JP2009054646A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】配線間におけるリーク電流の発生を防止することができる、半導体装置を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜1は、SiO2からなる。層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが形成されている。この溝2a,2bには、CuMnからなる配線4a,4bが埋設されている。層間絶縁膜1および配線4a、4b上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。バリア形成用膜5上には、パッシベーション膜6が積層されている。また、配線4a,4bと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との間には、MnSiOからなるバリア膜3a,3bが介在されている。このバリア膜3a,3bによって、配線4a,4bの全面が被覆されている。
【選択図】図1
【解決手段】層間絶縁膜1は、SiO2からなる。層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが形成されている。この溝2a,2bには、CuMnからなる配線4a,4bが埋設されている。層間絶縁膜1および配線4a、4b上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。バリア形成用膜5上には、パッシベーション膜6が積層されている。また、配線4a,4bと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との間には、MnSiOからなるバリア膜3a,3bが介在されている。このバリア膜3a,3bによって、配線4a,4bの全面が被覆されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。
半導体装置では、Al(アルミニウム)合金からなるAl配線を備えるものが最も一般的である。
図3は、Al配線を備える半導体装置の表層部の模式的な断面図である。
Al配線31は、たとえば、SiO2(酸化シリコン)からなる層間絶縁膜32上に所定のパターンで形成されている。このAl配線31は、Al合金からなる主配線層33の上下をTiN(窒化チタン)/Ti(チタン)からなる反射防止膜34とTi/TiN/Tiからなるバリア膜35とで挟み込んだ積層構造を有している。Al配線31の表面は、Al配線31の腐食防止のために、SiN(窒化シリコン)からなるパッシベーション膜36により覆われている。
特開平10−209155号公報
図3は、Al配線を備える半導体装置の表層部の模式的な断面図である。
Al配線31は、たとえば、SiO2(酸化シリコン)からなる層間絶縁膜32上に所定のパターンで形成されている。このAl配線31は、Al合金からなる主配線層33の上下をTiN(窒化チタン)/Ti(チタン)からなる反射防止膜34とTi/TiN/Tiからなるバリア膜35とで挟み込んだ積層構造を有している。Al配線31の表面は、Al配線31の腐食防止のために、SiN(窒化シリコン)からなるパッシベーション膜36により覆われている。
ところが、図3に示す構造では、Al配線31がSiO2からなる層間絶縁膜32とパッシベーション膜36との界面に接しているため、Al配線31間に、その界面を伝って流れるリーク電流が発生するおそれがある。
そこで、本発明の目的は、配線間におけるリーク電流の発生を防止することができる、半導体装置を提供することである。
そこで、本発明の目的は、配線間におけるリーク電流の発生を防止することができる、半導体装置を提供することである。
前記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、SiおよびOを含む絶縁性材料からなる層間絶縁膜と、Cuを含む導電性材料からなり、前記層間絶縁膜の上面から掘り下がった溝に埋設された配線と、SiおよびOを含む絶縁性材料からなり、前記層間絶縁膜および前記配線上に積層されたバリア形成用膜と、前記バリア形成用膜上に積層されたパッシベーション膜と、MnxSiyOz(x,y,z:零よりも大きい数)からなり、前記配線と前記層間絶縁膜および前記バリア形成用膜との間に介在され、前記配線の全面を被覆するバリア膜とを含む、半導体装置である。
この構成によれば、層間絶縁膜は、Si(シリコン)およびO(酸素)を含む絶縁性材料からなる。層間絶縁膜には、その上面から掘り下がった溝が形成されている。この溝には、Cuを含む導電性材料からなる配線が埋設されている。層間絶縁膜および配線上には、SiおよびOを含む絶縁性材料からなるバリア形成用膜が積層されている。バリア形成用膜上には、パッシベーション膜が積層されている。また、配線と層間絶縁膜およびバリア形成用膜との間には、MnxSiyOz(以下、単に「MnSiO」という。)からなるバリア膜が介在されている。このバリア膜によって、配線の全面が被覆されている。そのため、配線は、層間絶縁膜とパッシベーション膜との界面に接触しない。その結果、配線間を層間絶縁膜とパッシベーション膜との界面を伝って流れるリーク電流の発生を防止することができる。
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態における半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。
この半導体装置は、たとえば、半導体基板(図示せず)上に複数の配線層とSiO2からなる層間絶縁膜とが交互に積層された、いわゆる多層配線構造を有している。最上の層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが互いに間隔を空けて形成されている。
図1は、本発明の一実施形態における半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。
この半導体装置は、たとえば、半導体基板(図示せず)上に複数の配線層とSiO2からなる層間絶縁膜とが交互に積層された、いわゆる多層配線構造を有している。最上の層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが互いに間隔を空けて形成されている。
溝2a,2bには、それぞれMn(マンガン)を含んだCu(以下、単に「CuMn」という。)からなる配線4a,4bが埋設されている。配線4a,4bの上面は、層間絶縁膜1の上面と面一をなしている。配線4a,4bには、たとえば、100〜1000Vの高電圧が印加される。
配線4a,4bおよび層間絶縁膜1上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。このバリア形成用膜5上には、SiNからなるパッシペーション膜6が積層されている。
配線4a,4bおよび層間絶縁膜1上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。このバリア形成用膜5上には、SiNからなるパッシペーション膜6が積層されている。
配線4aと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との界面には、MnSiOからなるバリア膜3aが形成されている。また、配線4bと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との界面には、MnSiOからなるバリア膜3bが形成されている。
図2A〜2Eは、図1の半導体装置の製造方法を示す模式的な断面図である。
まず、層間絶縁膜1上に、溝2a,2bを形成すべき部分に対応する位置に開口を有するマスク(図示せず)が形成される。このマスクを介して、層間絶縁膜1がエッチングされることにより、図2Aに示すように、層間絶縁膜1の上面に溝2a,2bが形成される。
図2A〜2Eは、図1の半導体装置の製造方法を示す模式的な断面図である。
まず、層間絶縁膜1上に、溝2a,2bを形成すべき部分に対応する位置に開口を有するマスク(図示せず)が形成される。このマスクを介して、層間絶縁膜1がエッチングされることにより、図2Aに示すように、層間絶縁膜1の上面に溝2a,2bが形成される。
次いで、図2Bに示すように、スパッタ法により、溝2a,2bの内面を含む層間絶縁膜1上に、Cu−Mn合金からなるシード膜7が形成される。
その後、図2Cに示すように、めっき法により、シード膜7上に、Cuからなる金属膜8が形成される。金属膜8は、溝2a,2bを埋め尽くす厚さに形成される。
その後、熱処理が行われることによって、図2Dに示すように、シード膜7中のMnが、層間絶縁膜1に含まれるSiおよびO(酸素)と結合し、MnSiO膜9が形成される。また、このとき、シード膜7中のMnの一部は、金属膜8中を移動し、金属膜8の表面に析出する。なお、MnSiO膜9の形成に伴って、シード膜7は、金属膜8と実質的に一体となる。また、シード膜7中のMnの一部が金属膜8中に拡散することにより、金属膜8には、Mnが微量に含まれる。
その後、図2Cに示すように、めっき法により、シード膜7上に、Cuからなる金属膜8が形成される。金属膜8は、溝2a,2bを埋め尽くす厚さに形成される。
その後、熱処理が行われることによって、図2Dに示すように、シード膜7中のMnが、層間絶縁膜1に含まれるSiおよびO(酸素)と結合し、MnSiO膜9が形成される。また、このとき、シード膜7中のMnの一部は、金属膜8中を移動し、金属膜8の表面に析出する。なお、MnSiO膜9の形成に伴って、シード膜7は、金属膜8と実質的に一体となる。また、シード膜7中のMnの一部が金属膜8中に拡散することにより、金属膜8には、Mnが微量に含まれる。
次いで、CMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的機械的研磨)法により、銅膜8およびMnSiO膜9が研磨される。この研磨処理は、図2Eに示すように、銅膜8およびMnSiO膜9の溝2a,2b外に形成されている不要部分がすべて除去されて、溝2a,2b外の層間絶縁膜1の表面が露出し、その層間絶縁膜1の表面と溝2a,2b内の銅膜8の表面とが面一になるまで続けられる。これにより、溝2aに埋設された配線4aおよびMnSiO膜9aと、溝2bに埋設された配線4bおよびMnSiO膜9bとが得られる。
次に、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長)法により、層間絶縁膜1および配線4a,4bの上にバリア形成用膜5が積層される。
バリア形成用膜5の積層後、熱処理が再び行われる。この熱処理によって、図2Fに示すように、配線4a中に残留していたMnがバリア形成用膜5に含まれるSiおよびOと結合し、バリア形成用膜5と配線4aとの間に、MnSiO膜10aが形成される。その結果、層間絶縁膜1と配線4aとの間、およびバリア形成用膜5と配線4aとの間に、MnSiO膜9a,10aからなるバリア膜3aが形成される。また、配線4b中に残留していたMnがバリア形成用膜5に含まれるSiおよびOと結合し、バリア形成用膜5と配線4bとの間に、MnSiO膜10bが形成される。その結果、層間絶縁膜1と配線4bとの間、およびバリア形成用膜5と配線4bとの間に、MnSiO膜9b,10bからなるバリア膜3bが形成される。
バリア形成用膜5の積層後、熱処理が再び行われる。この熱処理によって、図2Fに示すように、配線4a中に残留していたMnがバリア形成用膜5に含まれるSiおよびOと結合し、バリア形成用膜5と配線4aとの間に、MnSiO膜10aが形成される。その結果、層間絶縁膜1と配線4aとの間、およびバリア形成用膜5と配線4aとの間に、MnSiO膜9a,10aからなるバリア膜3aが形成される。また、配線4b中に残留していたMnがバリア形成用膜5に含まれるSiおよびOと結合し、バリア形成用膜5と配線4bとの間に、MnSiO膜10bが形成される。その結果、層間絶縁膜1と配線4bとの間、およびバリア形成用膜5と配線4bとの間に、MnSiO膜9b,10bからなるバリア膜3bが形成される。
この後、バリア形成用膜5上に、CVD法により、パッシベーション膜6が積層される。これにより、図1に示す半導体装置を得ることができる。
以上のように、層間絶縁膜1は、SiO2からなる。層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが形成されている。この溝2a,2bには、CuMnからなる配線4a,4bが埋設されている。層間絶縁膜1および配線4a、4b上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。バリア形成用膜5上には、パッシベーション膜6が積層されている。また、配線4a,4bと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との間には、MnSiOからなるバリア膜3a,3bが介在されている。このバリア膜3a,3bによって、配線4a,4bの全面が被覆されている。そのため、配線4a,4bは、層間絶縁膜1とパッシベーション膜6との界面に接触しない。その結果、配線4a,4b間を層間絶縁膜1とパッシベーション膜6との界面を伝って流れるリーク電流の発生を防止することができる。
以上のように、層間絶縁膜1は、SiO2からなる。層間絶縁膜1には、その上面から掘り下がった溝2a,2bが形成されている。この溝2a,2bには、CuMnからなる配線4a,4bが埋設されている。層間絶縁膜1および配線4a、4b上には、SiO2からなるバリア形成用膜5が積層されている。バリア形成用膜5上には、パッシベーション膜6が積層されている。また、配線4a,4bと層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5との間には、MnSiOからなるバリア膜3a,3bが介在されている。このバリア膜3a,3bによって、配線4a,4bの全面が被覆されている。そのため、配線4a,4bは、層間絶縁膜1とパッシベーション膜6との界面に接触しない。その結果、配線4a,4b間を層間絶縁膜1とパッシベーション膜6との界面を伝って流れるリーク電流の発生を防止することができる。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
たとえば、層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5の材料として、SiO2を例示したが、SiおよびOを含む材料であればよく、たとえば、SiOC(炭素が添加された酸化シリコン)などを用いることができる。
たとえば、層間絶縁膜1およびバリア形成用膜5の材料として、SiO2を例示したが、SiおよびOを含む材料であればよく、たとえば、SiOC(炭素が添加された酸化シリコン)などを用いることができる。
また、上記の実施形態では、層間絶縁膜1と配線4a,4bとの間にMnSiO膜9a,9bを形成する熱処理と、バリア形成用膜5と配線4a,4bとの間にMnSiO膜10a,10bを形成する熱処理とを2回の工程に分けて行っているが、MnSiO膜9a,9b,10a,10bは、1回の熱処理工程によって形成されてもよい。すなわち、金属膜8を堆積させた後に、熱処理を行わずに、バリア形成用膜5を積層した後に熱処理を行うことにより、層間絶縁膜1と配線4aとの間、ならびに、バリア形成用膜5と配線4aとの間にMnSiOからなるバリア膜3a(MnSiO膜9a,10a)が形成され、層間絶縁膜1と配線4bとの間、ならびに、バリア形成用膜5と配線4bとの間にMnSiOからなるバリア膜3b(MnSiO膜9b,10b)が形成されてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 層間絶縁膜
2a 溝
2b 溝
3a バリア膜
3b バリア膜
4a 配線
4b 配線
5 バリア形成用膜
6 パッシベーション膜
2a 溝
2b 溝
3a バリア膜
3b バリア膜
4a 配線
4b 配線
5 バリア形成用膜
6 パッシベーション膜
Claims (1)
- SiおよびOを含む絶縁性材料からなる層間絶縁膜と、
Cuを含む導電性材料からなり、前記層間絶縁膜の上面から掘り下がった溝に埋設された配線と、
SiおよびOを含む絶縁性材料からなり、前記層間絶縁膜および前記配線上に積層されたバリア形成用膜と、
前記バリア形成用膜上に積層されたパッシベーション膜と、
MnxSiyOz(x,y,z:零よりも大きい数)からなり、前記配線と前記層間絶縁膜および前記バリア形成用膜との間に介在され、前記配線の全面を被覆するバリア膜とを含む、半導体装置。
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JP2007217422A JP2009054646A (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | 半導体装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8531033B2 (en) | 2009-09-07 | 2013-09-10 | Advanced Interconnect Materials, Llc | Contact plug structure, semiconductor device, and method for forming contact plug |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007035734A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Nec Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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2007
- 2007-08-23 JP JP2007217422A patent/JP2009054646A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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JPN6012064020; Usui, T.; Tsumura, K.; Nasu, H.; Hayashi, Y.; Minamihaba, G.; Toyoda, H.; Sawada, H.; Ito, S.; Miyaj: 'High Performance Ultra Low-k (k=2.0/keff=2.4)/Cu Dual-Damascene Interconnect Technology with Self-Fo' Interconnect Technology Conference, 2006 Internati&#x * |
Cited By (1)
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