JP2009208259A - Printing mask and manufacturing method of wiring substrate using this printing mask - Google Patents

Printing mask and manufacturing method of wiring substrate using this printing mask Download PDF

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JP2009208259A JP2008051194A JP2008051194A JP2009208259A JP 2009208259 A JP2009208259 A JP 2009208259A JP 2008051194 A JP2008051194 A JP 2008051194A JP 2008051194 A JP2008051194 A JP 2008051194A JP 2009208259 A JP2009208259 A JP 2009208259A
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義政 宮本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printing mask which enables printing of a uniform amount of solder paste to a solder jointing pad formed on the surface of a wiring substrate, and can maintain a successful printability for a long time, without causing a significant viscosity change in the solder paste, even in case it is repeatedly used. <P>SOLUTION: This printing mask 10 is formed of a metal plate 1 having a squeegee slide surface F on which a squeegee slides scraping the solder paste and an opposite surface B which comes into contact with the wiring substrate. In addition, the printing mask 10 has as opening formed region 1A where many openings 2 through which a part of the solder paste scraped by the squeegee passes from the squeegee slide surface F to the opposite surface B side are collectively defined in a row corresponding to the solder jointing pad of the wiring substrate. Further, a rough surface region 1B with a more conspicuous surface roughness than the squeegee slide surface F of the other region, is partially formed on the squeegee slide surface F around the opening formed region 1A. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、配線基板の表面に格子状の並びに集合して配設された半田接合パッドに半田ペーストを印刷するための印刷マスクおよびこれを用いた配線基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a printing mask for printing a solder paste on a solder bonding pad arranged in a lattice pattern on the surface of a wiring board, and a method of manufacturing a wiring board using the same.

近年、半導体集積回路素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板には、ガラス基材および熱硬化性樹脂から成る絶縁板と銅箔等から成る配線導体とを交互に複数積層して成るプリント基板や、絶縁板上に熱硬化性樹脂およびフィラーから成る絶縁層と銅めっき層から成る配線導体とを複数積層して成るビルドアップ基板が用いられている。そして、このようなプリント基板やビルドアップ基板等の配線基板の上面には、半導体集積回路素子等の電子部品の電極を配線導体に接続するために格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドが形成されており、さらに半田接合パッド上には電子部品の電極と半田接合パッドとを接合するための半田バンプが溶着されている。   In recent years, a wiring board used for mounting electronic components such as semiconductor integrated circuit elements is formed by alternately laminating a plurality of wiring conductors made of a glass base material and a thermosetting resin and copper foil or the like. There are used printed circuit boards and build-up boards formed by laminating a plurality of insulating layers made of thermosetting resin and filler and wiring conductors made of a copper plating layer on an insulating plate. And on the upper surface of such a printed circuit board or build-up circuit board, a large number of grid-like arrays are arranged to connect electrodes of electronic components such as semiconductor integrated circuit elements to the wiring conductor. The solder bonding pads are formed, and solder bumps for bonding the electrodes of the electronic components and the solder bonding pads are welded onto the solder bonding pads.

そして、このような半田バンプ付きの配線基板においては、半導体集積回路素子等の電子部品をその各電極がそれぞれ対応する半田バンプに当接するようにして配線基板上に載置するとともに、これらを例えば電気炉等の加熱装置で加熱して半田バンプを溶融させて半田バンプと電子部品の電極とを接合させることによって、電子部品が配線基板上に実装される。   In such a wiring board with solder bumps, electronic components such as semiconductor integrated circuit elements are placed on the wiring board such that their respective electrodes are in contact with the corresponding solder bumps. By heating with a heating device such as an electric furnace to melt the solder bump and joining the solder bump and the electrode of the electronic component, the electronic component is mounted on the wiring board.

なお、このような半田バンプ付きの配線基板は、内部および表面に複数の配線導体を有する絶縁基板の表面に、配線導体に接続されて格子状の並びに集合して配設された円形の多数の半田接合パッドを形成しておき、次に各半田接合パッドに対応する位置に半田ペーストが上面側から下面側に通過する開口を有する印刷マスクを用いて各半田接合パッド上に半田粉末および溶剤成分を含有する半田ペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して半田バンプに対応する量だけ印刷塗布するとともに、これをリフローにより加熱して半田ペースト中の半田粉末を溶融させて半田接合パッド上に半田バンプを形成することによって製作されている。   In addition, such a wiring board with solder bumps is connected to the wiring conductor on the surface of the insulating substrate having a plurality of wiring conductors on the inside and on the surface, and is arranged in a large number of circularly arranged in a lattice form. Solder bonding pads are formed, and then solder powder and solvent components on each solder bonding pad using a printing mask having an opening through which solder paste passes from the upper surface side to the lower surface side at a position corresponding to each solder bonding pad The solder paste containing the solder paste is applied by an amount corresponding to the solder bump by adopting a conventionally known screen printing method, and this is heated by reflow to melt the solder powder in the solder paste and onto the solder joint pad. It is manufactured by forming solder bumps.

しかしながら、従来の半田バンプ付きの配線基板の製造方法によれば、半田ペーストを各半田接合パッド上に印刷塗布する際、格子状の並びに集合して配設された半田接合パッドのうち最外周(特に角部)の半田接合パッドへの半田ペーストの塗布量が内側の半田接合パッドへの塗布量と比較して少なくなる傾向がある。そのため、電子部品の電極と半田接合パッドとを半田バンプを介して接合する際に、最外周の半田バンプの半田量が不足し、半田バンプの強度が弱いものとなって、電子部品の電極と半田接合パッドとを半田バンプを介して強固に接合することができなくなってしまうという問題点を有していた。   However, according to the conventional method for manufacturing a wiring board with solder bumps, when the solder paste is printed and applied onto each solder bonding pad, the outermost periphery (of the solder bonding pads arranged in a lattice pattern and arranged together) In particular, the amount of solder paste applied to the solder joint pads at the corners tends to be smaller than the amount applied to the inner solder joint pads. Therefore, when joining the electrode of the electronic component and the solder bonding pad via the solder bump, the solder amount of the outermost solder bump is insufficient and the strength of the solder bump becomes weak, There is a problem that it becomes impossible to firmly bond the solder bonding pad to the solder bump via the solder bump.

そこで、特許文献1には、配線導体を有する絶縁基板の上面に、電子部品の電極が接続される多数の半田接合パッドを格子状の並びに集合して配設するとともにこの半田接合パッドの中央部を露出させる開口部を有するソルダーレジスト層を被着させた配線基板と、前記各半田接合パッドに対応する位置に格子状の並びに配設されたバンプ形成用開口およびこのバンプ形成用開口の並びの外側にこのバンプ形成用開口と同じ形状および同じ配設間隔で形成されたダミーの開口を有する印刷マスクとを準備する工程と、この印刷マスクを用いて印刷することにより前記各半田接合パッド上にバンプ形成用の半田ペーストおよび前記半田接合パッドの並びの外側の前記ソルダーレジスト層上にダミーの半田ペーストを印刷塗布する工程と、前記バンプ形成用の半田ペーストおよびダミーの半田ペースト中の半田を加熱溶融させて、前記半田接合パッドに接合された半田バンプを形成するとともに前記半田接合パッドの並びの外側の前記ソルダーレジスト層上に半田ボールを形成する工程と、この半田ボールを除去する工程とを順次行なう半田バンプ付き配線基板の製造方法が提案されている。   Therefore, in Patent Document 1, a large number of solder joint pads to which electrodes of electronic components are connected are arranged in a grid on the upper surface of an insulating substrate having wiring conductors, and the center portion of the solder joint pads is arranged. A wiring board on which a solder resist layer having an opening for exposing the wiring is deposited, a bump forming opening arranged in a grid pattern at a position corresponding to each solder bonding pad, and an array of the bump forming openings A step of preparing a printing mask having a dummy opening formed on the outside with the same shape and the same arrangement interval as the bump forming opening, and printing on the solder bonding pad by using the printing mask. A step of printing and applying a dummy solder paste on the solder resist layer on the outer side of the solder paste for bump formation and the solder bonding pads; The solder in the solder paste and the solder in the dummy solder paste are heated and melted to form solder bumps joined to the solder joint pads and solder on the solder resist layer outside the solder joint pads. A method of manufacturing a wiring board with solder bumps has been proposed in which a step of forming a ball and a step of removing the solder ball are sequentially performed.

しかしながら、この特許文献1で提案された配線基板の製造方法によると、集合して配設された半田接合パッドの並びの外側のソルダーレジスト層上に印刷塗布したダミーの半田ペースト中の半田を加熱溶融させる際に、溶融した半田ボールがソルダーレジスト層と濡れないことからソルダーレジスト層上を移動し易く、そのため、半田接合パッドの配設ピッチが例えば200μm以下の狭いものとなると、ソルダーレジスト層上で溶融した半田ボールが製造工程中に受ける振動や衝撃、風圧等の影響で僅かに移動しただけでも隣接する半田バンプと接触して融合してしまい、その結果、一部の半田バンプの大きさが他の半田バンプよりも極端に大きくなったり、隣接する半田バンプ同士が融合して電気的に短絡してしまったりして電子部品の電極と半田接合パッドとを半田バンプを介して正常かつ強固に接続することができない事態が発生するという問題点がある。   However, according to the method for manufacturing a wiring board proposed in Patent Document 1, the solder in the dummy solder paste printed and applied onto the solder resist layer outside the array of the solder joint pads arranged in an aggregate is heated. When melting, the solder ball does not get wet with the solder resist layer, so it easily moves on the solder resist layer. Therefore, if the pitch of the solder bonding pads is narrow, for example, 200 μm or less, Even if the solder balls melted in step 1 move slightly due to the effects of vibration, impact, wind pressure, etc. that are received during the manufacturing process, they will contact and fuse with the adjacent solder bumps, resulting in the size of some solder bumps. Becomes extremely larger than other solder bumps, or adjacent solder bumps fuse together to cause an electrical short circuit. Electrode and solder bonding pad and the and the normal through the solder bumps can not be connected firmly situation is disadvantageously generated.

また、特許文献2には、スキージ滑走面の表面粗度をRaで0.20〜1.00μmとしたメタルマスクが提案されている。しかしながら、この特許文献2で提案されているメタルマスクは、電鋳法により形成されておりスキージ滑走面の全面がRaで0.20〜1.00μmの粗面となっている。このようなメタルマスクを用いて半田ペーストを印刷すると、スキージ滑走面の凹凸の間に半田ペーストが入り込むため、スキージ滑走後のスキージ滑走面の全面に薄い半田ペーストの膜が残ってしまう。このスキージ滑走面の全面に残った薄い半田ペーストの膜からは、半田ペースト中に含まれる溶剤成分が容易に蒸発してしまうので、同じ半田ペーストを使用して印刷を繰り返すと半田ペースト中の溶剤成分が大幅に減少して短時間の内に半田ペーストの粘度が上昇して印刷性に悪影響を与え、良好な印刷ができなくなってしまうという従来にない課題を誘発してしまう。
特開2004−179363号公報 特開平7−276842号広報
Patent Document 2 proposes a metal mask in which the squeegee sliding surface has a surface roughness Ra of 0.20 to 1.00 μm. However, the metal mask proposed in Patent Document 2 is formed by electroforming, and the entire surface of the squeegee sliding surface is a rough surface with a Ra of 0.20 to 1.00 μm. When the solder paste is printed using such a metal mask, the solder paste enters between the irregularities of the squeegee sliding surface, so that a thin solder paste film remains on the entire surface of the squeegee sliding surface after the squeegee sliding. Since the solvent component contained in the solder paste easily evaporates from the thin solder paste film remaining on the entire surface of the squeegee sliding surface, if the same solder paste is used and printing is repeated, the solvent in the solder paste The components are greatly reduced, and the viscosity of the solder paste increases within a short period of time, adversely affecting printability and inducing an unprecedented problem that good printing cannot be performed.
JP 2004-179363 A JP 7-276842 A

本発明は、かかる従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、配線基板の表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドに均一な量の半田ペーストを印刷することが可能であり、かつ同じ半田ペーストを繰り返し使用しても半田ペーストに大きな粘度変化を与えることなく良好な印刷性を長時間にわたって維持可能な印刷マスクを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、配線基板の表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドに均一な大きさの半田バンプを互いに短絡することなく形成し、それにより電子部品の電極と半田接合パッドとを半田バンプを介して正常かつ強固に接続することが可能な配線基板を得る製造方法を提供することにある。
The present invention has been devised in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a uniform amount of solder on a large number of solder joint pads arranged in a lattice pattern on the surface of a wiring board. An object of the present invention is to provide a printing mask capable of printing a paste and capable of maintaining good printability for a long time without giving a large viscosity change to the solder paste even when the same solder paste is used repeatedly.
Another object of the present invention is to form solder bumps of uniform size on a large number of solder joint pads arranged in a grid on the surface of a wiring board without short-circuiting each other, thereby An object of the present invention is to provide a manufacturing method for obtaining a wiring board capable of normally and firmly connecting an electrode of an electronic component and a solder bonding pad via a solder bump.

本発明の印刷マスクは、配線基板の表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドに半田ペーストを印刷するために用いられ、スキージが半田ペーストを掻きながら摺動されるスキージ摺動面と前記配線基板に当接する反対面とを有する金属板から成り、前記スキージで掻かれた前記半田ペーストの一部が前記スキージ摺動面側から前記反対面側に通過する開口を前記半田接合パッドに対応した並びに多数集合して設けた開口形成領域を有する印刷マスクであって、前記開口形成領域の周囲のスキージ摺動面に、他の領域のスキージ摺動面よりも表面粗さの粗い粗面領域が部分的に形成されていることを特徴とするものである。   The printing mask of the present invention is used for printing a solder paste on a large number of solder bonding pads arranged in a grid on the surface of a wiring board, and a squeegee is slid while scraping the solder paste. A metal plate having a squeegee sliding surface and an opposite surface in contact with the wiring board, and an opening through which a part of the solder paste scraped by the squeegee passes from the squeegee sliding surface side to the opposite surface side. A printing mask having an opening formation region corresponding to the solder bonding pads and provided in a collective manner, wherein the surface of the squeegee sliding surface around the opening formation region is rougher than the squeegee sliding surface of other regions. A rough surface region having a rough thickness is partially formed.

また本発明の配線基板の製造方法は、表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドを有する配線基板の前記表面側に、前記請求項1乃至4のいずれかに記載の印刷マスクを当接させるとともに前記スキージ摺動面にスキージを、該スキージが半田ペーストを掻きながら前記開口形成領域を通過するように摺動させることにより前記半田接合パッドに前記半田ペーストを印刷した後、該半田ペーストをリフローし、前記半田接合パッドに半田バンプを形成する工程を含むことを特徴とするものである。   The method for manufacturing a wiring board according to the present invention is the method according to any one of claims 1 to 4, wherein the wiring board having a large number of solder bonding pads arranged in a lattice pattern on the surface has the surface side of the wiring board. The solder paste was printed on the solder joint pad by bringing the printing mask into contact with the squeegee and sliding the squeegee so that the squeegee passes through the opening formation region while scraping the solder paste. Then, the method includes a step of reflowing the solder paste to form solder bumps on the solder joint pads.

本発明の印刷マスクによれば、配線基板の半田接合パッドに対応して多数の開口が配設された開口領域の周囲のスキージ摺動面に他の領域よりも表面粗さの粗い粗面領域を部分的に設けたことから、スキージがスキージ摺動面を半田ペーストを掻きながら摺動した際に、掻かれる半田ペーストの流動抵抗が粗面領域において大きくなり、それにより開口形成領域の外周部における半田ペーストのローリングが良好となって、半田接合パッドのうち最外周の半田接合パッドにも良好に半田ペーストが供給され、全ての半田接合パッドに均一な量の半田ペーストが印刷される。また、粗面領域は開口形成領域の周囲のみに部分的に設けられていることから、スキージの摺動後にスキージ摺動面上に残る薄い半田ペーストの膜は前記粗面領域のみの狭い面積に形成されることから半田ペースト膜から蒸発する溶剤成分の量を大幅に抑制することができ、同じ半田ペーストを繰り返し使用しても半田ペーストに大きな粘度変化を与えることなく良好な印刷性を長時間にわたって維持することができる。   According to the printing mask of the present invention, the squeegee sliding surface around the opening area in which a large number of openings are arranged corresponding to the solder bonding pads of the wiring board has a rough surface area with a surface roughness that is rougher than other areas. Therefore, when the squeegee slides on the sliding surface of the squeegee while scraping the solder paste, the flow resistance of the solder paste to be scratched increases in the rough surface region, thereby the outer peripheral portion of the opening forming region. As a result, the solder paste is rolled well, and the solder paste is satisfactorily supplied to the outermost solder joint pad among the solder joint pads, and a uniform amount of solder paste is printed on all the solder joint pads. Further, since the rough surface area is partially provided only around the opening forming area, the thin solder paste film remaining on the squeegee sliding surface after the squeegee slides has a narrow area only in the rough surface area. As a result, the amount of the solvent component that evaporates from the solder paste film can be greatly suppressed, and even if the same solder paste is used repeatedly, good printability is maintained for a long time without causing a large viscosity change in the solder paste. Can be maintained over time.

また本発明の配線基板の製造方法によれば、表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドを有する配線基板の前記表面側に、本発明の印刷マスクを当接させるとともに前記スキージ摺動面にスキージを、該スキージが半田ペーストを掻きながら前記開口形成領域を通過するように摺動させることにより前記半田接合パッドに前記半田ペーストを印刷することから、配線基板の各半田接合パッドに均一な量の半田ペーストが印刷され、この半田ペーストをリフローすることにより全ての半田接合パッドに均一な大きさの半田バンプが形成され、それにより半導体集積回路素子等の電子部品の電極と半田接合パッドとを半田バンプを介して正常かつ強固に接続することが可能な半田バンプ付きの配線基板を提供することができる。   Further, according to the method for manufacturing a wiring board of the present invention, the printing mask of the present invention is brought into contact with the surface side of the wiring board having a large number of solder bonding pads arranged in a grid on the surface. And printing the solder paste on the solder joint pad by sliding the squeegee on the sliding surface of the squeegee so that the squeegee passes through the opening forming region while scraping the solder paste. A uniform amount of solder paste is printed on the solder joint pads, and by reflowing this solder paste, uniform solder bumps are formed on all the solder joint pads, thereby making it possible to manufacture electronic components such as semiconductor integrated circuit elements. It is possible to provide a wiring board with solder bumps capable of normally and firmly connecting electrodes and solder bonding pads via solder bumps. .

次に、本発明の印刷マスクについて説明する。図1は、本発明の印刷マスクの実施形態例を示す概略上面図であり、図2は図1に示す印刷マスクのA−A切断線における概略断面図である。また、図3は本発明の印刷マスクを用いて半田ペーストが印刷される配線基板の概略上面図である。これらの図1および図2において、1は金属板、1Aは開口形成領域、1Bは粗面領域、2は開口、Fはスキージ摺動面、Bは反対面であり、これらで本発明の印刷マスク10が構成される。また図3において20は配線基板、24は半田接合パッドである。   Next, the printing mask of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic top view showing an embodiment of the printing mask of the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view taken along the line AA of the printing mask shown in FIG. FIG. 3 is a schematic top view of a wiring board on which a solder paste is printed using the printing mask of the present invention. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a metal plate, 1A denotes an opening forming region, 1B denotes a rough surface region, 2 denotes an opening, F denotes a squeegee sliding surface, and B denotes an opposite surface. A mask 10 is constructed. In FIG. 3, 20 is a wiring board, and 24 is a solder bonding pad.

本発明の印刷マスク10は、図3に示す配線基板20の半田接合パッド24に半田ペーストを印刷するために用いられるものであり、図1および図2に示すように、厚みが20〜50μm程度のステンレス製の金属板1から成り、その上面側にスキージが半田ペーストを掻きながら摺動されるスキージ摺動面Fを有しており、その反対面Bが配線基板20に当接される。   The printing mask 10 of the present invention is used for printing a solder paste on the solder bonding pads 24 of the wiring board 20 shown in FIG. 3, and has a thickness of about 20 to 50 μm as shown in FIGS. The squeegee sliding surface F on which the squeegee slides while scraping the solder paste is provided on the upper surface side thereof, and the opposite surface B is in contact with the wiring board 20.

印刷マスク10には、配線基板20の半田接合パッド24に対応する位置に金属板1の摺動面Fから反対面Bにかけて貫通する多数の開口2が形成されている。開口2は、印刷マスク10のスキージ摺動面F上をスキージが半田ペーストを掻きながら摺動した際に、その摺動に伴って半田ペーストの一部が開口2を介して摺動面F側から反対面B側に通過することによって半田接合パッド24に半田ペーストを印刷するためのものである。なお配線基板20の半田接合パッド24は直径が50〜200μm程度であり、配線基板20の表面にピッチが100〜250μmの格子状の並び多数が集合して配設されており、印刷マスク10の開口2もこれに対応した並びに直径が50〜200μm程度の大きさで多数が集合して設けられている。そして、印刷マスク10は、このように配線基板20の半田接合パッド24に対応して多数の開口が集合して形成された開口形成領域1Aを配線基板10の1個分または複数個分に対応して有している。なお、開口2は金属板1にフォトリソグラフィー技術を用いることにより形成される。   The printing mask 10 has a large number of openings 2 penetrating from the sliding surface F to the opposite surface B of the metal plate 1 at positions corresponding to the solder bonding pads 24 of the wiring board 20. When the squeegee slides on the squeegee sliding surface F of the printing mask 10 while scraping the solder paste, a part of the solder paste passes through the opening 2 along the sliding surface F side. The solder paste is printed on the solder joint pad 24 by passing from the side to the opposite surface B side. The solder bonding pads 24 of the wiring board 20 have a diameter of about 50 to 200 μm, and a large number of grid-like arrays with a pitch of 100 to 250 μm are gathered and arranged on the surface of the wiring board 20. A large number of openings 2 corresponding to this and having a diameter of about 50 to 200 μm are gathered and provided. The print mask 10 corresponds to one or a plurality of wiring board 10 corresponding to the opening forming region 1A formed by gathering a large number of openings corresponding to the solder bonding pads 24 of the wiring board 20 as described above. Have. The opening 2 is formed in the metal plate 1 by using a photolithography technique.

また、本発明の印刷マスク10は、開口形成領域1Aの周囲のスキージ摺動面Fに、他の領域のスキージ摺動面Fよりも表面粗さの粗い粗面領域1Bを有している。粗面領域1Bは、スキージ摺動面Fにスキージを半田ペーストを掻きながら摺動させた際に、開口形成領域1Aの周囲における半田ペーストの流動抵抗を高いものとするためのものであり、それにより開口形成領域1Aの外周部における半田ペーストのローリングが良好となって、多数集合して配設された半田接合パッド24のうち最外周の半田接合パッド24にも良好に半田ペーストが供給され、全ての半田接合パッド24に均一な量の半田ペーストが印刷される。またこのとき、スキージ摺動面Fにおける粗面領域1B以外の領域には半田ペーストの薄い膜が残留することはないので、半田ペーストから蒸発する溶剤成分の量を大幅に抑制することができ、同じ半田ペーストを繰り返し使用しても半田ペーストに大きな粘度変化を与えることなく良好な印刷性を長時間にわたって維持することができる。   Further, the printing mask 10 of the present invention has a rough surface region 1B having a rougher surface roughness than the squeegee sliding surface F in other regions on the squeegee sliding surface F around the opening forming region 1A. The rough surface region 1B is intended to increase the flow resistance of the solder paste around the opening forming region 1A when the squeegee is slid on the squeegee sliding surface F while scraping the solder paste. As a result, rolling of the solder paste at the outer peripheral portion of the opening forming region 1A becomes good, and the solder paste is satisfactorily supplied to the outermost solder bonding pads 24 among the solder bonding pads 24 arranged in a large number. A uniform amount of solder paste is printed on all solder bonding pads 24. At this time, since the thin film of the solder paste does not remain in the region other than the rough surface region 1B on the squeegee sliding surface F, the amount of the solvent component evaporated from the solder paste can be greatly suppressed. Even when the same solder paste is used repeatedly, good printability can be maintained for a long time without giving a large viscosity change to the solder paste.

なお、粗面領域1Bの算術平均粗さRaが0.3μm以下であると、開口形成領域1Aの周囲における半田ペーストの流動抵抗を十分に高めることができずに、その結果、開口形成領域1Aの外周部における半田ペーストのローリングが良好に起こらずに、多数集合して配設された半田接合パッド24のうち最外周の半田接合パッド24に印刷される半田ペーストの量が不足してしまい易くなり、5μmを超えると、印刷マスク上に余分な半田が多量に残留し易くなる。したがって、粗面領域1Bの算術平均粗さRaは0.3〜5μmの範囲が好ましい。また、スキージ摺動面Fにおける粗面領域1B以外の領域の算術表面粗さRaが0.2μmを超えると、スキージ摺動面Fにスキージを半田ペーストを掻きながら摺動させた際に、スキージ摺動面Fにおける粗面領域1B以外の領域に薄い半田ペーストの膜が残ってしまいやすくなり、それにより同じ半田ペーストを使用して印刷を繰り返すと半田ペーストからの溶剤成分の蒸発が増加して短時間の内に半田ペーストの粘度が大きく上昇して印刷性が低下してしまう。したがって、スキージ摺動面Fにおける粗面領域1B以外の領域の算術表面粗さRaは0.2μm以下であることが好ましい。   When the arithmetic average roughness Ra of the rough surface region 1B is 0.3 μm or less, the flow resistance of the solder paste around the opening forming region 1A cannot be sufficiently increased, and as a result, the opening forming region 1A The solder paste does not roll well at the outer peripheral portion of the solder, and the amount of solder paste printed on the outermost solder joint pad 24 among the solder joint pads 24 arranged in a large number is likely to be insufficient. If the thickness exceeds 5 μm, a large amount of excess solder tends to remain on the printing mask. Therefore, the arithmetic average roughness Ra of the rough surface region 1B is preferably in the range of 0.3 to 5 μm. If the arithmetic surface roughness Ra of the region other than the rough surface region 1B on the squeegee sliding surface F exceeds 0.2 μm, when the squeegee slides on the squeegee sliding surface F while scraping the solder paste, A thin solder paste film tends to remain in a region other than the rough surface region 1B on the sliding surface F, and when the same solder paste is used and printing is repeated, evaporation of the solvent component from the solder paste increases. Within a short time, the viscosity of the solder paste is greatly increased, and the printability is lowered. Therefore, it is preferable that the arithmetic surface roughness Ra of the region other than the rough surface region 1B on the squeegee sliding surface F is 0.2 μm or less.

また、開口形成領域1Aに配設された開口2のうち最外周の開口2から粗面領域1Bまでの距離が250μmを超えると、開口形成領域1Aの周囲における半田ペーストの流動抵抗を十分に高めることができずに、その結果、開口形成領域1Aの外周部における半田ペーストのローリングが良好に起こらずに、多数集合して配設された半田接合パッド24のうち最外周の半田接合パッド24に印刷される半田ペーストの量が不足してしまい易くなる。したがって、開口形成領域1Aに配設された開口2のうち最外周の開口2から粗面領域1Bまでの距離は250μm以下であることが好ましい。   Further, when the distance from the outermost peripheral opening 2 to the rough surface area 1B among the openings 2 arranged in the opening forming area 1A exceeds 250 μm, the flow resistance of the solder paste around the opening forming area 1A is sufficiently increased. As a result, the solder paste does not roll well in the outer peripheral portion of the opening formation region 1A, and the solder joint pads 24 arranged in a large number are arranged on the outermost solder joint pads 24. The amount of solder paste to be printed tends to be insufficient. Therefore, it is preferable that the distance from the outermost peripheral opening 2 to the rough surface area 1B among the openings 2 arranged in the opening forming area 1A is 250 μm or less.

さらに、粗面領域1Bの幅が100μm未満では、開口形成領域1Aの周囲における半田ペーストの流動抵抗を十分に高めることができずに、その結果、開口形成領域1Aの外周部における半田ペーストのローリングが良好に起こらずに、多数集合して配設された半田接合パッド24のうち最外周の半田接合パッド24に印刷される半田ペーストの量が不足してしまい易くなり、5μmを超えると、スキージ摺動面Fにスキージを半田ペーストを掻きながら摺動させた際に、粗面領域1Bに薄い半田ペーストの膜が大きな面積で残ってしまいやすくなり、それにより同じ半田ペーストを使用して印刷を繰り返すと半田ペーストからの溶剤成分の蒸発が増加して短時間の内に半田ペーストの粘度が大きく上昇して印刷性が低下してしまいやすくなる。したがって、粗面領域1Bの幅は100μm〜5mmの範囲が好ましい。   Furthermore, when the width of the rough surface region 1B is less than 100 μm, the flow resistance of the solder paste around the opening forming region 1A cannot be sufficiently increased, and as a result, the solder paste rolling around the outer periphery of the opening forming region 1A. The solder paste amount printed on the outermost solder joint pad 24 among the solder joint pads 24 arranged in a large number is likely to be insufficient, and the squeegee exceeds 5 μm. When the squeegee is slid on the sliding surface F while scraping the solder paste, a thin solder paste film is likely to remain in a large area on the rough surface region 1B, thereby printing using the same solder paste. Repeatedly, the evaporation of the solvent component from the solder paste increases, and the viscosity of the solder paste increases greatly within a short period of time, and the printability tends to decrease. The Therefore, the width of the rough surface region 1B is preferably in the range of 100 μm to 5 mm.

なお、開口形成領域1A周囲のスキージ摺動面Fに粗面領域1Bを形成するには、レーザ加工により点状または筋状の深さが0.3〜2μmの凹凸を形成すればよい。あるいは、化学的にエッチング処理したり、機械的に加工をしたりして凹凸をつけてもよい。   In order to form the rough surface region 1B on the squeegee sliding surface F around the opening forming region 1A, it is only necessary to form irregularities with a dot or streak depth of 0.3 to 2 μm by laser processing. Or you may give an unevenness | corrugation by carrying out a chemical etching process or processing mechanically.

次に、上述した本発明の印刷マスク10を使用して配線基板20の半田接合パッド24に半田ペーストを印刷し、これをリフローすることによって半田バンプ付きの配線基板20を製造する本発明の配線基板の製造方法について説明する。図4〜図6は本発明の配線基板の製造方法を説明するための工程毎の概略断面図である。これらの図において、10は印刷マスク、20は配線基板、24は半田接合パッド、31はスキージ、32は半田ペーストである。   Next, using the above-described printing mask 10 of the present invention, a solder paste is printed on the solder bonding pads 24 of the wiring board 20, and the wiring board 20 with solder bumps is manufactured by reflowing the solder paste. A method for manufacturing the substrate will be described. 4 to 6 are schematic cross-sectional views for each process for explaining the method for manufacturing a wiring board according to the present invention. In these drawings, 10 is a printing mask, 20 is a wiring board, 24 is a solder bonding pad, 31 is a squeegee, and 32 is a solder paste.

先ず、図4に示すように、上述した本発明の印刷マスク10と配線基板20とを準備する。なお、図4では配線基板20の1個分に対応する部分のみを抜き出して示しており、印刷マスク10は複数の配線基板20に対応して複数の開口形成領域1Aを備えていてもよく、図示しない枠状の金属フレームに適当な張力をもって支持されている。   First, as shown in FIG. 4, the above-described printing mask 10 and wiring board 20 of the present invention are prepared. In FIG. 4, only a portion corresponding to one wiring board 20 is extracted and shown, and the printing mask 10 may include a plurality of opening formation regions 1 </ b> A corresponding to the plurality of wiring boards 20, It is supported with a suitable tension on a frame-shaped metal frame (not shown).

配線基板20は、例えばガラス織物に熱硬化性樹脂を含浸させて成る絶縁板21aの上下面に熱硬化性樹脂から成る絶縁層21bが複数層ずつ積層された絶縁基板21の絶縁板21aの表面および各絶縁層21bの表面に銅箔や銅めっきから成る配線導体22が配設され、さらに最表層の絶縁層21b上に熱硬化性樹脂から成るソルダーレジスト層23が被着されて成る。さらに絶縁基板21の上面中央部には半導体集積回路素子等の電子部品が搭載される搭載部Aが形成されており、この搭載部Aには電子部品の電極が半田バンプを介して電気的に接続される多数の半田接合パッド24が格子状の並びに集合して配設されている。   The wiring substrate 20 is a surface of the insulating plate 21a of the insulating substrate 21 in which a plurality of insulating layers 21b made of a thermosetting resin are laminated on the upper and lower surfaces of an insulating plate 21a made of glass fabric impregnated with a thermosetting resin, for example. A wiring conductor 22 made of copper foil or copper plating is disposed on the surface of each insulating layer 21b, and a solder resist layer 23 made of a thermosetting resin is further deposited on the outermost insulating layer 21b. Further, a mounting portion A on which an electronic component such as a semiconductor integrated circuit element is mounted is formed in the central portion of the upper surface of the insulating substrate 21, and the electrodes of the electronic component are electrically connected to the mounting portion A through solder bumps. A large number of solder bonding pads 24 to be connected are arranged in a grid.

絶縁板21aは、配線基板20におけるコア部材であり、例えばガラス繊維束を縦横に織り込んだガラス織物にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて成る。この絶縁板21aは、例えば厚みが0.3〜1.5mm程度であり、その上面から下面にかけて直径が0.1〜1mm程度の複数の貫通孔25を有している。そして、その上下面および各貫通孔25の内面には配線導体22の一部が被着されており、上下面の配線導体22が貫通孔25を介して電気的に接続されている。   The insulating plate 21a is a core member in the wiring board 20, and is formed, for example, by impregnating a glass fabric in which glass fiber bundles are woven vertically and horizontally with a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin. The insulating plate 21a has a thickness of about 0.3 to 1.5 mm, for example, and has a plurality of through holes 25 with a diameter of about 0.1 to 1 mm from the upper surface to the lower surface. A part of the wiring conductor 22 is attached to the upper and lower surfaces and the inner surface of each through hole 25, and the upper and lower wiring conductors 22 are electrically connected via the through hole 25.

このような絶縁板21aは、ガラス織物に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁シートを熱硬化させた後、これに上面から下面にかけてドリル加工を施すことにより製作される。なお、絶縁板21a上下面の配線導体22は、絶縁板21a用の絶縁シートの上下全面に厚みが3〜50μm程度の銅箔を貼着しておくとともにこの銅箔をシートの硬化後にエッチング加工することにより所定のパターンに形成される。また、貫通孔25内面の配線導体22は、絶縁板21aに貫通孔25を設けた後に、この貫通孔25内面に無電解めっき法および電解めっき法により厚みが3〜50μm程度の銅めっき膜を析出させることにより形成される。   Such an insulating plate 21a is manufactured by thermally curing an insulating sheet in which a glass fabric is impregnated with an uncured thermosetting resin, and then drilling the insulating sheet from the upper surface to the lower surface. Note that the wiring conductors 22 on the upper and lower surfaces of the insulating plate 21a have a copper foil having a thickness of about 3 to 50 μm adhered to the entire upper and lower surfaces of the insulating sheet for the insulating plate 21a, and the copper foil is etched after the sheet is cured. By doing so, a predetermined pattern is formed. The wiring conductor 22 on the inner surface of the through hole 25 is provided with a copper plating film having a thickness of about 3 to 50 μm by electroless plating and electrolytic plating on the inner surface of the through hole 25 after the through hole 25 is provided in the insulating plate 21a. Formed by precipitation.

さらに、絶縁板21aは、その貫通孔25の内部にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る孔埋め樹脂26が充填されている。孔埋め樹脂26は、貫通孔25を塞ぐことにより貫通孔25の直上および直下に配線導体22および各絶縁層21bを形成可能とするためのものであり、未硬化のペースト状の熱硬化性樹脂を貫通孔25内にスクリーン印刷法により充填し、それを熱硬化させた後、その上下面を略平坦に研磨することにより形成される。そして、この孔埋め樹脂26を含む絶縁板21aの上下面に絶縁層21bがこの例ではそれぞれ2層ずつ積層されている。   Further, the insulating plate 21 a is filled with a hole filling resin 26 made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin in the through hole 25. The hole-filling resin 26 is for making it possible to form the wiring conductor 22 and each insulating layer 21b directly above and below the through-hole 25 by closing the through-hole 25, and is an uncured paste-like thermosetting resin. Is filled in the through-hole 25 by a screen printing method, thermally cured, and then the upper and lower surfaces thereof are polished substantially flatly. In this example, two insulating layers 21b are laminated on the upper and lower surfaces of the insulating plate 21a including the hole filling resin 26, respectively.

絶縁板21aの上下面に積層された各絶縁層21bは、エポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成り、それぞれの厚みが20〜60μm程度であり、各層の上面から下面にかけて直径が30〜100μm程度の複数の貫通孔27を有している。これらの各絶縁層21bは、配線導体22を高密度に配線するための絶縁間隔を提供するためのものである。そして、上層の配線導体22と下層の配線導体22とを貫通孔27を介して電気的に接続することにより高密度配線が立体的に形成可能となっている。このような各絶縁層21bは、厚みが20〜60μm程度の未硬化の熱硬化性樹脂から成る絶縁フィルムを絶縁板21aの上下面に貼着し、これを熱硬化させるとともにレーザ加工により貫通孔27を穿孔し、さらにその上に同様にして次の絶縁層21bを順次積み重ねることによって形成される。なお、各絶縁層21bの表面および貫通孔27内に被着された配線導体22は、各絶縁層21bを形成する毎に各絶縁層21bの表面および貫通孔27内に5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。   Each insulating layer 21b laminated on the upper and lower surfaces of the insulating plate 21a is made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin, and each has a thickness of about 20 to 60 μm, and has a diameter from the upper surface to the lower surface of each layer. Has a plurality of through holes 27 of about 30 to 100 μm. Each of these insulating layers 21b is for providing an insulating interval for wiring the wiring conductors 22 with high density. A high-density wiring can be three-dimensionally formed by electrically connecting the upper wiring conductor 22 and the lower wiring conductor 22 through the through hole 27. Each such insulating layer 21b has an insulating film made of an uncured thermosetting resin having a thickness of about 20 to 60 μm attached to the upper and lower surfaces of the insulating plate 21a. 27, and the next insulating layer 21b is sequentially stacked thereon in the same manner. The wiring conductor 22 deposited in the surface of each insulating layer 21b and in the through hole 27 has a thickness of about 5 to 50 μm in the surface of each insulating layer 21b and in the through hole 27 every time each insulating layer 21b is formed. This copper plating film is formed by depositing it in a predetermined pattern by a pattern forming method such as a known semi-additive method.

絶縁基板21の上面の搭載部Aに形成された半田接合パッド24は、直径が50〜200μm程度の円形であり、搭載部A内の領域にピッチが100〜250μmの格子状の並びに多数個が集合して配設されている。このような半田接合パッド24は、半導体集積回路素子等の電子部品の電極を配線導体22に電気的に接続するための端子部として機能し、最上層の絶縁層21b上に形成された配線導体22の一部を、ソルダーレジスト層23に設けた直径が50〜200μmの円形の開口23a内に露出させることにより形成されている。   The solder bonding pads 24 formed on the mounting portion A on the upper surface of the insulating substrate 21 have a circular shape with a diameter of about 50 to 200 μm, and a large number of grid-like arrays with a pitch of 100 to 250 μm are formed in the region within the mounting portion A. Collectively arranged. Such a solder bonding pad 24 functions as a terminal portion for electrically connecting an electrode of an electronic component such as a semiconductor integrated circuit element to the wiring conductor 22, and is a wiring conductor formed on the uppermost insulating layer 21b. Part 22 is exposed in a circular opening 23 a having a diameter of 50 to 200 μm provided in the solder resist layer 23.

ソルダーレジスト層23は、最表層の配線導体22を外部環境から保護するとともに半田接合パッド24同士の電気的な短絡を防止するダム部材として機能し、感光性を有するソルダーレジスト層23用の未硬化樹脂ペーストをロールコーター法やスクリーン印刷法を採用して最表層の絶縁層21b上に塗布し、これを乾燥させた後、露光および現像処理を行なって半田接合パッド24の中央部を露出させる開口23aを形成し、しかる後、これを熱硬化させることによって形成される。   The solder resist layer 23 functions as a dam member that protects the outermost wiring conductor 22 from the external environment and prevents an electrical short circuit between the solder bonding pads 24, and is uncured for the solder resist layer 23 having photosensitivity. The resin paste is applied onto the outermost insulating layer 21b using a roll coater method or a screen printing method, dried, and then exposed and developed to expose the central portion of the solder bonding pad 24. It is formed by forming 23a and then thermosetting it.

次に図5(a)〜(c)に示すように、配線基板20の上面に印刷マスク10を載置するとともに印刷マスク10のスキージ摺動面Fにスキージ31を、該スキージ31が半田ペースト32を掻きながら開口形成領域1Aを通過するように摺動させることにより、各開口2内に半田ペースト32の一部を埋め込んだ後、配線基板20の上から印刷マスク10を取り除くことによって、配線基板20の半田接合パッド24上に半田ペースト32を印刷する。このとき、印刷マスク10は開口形成領域1Aの周囲のスキージ摺動面Fに、他の領域のスキージ摺動面Fよりも表面粗さの粗い粗面領域1Bを有していることから、この粗面領域1Bにより開口形成領域1Aの周囲における半田ペースト32の流動抵抗が高いものとなり、それにより開口形成領域1Aの外周部における半田ペースト32のローリングが良好となって、多数集合して配設された半田接合パッド24のうち最外周の半田接合パッド24にも良好に半田ペースト32が供給され、全ての半田接合パッド24に均一な量の半田ペースト32が印刷される。またこのとき、スキージ摺動面Fにおける粗面領域1B以外の領域には半田ペースト32の薄い膜が残留することがないので、半田ペースト32から蒸発する溶剤成分の量を大幅に抑制することができ、同じ半田ペースト32を繰り返し使用しても半田ペースト32に大きな粘度変化を与えることなく良好な印刷性を長時間にわたって維持することができる。   Next, as shown in FIGS. 5A to 5C, the print mask 10 is placed on the upper surface of the wiring board 20, and the squeegee 31 is placed on the squeegee sliding surface F of the print mask 10, and the squeegee 31 is solder paste. A part of the solder paste 32 is embedded in each opening 2 by sliding the sheet 32 so as to pass through the opening forming region 1A, and then the print mask 10 is removed from the wiring board 20 to remove the wiring. A solder paste 32 is printed on the solder bonding pad 24 of the substrate 20. At this time, the printing mask 10 has a rough surface region 1B having a rougher surface roughness than the squeegee sliding surface F in the other regions on the squeegee sliding surface F around the opening forming region 1A. The rough surface region 1B increases the flow resistance of the solder paste 32 around the opening forming region 1A, thereby improving the rolling of the solder paste 32 on the outer periphery of the opening forming region 1A, and arranging a large number of them. The solder paste 32 is satisfactorily supplied to the outermost solder joint pads 24 among the solder joint pads 24 thus formed, and a uniform amount of the solder paste 32 is printed on all the solder joint pads 24. At this time, since the thin film of the solder paste 32 does not remain in the region other than the rough surface region 1B on the squeegee sliding surface F, the amount of the solvent component evaporated from the solder paste 32 can be greatly suppressed. Even if the same solder paste 32 is used repeatedly, good printability can be maintained for a long time without giving a large viscosity change to the solder paste 32.

最後に、配線基板20の半田接合パッド24に印刷された半田ペースト32をリフローすることにより、図6に示すように、半田接合パッド24に均一な大きさの半田バンプ28が形成された半田バンプ付きの配線基板が完成する。このように、本発明の製造方法によれば、配線基板20の上面に本発明の印刷マスク10を当接させるとともにスキージ摺動面Fにスキージ31を、スキージ31が半田ペースト32を掻きながら開口形成領域1Aを通過するように摺動させることにより半田接合パッド24に半田ペースト32を印刷することから、配線基板20の各半田接合パッド24に均一な量の半田ペースト32が印刷され、この半田ペースト32をリフローすることにより全ての半田接合パッド24に均一な大きさの半田バンプ28が形成され、それにより半導体集積回路素子等の電子部品の電極と半田接合パッド24とを半田バンプ28を介して正常かつ強固に接続することが可能な半田バンプ付きの配線基板を得ることができる。   Finally, by reflowing the solder paste 32 printed on the solder bonding pad 24 of the wiring board 20, as shown in FIG. 6, the solder bump in which the solder bump 28 having a uniform size is formed on the solder bonding pad 24. A wiring board with a mark is completed. As described above, according to the manufacturing method of the present invention, the print mask 10 of the present invention is brought into contact with the upper surface of the wiring board 20 and the squeegee 31 is opened on the squeegee sliding surface F while the squeegee 31 scratches the solder paste 32. Since the solder paste 32 is printed on the solder joint pad 24 by sliding so as to pass through the formation region 1A, a uniform amount of the solder paste 32 is printed on each solder joint pad 24 of the wiring board 20, and this solder By reflowing the paste 32, solder bumps 28 having a uniform size are formed on all the solder bonding pads 24, whereby the electrodes of electronic components such as semiconductor integrated circuit elements and the solder bonding pads 24 are connected via the solder bumps 28. Thus, a wiring board with solder bumps that can be connected normally and firmly can be obtained.

本発明の印刷マスクの実施形態例を示す要部概略上面図である。It is a principal part schematic top view which shows the embodiment of the printing mask of this invention. 図1に示す印刷マスク10のA−A切断線における概略断面図である。It is a schematic sectional drawing in the AA cut line of the printing mask 10 shown in FIG. 本発明の印刷マスクを用いて半田ペーストが印刷される配線基板の例を示す概略上面図である。It is a schematic top view which shows the example of the wiring board by which a solder paste is printed using the printing mask of this invention. 本発明の配線基板の製造方法を説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the wiring board of this invention. (a)〜(c)は本発明の配線基板の製造方法を説明するための概略断面図である。(A)-(c) is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the wiring board of this invention. 本発明の配線基板の製造方法を説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the wiring board of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:金属板
1A:開口形成領域
1B:粗面領域
2:開口
10:印刷マスク
20:配線基板
24:半田接合パッド
31:スキージ
32:半田ペースト
F:スキージ摺動面
B:反対面
1: Metal plate 1A: Opening formation region 1B: Rough surface region 2: Opening 10: Print mask 20: Wiring substrate 24: Solder bonding pad 31: Squeegee 32: Solder paste F: Squeegee sliding surface B: Opposite surface

Claims (5)

配線基板の表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドに半田ペーストを印刷するために用いられ、スキージが半田ペーストを掻きながら摺動されるスキージ摺動面と前記配線基板に当接する反対面とを有する金属板から成り、前記スキージで掻かれた前記半田ペーストの一部が前記スキージ摺動面側から前記反対面側に通過する開口を前記半田接合パッドに対応した並びに多数集合して設けた開口形成領域を有する印刷マスクであって、前記開口形成領域の周囲のスキージ摺動面に、他の領域のスキージ摺動面よりも表面粗さの粗い粗面領域が部分的に形成されていることを特徴とする印刷マスク。   A squeegee sliding surface that is used to print solder paste on a large number of solder bonding pads arranged in a grid on the surface of a wiring board, and the squeegee slides while scraping the solder paste, and the wiring An opening through which a part of the solder paste scraped by the squeegee passes from the squeegee sliding surface side to the opposite surface side corresponds to the solder bonding pad. In addition, a printing mask having an opening forming region provided in a large number, wherein a rough surface region having a rougher surface roughness than a squeegee sliding surface in another region is formed on the squeegee sliding surface around the opening forming region. A printing mask characterized by being partially formed. 前記粗面領域の表面粗さが算術平均粗さRaで0.3〜5μmであり、かつ前記他の領域の表面粗さが算術平均粗さRaで0.2μm以下であることを特徴とする請求項1記載の印刷マスク。   The surface roughness of the rough surface region is 0.3 to 5 μm in arithmetic average roughness Ra, and the surface roughness of the other region is 0.2 μm or less in arithmetic average roughness Ra. The printing mask according to claim 1. 前記開口形成領域に配設された開口のうち最外周の開口から前記粗面領域までの距離が250μm以下であることを特徴とする請求項1または2記載の印刷マスク。   The printing mask according to claim 1 or 2, wherein a distance from the outermost peripheral opening to the rough surface area among the openings provided in the opening forming area is 250 µm or less. 前記粗面領域の幅が100μm〜5mmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷マスク。   The printing mask according to claim 1, wherein a width of the rough surface region is 100 μm to 5 mm. 表面に格子状の並びに集合して配設された多数の半田接合パッドを有する配線基板の前記表面側に、前記請求項1乃至4のいずれかに記載の印刷マスクを当接させるとともに前記スキージ摺動面にスキージを、該スキージが半田ペーストを掻きながら前記開口形成領域を通過するように摺動させることにより前記半田接合パッドに前記半田ペーストを印刷した後、該半田ペーストをリフローし、前記半田接合パッドに半田バンプを形成する工程を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。   The squeegee slide and the printing mask according to any one of claims 1 to 4 are brought into contact with the surface side of a wiring board having a large number of solder bonding pads arranged in a grid on the surface. The solder paste is printed on the solder joint pad by sliding a squeegee on the moving surface so that the squeegee passes through the opening forming region while scraping the solder paste, and then reflowing the solder paste, A method of manufacturing a wiring board comprising a step of forming solder bumps on a bonding pad.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014216563A (en) * 2013-04-26 2014-11-17 株式会社デンソー Method for manufacturing electronic equipment and multilayer substrate used for the same
EP2923836A1 (en) * 2014-03-25 2015-09-30 Christian Koenen GmbH Method for manufacturing a printing stencil for technical printing
JP2017094645A (en) * 2015-11-27 2017-06-01 株式会社ボンマーク Suspend metal mask for printing, and method for producing the same

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