JP2009081360A - 光インプリント用の光照射ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光インプリント用の光照射ユニットであって、上平面と底平面が平行であり底部の一部分に開口を有する筐体、および前記開口から筐体外部に光を照射する手段を筐体内部に有する光照射ユニット。
【選択図】 図1
Description
S.Y.Chou,P.R.Kreauss and P.J.Renstom:Appl.Phys.Lett.67,3114(1996) Y.Hirai,T.Konishi,T.Yoshikawa and S.Yoshida:Abstracts of the 48th Int. Conf. on Electron,Ion and Photon Beam Technology and Nano−fabrication,7B4(2004) Y.Kurashima,et al.,Jpn.J.Appl.Phys.42,3871(2993)
開口から筐体外部に光を照射する手段とは、光を筐体の内部から前記開口を通って筐体の外部に照射する手段をいい、光源が筐体の内部にある場合には光源と光を開口に導く手段が該当する。また光源が筐体の外部にある場合には光源からの光を筐体の内部に導く手段と、その光を開口に導く手段が該当する。
開口から筐体外部に光を照射する手段としては、光を所望の箇所に導くことのできる公知の任意の手段を使用することができる。典型的には光ファイバーと必要により使用される反射ミラーが使用される。光源が筐体外部に存在する場合には、光源からの光を光ファイバーにより筐体内部に導くことができる。この際、光ファイバーを筐体内部に直接導入して開口部分から筐体外部に光を照射することもできるし、光ファイバーからの射出光をUV反射ミラーにより反射して開口部分から筐体外部に光を照射することもできる。
筐体外部の光源から光を筐体内部に導くためには、筐体の側面に光透過可能な物質で作られた窓を設け、その窓の両側に光の受け渡しが可能な位置に配置された1対の光ファイバーを設置する事が望ましい。光透過可能な物質としては、使用する波長の光を透過する任意の公知の物質を使用することができる。好ましくは光透過可能な物質は石英である。
また、筐体の開口部分を光透過可能な物質で塞ぎ、筐体内部の雰囲気保持性能を向上させ、またほこりなどの進入を防ぐことが望ましい。
さらに、ベークプレートと本発明の露光ユニットの全体を容器内に保持し、真空または窒素雰囲気下に保持することもできる。
特に化学増幅系フォトレジストを使用する場合には、最初に熱インプリントによりパターンを形成し、その後光照射を行って酸を発生させ、ついで加熱により架橋させることにより硬化されたパターンを得ることができる。この場合には熱インプリント工程と光インプリント工程とが組み合わされて実施されることとなるが、本発明の光照射ユニットを使用することにより、熱インプリント工程と光インプリント工程との組み合わせによるインプリント加工を容易に行うことができる。
光照射ユニット10は筐体1を有する。筐体の上平面11と底平面12は平行にされ、好適には鏡面仕上げにされる。筐体は底部の一部分に開口3を有する。図1では、光を開口から筐体外部に照射する手段は、光源(図示せず)からの光が通る光ファイバー5、オプティカルレンズ6、およびUV反射ミラー7から構成される。UV反射ミラー7で反射された光は開口3から筐体外部に出て、基板などに塗布されたフォトレジストに照射される。筐体内部の空間8は、窒素雰囲気または真空とすることができる。
プレスの下板14の上に基板およびモールドを置き、モールドの上に本発明の光照射ユニットが置かれる。光照射ユニットの上からプレスの上板15により圧力を加えることにより、モールドによりレジストを型押し、パターンを形成することができる。この時プレス板を加熱することにより、熱インプリント操作を行うことができる。熱インプリント工程における加熱温度、プレス圧力は公知であり、使用する樹脂に応じて適宜決定することができる。
予備露光を行う場合、予備露光工程終了時の架橋度は、0.1−0.7,好ましくは0.2から0.6、より好ましくは0.3から0.5である。このような架橋度にするための必要な露光量は使用する樹脂の種類により異なるが、上記の方法を用いれば当業者には容易に決定できるものである。
予備露光後のレジストは、熱インプリントにおけるモールド型押し時の樹脂と同等のレオロジー挙動を示すことが好ましい。すなわち、十分にモールドの形状に追従するとともに、あまりに変形しやすくモールドや基板の平坦度に敏感すぎないことが望ましい。使用する樹脂により上記のレオロジー挙動を示す架橋度も異なる場合があるので、樹脂に応じて最も好ましい架橋度を実験的に決定することが望ましい。
モールドの型押し圧力は任意に調節することができるが、一般的には1−50MPa程度である。
モールドをレジストに押しつけて型押しした後、レジストを本露光して硬化させる本露光工程が行われる。本露光により、レジストはほぼ完全に架橋され、架橋度は0.8以上、好ましくは0.9以上、最も好ましくはほぼ1とされる。
図5においては、LED光源と開口部分3の間にコンデンサーレンズ31が配置されている。光の均一性を向上するためであり、好ましくは+/−5%程度にされる。またLEDによる発熱を防止するため、光照射ユニットを冷却することができる。たとえば筐体1の内部に冷却管を設け、冷却水を流すことにより筐体を冷却することができる。図5では、冷却水入口を32、出口を33として示す。
3:開口
5:光ファイバー
6:オプティカルレンズ
7:UV反射ミラー
8:筐体内部空間
10:光照射ユニット
11:筐体の上平面
12:筐体の下平面
14:プレスの下板
15:プレスの上板
16:モールドおよび基板
20:窓
21:パッキン
30:LED
31:コンデンサーレンズ
32:冷却水入口
33:冷却水出口
40:バンドパスフィルター
Claims (10)
- 光インプリント用の光照射ユニットであって、上平面と底平面が平行であり底部の一部分に開口を有する筐体、および前記開口から筐体外部に光を照射する手段を筐体内部に有する光照射ユニット。
- 筐体の上平面と下平面との平行度が0.1mm/200mm以下である、請求項1記載の光照射ユニット。
- 筐体外部に光を照射する手段が、光源に接続された光ファイバーを含む、請求項1または2記載の光照射ユニット。
- 筐体外部に光を照射する手段が、光源に接続された光ファイバーと、該光ファイバーから照射された光を開口部に反射するように設置されたUV反射ミラーを含む、請求項1または2記載の光照射ユニット。
- 光源が紫外線ランプまたはLEDである、請求項1から4のいずれか1項記載の光照射ユニット。
- 筐体外部に光を照射する手段が、筐体内部に設置されたLED光源である、請求項1または2記載の光照射ユニット。
- LED光源と開口の間にコンデンサーレンズが配置される、請求項6記載の光照射ユニット。
- 筐体内の空間が窒素雰囲気下であるかまたは真空である請求項1から7のいずれか1項記載の光照射ユニット。
- 筐体の側面に光透過可能な物質により作られる窓を有し、窓の両側に光の受け渡しが可能な位置に配置された1対の光ファイバーが設置される、請求項1から5、および8のいずれか1項記載の光照射ユニット。
- 光源と開口との間にバンドパスフィルターを有する、請求項1から8のいずれか1項記載の光照射ユニット。
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