the positioning mark is formed by selectively exposing at least a central portion of the upper surface of the ink layer from an opening provided in the solder resist layer.
前記インク充填層が、前記導体層と同じ導体層からなる請求項1または2記載の配線基板。   The wiring board according to claim 1, wherein the ink filling layer is made of the same conductor layer as the conductor layer. 前記インク組成物が顔料を含まない請求項1〜3のいずれかに記載の配線基板。   The wiring board according to claim 1, wherein the ink composition does not contain a pigment. 電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、位置決めマーク用のインク層を形成するためのインク充填層とを被着形成する工程と、
前記インク充填層に設けた開口部内に露出する前記絶縁基板の上面にインク組成物を充填して前記インク層を形成する工程と、
前記絶縁基板の上面上、導体層上およびインク層上に、前記接続パッドおよび前記インク層の少なくとも上面中央部をそれぞれ選択的に露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成する工程とを含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
A process of depositing and forming a conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected and an ink filling layer for forming an ink layer for a positioning mark on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted When,
Filling the ink composition onto the upper surface of the insulating substrate exposed in the opening provided in the ink filling layer to form the ink layer;
Depositing and forming a solder resist layer having an opening for selectively exposing at least a central portion of the upper surface of the connection pad and the ink layer on the upper surface of the insulating substrate, the conductor layer, and the ink layer, respectively. A method of manufacturing a wiring board, comprising:
電子部品が搭載される絶縁基板の上面に、前記電子部品の電極が接続される接続パッド用の導体層と、位置決めマーク用のインク層を形成するためのインク充填層とを被着形成する工程と、
前記インク充填層に設けた凹部内にインク組成物を充填して前記インク層を形成する工程と、
前記絶縁基板の上面上、導体層上およびインク層上に、前記接続パッドおよび前記インク層の少なくとも上面中央部をそれぞれ選択的に露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着形成する工程とを含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
A process of depositing and forming a conductor layer for a connection pad to which an electrode of the electronic component is connected and an ink filling layer for forming an ink layer for a positioning mark on an upper surface of an insulating substrate on which the electronic component is mounted When,
A step of filling the ink composition in a recess provided in the ink filling layer to form the ink layer;
Depositing and forming a solder resist layer having an opening for selectively exposing at least a central portion of the upper surface of the connection pad and the ink layer on the upper surface of the insulating substrate, the conductor layer, and the ink layer, respectively. A method of manufacturing a wiring board, comprising:
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