JP2009087525A - 半導体メモリ素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】スタックバンク構造において、データバス駆動回路に必要な回路面積を最小化することができる半導体メモリ素子を提供すること。
【解決手段】本発明の半導体メモリ素子は、列方向にスタックされるように配置された複数のバンクと、該複数のバングに対応するグローバルデータバスと、前記複数のバンクの各々に対応する複数のローカルデータバスに乗せられたデータを多重化して前記グローバルデータバスに伝達する共通のグローバルデータバス駆動手段とを備える。
【選択図】図6

Description

本発明は、半導体設計技術に関し、特に、半導体メモリ設計技術に関し、より詳細には、半導体メモリ素子のカラム制御ブロックに関する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)をはじめとする大部分の半導体メモリ素子では、階層的なデータバス構造が採用されている。すなわち、バンク領域には、ローカルデータバスが配置され、周辺回路領域には、グローバルデータバスが配置される。ローカルデータバス自体も、場合によって階層的に配置され得る。
図1は、DRAMのデータバスの配置構造を示す図である。
同図に示すように、バンクは、複数のメモリセルアレイのマトリクスを含む。メモリセルアレイの行方向には、セグメントデータバスSIO<0:3>が配置され、セグメントデータバスSIO<0:3>と直交する列方向には、ローカルデータバスLIO0〜LIO15が配置される。セグメントデータバスSIO<0:3>及びローカルデータバスLIO0〜LIO15は、通常、差動ラインで具現される。
一方、図示していないが、グローバルデータバスGIO0〜GIO15は、バンク下端の周辺回路領域に行方向に配置され、メモリセルアレイとグローバルデータバスGIO0〜GIO15との間にカラム制御ブロックが配置される。カラム制御ブロックには、書き込みドライバWDと、データバス感知増幅器IOSAとが備えられる。
図2Aは、DRAMの読み出し動作時におけるデータ伝達経路を示す図である。
同図に示すように、DRAMの読み出し動作時におけるデータ伝達経路には、メモリセルMC、ビット線BL,BLB、ビット線感知増幅器BLSA、セグメントデータバスSIO,SIOB、ローカルデータバスLIO,LIOB、データバス感知増幅器IOSA、及びグローバルデータバスGIOが存在する。
ここで、ビット線BL,BLBとビット線感知増幅器BLSAとの間には、ビット線分離信号BISHによって制御される2つのNMOSトランジスタが備えられ、ビット線感知増幅器BLSAとセグメントデータバスSIO,SIOBとの間には、カラム選択信号YIによって制御される2つのPMOSトランジスタが備えられ、セグメントデータバスSIO,SIOBとローカルデータバスLIO,LIOBとの間には、入出力スイッチ制御信号IOSWによって制御される2つのNMOSトランジスタが備えられる。
図2Bは、図2Aに示す回路の動作タイミング図であって、以下、図2Bを参照してDRAMの読み出し動作を簡単に説明する。
まず、アクティブコマンドが印加されると、アクティブコマンドと同時に印加されたロウアドレスをデコードし、これにより、1つのワード線WLが選択されて活性化される。これにより、当該ワード線WLに接続された全てのメモリセルMCのセルトランジスタがターンオンし、セルキャパシタと、プリチャージ状態のビット線BL,BLBとの間に電荷共有(charge sharing)が発生する。正ビット線BL及び負ビット線BLBは、電荷共有による微小電圧差を有する。
次に、ビット線感知増幅器BLSAがイネーブルされ、正ビット線BLと負ビット線BLBとの微小電圧差を感知し、これをプルダウン電源SB及びプルアップ電源RTOのレベルに増幅する。図中には、正ビット線BLが接地電圧VSSレベルに増幅され、負ビット線BLBがコア電圧VCOREレベルに増幅された場合を示している。
一方、アクティブコマンドの印加時点から一定時間tRCD経過後、読み出しコマンドが印加され、読み出しコマンドと同時に印加されたカラムアドレスをデコードし、これにより、1つのビット線が選択される。すなわち、選択されたビット線に対応するカラム選択信号YIが活性化され、それによって制御される2つのPMOSトランジスタをターンオンさせ、これにより、ビット線BL,BLBとセグメントデータバスSIO,SIOBとが互いに接続され、増幅されたビット線BL,BLBのデータがセグメントデータバスSIO,SIOBに伝達される。
次に、入出力スイッチ制御信号ISOWが活性化され、それによって制御される2つのNMOSトランジスタがターンオンし、それにより、セグメントデータバスSIO,SIOBに乗せられたデータがローカルデータバスLIO,LIOBに伝達される。
また、読み出しコマンドを受信して生成されたストローブ信号IOSASTBが活性化されると、データバス感知増幅器IOSAがイネーブルされ、ローカルデータバスLIO,LIOBに乗せられたデータを感知増幅し、感知増幅されたデータに対応するレベルでグローバルデータバスGIOを駆動する。
一方、ビット線感知増幅器BLSAで増幅されたデータは、ビット線感知増幅器BLSAがディセーブルされる前にメモリセルMCに再格納され、ビット線BL,BLBは、再びプリチャージ状態に戻る。
また、データバス感知増幅器IOSAは、基本的に、ローカルデータバスLIO,LIOBに乗せられたデータを感知増幅する感知増幅回路が備えられ、感知増幅されたデータに対応するレベルでグローバルデータバスGIOを駆動するグローバルデータバス駆動回路が付属する。
図3Aは、データバス感知増幅器IOSAに備えられた感知増幅回路の回路図である。
同図に示すように、データバス感知増幅器IOSAに備えられた感知増幅回路は、通常、2段増幅回路で具現されている。第1増幅回路300Aは、カレントミラー型差動増幅器(平行接続型)で具現される。カレントミラー型差動増幅器は、第1ストローブ信号IOSTB1によって制御され、ローカルデータバスLIO,LIOBを差動入力端とする。一方、第2増幅回路300Bは、CMOSクロスカップル型差動増幅器で具現される。CMOSクロスカップル型差動増幅器は、第2ストローブ信号IOSTB2によって制御され、第1増幅回路300Aの出力信号DO,DOBを差動入力とする。
図3Bは、図3Aに示す感知増幅回路の動作タイミング図であって、図3Bを参照して感知増幅回路の動作を詳細に説明する。
入出力スイッチ制御信号IOSWが活性化されると、セグメントデータバスSIO,SIOBとローカルデータバスLIO,LIOBとが接続され、セグメントデータバスSIO,SIOBの電位がローカルデータバスLIO,LIOBに伝達される。
第1ストローブ信号IOSTB1は、入出力スイッチ制御信号IOSWが活性化された時点からtAだけの時間経過後に活性化される。tAは、ローカルデータバスLIO,LIOBに電圧を印加しはじめてから、第1増幅回路300AがローカルデータバスLIO,LIOBの微小電圧差dVを感知するのに必要な最小時間を意味する。
また、第2ストローブ信号IOSTB2は、第1ストローブ信号IOSTB1が活性化された時点からtBだけの時間経過後に活性化される。tBは、第2増幅回路300Bのための最小時間を意味する。
一方、ローカルデータバスLIO,LIOBが電源電圧VDDレベルにプリチャージされるのと同じように、感知増幅回路の出力端OUT,OUTBも、電源電圧VDDレベルにプリチャージされる。
図4は、データバス感知増幅器IOSAに付属するグローバルデータバス駆動回路の回路図である。
同図に示すように、グローバルデータバス駆動回路は、感知増幅回路の正出力信号OUTを入力とする第1インバータINV1と、第1インバータINV1の出力信号を入力とする第2インバータINV2と、感知増幅回路の負出力信号OUTBを入力とする第3インバータINV3と、第3インバータINV3の出力信号を入力とする第4インバータINV4と、第4インバータINV4の出力信号を入力とする第5インバータINV5と、電源電圧端VDDにソースが接続され、グローバルデータバスGIOにドレインが接続され、第2インバータINV2の出力信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタMP1と、接地電圧端VSSにソースが接続され、グローバルデータバスGIOにドレインが接続され、第5インバータINV5の出力信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタMN1とを備える。
一方、最近の超高集積DRAMでは、2つ以上のバンクをスタックすることで回路面積を縮小するスタックバンク構造が適用されている。スタックバンク構造を適用すると、デコード回路を複数のバンクが共有することにより、デコード回路の全面積を大幅に縮小することができる。
図5は、スタックバンク構造を有するDRAMの読み出し経路のブロック図である。
同図に示すように、2つのバンクが列方向にスタックされるように配置されている。すなわち、第1バンクBank0の上に第2バンクBank1が配置されている。第2バンクBank1に対応するローカルデータバスLIO_UPは、第1バンクBank0を通過してグローバルデータバスGIOにまで配置されており、第1バンクBank0に対応するローカルデータバスLIO_DNは、グローバルデータバスGIOにまで配置されている。
一方、第1バンクBank0とグローバルデータバスGIOとの間には、第1バンクBank0に対応する第1カラム制御部と、第2バンクBank1に対応する第2カラム制御部とが配置される。前述のように、第1カラム制御部及び第2カラム制御部には、それぞれ、書き込みドライバWDと、データバス感知増幅器IOSAとが備えられるが、本発明は、データバス感知増幅器IOSAに付属するデータバス駆動回路に関するものであるため、以下では、書き込みドライバWDに関する説明は省略する。
より詳細に説明すると、第1カラム制御部には、ローカルデータバスLIO_DNに乗せられたデータを感知増幅する感知増幅回路(図3A参照)と、データバス駆動回路(図4参照)とが備えられ、第2カラム制御部にも、ローカルデータバスLIO_UPに乗せられたデータを感知増幅する感知増幅回路と、データバス駆動回路とが別途に備えられる。
このように、従来のスタックバンク構造では、カラム制御ブロックのデータバス駆動回路がバンク毎に別途に備えられているため、カラム制御ブロックの面積が大きいという問題があった。
そこで、本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、スタックバンク構造において、データバス駆動回路に必要な回路面積を最小化することができる半導体メモリ素子を提供することにある。
上記の課題を達成するための本発明の一形態によれば、列方向にスタックされるように配置された複数のバンクと、該複数のバングに対応するグローバルデータバスと、前記複数のバンクの各々に対応する複数のローカルデータバスに乗せられたデータを多重化して前記グローバルデータバスに伝達する共通のグローバルデータバス駆動手段とを備える半導体メモリ素子が提供される。
また、本発明の他の形態によれば、第1バンクと、該第1バンクと列方向にスタックされるように配置された第2バンクと、前記第1バンク及び第2バンクに対応するグローバルデータバスと、前記第1バンクに対応する第1ローカルデータバスに乗せられたデータを感知増幅する第1感知増幅手段と、前記第2バンクに対応する第2ローカルデータバスに乗せられたデータを感知増幅する第2感知増幅手段と、前記第1感知増幅手段及び第2感知増幅手段から出力されたデータを多重化して前記グローバルデータバスに伝達する共通のグローバルデータバス駆動手段とを備える半導体メモリ素子が提供される。
本発明は、スタックバンク構造を採用する半導体メモリ素子において、カラム制御ブロックのデータバス駆動回路を複数のスタックされたバンクが共有する方式を提案する。本発明では、活性化されていないバンクのローカルデータバスは、電源電圧VDDレベルにプリチャージされることを利用して、活性化されたバンクのローカルデータバスに乗せられたデータを選択することができるため、比較的簡単に複数のバンクに対するデータの多重化が可能となる。
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明をより容易に実施できるようにするため、本発明の好ましい実施形態を示す。
図6は、本発明の一実施形態に係るスタックバンク構造を有するDRAMの読み出し経路のブロック図である。
同図に示すように、本実施形態に係るDRAMは、列方向にスタックされるように配置された複数のバンクBank0,Bank1と、スタックされた複数のバンクBank0,Bank1に対応するグローバルデータバスGIOと、複数のバンクBank0,Bank1の各々に対応する複数のローカルデータバスLIO_DN,LIO_UPに乗せられたデータを多重化してグローバルデータバスGIOに伝達する共通のグローバルデータバス駆動回路GIODRV_COMとを備える。
図中には、第1バンクBank0の上に第2バンクBank1が配置される2つのバンクのスタック構造を示しているが、4つ以上のバンクをスタックすることもできる。第2バンクBank1に対応するローカルデータバスLIO_UPは、第1バンクBank0を通過して共通のグローバルデータバス駆動回路にまで配置されており、第1バンクBank0に対応するローカルデータバスLIO_DNは、共通のグローバルデータバス駆動回路にまで配置されている。
すなわち、本実施形態では、グローバルデータバス駆動回路をバンク毎に割り当てず、スタックされた複数のバンクが共有するようにする。
図7は、感知増幅回路まで考慮したDRAMの読み出し経路のブロック図である。
同図に示すDRAMは、第1バンクBank0と、第1バンクBank0と列方向にスタックされるように配置された第2バンクBank1と、第1バンクBank0及び第2バンクBank1に対応するグローバルデータバスGIOと、第1バンクBank0に対応する第1ローカルデータバスLIO_DNに乗せられたデータを感知増幅する第1感知増幅回路DBSA0と、第2バンクBank1に対応する第2ローカルデータバスLIO_UPに乗せられたデータを感知増幅する第2感知増幅回路DBSA1と、第1感知増幅回路DBSA0及び第2感知増幅回路DBSA1から出力されたデータを多重化してグローバルデータバスGIOに伝達する共通のグローバルデータバス駆動回路GIODRV_COMとを備える。
図5に示す従来技術と比較すると、第1感知増幅回路DBSA0及び第2感知増幅回路DBSA1の構成はいずれも、図3Aに示すように、従来と同じである。ただし、グローバルデータバス駆動回路をバンク毎に割り当てず、スタックされた第1バンクBank0及び第2バンクBank1が1つのグローバルデータバス駆動回路を共有するようにする。すなわち、1つのグローバルデータバス駆動回路を除去することにより、それだけ回路面積を縮小することができる。
図8は、図7に示す共通のグローバルデータバス駆動回路GIODRV_COMの回路図である。
同図に示すように、共通のグローバルデータバス駆動回路GIODRV_COMは、第1感知増幅回路DBSA0の差動出力信号である正/負出力信号LIO_DNS,LIOB_DNS及び第2感知増幅回路DBSA1の差動出力信号である正/負出力信号LIO_UPS,LIOB_UPSを多重化して出力する多重化部800と、多重化部800の出力信号をバッファリングするバッファ部810と、バッファ部810の出力信号に応答して、グローバルデータバスGIOをプルアップ/プルダウン駆動する駆動部820とを備える。
多重化部800は、第1感知増幅回路DBSA0の正出力信号LIO_DNS及び第2感知増幅回路DBSA1の正出力信号LIO_UPSを入力とする第1NANDゲートNAND11と、第1感知増幅回路DBSA0の負出力信号LIOB_DNS及び第2感知増幅回路DBSA1の負出力信号LIOB_UPSを入力とする第2NANDゲートNAND12とを備える。
バッファ部810は、第1NANDゲートNAND11の出力信号を入力とする第1インバータINV11と、第2NANDゲートNAND12の出力信号を入力とする第2インバータINV12と、第2インバータINV12の出力信号を入力とする第3インバータINV13とを備える。
駆動部820は、電源電圧端VDDにソースが接続され、グローバルデータバスGIOにドレインが接続され、第1インバータINV11の出力信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタMP11と、接地電圧端VSSにソースが接続され、グローバルデータバスGIOにドレインが接続され、第3インバータINV13の出力信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタMN11とを備える。
以下、本実施形態に係るDRAMの読み出し動作を簡単に説明する。
まず、アクティブコマンドが印加され、第1バンクBank0のワード線が選択されて活性化された場合、後続の読み出しコマンドにより、ビット線、セグメントデータバス、第1ローカルデータバスLIO_DNにデータが伝達される。第1ローカルデータバスLIO_DNに乗せられたデータは、第1感知増幅回路DBSA0によって感知増幅され、これにより、第1感知増幅回路DBSA0の正/負出力信号LIO_DNS,LIOB_DNSは、感知増幅されたデータに対応するレベルを有することになる。
一方、第1ローカルデータバスLIO_DNに対応する第2バンクBank1の第2ローカルデータバスLIO_UPは、電源電圧VDDレベルにプリチャージされている。すなわち、第2感知増幅回路DBSA1の正/負出力信号LIO_UPS,LIOB_UPSは、ハイレバルに固定される。
したがって、多重化部800の第1NANDゲートNAND11は、第1感知増幅回路DBSA0の正出力信号LIO_DNSを反転して出力し、第2NANDゲートNAND12は、第1感知増幅回路DBSA0の負出力信号LIOB_DNSを反転して出力する。すなわち、第1感知増幅回路DBSA0及び第2感知増幅回路DBSA1の出力信号のうち、第1感知増幅回路DBSA0の出力信号を選択的に出力し、駆動部820は、その出力信号に対応するレベルでグローバルデータバスGIOを駆動する。
仮に、これとは逆に、第2バンクBank1が活性化された場合であれば、多重化部800は、第1感知増幅回路DBSA0及び第2感知増幅回路DBSA1の出力信号のうち、第2感知増幅回路DBSA1の出力信号を選択的に出力する。
本発明によれば、データバス駆動回路を共有することにより、カラム制御ブロックの面積を大幅に縮小することができ、これにより、半導体メモリ装置の歩留まりを向上させることができる。
本発明の技術思想は、上記の好ましい実施形態に基づいて具体的に記述されたが、上記の実施形態はその説明であって、それを制限するものではないことに注意しなければならない。また、本発明の技術分野における通常の専門家であれば、本発明の技術思想の範囲内で様々な実施形態が可能であることを理解することができる。
例えば、上記の実施形態では、2つのバンクをスタックする場合を一例として説明したが、本発明は、4つ以上の偶数個のバンクをスタックする場合にも適用される。
また、上記の実施形態では、2つのNANDゲートを用いて多重化部を具現する場合を一例として説明したが、多重化部を具現する方式は、これに限定されない。
更に、上記の実施形態では、DRAMの場合を一例として説明したが、スタックバンク構造及び階層的なデータバス構造を有する他の半導体メモリ素子にも本発明を適用することができる。
DRAMのデータバスの配置構造を示す図である。 DRAMの読み出し動作時におけるデータ伝達経路を示す図である。 図2Aに示す回路の動作タイミング図である。 データバス感知増幅器IOSAに備えられた感知増幅回路の回路図である。 図3Aに示す感知増幅回路の動作タイミング図である。 データバス感知増幅器IOSAに付属するグローバルデータバス駆動回路の回路図である。 スタックバンク構造を有するDRAMの読み出し経路のブロック図である。 本発明の一実施形態に係るスタックバンク構造を有するDRAMの読み出し経路のブロック図である。 感知増幅回路まで考慮したDRAMの読み出し経路のブロック図である。 図7に示す共通のグローバルデータバス駆動回路の回路図である。
符号の説明
LIO_UP,LIO_DN:ローカルデータバス
GIO:グローバルデータバス
GIODRV_COM:共通のグローバルデータバス駆動回路

Claims (8)

  1. 列方向にスタックされるように配置された複数のバンクと、
    該複数のバンクに対応するグローバルデータバスと、
    前記複数のバンクの各々に対応する複数のローカルデータバスに乗せられたデータを多重化して前記グローバルデータバスに伝達する共通のグローバルデータバス駆動手段と
    を備えることを特徴とする半導体メモリ素子。
  2. 前記複数のローカルデータバスの各々が、
    正データバスと負データバスとで構成され、前記正データバスと前記負データバスとが、データの非伝達期間において電源電圧レベルにプリチャージされることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ素子。
  3. 第1バンクと、
    該第1バンクと列方向にスタックされるように配置された第2バンクと、
    前記第1バンク及び第2バンクに対応するグローバルデータバスと、
    前記第1バンクに対応する第1ローカルデータバスに乗せられたデータを感知増幅する第1感知増幅手段と、
    前記第2バンクに対応する第2ローカルデータバスに乗せられたデータを感知増幅する第2感知増幅手段と、
    前記第1感知増幅手段及び第2感知増幅手段から出力されたデータを多重化して前記グローバルデータバスに伝達する共通のグローバルデータバス駆動手段と
    を備えることを特徴とする半導体メモリ素子。
  4. 前記共通のグローバルデータバス駆動手段が、
    前記第1感知増幅手段の正/負出力信号及び前記第2感知増幅手段の正/負出力信号を多重化して出力する多重化部と、
    該多重化部の出力信号をバッファリングするバッファ部と、
    該バッファ部の出力信号に応答して、前記グローバルデータバスをプルアップ/プルダウン駆動する駆動部と
    を備えることを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ素子。
  5. 前記多重化部が、
    前記第1感知増幅手段の正出力信号及び前記第2感知増幅手段の正出力信号を入力とする第1NANDゲートと、
    前記第1感知増幅手段の負出力信号及び前記第2感知増幅手段の負出力信号を入力とする第2NANDゲートと
    を備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ素子。
  6. 前記バッファ部が、
    前記第1NANDゲートの出力信号を入力とする第1インバータと、
    前記第2NANDゲートの出力信号を入力とする第2インバータと、
    該第2インバータの出力信号を入力とする第3インバータと
    を備えることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ素子。
  7. 前記駆動部が、
    電源電圧端にソースが接続され、前記グローバルデータバスにドレインが接続され、前記第1インバータの出力信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタと、
    接地電圧端にソースが接続され、前記グローバルデータバスにドレインが接続され、前記第3インバータの出力信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタと
    を備えることを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ素子。
  8. 前記第1ローカルデータバス及び第2ローカルデータバスの各々が、
    正データバスと負データバスとで構成され、前記正データバスと前記負データバスとが、データの非伝達期間において電源電圧レベルにプリチャージされることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の半導体メモリ素子。
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