JP2009081236A - 半導体装置の製造方法及びリソグラフィシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】インライン接続の相手先に動作ロスが発生した場合、単に復帰を待っているだけの時間を低減し、スループットを向上させる。
【解決手段】塗布現像装置1又は露光装置2において動作ロスが発生した場合に、塗布現像装置1又は露光装置2が動作ロス情報を塗布現像装置1及び露光装置2に接続されたコントローラ3に出力し、コントローラ3が、前記動作ロス情報に基づいて決定した較正動作を実施させる較正制御信号を生成し、前記動作ロスが発生していない塗布現像装置1又は露光装置2へ出力し、前記動作ロスが発生していない塗布現像装置1又は露光装置2において前記較正制御信号に基づき前記選択された較正動作を実施する。
【選択図】図1
【解決手段】塗布現像装置1又は露光装置2において動作ロスが発生した場合に、塗布現像装置1又は露光装置2が動作ロス情報を塗布現像装置1及び露光装置2に接続されたコントローラ3に出力し、コントローラ3が、前記動作ロス情報に基づいて決定した較正動作を実施させる較正制御信号を生成し、前記動作ロスが発生していない塗布現像装置1又は露光装置2へ出力し、前記動作ロスが発生していない塗布現像装置1又は露光装置2において前記較正制御信号に基づき前記選択された較正動作を実施する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法及びリソグラフィシステムに関するものである。
半導体素子等のデバイスを製造する際のフォトリソグラフィ工程においては、投影光学系を介し、マスクとしてのレチクルに形成されたパターンの像をレジストが塗布されたウェーハ上に転写する露光装置が用いられる。
この露光装置による露光工程の前後には、ウェーハ上にレジストを均一に塗布するレジスト塗布工程、パターンを露光転写したレジストを現像する現像工程があり、これらの工程はコータ・デベロッパ(C/D)と呼ばれる塗布現像装置により行われる。
レジスト塗布工程、露光工程、現像工程を行う際に、レジストの化学的特性を維持しつつスループットを向上させるために、塗布現像装置と露光装置とを直接接続し、ウェーハを塗布現像装置と露光装置との間で自動搬送し、連続して処理を行うインライン接続と呼ばれる方式が採られている。露光装置と塗布現像装置とをインライン接続したリソグラフィシステムは、双方の装置間にウェーハを互いに受け渡すための受け渡し部が設けられる。
露光装置と塗布現像装置がインライン接続されたリソグラフィシステムでは各装置は自装置の状態をモニタしているが、接続相手の装置の状態が監視できないため、処理時間の管理ができない。これによりレジスト寸法にばらつきが生じ、製品歩留まりを低下させるという問題が生じていた。
このような問題を解決するためにレジスト塗布から現像までの経過時間を測定し、測定時間が設定値以上のときはウェーハの再生処理(レジスト剥離、レジスト再塗布、露光、現像)を行い、レジスト寸法の変動を防止することで製品歩留まりを向上させる半導体装置の製造システムが提案されている(例えば特許文献1参照)。
しかし、このような半導体装置の製造システムにおいても、各装置が接続相手の装置の状態を監視できない。従って、例えば露光装置側でエラーやトラブルが発生し、塗布現像装置が露光処理前のウェーハを露光装置側に送ろうとしても露光装置が受け取れないことや、露光処理済みのウェーハを受け取ろうとしても露光装置からウェーハが送られてきていないことなどの状態が生じても、塗布現像装置は露光装置が復帰するまで特別な動作を行わず単に待っている。
また、同様に、塗布現像装置側でエラーやトラブルが発生し、露光装置が露光処理前のウェーハを塗布現像装置側から受け取ろうとしても塗布現像装置からまだウェーハが送られてきていないことや、露光処理済みのウェーハを送り出そうとしても塗布現像装置が受け取れないことなどの状態が生じても、露光装置は塗布現像装置が復帰するまで特別な動作を行わず単に待っている。
このように、インライン接続された露光装置及び塗布現像装置は、それぞれ接続相手先にタイムロスが発生した場合、接続相手先の復帰を待っているだけのため、スループットが低下するという問題が生じていた。
特開2005−45131号公報
本発明は接続相手先に動作ロスが発生した場合、単に復帰を待っているだけの時間を低減し、スループットを向上させるリソグラフィシステムを提供することを目的とする。
本発明の一態様による半導体装置の製造方法は、塗布現像装置においてウェーハにレジストを塗布し、前記塗布現像装置にインライン接続された露光装置において前記塗布されたレジストを露光し、前記塗布現像装置において前記露光されたレジストを現像する半導体装置の製造方法において、前記塗布現像装置又は前記露光装置において動作ロスが発生した場合に、前記塗布現像装置又は前記露光装置が動作ロス情報を前記塗布現像装置及び前記露光装置に接続されたコントローラに出力し、前記コントローラが、前記動作ロス情報に基づいて決定した較正動作を実施させる較正制御信号を生成し、前記動作ロスが発生していない前記塗布現像装置又は前記露光装置へ出力し、前記動作ロスが発生していない前記塗布現像装置又は前記露光装置において前記較正制御信号に基づき前記較正動作を実施するものである。
本発明の一態様によるリソグラフィシステムは、ウェーハへのレジスト塗布及びウェーハの現像を行い、動作ロスの発生に伴い第1の動作ロス情報を出力し、第1の較正制御信号に基づき較正動作を実施する塗布現像装置と、前記塗布現像装置にインライン接続され、ウェーハの露光処理を行い、動作ロスの発生に伴い第2の動作ロス情報を出力し、第2の較正制御信号に基づき較正動作を実施する露光装置と、前記第1の動作ロス情報を受信し、この第1の動作ロス情報に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第2の較正制御信号を生成して前記露光装置へ出力し、前記第2の動作ロス情報を受信し、この第2の動作ロス情報に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第1の較正制御信号を生成して前記塗布現像装置へ出力するコントローラと、を備えるものである。
本発明によれば、接続相手先に動作ロスが発生した場合、較正動作を行うことにより単に復帰を待っているだけの時間を低減し、スループットを向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に本発明の実施形態に係るリソグラフィシステムの概略構成を示す。リソグラフィシステムは塗布現像装置1と、塗布現像装置1にインライン接続された露光装置2と、塗布現像装置1及び露光装置2に接続されたコントローラ3とを備える。
塗布現像装置1は、ウェーハの搬入出を行う搬入出部11、ウェーハにレジストを塗布する塗布部12、現像前ベークを行うベーク部13、露光したウェーハを現像する現像部14、塗布部12及びベーク部13と露光装置2との間でウェーハの受け渡しを行う受け渡し部15、制御部16を有する。ベーク部13は複数のウェーハを同時に投入することができる。
制御部16は塗布現像装置1内で動作ロスが発生した場合、動作ロスの内容を示す動作ロス情報をコントローラ3へ出力する。また、コントローラ3から出力される較正制御信号に基づき塗布現像装置1の較正動作(キャリブレーション)を行う。
ここで動作ロスとは装置が停止するようなエラー停止ロスではなく、エラーにならない内部処理ロス(ハンドリングロス等)をいう。例えばウェーハをステージに置く際の位置直しなど動作中に発生するタイムロスのことである。較正動作については後述する。
露光装置2は塗布現像装置1(受け渡し部15)から送られてきたウェーハを受け取って載置する搬入ステージ21、ウェーハの温度調整を行う冷却ステージ22、露光前のウェーハを載置する処理前ステージ23a、23b、ウェーハに露光が行われる露光ステージ24、露光後のウェーハを載置する処理後ステージ25a、25b、塗布現像装置1(受け渡し部15)へ送られる露光済みウェーハを載置する搬出ステージ26、各ステージ間でウェーハを搬送する搬送ロボット27、制御部28を有する。
制御部28は露光装置2内で動作ロスが発生した場合、動作ロスの内容を示す動作ロス情報をコントローラ3へ出力する。また、コントローラ3から出力される較正制御信号に基づき露光装置2の較正動作(キャリブレーション)を行う。
コントローラ3は塗布現像装置1(制御部16)から動作ロス情報を受け取った場合、動作ロス情報に基づき塗布現像装置1の動作ロスからの復帰見込み時間を算出することにより予測する。
コントローラ3は動作ロスの内容と予め(経験的に)分かっている復帰時間との対応テーブルを持っており、そのテーブルを参照して復帰見込み時間を求める。
そして、算出した復帰見込み時間内で終了する露光装置2の較正動作を選択し、その較正動作を行うように較正制御信号を露光装置2(制御部28)へ出力する。
露光装置2の較正動作は例えばフォーカス補正、露光量の補正、ステージ位置合わせ、レンズ倍率調整等である。フォーカスや露光量は経時変化するものであり、レンズ倍率は熱(温度)によって変化するためである。
また、コントローラ3は露光装置2(制御部28)から動作ロス情報を受け取った場合、動作ロス情報に基づき露光装置2の動作ロスからの復帰見込み時間を算出することにより予測する。そして、算出した復帰見込み時間内で終了する塗布現像装置1の較正動作を選択し、その較正動作を行うように較正制御信号を塗布現像装置1(制御部16)へ出力する。
塗布現像装置1の較正動作は例えば現像液温度補正、レジスト液吐出ノズルの位置補正、レジスト液吐出時間補正等である。
このように構成されたリソグラフィシステムにおけるウェーハのインライン処理について説明する。
まず、搬入出部11により外部からウェーハが塗布部12に渡される。塗布部12にてレジスト液が塗布されたウェーハは受け渡し部15により露光装置2の搬入ステージ21へ送られる。
続いてウェーハは冷却ステージ22にて温度調整され、処理前ステージ23a、23bを介して露光ステージ24に送られ露光が行われる。
露光後、ウェーハは処理後ステージ25a、25bを介して搬出ステージ26に送られ、受け渡し部15に戻される。
そしてベーク部13にて現像前ベークされ、現像部14にて現像される。現像されたウェーハは搬入出部11により外部へ搬出される。
インライン処理の最中に露光装置2(塗布現像装置1)にて動作ロスが発生した場合の処理を図2に示す。制御部28(16)から動作ロス情報がコントローラ3へ出力され(ステップS102)、コントローラ3にて動作ロスからの復帰見込み時間が算出される(ステップS104)。
コントローラ3は算出した復帰見込み時間内で終了する塗布現像装置1(露光装置2)の較正動作を選択し(ステップS106)、その較正動作を実施させる較正制御信号を塗布現像装置1(露光装置2)へ出力する(ステップS108)。
塗布現像装置1(露光装置2)は受け取った較正制御信号に基づき較正動作を行う(ステップS110)。
例えば図3に示すように、露光処理済みのウェーハW1〜W3がそれぞれ搬出ステージ26、処理後ステージ25b、25aに載置され、露光ステージ24ではウェーハW4の露光処理が終了し、露光前のウェーハW5、W6が処理前ステージ23b、23aに載置されているとする。
ここで、塗布現像装置(図示せず)側で動作ロスが発生し、ウェーハW1を送り出せなくなった場合、ウェーハW2〜W4は次のステージに移動することができず、ウェーハW5の露光処理を開始できないため、待ち時間が生じる。
塗布現像装置は動作ロス発生に伴い動作ロス情報をコントローラ(図示せず)へ出力しており、コントローラからの較正制御信号に基づき露光装置は較正動作を行うため、この待ち時間を有効利用することができる。
また、例えば露光済みウェーハが、搬出ステージ26や処理後ステージ25a、25bに搬送される際、ステージに収まらず、位置直しを行っている間、塗布現像装置は露光済みウェーハを受け取ることができず、待ち時間が生じる。
この場合、露光装置は動作ロス情報をコントローラへ出力しており、コントローラからの較正制御信号に基づき塗布現像装置は較正動作を行うため、この待ち時間を有効利用することができる。
このように、インライン接続された塗布現像装置及び露光装置の一方の装置で動作ロスが発生し、他方の装置に待ち時間が生じた場合、他方の装置はこの待ち時間を利用して較正動作を行う。これによりインライン処理とは別に必要な較正動作のための時間を、待ち時間に行った較正動作の分だけ短縮することができ、スループットを向上させることができる。
本実施形態によるリソグラフィシステムにより接続相手先にエラーやトラブルが発生した場合、較正動作を行うことにより単に復帰を待っているだけの時間を低減し、スループットを向上させることができる。
上述した実施の形態はいずれも一例であって制限的なものではないと考えられるべきである。例えば上記実施形態においてコントローラ3は、製造する製品に求められる条件を考慮して復帰見込み時間内で終了する較正動作を選択するようにしても良い。
例えば塗布現像装置1側で動作ロスが発生し、製造する製品に高精度な寸法が求められる場合、コントローラ3は露光装置2にフォーカス補正を行うように較正制御信号を生成し、出力する。
また、上記実施形態ではコントローラ3が動作ロス情報に基づいて復帰見込み時間を算出していたが、塗布現像装置1、露光装置2内のそれぞれの制御部16、28が復帰見込み時間を算出し、コントローラ3へ出力するようにしても良い。
本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 塗布現像装置
2 露光装置
3 コントローラ
11 搬入出部
12 塗布部
13 ベーク部
14 現像部
15 受け渡し部
16、28 制御部
2 露光装置
3 コントローラ
11 搬入出部
12 塗布部
13 ベーク部
14 現像部
15 受け渡し部
16、28 制御部
Claims (5)
- 塗布現像装置においてウェーハにレジストを塗布し、
前記塗布現像装置にインライン接続された露光装置において前記塗布されたレジストを露光し、
前記塗布現像装置において前記露光されたレジストを現像する半導体装置の製造方法において、
前記塗布現像装置又は前記露光装置において動作ロスが発生した場合に、前記塗布現像装置又は前記露光装置が動作ロス情報を前記塗布現像装置及び前記露光装置に接続されたコントローラに出力し、
前記コントローラが、前記動作ロス情報に基づいて決定した較正動作を実施させる較正制御信号を生成し、前記動作ロスが発生していない前記塗布現像装置又は前記露光装置へ出力し、
前記動作ロスが発生していない前記塗布現像装置又は前記露光装置において前記較正制御信号に基づき前記較正動作を実施することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記動作ロス情報に基づく較正動作を、前記動作ロス情報から前記動作ロスが発生した前記塗布現像装置又は前記露光装置の復帰見込み時間を予測し、予測した前記復帰見込み時間に基づいて決定することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光装置に前記動作ロスが発生した場合は、レジスト液吐出ノズル位置補正、レジスト液吐出時間補正及び現像液温度補正の中から少なくとも1つの較正動作を選択し、前記塗布現像装置に前記動作ロスが発生した場合は、露光量補正、フォーカス補正、及びステージ位置合わせの中から少なくとも1つの較正動作を選択することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- ウェーハへのレジスト塗布及びウェーハの現像を行い、動作ロスの発生に伴い第1の動作ロス情報を出力し、第1の較正制御信号に基づき較正動作を実施する塗布現像装置と、
前記塗布現像装置にインライン接続され、ウェーハの露光処理を行い、動作ロスの発生に伴い第2の動作ロス情報を出力し、第2の較正制御信号に基づき較正動作を実施する露光装置と、
前記第1の動作ロス情報を受信し、この第1の動作ロス情報に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第2の較正制御信号を生成して前記露光装置へ出力し、前記第2の動作ロス情報を受信し、この第2の動作ロス情報に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第1の較正制御信号を生成して前記塗布現像装置へ出力するコントローラと、
を備えるリソグラフィシステム。 - 前記コントローラは、前記第1の動作ロス情報から前記塗布現像装置の復帰見込み時間を算出し、前記第2の動作ロス情報から前記露光装置の復帰見込み時間を算出し、前記塗布現像装置の復帰見込み時間に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第2の較正制御信号を生成し、前記露光装置の復帰見込み時間に基づいて選択した較正動作を実施させる前記第1の較正制御信号を生成することを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248666A JP2009081236A (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 半導体装置の製造方法及びリソグラフィシステム |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009081236A true JP2009081236A (ja) | 2009-04-16 |
Family
ID=40655782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007248666A Pending JP2009081236A (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 半導体装置の製造方法及びリソグラフィシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009081236A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105093851A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-11-25 | 上海华力微电子有限公司 | 光刻生产控制方法 |
JP2020021940A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | シャープ株式会社 | レジスト膜形成基板の製造方法及びレジスト膜形成基板の製造に係る工程管理システム |
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007248666A patent/JP2009081236A/ja active Pending
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