JP2004163937A - 液晶フェンス形成装置 - Google Patents

液晶フェンス形成装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004163937A
JP2004163937A JP2003377756A JP2003377756A JP2004163937A JP 2004163937 A JP2004163937 A JP 2004163937A JP 2003377756 A JP2003377756 A JP 2003377756A JP 2003377756 A JP2003377756 A JP 2003377756A JP 2004163937 A JP2004163937 A JP 2004163937A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
liquid crystal
forming apparatus
supply unit
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003377756A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004163937A5 (ja
JP4636524B2 (ja
Inventor
Kyosho Gu
教 承 具
Dong-Won Lee
東 源 李
Daiko Shu
大 鎬 秋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2004163937A publication Critical patent/JP2004163937A/ja
Publication of JP2004163937A5 publication Critical patent/JP2004163937A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4636524B2 publication Critical patent/JP4636524B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

【課題】TFT基板とカラーフィルター基板の損傷を減少することができる液晶フェンス形成装置を提供する。
【解決手段】液晶フェンス形成装置500において、ベース本体100には光硬化性物質からなるスペーサ450が形成された組立基板400が配置され、ベース本体と離隔されて配置される光供給ユニット200は組立基板400に向かって光硬化性物質を硬化させる光を提供する。光が照射される経路上には組立基板400のスペーサ450のみに光を提供するための開口320が形成された露光マスクユニット300が提供される。スペーサ450に光を供給する光供給ユニット200は赤外線をフィルタリングする赤外線フィルター250と赤外線フィルターを冷却するための冷却ユニット260とを具備する。
【選択図】図1








Description

本発明は液晶フェンス形成装置に関するものであり、より詳細にはTFT基板及びカラーフィルター基板の間に形成されて液晶を収納し、TFT基板とカラーフィルター基板とを結合させるための液晶フェンスを形成する液晶フェンス形成装置に関するものである。
液晶表示パネルにおいて、液晶は互いに違う製造工程を経て製作されたTFT基板及びカラーフィルター基板の間に位置する。
液晶の配列は外部電源に応じてTFT基板とカラーフィルター基板との間に形成された電界に対応して変化し、これによって外部から供給された光の透過率を変化させる。
TFT基板とカラーフィルター基板はその間に液晶を注入できるように所定の距離で離隔されて結合し、このセルギャップの大きさは液晶の固有の特性によって異なる。例えば、TNモード液晶表示パネルでのセルギャップは4.6μm位である。このようなセルギャップに液晶を供給する従来の方法としては真空を利用する方法と液晶を滴下する方法が使用されている。真空を利用する方法において、セルギャップが形成された液晶表示パネルは、液晶が収納された容器に部分的に浸される。続いて、セルギャップの内部を真空状態にすると、セルギャップ内部の圧力と液晶の圧力との差によって、液晶が圧力が低くなるセルギャップの内部に引き上げられる。このように真空を利用した液晶注入方法によれば、セルギャップの内部に、液晶が存在しない空間を残さずに、液晶をセルギャップ全体に満たすことができる。
しかし、真空を利用した液晶注入方法では、一般的にセルギャップ内部に望ましい液晶量より多い量の液晶が供給される。従って、真空圧を利用して液晶を注入した後にはセルギャップ内部に注入された液晶を逆に排出するプレス工程、液晶注入された後に液晶注入口を別の密封物質で密封する液晶密封工程、液晶表示パネルの外部面についている液晶を洗浄するための洗浄工程などが必要とされる。
滴下方式を用いた液晶供給方法では、カラーフィルター基板またはTFT基板は紫外線などにより硬化されるシーラントで液晶が収納される領域が画定され、シーラントで形成された内部領域に液晶が滴下される。液晶が滴下された後、TFT基板及びカラーフィルター基板は大気圧より低い圧力状態でアセンブリされる。アセンブリされたTFT基板及びカラーフィルター基板が大気圧環境に露出されると、液晶は、TFT基板及びカラーフィルター基板の間の圧力とTFT基板及びカラーフィルター基板の外側の圧力との差によって、TFT基板及びカラーフィルター基板の間で均一に広がる。続いて、TFT基板とカラーフィルター基板の間に形成されたシーラントが紫外線によって硬化される。
ここで、シーラントを硬化するために照射される紫外線はシーラントだけではなく組立てられたTFT基板及びカラーフィルター基板及び液晶にも同時に照射される。このようにTFT基板及びカラーフィルター基板に紫外線が照射される場合、TFT基板に形成された配向膜が損傷し、液晶が劣化することも在り得る。
本発明はTFT基板とカラーフィルター基板の損傷を減少することができる液晶フェンス形成装置を提供することにある。
本発明の一特徴による液晶フェンス形成装置は、ベース本体、光供給ユニット及びマスクユニットを含む。
前記ベース本体には、少なくとも一つの液晶収納領域と前記液晶収納領域を囲む液晶フェンス領域とで構成され、二つの基板と、前記二つの基板の間で前記液晶フェンス領域を形成し、光によって硬化されるスペーサとを有する組立基板が搭載される。光供給ユニットは前記組立基板に向かって前記光を供給する。
前記露光マスクユニットは前記光の照射通路上に配置され、前記光のうち前記液晶収納領域に向かう第1光は遮断し、前記スペーサを液晶フェンスに変化させるために前記光のうち前記スペーサを露光するための第2光は透過させる。
本発明によると、TFT基板とカラーフィルター基板との間に形成されて前記二つの基板を相互接着させ、液晶を収納させるための光硬化性物質のみに選択的に光を供給することができる。従って、光硬化性物質が形成されない領域、例えば、液晶、配向膜などが劣化することを防止するという効果が得られる。
また、光硬化性物質に光を供給するときに発生する高熱によって組立基板、ランプ及びこれらの周辺の温度が上がることを防止するという効果も同時に得られる。
以下、図面を参照して本発明の望ましい一実施形態をより詳細に説明する。
図1は本発明の望ましい一実施例による液晶フェンス形成装置を示す概念図である。図2は図1に図示された組立基板を示す平面図である。
図1及び図2を参照すると、液晶フェンス形成装置500はベース本体100、光供給ユニット200及び露光マスクユニット300を含む。
前記ベース本体100には組立基板400が搭載される。組立基板400は、二つの基板410,420、二つの基板の間に少なくとも一つが形成された液晶収納領域430、液晶収納領域430の周縁部を囲む液晶フェンス領域440、及び、液晶フェンス領域440に形成されたスペーサ450で構成される。前記スペーサ450には、光によって硬化される光硬化性物質が含まれる。
図1に図示したように、前記ベース本体100の上部にはベース本体100に搭載された組立基板400に向かって光を供給する光供給ユニット200が設置される。ここで、光供給ユニット200はスペーサ450を硬化させるための紫外線201を発生させる。
図3は本発明の一実施例による光供給ユニットを図示した斜視図である。
図3を参照すると、前記光供給ユニット200はハウジング210、ランプ220及び集光カバー230を含む。
前記ハウジング210は前記ランプ220を出し入れするために一面が開口された直方体のボックス形状であり、ハウジング210の内部には集光カバー230が設置される。
前記集光カバー230は半円形形状を有し、光反射率が高い材質からなる。前記集光カバー230は、突き出た部分(半円形形状部分)の内面が外部に露出されるように前記ハウジング210に収納される。
前記ランプ220は、集光カバー230によって囲まれるように、ハウジング210に収納された集光カバー230の内部に設置される。本発明の一実施例において、前記ランプ220は365nmでピーク波長を有する紫外線を発生させる水銀ランプである。ランプ220として365nmのピーク波長を有する紫外線を発生する水銀ランプを使用するのは、図1に図示されたスペーサ450が365nmの波長を有する紫外線で硬化するからである。前記ランプ220で放射状に発生した紫外線201は集光カバー230によって集光され、図1に図示された組立基板400に照射される。
このような構成を有する光供給ユニット200は移送装置によって移送されながら組立基板400に紫外線を供給する。
図3に示した光供給ユニット200のランプ220は、365nmの波長を有する紫外線以外に、1014nm、1128nm、1367nmの波長を有する赤外線も共に発生する。このとき、前記ランプ220から発生される赤外線には、1014nmの波長の赤外線、1128nmの波長の赤外線、1367nmの波長の赤外線、及び1014nmより小さいか1367nmより大きい波長の赤外線が、各々、45%、17%、15%及び23%含まれている。
前記ランプ220で紫外線と共に発生した赤外線は熱線であるから、ランプ220及びランプ220の周辺、例えば、ランプ220の下部に配置された組立基板400、ベース本体100の温度を上昇させる。特に、組立基板400が許容温度より高い温度の環境に長時間露出される場合、前記組立基板400が損傷するような多様な問題点が発生する虞がある。これらの理由からランプ220で発生される熱は迅速に除去されるべきである。
図4は光供給ユニットで発生する熱を除去するための赤外線除去フィルター及び水冷式冷却ユニットを図示した概念図である。
図4を参照すると、前記ハウジング210でランプ220から発生された紫外線201が集光されて放出される経路、即ち、前記集光カバー230の開口部には赤外線フィルター250が設置され、赤外線フィルター250には水冷式冷却ユニット260が設置される。
前記赤外線フィルター250は板ガラスの上面に水ガラスを塗布して製作することができ、また、溶解炉で板ガラスの表面を溶融させた後冷却されて固体化になっていく途中で赤外線を吸収する赤外線吸収染料を板ガラスに塗布して製作することができる。
前記赤外線フィルター250は、スペーサ450を硬化させるのに使用される波長365nmの紫外線201はそのまま透過し、波長が1000nmから1400nmの間の赤外線202は吸収するか前記集光カバー230の内部に反射する。赤外線フィルター250が赤外線を吸収することで光供給ユニット200の内部では温度が上昇するが、光供給ユニット200の外部での温度は上昇しない。
一方、赤外線フィルター250によって前記集光カバー230の内部に反射された赤外線によって内部温度が上昇した前記光供給ユニット200は、前記水冷式冷却ユニット260により冷却され、その内部温度が下げられる。
前記水冷式冷却ユニット260は、パイプ形状を有し、前記赤外線フィルター250のエッジに接触して冷却水264が循環される循環配管262及び循環配管262の内部に冷却水264を循環させるための循環ユニット(図示せず)で構成される。
このようにランプ220から発生された赤外線202を赤外線フィルター250で遮断し、赤外線フィルター250を水冷式冷却ユニット260を利用して冷却すると、10kW以上の高出力ランプ220を常時可動してもランプ220またはランプ220の周辺の温度は60℃位で保持される。
図1を参照すると、光供給ユニット200で発生した紫外線201は前記ベース本体100上に設置されたマスクユニット300に提供される。
前記マスクユニット300は光供給ユニット200で発生した紫外線201のうち、液晶収納領域430に向かう紫外線(以下、第1光と称し、図面符号230を付与する)は遮断し、前記スペーサ450に向かう光(以下、第2光と称し、図面符号204を付与する)は通過させる。
前記第2光204に露出された前記スペーサ450は、硬化して、高強度を有する液晶フェンスを形成する。
図5は本発明の一実施例による露光マスクユニットを示す平面図である。
図1及び図5を参照すると、前記露光マスクユニット300は、透明基板310、及びスペーサ450に提供される前記第2光204を透過させるための開口320が形成された光遮断膜330を含む。
前記光遮断膜330はクロム物質を透明基板310にスパッタリング法で蒸着したクロム薄膜であり、開口320はクロム薄膜をフォトリソグラフィ(写真平板工程)でパターニングすることにより形成される。
前記透明基板310は望ましい一実施例として石英物質またはガラスで製作され、組立基板400と同一の大きさを有する。透明基板310の厚さは、組立基板400のTFT基板及びカラーフィルター基板と同一の厚さ、即ち0.7mm、0.63mm、0.5mmのうちいずれかの厚さを採用することができる。
最近、前記組立基板400の面積が段々増加されるのに応じて、露光マスクユニット300の透明基板の大きさも増加されつつある。
しかし、前記組立基板400はベース本体100の上部に設けられているので平面積が増加しても組立基板400の撓みのような問題はないが、前記露光マスクユニット300の透明基板310はベース本体の上部から離隔されているので自重によって撓みが発生する可能性がある。
前記露光マスクユニット300の透明基板310が曲がると、透明基板310に形成された光遮断膜330の形状も同時に変化し、第2光204は所望する位置と違う位置に提供される虞がある。
前記第2光204が組立基板400のスペーサ450に照射されないか一部分だけが照射される場合、スペーサ450が完全に硬化されないか部分的に硬化されて液晶フェンスの強度が不均一になることが考えられる。前記液晶フェンスの強度が不均一である場合、前記TFT基板とカラーフィルター基板との間のセルギャップが一定に保持されないので、液晶表示パネルのディスプレー品質が低下してしまうという問題がある。または、前記セルギャップの不均一によって前記TFT基板及びカラーフィルター基板が互いに分離し、強度が劣化した部分では前記TFT基板とカラーフィルター基板との間に注入された液晶が漏れる可能性もある。
前記露光マスクユニット300の透明基板310が自重によって曲がることを防止するために、前記露光マスクユニット300には少なくとも一つの撓み防止部材が設置される。
図5に示すように、露光マスクユニット300の透明基板310の撓みを防止するための撓み防止部材350として支持台350が図示されている。前記支持台350は前記透明基板310を充分に支持できる位の長さを有する透明の棒形状を有する。前記支持台350は前記露光マスクユニット300の透明基板310を横切って形成される。
図6は本発明の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。
図6を参照すると、支持台350はその断面が長方形形状となるように製作されることができる。前記支持台350は、四つの側面(352、354、356、358)と、この四つの側面(352、354、356、358)を長さの方向(図面に垂直な方向)の両端部で互いに連結する二つの側面とを有する。このとき、第1側面352は露光マスクユニット300の透明基板310に接触し且つ固定され、前記第1側面352と向き合う第2側面354は、第1側面352に対して平行に形成される。
前記第1側面352及び第2側面354を互いに平行に配置するのは、露光マスクユニット300の上部で紫外線201が露光マスクユニット300の透明基板310に対して垂直に入射される場合、透明基板310及び支持台350を通過する紫外線201が屈折することを最小化するためである。
図7は本発明の他の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。図7においては、露光マスク用支持台に図面符号360を付与する。
図7を参照すると、支持台360は露光マスクユニット300の透明基板310の上部に形成された光遮断膜330上に配置される。支持台360は図5に図示されたように棒状に形成され、その断面は図6に示した実施例と同様に長方形とすることができる。また、前記支持台360で、前記光遮断膜330に接触される接触面とこの接触面と向き合う上面は、前記光供給ユニット200から供給される紫外線201の屈折を減少させるために互いに平行に形成される。
図8は本発明の他の実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。図8において、露光マスク支持台に図面の符号370を付与する。
図8を参照すると、支持台370は円柱形状を有し、複数個の支持台370が前記露光マスクユニット300の透明基板310の下端に並列に配置される。
図9は本発明の他の実施例による露光マスク用支持台を図示した概念図である。図9においては、露光マスク用支持台に図面符号380を付与する。
図9を参照すると、支持台380は円柱形状を有する。前記支持台380は、前記露光マスクユニット300の透明基板310上に形成された光遮断膜330の上面に、複数個が並列に配置される。
図8及び図9に図示された円柱形状を有する支持台370,380は、図10に図示されたように前記光供給ユニット200が前記紫外線201を組立基板400に関して傾くように照射する方式に適用する場合に、より優れた効果を得られる。
図10は本発明の他の実施例による液晶フェンス装置を図示した概念図である。図10に図示された実施例において、ベース本体100及び組立基板400は図1に図示されたベース本体及び組立基板と同一な構造及び機能を有するので具体的な説明は省略することにする。
図10に図示したように、前記光供給ユニット200は前記ベース本体100の上面と垂直をなす想像線に対して傾斜した方向に紫外線205を照射する。前記紫外線205を前記ベース本体100の上面と垂直をなす想像線に対して傾斜した方向に照射するために、図3に図示した光供給ユニット200のハウジング210の開口部、即ち、前記紫外線205が放出される領域を、紫外線が前記想像線に対して所定の角度で傾斜するように適切に調節することができる。
前記光供給ユニット200から紫外線205が前記想像線に対して傾くように照射されると、前記紫外線205は前記組立基板400の構成要素、例えば、ブラックマトリクス(black matrix)、ゲートライン及びデータラインなどとは関係なしに、前記スペーサ450に容易に到達することができる。
従って、前記光供給ユニット200から発生された紫外線205を前記想像線に対して傾斜するように照射する場合には、前記光供給ユニット200から発生された紫外線205を前記想像線に対して平行に照射するときより良好な結果を得ることができる。
このとき、前記光供給ユニット200から発生された紫外線205は、前記露光マスクユニット400の光遮断膜330に形成された開口320を通じて前記組立基板400に形成されたスペーサ450に到達する。
上述したように、本発明の望ましい実施例を図面を参照して説明したが、本発明が属する技術分野の熟練した当業者ならば特許請求の範囲に記載した本発明の思想の範囲内で本発明を多様に修正及び変更することができることを理解することができる。
本発明の望ましい一実施例による液晶フェンス形成装置を示した概念図である。 図1に図示された組立基板を示した平面図である。 本発明の一実施例による光供給ユニットを図示した斜視図である。 光供給ユニットで発生する熱を除去するための赤外線除去フィルター及び水冷式冷却ユニットを図示した概念図である。 本発明の一実施例による露光マスクユニットを示した平面図である。 本発明の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。 本発明の他の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。 本発明の他の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。 本発明の他の一実施例による露光マスク支持台を図示した概念図である。 本発明の他の一実施例による液晶フェンス形成装置を図示した概念図である。
符号の説明
100 ベース本体
200 光供給ユニット
201、205 紫外線
202 赤外線
210 ハウジング
220 ランプ
230 集光カバー
250 赤外線フィルター
260 水冷式冷却ユニット
262 循環配管
264 冷却水
300 露光マスクユニット
310 透明基板
320 開口
330 光遮断膜
350、370、380 支持台
352、354、356、358 側面
400 組立基板
410、420 基板
430 液晶収納領域
450 スペーサ







Claims (18)

  1. 少なくとも一つの液晶収納領域と前記液晶収納領域を囲む液晶フェンス領域で構成され、二つの基板と、前記二つの基板の間に前記液晶フェンス領域を形成し、光によって硬化されるスペーサとを有する組立基板が搭載されたベース本体と、
    前記組立基板に向かって前記光を供給する光供給ユニットと、
    前記光の照射通路上に配置され、前記光のうち前記液晶収納領域に向かう第1光は遮断し、前記スペーサを液晶フェンスに変化させるために前記光のうち前記スペーサを露光させるための第2光は通過させる露光マスクユニットと、
    を含むことを特徴とする液晶フェンス形成装置。
  2. 前記スペーサは紫外線硬化物質を含み、前記光供給ユニットで発生した前記光は紫外線であることを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  3. 前記光供給ユニットは、紫外線を発生させるランプ、及び前記ランプで発生した紫外線を集光する集光カバーを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  4. 前記光供給ユニットは前記ランプにおいて前記紫外線と共に発生した赤外線を遮断する赤外線遮断フィルターをさらに含むことを特徴とする請求項3記載の液晶フェンス形成装置。
  5. 前記光供給ユニットは前記赤外線遮断フィルターを冷却するために冷却水を循環させる冷却ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項4記載の液晶フェンス形成装置。
  6. 前記光供給ユニットは前記組立基板の表面に対して垂直方向に前記光を照射することを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  7. 前記光供給ユニットは前記組立基板の表面に対して傾斜した方向に前記光を照射することを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  8. 前記露光マスクユニットは、透明基板上に形成され、前記スペーサに向かう前記光を透過させるために部分的に開口された光遮断膜を含むことを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  9. 前記透明基板はガラス基板または石英基板であり、前記光遮断膜はクロム薄膜であることを特徴とする請求項8記載の液晶フェンス形成装置。
  10. 前記露光マスクユニットに設けられた少なくとも一つの撓み防止部材をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の液晶フェンス形成装置。
  11. 前記撓み防止部材は前記露光マスクユニットを横切る透明棒形状を有することを特徴とする請求項10記載の液晶フェンス形成装置。
  12. 前記撓み防止部材は、第1側面が前記組立基板に接しており、前記第1側面と向き合う第2側面が前記第1側面に対して平行に形成されており、前記撓み防止部材の断面は長方形形状であることを特徴とする請求項11記載の液晶フェンス形成装置。
  13. 前記光供給ユニットは、前記組立基板、前記第1側面及び前記第2側面に対して垂直方向に光を供給することを特徴とする請求項12記載の液晶フェンス形成装置。
  14. 前記撓み防止部材は円柱形形状であることを特徴とする請求項11記載の液晶フェンス形成装置。
  15. 前記光供給ユニットは、前記組立基板の表面に対して傾斜した方向に前記光を供給することを特徴とする請求項14記載の液晶フェンス形成装置。
  16. 前記撓み防止部材は石英で製作されることを特徴とする請求項11記載の液晶フェンス形成装置。
  17. 前記撓み防止部材は、前記露光マスクユニットの表面のうち前記光供給ユニットと向き合う表面に形成されることを特徴とする請求項10記載の液晶フェンス形成装置。
  18. 前記撓み防止部材は、前記露光マスクユニットの表面のうち前記ベース本体と向き合う表面に形成されることを特徴とする請求項10記載の液晶フェンス形成装置。


JP2003377756A 2002-11-09 2003-11-07 液晶表示板製造装置 Expired - Lifetime JP4636524B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020069468A KR100889358B1 (ko) 2002-11-09 2002-11-09 액정 팬스 형성 장치

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2004163937A true JP2004163937A (ja) 2004-06-10
JP2004163937A5 JP2004163937A5 (ja) 2006-09-21
JP4636524B2 JP4636524B2 (ja) 2011-02-23

Family

ID=32226271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003377756A Expired - Lifetime JP4636524B2 (ja) 2002-11-09 2003-11-07 液晶表示板製造装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7113251B2 (ja)
JP (1) JP4636524B2 (ja)
KR (1) KR100889358B1 (ja)
TW (1) TWI297411B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006113428A (ja) * 2004-10-18 2006-04-27 Ushio Inc ディスプレイパネルの貼り合せ装置
JP2014202763A (ja) * 2013-03-31 2014-10-27 Hoya Candeo Optronics株式会社 光照射装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004144849A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Sekisui Chem Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
KR100889358B1 (ko) * 2002-11-09 2009-03-18 삼성전자주식회사 액정 팬스 형성 장치
KR100916963B1 (ko) * 2005-12-22 2009-09-14 주식회사 에이디피엔지니어링 합착기판 자외선 경화장치
CN101990651B (zh) * 2008-04-08 2014-06-04 株式会社V技术 液晶显示装置的制造方法及其制造装置
US20130078552A1 (en) * 2011-09-28 2013-03-28 Kuancheng Lee Dedicated Mask and Production Method thereof, LCD Panel Production Method
CN103257483A (zh) * 2013-05-23 2013-08-21 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示设备的制作方法
CN103293743A (zh) * 2013-06-03 2013-09-11 京东方科技集团股份有限公司 显示屏的制作方法
CN104880864B (zh) * 2015-06-17 2018-11-16 合肥鑫晟光电科技有限公司 封框胶固化装置及封装方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04107810A (ja) * 1990-08-28 1992-04-09 Sumitomo Electric Ind Ltd X線マスクとその製造方法
JPH0887019A (ja) * 1994-09-16 1996-04-02 Ushio Inc 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置
JPH0973096A (ja) * 1995-09-05 1997-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH11133429A (ja) * 1997-02-27 1999-05-21 Fujitsu Ltd 液晶表示装置
JPH11160721A (ja) * 1997-11-28 1999-06-18 Toshiba Corp 基板接合装置及びシール剤塗布用ノズル
JPH11174468A (ja) * 1997-12-10 1999-07-02 Nec Corp 液晶表示パネルの貼り合わせ方法及び装置
JPH11258615A (ja) * 1998-03-16 1999-09-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2001066563A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Ushio Inc 光処理装置
JP2001235756A (ja) * 2000-02-21 2001-08-31 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および投射型表示装置
JP2001356312A (ja) * 2000-06-13 2001-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法及びその製造方法に用いる紫外線照射装置
JP2003262844A (ja) * 2002-02-21 2003-09-19 Lg Phillips Lcd Co Ltd マスク固定装置及び、それを用いたuv照射装置
JP2004077583A (ja) * 2002-08-12 2004-03-11 Ushio Inc ディスプレイパネルの貼り合わせ装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4000407A (en) * 1975-04-07 1976-12-28 Illumination Industries Inc. Combined infrared filter and light focusing apparatus for a mercury vapor lamp
US4873470A (en) * 1988-05-27 1989-10-10 Ncr Corporation Programmable ultraviolet lamp control system
JP3040775B1 (ja) * 1999-07-02 2000-05-15 株式会社半導体先端テクノロジーズ 転写マスク、マスク保持装置、およびマスク保持構造
EP1197528B1 (en) * 1999-07-16 2007-09-19 Mitsui Chemicals, Inc. Organic metal complex, infrared-absorbing dye and infrared absorption filter containing the same, and filter for plasma display panel
US6179679B1 (en) * 1999-10-22 2001-01-30 International Business Machines Corporation Method and system for curing ultra violet curable sealant that is shadowed by metallization
KR100379401B1 (ko) * 2001-03-31 2003-04-10 엘지전자 주식회사 자외선 발생장치
KR20020081562A (ko) * 2001-04-17 2002-10-28 닛본 덴기 가부시끼가이샤 액정표시장치 및 그 제조방법
US7295279B2 (en) * 2002-06-28 2007-11-13 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. System and method for manufacturing liquid crystal display devices
KR100889358B1 (ko) * 2002-11-09 2009-03-18 삼성전자주식회사 액정 팬스 형성 장치

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04107810A (ja) * 1990-08-28 1992-04-09 Sumitomo Electric Ind Ltd X線マスクとその製造方法
JPH0887019A (ja) * 1994-09-16 1996-04-02 Ushio Inc 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置
JPH0973096A (ja) * 1995-09-05 1997-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH11133429A (ja) * 1997-02-27 1999-05-21 Fujitsu Ltd 液晶表示装置
JPH11160721A (ja) * 1997-11-28 1999-06-18 Toshiba Corp 基板接合装置及びシール剤塗布用ノズル
JPH11174468A (ja) * 1997-12-10 1999-07-02 Nec Corp 液晶表示パネルの貼り合わせ方法及び装置
JPH11258615A (ja) * 1998-03-16 1999-09-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2001066563A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Ushio Inc 光処理装置
JP2001235756A (ja) * 2000-02-21 2001-08-31 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および投射型表示装置
JP2001356312A (ja) * 2000-06-13 2001-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法及びその製造方法に用いる紫外線照射装置
JP2003262844A (ja) * 2002-02-21 2003-09-19 Lg Phillips Lcd Co Ltd マスク固定装置及び、それを用いたuv照射装置
JP2004077583A (ja) * 2002-08-12 2004-03-11 Ushio Inc ディスプレイパネルの貼り合わせ装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006113428A (ja) * 2004-10-18 2006-04-27 Ushio Inc ディスプレイパネルの貼り合せ装置
JP4635552B2 (ja) * 2004-10-18 2011-02-23 ウシオ電機株式会社 ディスプレイパネルの貼り合せ装置
JP2014202763A (ja) * 2013-03-31 2014-10-27 Hoya Candeo Optronics株式会社 光照射装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20040090586A1 (en) 2004-05-13
TWI297411B (en) 2008-06-01
KR100889358B1 (ko) 2009-03-18
TW200407613A (en) 2004-05-16
US20060268215A1 (en) 2006-11-30
US7113251B2 (en) 2006-09-26
JP4636524B2 (ja) 2011-02-23
KR20040041287A (ko) 2004-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100726740B1 (ko) 표시 패널 내 자외선 열경화성 수지를 경화하는 자외선 경화 장치
JP4927640B2 (ja) 液晶表示装置用基板及びその製造方法
US20060268215A1 (en) Apparatus and exposure mask having cylindrical bending prevention member for forming a liquid crystal fence
JP2008116675A (ja) 液晶パネル製造装置及び液晶パネルの製造方法
JP2004163937A5 (ja)
KR20070099399A (ko) 액정 표시 장치, 그에 사용되는 표시판 및 그 제조 방법
JP2018521341A (ja) 液晶表示装置
JP2009192870A (ja) 液晶装置、投射装置、及び電子機器
TW201407244A (zh) 液晶面板的製造裝置及液晶面板的製造方法
TWI487973B (zh) 液晶面板製造設備及用於製造液晶面板之方法
US20070229735A1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display and liquid crystal display manufactured thereby
JP4683763B2 (ja) 高分子材料層の加熱方法及び装置
CN111816795A (zh) 激光装置
JP5146362B2 (ja) 偏光板の輝点欠陥修正用インク及びこれを用いた偏光板修正方法
JP4958087B2 (ja) 光インプリント用の光照射ユニット
US5920074A (en) Thermostat
JP3449308B2 (ja) 光処理装置
KR101384625B1 (ko) 액정표시장치용 기판 및 그 제조 방법
JP2001316485A (ja) 紫外線による硬化方法及び装置
JP2004086010A (ja) 表示素子製造装置および表示素子の製造方法
KR101043682B1 (ko) 액정표시패널의 제조장치 및 방법
JP2007334152A (ja) ポジ型感光性組成物及びパターン形成方法
KR20020022319A (ko) 마이크로렌즈 어레이를 구비하는 액정표시소자 및 그제조방법
JP2002365652A (ja) 液晶パネルの製造方法及び装置
JP2003057428A (ja) カラーフィルタの修正方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20051202

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20051207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060807

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060807

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100209

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100510

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100608

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100907

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101109

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101118

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4636524

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term