JP2009087957A - 太陽電池 - Google Patents
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 17
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000374 eutectic mixture Substances 0.000 abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
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- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
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Abstract
【課題】 スパイクの発生を抑える。
【解決手段】 半導体基板1のシリコンに対して、予めアルミニウム−シリコン合金が添加された導電性ペースト3を使用することにより、熱処理で新たにアルミニウムとシリコンとの共融混合物が作られ難くなって、電極4下に局所的に深い浸透部分が形成されない。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体基板1のシリコンに対して、予めアルミニウム−シリコン合金が添加された導電性ペースト3を使用することにより、熱処理で新たにアルミニウムとシリコンとの共融混合物が作られ難くなって、電極4下に局所的に深い浸透部分が形成されない。
【選択図】 図1
Description
本発明は、pn接合部を有する単結晶シリコンや多結晶シリコンなどからなる太陽電池、詳しくは電極の形成に用いられる導電性ペーストに関する。
更に詳しくは、シリコンからなる半導体基板の表面側拡散層に、主材料が銀、銅のうち少なくとも1種からなる導電性ペーストを塗布し熱処理することで、電極をコンタクト形成した太陽電池に関する。
更に詳しくは、シリコンからなる半導体基板の表面側拡散層に、主材料が銀、銅のうち少なくとも1種からなる導電性ペーストを塗布し熱処理することで、電極をコンタクト形成した太陽電池に関する。
従来、この種の太陽電池の電極形成として、ドーパント拡散層の上に銀ペーストなどの導電性ペーストをスクリーン印刷した後、高温で熱処理(焼成)することにより、ドーパント拡散層を通して電極を形成する(ファイアスルー)方法がある(例えば、特許文献1参照。)。
また、受光面側の電極形成を導電性ペーストとして銀ペーストの印刷・焼き付けで形成する場合に、銀ペーストに対して約2%前後のアルミニウムの粉末を添加することで、シリコン基板との接触抵抗を低減する方法が一般的に行われている。
また、受光面側の電極形成を導電性ペーストとして銀ペーストの印刷・焼き付けで形成する場合に、銀ペーストに対して約2%前後のアルミニウムの粉末を添加することで、シリコン基板との接触抵抗を低減する方法が一般的に行われている。
しかし乍ら、このような従来の太陽電池では、銀ペーストにアルミニウム粉末を添加したものを高温で熱処理すると、アルミニウムと基板のシリコンとが共融混合物を作り易いため、スパイクと呼ばれる局所的に深い浸透部分を形成し、電極下の再結合が増大して、開放電圧の低下を引き起こすという問題があった。
そこで、この問題を解決するため、現状では受光面側拡散層の厚さ寸法を厚くする方策が採られているが、それに伴い短波長光の量子効率が低下して変換効率向上の妨げになっている。
そこで、この問題を解決するため、現状では受光面側拡散層の厚さ寸法を厚くする方策が採られているが、それに伴い短波長光の量子効率が低下して変換効率向上の妨げになっている。
本発明のうち請求項1記載の発明は、スパイクの発生を抑えることを目的としたものである。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の発明の目的に加えて、セルの変換効率を更に向上させることを目的としたものである。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の発明の目的に加えて、セルの変換効率を更に向上させることを目的としたものである。
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、導電性ペーストの主材料にアルミニウム−シリコン合金を添加したことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成に、前記導電性ペーストの主材料に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度を0.1〜20重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度を0.1〜20重量%とした構成を加えたことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成に、前記導電性ペーストの主材料に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度を0.1〜20重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度を0.1〜20重量%とした構成を加えたことを特徴とする。
本発明のうち請求項1記載の発明は、半導体基板のシリコンに対して、予めアルミニウム−シリコン合金が添加された導電性ペーストを使用することにより、熱処理で新たにアルミニウムとシリコンとの共融混合物が作られ難くなって、電極下に局所的に深い浸透部分が形成されない。
従って、スパイクの発生を抑えることができる。
その結果、高温で熱処理するとスパイクが発生し易い従来のものに比べ、高温で熱処理しても電極下の再結合が増大せず、開放電圧の低下をも防止でき、それに伴って表面側拡散層の厚さ寸法を厚くする必要がないから、短波長光の量子効率も低下せず、セルの変換効率の向上が図れる。
従って、スパイクの発生を抑えることができる。
その結果、高温で熱処理するとスパイクが発生し易い従来のものに比べ、高温で熱処理しても電極下の再結合が増大せず、開放電圧の低下をも防止でき、それに伴って表面側拡散層の厚さ寸法を厚くする必要がないから、短波長光の量子効率も低下せず、セルの変換効率の向上が図れる。
請求項2の発明は、請求項1の発明の効果に加えて、導電性ペーストの主材料に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度を0.1〜20重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度を0.1〜20重量%とすることにより、スパイク起因のPN接合不良が顕著に抑制され、それに伴って表面側拡散層の厚さ寸法を低減できるから、短波長光の量子効率が低下しない。
従って、セルの変換効率を更に向上させることができる。
従って、セルの変換効率を更に向上させることができる。
この実施例は、図1(a)に示す如く、半導体基板1として単結晶シリコンや多結晶シリコンからなるn型又はp型のシリコン基板の受光面に、p+又はn+の表面側拡散層2を形成し、この表面側拡散層2の上に、主材料の銀ペーストにアルミニウム−シリコン合金が添加された導電性ペースト3をスクリーン印刷などで塗布し、その後、図1(b)に示す如く、加熱処理することにより表面側拡散層2上に電極4がコンタクト形成される場合を示すものである。
上記導電性ペースト3の配合例としては、主材料である銀に対してアルミニウム−シリコン合金の濃度を変えると共に、このアルミニウム−シリコン合金におけるアルミニウムに対してシリコンの濃度を変えることが考えられる。
そして、上述した配合例が異なる導電性ペースト3を用いて実際に電極4をコンタクト形成した試験品を夫々作成した。
これら試験品においてスパイクが発生するか否かの実験を行った結果を下記の表1に示し、コンタクト形成が良好であるか否かの実験を行った結果を下記の表2に示す。
これら試験品においてスパイクが発生するか否かの実験を行った結果を下記の表1に示し、コンタクト形成が良好であるか否かの実験を行った結果を下記の表2に示す。
試験品としては、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.05重量%以下及び0.1重量%〜20重量%、21重量%以上のものと、このアルミニウム−シリコン合金におけるアルミニウムに対するシリコンの濃度が0.05重量%以下及び0.1重量%〜20重量%、21重量%以上のものを用意した。
比較例としては、銀ペースト中に約2%のアルミニウム粉を添加したものを用意した。
なお、その他の実験条件として、表面側拡散層2の厚さを0.5μmとし、導電性ペースト3の焼成温度を800℃とした。
比較例としては、銀ペースト中に約2%のアルミニウム粉を添加したものを用意した。
なお、その他の実験条件として、表面側拡散層2の厚さを0.5μmとし、導電性ペースト3の焼成温度を800℃とした。
その結果、上記導電性ペースト3の主材料である銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.1〜20重量%であり、しかもこのアルミニウム−シリコン合金におけるアルミニウムに対するシリコンの濃度が0.1〜20重量%の試験品において、スパイク発生が見られず、かつコンタクト形成が良好であった。
これに対し、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が21重量%と、アルミニウムに対するシリコンの濃度が0.05重量%の試験品ではスパイクの発生が見られた。
また、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.05重量%と、アルミニウムに対するシリコンの濃度が21重量%の試験品ではコンタクト形成が不良であった。
これに対し、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が21重量%と、アルミニウムに対するシリコンの濃度が0.05重量%の試験品ではスパイクの発生が見られた。
また、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.05重量%と、アルミニウムに対するシリコンの濃度が21重量%の試験品ではコンタクト形成が不良であった。
更に、これら試験品及び比較例についてセルの変換効率を算出したところ、スパイク発生が見られなかった試験品(銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.1〜20重量%でアルミニウムに対するシリコンの濃度が0.1〜20重量%)は、所望の変換効率が得られたものの、それ以外のスパイク発生が見られた試験品(銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度が0.05重量%以下及び21重量%以上でアルミニウムに対するシリコンの濃度が0.05重量%以下及び21重量%以上)及び比較例では、所望の変換効率が得られなかった。
このような理由から、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度は約0.1〜20重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度は約0.1〜20重量%とすれば、スパイクの発生が抑えられて変換効率の高いセルが得られることから適当であると実証された。
特に、銀に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度を約1〜3重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度を約3〜13重量%とした試験品では、スパイク起因のPN接合不良が顕著に抑制されて、セルの変換効率が他の試験品に比べて更に向上することも今回の実験で解った。
尚、前示実施例では、導電性ペースト2の主材料が銀である場合を示したが、これに限定されず、導電性ペースト2の主材料が銅などを使用しても良い。
銅などであっても、予めアルミニウム−シリコン合金を適量添加すれば、上述した実施例と同様な作用効果が得られることも解った。
銅などであっても、予めアルミニウム−シリコン合金を適量添加すれば、上述した実施例と同様な作用効果が得られることも解った。
また、シリコン基板の受光面に形成された表面側拡散層2の上に導電性ペースト3を塗布し加熱処理することで電極4がコンタクト形成される場合を示したが、これに限定されず、シリコン基板の裏面に形成された拡散層の上に導電性ペーストを塗布し加熱処理することで裏面電極がコンタクト形成される場合に使用しても上述した実施例と同様な作用効果が得られる。
1 半導体基板(シリコン基板) 2 表面側拡散層
3 導電性ペースト 4 電極
3 導電性ペースト 4 電極
Claims (2)
- シリコンからなる半導体基板(1)の表面側拡散層(2)に、主材料が銀、銅のうち少なくとも1種からなる導電性ペースト(3)を塗布し熱処理することで、電極(4)をコンタクト形成した太陽電池において、
前記導電性ペースト(3)の主材料にアルミニウム−シリコン合金を添加したことを特徴とする太陽電池。 - 前記導電性ペースト(3)の主材料に対するアルミニウム−シリコン合金の濃度を0.1〜20重量%とし、そのアルミニウムに対するシリコンの濃度を0.1〜20重量%とした請求項1記載の太陽電池。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005378053A JP2009087957A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 太陽電池 |
PCT/JP2006/319009 WO2007077655A1 (ja) | 2005-12-28 | 2006-09-26 | 太陽電池 |
TW095137824A TW200725922A (en) | 2005-12-28 | 2006-10-13 | Solar cell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005378053A JP2009087957A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 太陽電池 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009087957A true JP2009087957A (ja) | 2009-04-23 |
Family
ID=38228015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005378053A Pending JP2009087957A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 太陽電池 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009087957A (ja) |
TW (1) | TW200725922A (ja) |
WO (1) | WO2007077655A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150948A1 (en) * | 2009-06-25 | 2010-12-29 | Lg Electronics Inc. | Solar cell and fabrication method thereof |
AT512041B1 (de) * | 2012-05-04 | 2013-05-15 | Mikroelektronik Ges Mit Beschraenkter Haftung Ab | Verfahren zur Herstellung eines metallisierten Substrats |
US9039940B2 (en) | 2011-03-25 | 2015-05-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device, and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
US9218898B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-12-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
JP2016508286A (ja) * | 2012-12-06 | 2016-03-17 | サンパワー コーポレイション | 太陽電池導電性コンタクトのシード層 |
JP2016519838A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-07-07 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 導電性ペースト及び太陽電池調製物におけるAl、Si及びMgを含む粒子 |
US9577122B2 (en) | 2013-04-04 | 2017-02-21 | Namics Corporation | Conductive paste-forming electrode, solar cell manufacturing method and solar cell |
US9947809B2 (en) | 2009-11-11 | 2018-04-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
US11222878B2 (en) | 2019-04-30 | 2022-01-11 | Ab Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Electronic power module |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7976734B2 (en) * | 2008-09-10 | 2011-07-12 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Solar cell electrodes |
TW201101338A (en) * | 2009-04-23 | 2011-01-01 | Du Pont | Metal pastes and use thereof in the production of positive electrodes on p-type silicon surfaces |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4293451A (en) * | 1978-06-08 | 1981-10-06 | Bernd Ross | Screenable contact structure and method for semiconductor devices |
JPS5555563A (en) * | 1978-10-19 | 1980-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electrode material for semiconductor device |
JPH09283781A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置 |
JP2005135942A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Canon Inc | 電極配設方法 |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005378053A patent/JP2009087957A/ja active Pending
-
2006
- 2006-09-26 WO PCT/JP2006/319009 patent/WO2007077655A1/ja active Application Filing
- 2006-10-13 TW TW095137824A patent/TW200725922A/zh unknown
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150948A1 (en) * | 2009-06-25 | 2010-12-29 | Lg Electronics Inc. | Solar cell and fabrication method thereof |
US9947809B2 (en) | 2009-11-11 | 2018-04-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
US9039940B2 (en) | 2011-03-25 | 2015-05-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device, and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
US9218898B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-12-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
AT512041B1 (de) * | 2012-05-04 | 2013-05-15 | Mikroelektronik Ges Mit Beschraenkter Haftung Ab | Verfahren zur Herstellung eines metallisierten Substrats |
AT512041A4 (de) * | 2012-05-04 | 2013-05-15 | Mikroelektronik Ges Mit Beschraenkter Haftung Ab | Verfahren zur Herstellung eines metallisierten Substrats |
JP2016508286A (ja) * | 2012-12-06 | 2016-03-17 | サンパワー コーポレイション | 太陽電池導電性コンタクトのシード層 |
JP2016519838A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-07-07 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 導電性ペースト及び太陽電池調製物におけるAl、Si及びMgを含む粒子 |
US9577122B2 (en) | 2013-04-04 | 2017-02-21 | Namics Corporation | Conductive paste-forming electrode, solar cell manufacturing method and solar cell |
US11222878B2 (en) | 2019-04-30 | 2022-01-11 | Ab Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Electronic power module |
US11776940B2 (en) | 2019-04-30 | 2023-10-03 | Kyocera AVX Components (Salzburg) GmbH | Electronic power module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007077655A1 (ja) | 2007-07-12 |
TW200725922A (en) | 2007-07-01 |
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