JP2009067043A - 切削工具及び切削工具の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】木材系材料、木材複合材料、又はプラスチックを機械加工するための切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆を形成する層組織(4)が、切削工具(1)の切削エッジ(3)の表面(2)の上に存在し、前記層組織(4)の最外層(41、4100、4101)が、式、[Cr1−x(ここで、0.05<x<0.75であり、0<z≦1、0≦a<1、0≦b<1、0≦c<1であり、z+a+b+c=1であり、Xは、元素周期表のSi、B、Al、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Sc、Y、La、Th、ランタニド系元素、第IIa族元素からなる化学元素群からの元素である)の組成物から形成されていることを特徴とする切削工具。
【選択図】図4

Description

本発明は、木材又は木材系材料、特に木材複合材料、又はプラスチックを機械加工するための切削工具、及び独立項の夫々の範疇に入る特徴部分に従う切削工具の製造方法にも関する。
効率的工具及び部品の製造は、殆どそれらの表面の被覆により実現されている。そのような被覆基体の重要な種類のものは工具であり、就中、特別なチップ形成切削工具、就中、木材の機械加工又はプラスチックの機械加工の分野での切削工具である。これに関連して、木材又は木材系複合材料又はプラスチックを機械加工するための旋回する切削工具又は回転切削工具が特に重要である。なぜなら、これらは、作動状態で屡々非常に大きな回転速度で回転し、そのため特に切削エッジの領域で非常に大きな機械的及び熱的応力に曝されるからである。被覆される工具の典型的な基体材料は、就中、工具鋼及び硬質金属であるが、全ての他の可能な基体材料もある。
最近材料として木材及びプラスチックを使用することが益々増加しており、或は木材系材料及びプラスチックが市場で益々魅力的になってきているので、それに対応して木材及びプラスチック材料の信頼性のある機械加工のための工具に対する必要性が高まってきている。これに関連して、本発明の範囲内で、プラスチックとは、平均的当業者に知られている全ての通常のプラスチック、例えば、プラスチック、合成複合材料、エラストマー、ゴム、特に木材及びプラスチックから作られた硬質ゴム併用材料、等であると理解すべきである。
これは、例えば、比較的小さな直径及び短い長さの材料を積層して大きな厚板又はボードを製造する積層工業に特別に適用されるのみならず、大きな直径の或る材料を更に処理する場合についても適用される。しかし、品質に対する要求が益々大きくなり、対応する工具の信頼性及びその使用の経済性の理由から、処理すべき材料、木材又はプラスチックと直接接触するようになる表面で大きな負荷のかかる切削エッジが適当に精錬される工具に対する需要が大きくなってきている。
そのような工具は、例えば、蟻差(dovetail)カッターであり、蟻差状接合部を作るため積層ボードを製造する際に用いられる工具であり、その接合部はどのボードでも出来るだけ同じように作成されなければならないことは言うまでもないことであり、そのため工具の精密さが最大に要求されている。
それに匹敵する要求が、例えば、固体ブロック、梁又はボードを切断しなければならない時に用いられる先端を有するのこぎりに対しても行われているが、ドリル、旋盤カッター、成形カッター、及び数多くの他のプラスチック及び木材加工用工具も更に際立った例である。
工具の有効寿命も勿論重要な役割を果たしている。即ち、このような工具を用いることができる時間は、工具の切削エッジを例えば、再研磨しなければならなくなるか、又は切削エッジ又は工具全体を未使用工具と交換しなければならなくなるまでの時間である。
例えば、のこぎり刃の厚さは、一方で切断中にのこぎり屑の形で消費されるプラスチック又は木材が出来るだけ少なくなるようにし、他方で機械加工中に、例えば、益々小さななる構造体を製造するために高度の精密さを達成できるように、最小限に維持すべきである。これに関して、厚さが不足しているため工具が不安定な作動状態に入る状況を同時に防止しなければならず、その結果、例えば、のこぎり工具の場合、予め定められた機械加工線にもはや正確に従うことができなくなるか、又は工具が大きな応力のため破損するか亀裂を生ずるようになることがある。
更に重要な点は、そのような切削工具の表面の外観及び細工性に関するものである。プラスチック、木材又は木材系材料を機械加工する場合、プラスチック粒子付着物、樹枝含有又は樹枝状付着物、又はゴム、接着剤、ゴム溶液、あらゆる種類の保存剤、或は機械加工されるプラスチック又は木材材料又は木材複合材料の他の有機又は無機成分を含む付着物が、切削工具の表面上に生ずることがあることは知られている。例えば、プラスチック又は木材材料又は木材複合材料を切削する場合、その切削中に散乱する材料の前記成分が切削工具上に付着することがある。特に切削エッジの領域では、それら付着した成分が固化し、更に付着物を増大することがある。この現象は、技術用語で「ガム(gum)」の付着と呼ばれており、「ガム」は、ゴム状付着物のみならず、例として上で既に一部挙げてある、プラスチック及び木材材料を切削工具で機械加工する時に生ずることがある全ての付着物を意味する。
一般的に、これらガム付着物は、刃の鋭さとは無関係であり、刃が依然として新しく、使用されていない場合でも起きる。これに関し、それら付着物は付着して蓄積した状態で存在するのみならず、緻密に固化した状態でも存在し、それは恐らく重合過程、又は他の、プラスチック又は木材材料の或る成分が熱によっても起こす過程によっても硬化することにより形成されたものである。これに関連して、それら付着物は屡々非常に粘着力をもち、機械的又は他の手段を用いては到底除去することができず、そのため切削工具はそれら付着物のため使用できなくなり、切削エッジそのものは依然として充分鋭利であるにも拘わらず、交換しなければならなくなる。
或る場合には、これに関し、種々の溶媒により付着物を除去することができるが、それは当然時間がかかり、従って、費用が高くなる。
この問題、及び例えば、表面の粗さが大きくなり過ぎることに関する更に別の問題で、一方では付着物に都合がよく、他方で機械加工すべき材料と切削工具との間の切削過程中の摩擦を望ましくない大きさにする問題が長い間知られてきており、既に一部木材複合材料の場合について、例えば、DE 694 25 277 T3(この内容は参考のため全体的に本願中に入れてある)で既に論じられている。
切削工具の表面外観及び細工性に関連して、DE 694 25 277 T3は、側面切削エッジの一番外側の側面に被覆を与えることが提案されており、その被覆はクロム又は、窒化物、炭化物、炭素窒化物、即ち、炭窒化物であるクロム化合物から形成されている。
このことは、DE 694 25 277 T3の著者が、切削工具の切削エッジ上の一番外側の被覆として、硬質クロム化により純粋なクロム被覆を適用すること、或は物理的蒸着法(PVD)によるCrN、又はクロム及び炭素を含有する化合物、又はクロム、炭素、及び窒素を含有する化合物の蒸着を提案していることを意味する。この場合、クロム化合物に関しては、実際には表面の特性だけが論じられており、それは純粋なクロム又はCrNを含む。
DE 694 25 277に論じられているそれらの層は、恐らくその他の従来法に関する或る改良を提案したものであろう。しかし、実際には、三つの決定的な欠点が現れている。
第一に、これらの層は、上で一層厳密に定義したガムの付着を、どの場合でも適切な程度にまで防ぐことはできない。第二の基本的欠点は、DE 694 25 277 T3で提案されている工具の表面の形成法が、一つには環境の観点から問題があることである。即ち、硬質クロム化は、作業環境に問題のある影響を与え、相応する問題のある廃棄生成物を生ずる電気化学的方法であることは、知られている通りである。第三に、これらの工具は、木材系製品の機械加工に適しているだけであり、プラスチックの機械加工には適さない。
更に、DE 694 25 277 T3に記載されている併合層を形成するためには、硬質クロム化及びPVDのような幾つかの完全に異なった方法を組合せなければならず、それは、その被覆方法を時間のかかる高価なものにしている。
従って、本発明の目的は、木材又は木材系材料、及びプラスチックも機械加工するための改良された切削工具が得られるようにすることであり、その工具は、特に製造が簡単で経済的であり、切削エッジの少なくとも表面領域で従来法で知られている付着物が切削工具の作動状態で殆ど付着せず、同時に、適切な硬度、耐摩耗性、及び表面の結合強度が保証されるようなやり方で作成され、上で述べたように、木材材料の機械加工の外に、プラスチックの機械加工にも適している。
本発明の別の目的は、対応する切削工具を製造する方法を与えることにある。
これらの目的を達成する本発明の主題は、独立請求項の要件により特徴付けられている。
夫々の従属項は、本発明の特に有利な態様に関する。
従って、本発明は、木材又は木材系材料、特に木材複合材料、又はプラスチックを機械加工するための切削工具であって、表面被覆を形成するための層組織(4)が、切削工具の切削エッジ(3)の表面(2)の上に存在する切削工具において、層組織(4)の一番外側の表面層(41、4100、4101)が、式、[Cr1−x(ここで、0.05<x<0.75であり、0<z≦1、0≦a<1、0≦b<1、0≦c<1であり、z+a+b+c=1であり、Xは、元素周期表のSi、B、Al、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Sc、Y、La、Th、ランタニド系元素、第IIa族元素からなる化学元素群からの元素である)の組成物から形成されていることを特徴とする切削工具に関する。
単に明確にする目的で、ここでもう一度、ランタニド系は、化学元素、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、及びLuを含み、元素周期表の第IIa族は、化学元素、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、及びRaを含むことを述べておく。
従って、本発明により切削工具の切削エッジに適用される一番外側の表面層は、少なくとも元素クロム及び酸素を含むことが本発明にとって重要である。即ち、この種の表面層が、純粋なクロム層又は窒化クロム層で、夫々酸素を含まないものよりも遥かによく障害性ガム付着物を防止することが示されていることは全く意外なことである。従って、層の中にクロムと組合せて存在する付加的酸素が、切削工具の表面上のガムの堆積を本質的に防止する原因になっていることは、本発明を認識上で重要である。
更に、本発明の表面層は、異なった部分層から構成された複雑な層組織でも切削工具に特に簡単な方法、即ち、PVDにより、特に好ましくはアーク蒸着(arc vaporisation)により適用することができる。これに関し、唯一つの気化用カソードが必要であり、それは、対応する合金として混合物又は化学的組成物が、Cr又はできれば一つの他の成分Xを含み、換言すれば、元素周期表のSi、B、Al、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Sc、Y、La、Th、ランタニド系元素、及び第IIa族元素を含む化学元素群からの一つの元素又は複数の元素を含むと同時に、クロムの外に重要な元素酸素が、特別な場合には窒素及び炭素も、被覆工程で、それ自体既知のやり方で対応する工程ガスにより被覆室内に添加することができる。勿論、C、O、及びNは、特別な場合の気化カソードの気化材料の一部になっていてもよい。
これに関し、酸化クロム基[Cr1−xは化学量論的酸化クロムであり、特にCrO又はCrOであり、特に好ましくはCrであるが、酸化クロム基[Cr1−xは、化学量論的比率に満たない酸化クロム、即ち、非化学量論的酸化クロム、特に酸素含有量が高いか又は低い酸化クロムにすることもできる。
実際的用途にとって特に重要な態様として、切削工具の切削エッジの一番外側の表面被覆はクロムと酸素の元素だけを含み、即ち、その最外表面被覆は[Cr1−x層である。本発明による層の最も一般的な化学的特徴として、a=0、b=0、及びc=0が適用される。
或る場合には、本発明による表面被覆は、Cr及びOの外に、窒素、又はむしろN、炭素及び/又はXを付加的に含むこともでき、即ち、元素周期表のSi、B、Al、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Sc、Y、La、Th、ランタニド系元素、及び第IIa族元素からなる化学元素群からの元素を一種類以上含むこともできることが理解されるであろう。換言すれば、a=0だけ、又はb=0だけ、又はc=0だけが適用されるか、又はa、b、及びcの二つが0とは異なるようにすることができ、即ち、Cr及びOの外に、群Xからの元素及びN及びCも同時に含有させることもできる。
付加的成分の選択は、就中、設定しなければならない表面層の硬度又は結合強度に依存し、或はプラスチック又は木材材料のどちらの種類を特別に機械加工しなければならないかに依存する。防止すべき付着物がどのような組成を有するかにより、付着物に対する抵抗効果を層組織中の付加的化学元素の適当な選択により更に最適することができ、それら層の硬度及び/又は耐摩耗性及び/又は結合強度及び/又は摩擦係数を調節することができる。
別の態様として、層は、付加的に、CrN部分層及び/又はCrN傾斜部分層及び/又はCr部分層及び/又はCrO部分層及び/又はCrCO部分層及び/又は[Cr1−x層を含む。この構成では、Cr部分層は、例えば、切削エッジの表面に直接結合層として与えることができる。
非常に特別な場合として、層組織は、少なくとも二つの部分層からなる組織で、切削エッジの表面上に互いに重ねて配列された部分層組織、特に二つの同じ部分層組織を含むことができる。
本発明の特別な態様として、部分層組織は、三つの部分層が互いに重なった層連続体を含み、即ち、Cr部分層、CrXNC部分層、及び[Cr1−x層を、Cr部分層が夫々、切削エッジの表面に直ぐ隣接しており、[Cr1−x部分層が最外表面層に夫々隣接しているような仕方で含んでいる。
即ち、言及した異なった部分層が、全く特別な機能を果たすことができる。例えば、Cr部分層は、切削工具の金属本体に接着させるための、或はその下に存在する部分層に接着させるための結合層として働くのが好ましい。別の部分層の間の中間層としてのCr層は、本発明による層組織中の機械的応力を減少させるのに寄与することができる。
[Cr1−x層、又はここで言及する他の部分層も、傾斜層として異なる組成を持つように設計することもでき、二つの層の間のこのような傾斜層は、その傾斜層の第一層に近い所では第一層の化学組成とほぼ同じ組成を持ち、第二層に近い所ではその第二層の化学組成とほぼ同じ化学組成を有するようにして、二つの異なった層を整合させる。このようにして多層組織中の応力を特に充分減少させることができ、二つの異なった部分層の間の結合強度を、幾何学的に異なった格子構造を適合させることにより劇的に向上することができる。
本発明による層組織の部分層の層厚さは、0.05μm〜5μm、特に0.1μm〜3μm、特に0.2μm〜2.5μm、好ましくは1.5μm〜2.5μmにすることができ、層組織の全厚さは、0.01μm〜50μm、又は0.5μm〜5μm、特に1μm〜4μm、好ましくは2μm〜3μmにすることができる。これに関し、或る場合には1000までの非常に大きな数の部分層及びそれ以上の部分層を与えることも可能であり、工具の作動寿命を膨大に長くすることができるが、例えば、非常に薄い切削エッジの機械的安定性を改良することもできる。
部分層の硬度HV.01は、1000HV.01〜3000HV.01、特に1500HV0.1〜2500HV0.1、好ましくは2000±300HV0.1であり、部分層の残留応力は、0.1GPa〜5GPa、特に0.3GPa〜3GPa、好ましくは0.5GPa〜2GPaである。
本発明による切削工具は、特に鋸、ナイフ、かんな、のみ、蟻差し形成機、丸太鋸、床板鋸、成形部品カッター、型形成カッター、であり、特に回転切削工具或はプラスチック又は木材を機械加工するための種々の回転又は非回転切削工具である。
本発明は、更に、本発明による切削工具を製造するための方法に関し、この場合、切削工具をPVD法、特にアーク蒸着法を用いて被覆する。
これに関し、本発明による切削工具を製造するのに適したそれ自体既知の前述の種類のどの方法でも原理的に問題になり、被覆はただ一つの気化カソードを用いて達成されるのが好ましい。
本発明による方法の実施で用いられる特に重要な態様として、切削工具を次の特別な方法手順に従って被覆する:
真空被覆室をアーク蒸着源を用いて使用できるようにし、被覆室の回転可能な基体保持器上に切削工具(1)を置く。次に被覆室内を高真空にし、輻射線加熱器により温度を400℃へ1時間上昇させる。これに関し、切削工具の表面をArイオンにより30分間イオンクリーニングに掛ける。次に切削工具の表面に800Vのバイアス電圧でCrイオンを2分間衝突させる。次に100Vのバイアス電圧を用いてアーク蒸着により切削工具の表面に結合層として100nm厚のCr部分層を蒸着する。アーク蒸着によりCr結合層の上にCrN部分層の蒸着を行うため、窒素ガスを導入し、バイアス電圧を60Vに調節する。このCrN傾斜部分層の蒸着中、窒素分圧を0.1Paから2Paへ直線的に上昇させ、CrN傾斜部分層の層厚さを2μmに到達させる。次に1:4の窒素:酸素の混合比で酸素を導入し、アーク蒸着により最外CrNO表面層の蒸着を行わせる。
本発明を、図面を補助として次に一層詳細に説明する。図面は、模式的例示で示されている。
図1では、非常に簡単な態様として、本発明による切削工具が模式的に例示されており、それは、以下で全体として参照番号1で指示してある。この構成では、切削工具1は、切削工具素地100の切削エッヂ3を被覆することにより形成されている。
図1の極めて簡単な例では、切削工具1の例示した切削エッヂ3に層組織4がアーク蒸着により適用されており、その一部分の断面だけが示されている。それは最外表面層41、4100、4101だけを有し、それら表面層はクロム及び酸素の他に、ある場合には、付加的に基Xの一つ以上の元素も含むことがあり、且つ/又は付加的に窒素及び又は炭素を含むことがある。これに関し、例えば、最外表面層41、4100、4101中に染料を導入することもでき、その場合それ自体既知のやり方で酸素の割合が増大されるか、又はそれ自体既知の別の着色法が用いられる。
図2〜4では、本発明による切削工具を実際に使用するのに特に重要な更に別の態様が、例として模式的に示されている。
切削工具素地100の切削エッヂ3の表面2の上に、切削エッヂ3と最外表面層41、4100、4101の間に別のCrN部分層42が付加的に与えられている点で、図2の態様は図1の態様とは異なっている。この付加的CrN層42は、例えば最外表面層41の結合強度を増大する。
図3では、図2による態様を更に発展させたものが例示されている。実際に使用する場合に非常に重要になる図3の例では、表面に別の純粋Cr部分層43が与えられており、即ち、切削工具素地100の表面2とCrN部分層42、421との間に与えられている。
Cr部分層43は、特に切削エッヂ3の表面2の上に全厚さDを有する層組織4の接着を改良する。CrN部分層42は、CrN傾斜部分層421として形成されるのが好ましく、その化学組成は、Cr部分層43に近い殆ど純粋なクロムから、最外表面層41、4100、4101に近いCrN組成を有する。このような層順序の結果として、内部応力が特に低く、切削エッヂ3の表面2に非常によく結合した層組織4が得られる。
最後に図4では、本発明の特別な態様として非常に異なった層組織が例示されている。
この構成では、それは、層組織4を有する切削工具1であり、この場合切削エッヂ3の表面2の上に二つの同様な部分層組織400が与えられており、最外表面層41として表面層4101も与えられており、それは特に大きな酸素含有量を有し、その結果表面層101の着色が達成されている。
二つの部分層組織400は、夫々できれば異なった厚さdを有する3つの個々の部分層43、4200、41を含み、この場合部分層43は接着を改良するための純粋Cr部分層43であり、部分層4200は応力を減少させるためのCrXNC部分層として形成されており、部分層41は、[Cr1−x部分層41であり、それは、着色した、例えば、僅かに青色の表面層4101の、その下に存在する部分層への特に良好な適合を保障する。
本発明の上記態様は、用途により夫々適切なやり方で組合せることができ、特に例として例示した層順序は異なったやり方で実現することもでき、本発明による層組織の特別な態様として一つ以上の層を完全に省略することもでき、或は別の態様では、一つの同じ層組織を反復して形成することもできることは分かるであろう。
図1は、本発明による切削工具の第一の簡単な態様である。 図2は、CrN部分層を有する第二の態様の図である。 図3は、Cr結合層を有する第三の態様の図である。 図4は、部分層組織を有する態様の図である。

Claims (14)

  1. 木材又は木材系材料、特に木材複合材料、又はプラスチックを機械加工するための切削工具であって、表面被覆を形成するための層組織(4)が、切削工具の切削エッジ(3)の表面(2)の上に存在する切削工具において、層組織(4)の最外表面層(41、4100、4101)が、式、[Cr1−x(ここで、0.05<x<0.75であり、0<z≦1、0≦a<1、0≦b<1、0≦c<1であり、z+a+b+c=1であり、Xは、元素周期表のSi、B、Al、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Sc、Y、La、Th、ランタニド系元素、第IIa族元素からなる化学元素群からの元素である)の組成物から形成されていることを特徴とする切削工具。
  2. 酸化クロム基[Cr1−xが化学量論的酸化クロムであり、特にCrO又はCrOであり、特に好ましくはCrであり、或は酸化クロム基[Cr1−xが、化学量論的比率に満たない酸化クロム、即ち、非化学量論的酸化クロム、特に酸素含有量が高いか又は低い酸化クロムである、請求項1に記載の切削工具。
  3. a=0及び/又はb=0及び/又はc=0である、請求項1又は2に記載の切削工具。
  4. 層組織(4)が、付加的に、CrN部分層(42)及び/又はCrN傾斜部分層(421)及び/又はCr部分層(43)及び/又はCrO部分層及び/又はCrCO部分層及び/又は[Cr1−x部分層を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の切削工具。
  5. Cr部分層(43)が、切削エッジ(3)の表面(2)に直接結合層として与えられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の切削工具。
  6. 層組織(4)が、切削エッヂ(3)の表面(2)の上に互いに重ねて配列された少なくとも二つの部分層組織(400)、特に二つの同様な部分層組織(400)を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の切削工具。
  7. 部分層組織(400)が、Cr部分層(43)、CrXNC部分層(42、4200)、及び[Cr1−x部分層(41、4100、4101)の三つの部分層を、前記Cr部分層(43)が夫々切削エッジ(3)の表面(2)に直ぐ隣接し、[Cr1−x部分層(41、4100、4101)が夫々最外表面層(41、4100、4101)に夫々直ぐ隣接しているような仕方で、互いに連なった層連続体として含んでいる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の切削工具。
  8. 部分層(41、42、43、421、4100、4200)の層厚さ(d)が、0.05μm〜5μm、特に0.1μm〜3μm、特に0.2μm〜2.5μm、好ましくは1.5μm〜2.5μmである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の切削工具。
  9. 層組織(4)の全厚さ(D)が、0.01μm〜50μm、又は0.5μm〜5μm、特に1μm〜4μm、好ましくは2μm〜3μmである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の切削工具。
  10. 部分層(41、42、43、421、4100、4200)の硬度が、1000HV.01〜3000HV.01、特に1500HV0.1〜2500HV0.1、好ましくは2000±300HV0.1である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の切削工具。
  11. 部分層(41、42、421、4100、4200)の残留応力が、0.1GPa〜5GPa、特に0.3GPa〜3GPa、好ましくは0.5GPa〜2GPaである、請求項1〜10のいずれか1項に記載の切削工具。
  12. 切削工具が、鋸、ナイフ、かんな、のみ、蟻差し形成機、丸太鋸、床板鋸、成形部品カッター、型形成カッター、であり、特に回転切削工具である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の切削工具。
  13. 切削工具(1)をPVD法、特にアーク蒸着法を用いて被覆する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の切削工具(1)の製造方法。
  14. − 真空被覆室をアーク蒸着源を用いて使用できるようにする工程;
    − 被覆室の回転可能な基体保持器上に切削工具(1)を置く工程;
    − 被覆室内を高真空にする工程;
    − 輻射線加熱器により温度を400℃へ1時間上昇させる工程;
    − 切削工具(1)の表面(2)をArイオンにより30分間イオンクリーニングする工程;
    − 表面(2)に800Vのバイアス電圧でCrイオンを2分間衝突させる工程;
    − 100Vのバイアス電圧を用いてアーク蒸着により切削工具(1)の表面(2)に結合層として100nm厚のCr部分層(43)を蒸着する工程;
    − 窒素ガスを導入し、バイアス電圧を60Vに調節する工程;
    − アーク蒸着によりCr結合層(43)の上にCrN傾斜部分層(421)を蒸着し、然も、前記CrN傾斜部分層(421)の層厚さ(d)が2μmに到達するまでの前記CrN傾斜部分層の蒸着中、窒素分圧を0.1Paから2Paへ直線的に上昇させる工程;
    − 1:4の窒素:酸素の混合比で酸素を導入する工程;
    − アーク蒸着により最外CrNO表面層(41)の蒸着を行う工程;
    を含む、請求項13に記載の方法。
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