JP2009039733A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 広い加工対象物表面を走査することができ、かつ加工対象物表面におけるビームサイズを小さくして微細な加工を行うことに適したレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームの経路内に、レーザビームのビーム断面を整形する断面整形器が配置されている。断面整形器を通過したレーザビームが入射する位置に第1のレンズが配置されている。第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に凸レンズである第2のレンズが配置されている。第2のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に加工対象物が配置される。レンズ支持機構が、第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持する。第1のレンズは、第2のレンズが配置された位置のビーム径を、第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくする。第1及び第2のレンズは、断面整形器が配置されている位置の物点を、加工対象物の表面上に結像させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 レーザビームの経路内に、レーザビームのビーム断面を整形する断面整形器が配置されている。断面整形器を通過したレーザビームが入射する位置に第1のレンズが配置されている。第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に凸レンズである第2のレンズが配置されている。第2のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に加工対象物が配置される。レンズ支持機構が、第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持する。第1のレンズは、第2のレンズが配置された位置のビーム径を、第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくする。第1及び第2のレンズは、断面整形器が配置されている位置の物点を、加工対象物の表面上に結像させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、レーザ加工装置に関し、特にレーザビームの入射位置が加工対象物上を移動するようにレーザビームを走査して、レーザ加工を行うレーザ加工装置に関する。
下記の特許文献1に開示されたレーザ加工装置の概略図を図7に示す。レーザビームが第1のレンズ100を通過し、第2のレンズ101に入射する。第2のレンズ101を通過したレーザビームが、ビーム走査器102を経由して加工対象物110に入射する。加工対象物110はステージ103に保持されている。ビーム走査器102は、2枚の揺動ミラーを含むガルバノスキャナで構成され、レーザビームの入射位置が加工対象物110の表面上を移動するように、レーザビームを走査する。移動機構104が、第1のレンズ100を光軸方向に移動させる。
ビーム走査器102でレーザビームを走査すると、第2のレンズ101から加工対象物110の表面までの光路長が変化する。第1のレンズ100を光軸方向に移動させることにより、レーザビームの入射位置が移動しても、常に加工対象物110の表面において焦点を結ばせる(ビームスポットサイズを最小にする)ことができる。
下記の特許文献2に、光学ディスク等から情報を読み出すときのトラッキングずれを防止する光学ヘッドが開示されている。この光学ヘッドにおいては、対物レンズの前に、凹レンズと凸レンズとからなる組みレンズが配置される。この凸レンズを、光軸に垂直な方向に移動させることにより、トラッキング制御が行われる。
加工対象物が大きくなると、そのほぼ全域を走査するために、ビーム走査器から加工対象物までの距離を長くしなければならなくなる。微細な加工を行うために、加工対象物表面におけるビームスポットサイズを小さくすることが求められている。最小スポットサイズをdとすると、下記の式が成り立つ。
θ=4λ・(M2)/(π・d)
ここで、λはレーザビームの波長、M2はレーザビームの品質、θは、円錐形のビームと仮定したときの円錐の頂角である。
θ=4λ・(M2)/(π・d)
ここで、λはレーザビームの波長、M2はレーザビームの品質、θは、円錐形のビームと仮定したときの円錐の頂角である。
例えば、ビーム品質M2が1、波長が532nmのレーザビームのビームスポットサイズを100μmにするためには、θを約6.8mradにしなければならない。ビーム走査器から加工対象物までの距離を2mに設定すると、ビーム走査器の位置におけるビーム径は、約13.6mmになる。このため、ガルバノスキャナに用いられる揺動ミラーの寸法を13.6mm以上にしなければならない。レーザビームの品質M2が悪く(大きく)なると、揺動ミラーをより大きくしなければならない。例えば、品質M2が約10のマルチモードレーザを用いる場合には、揺動ミラーの寸法を約136mmにしなければならない。
揺動ミラーが大きくなると、ミラーの剛性を高くしなければならず、コスト増につながる。また、X用ミラーとY用ミラーとの相互干渉を避けるために、両者の間隔を広くしなければならない。この場合、レーザビームをX方向に振るときのビームの折れ曲がり点から加工点までの距離と、Y方向に振るときのビームの折れ曲がり点から加工点までの距離との差が大きくなってしまう。このため、レーザビームの入射位置精度を高く維持することが困難になる。
本発明の目的は、広い加工対象物表面を走査することができ、かつ加工対象物表面におけるビームサイズを小さくして微細な加工を行うことに適したレーザ加工装置を提供することである。
本発明の一観点によると、
レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームの経路内に配置され、該レーザビームのビーム断面を整形する断面整形器と、
前記断面整形器を通過したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第2のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくし、前記第1及び第2のレンズは、前記断面整形器が配置されている位置の物点を、前記ステージに保持されている加工対象物の表面上に結像させるレーザ加工装置が提供される。
レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームの経路内に配置され、該レーザビームのビーム断面を整形する断面整形器と、
前記断面整形器を通過したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第2のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくし、前記第1及び第2のレンズは、前記断面整形器が配置されている位置の物点を、前記ステージに保持されている加工対象物の表面上に結像させるレーザ加工装置が提供される。
本発明の他の観点によると、
レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第1及び第2のレンズからなる組み合わせレンズの焦平面の位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズに入射するレーザビームは平行光線束とされており、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくするレーザ加工装置が提供される。
レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第1及び第2のレンズからなる組み合わせレンズの焦平面の位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズに入射するレーザビームは平行光線束とされており、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくするレーザ加工装置が提供される。
第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動させることにより、レーザビームの進行方向を変化させて、加工対象物上へのレーザビームの入射位置を移動させることができる。第2のレンズを有効開口径を大きくすれば、加工対象物に入射する円錐形のレーザビームの頂角を大きくすることが可能である。これにより、加工対象物上におけるビームスポットサイズを小さくすることが可能になる。
図1に、第1の実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。レーザ光源1がパルスレーザビームを出射する。レーザ光源1には、例えば波長532nmの2倍高調波を出射する全固体Qスイッチレーザが用いられる。なお、必要に応じてビームエキスパンダ、コリメートレンズ、均一化光学系等を配置してもよい。
レーザ光源1から出射されたレーザビームが、マスク2に入射する。マスク2は、レーザビームのビーム断面の中心に配置された例えば正方形の開口部を有し、レーザビームのビーム断面を正方形に整形する。マスク2でビーム断面を整形されたレーザビームが、第1のレンズ5及び第2のレンズ7を通過して加工対象物20に入射する。加工対象物20は、ステージ10に保持されている。加工対象物20の表面をxy面とし、表面の法線方向をz軸とするxyz直交座標系を定義する。
光軸方向変位機構6が、第1のレンズ5を、その光軸方向(z方向)に変位させる。レンズ支持機構8が、第2のレンズ7を、その光軸に垂直な2方向(x方向及びy方向)に移動させる。制御装置9が、光軸方向変位機構6及びレンズ支持機構8を制御する。
第1のレンズ5は凹レンズであり、第2のレンズ7は凸レンズである。第1のレンズ5の焦点距離をf1、第2のレンズ7の焦点距離をf2、両者の間隔をδとすると、第1のレンズ5と第2のレンズ7との合成焦点距離fは、下記の式で表される。
1/f=1/f1+1/f2−δ/(f1f2)
一例として、第1のレンズ5の焦点距離f1を−100mm、第2のレンズ7の焦点距離f2を100mm、両者の間隔δを5mmとすると、合成焦点距離fは、2000mmになる。
1/f=1/f1+1/f2−δ/(f1f2)
一例として、第1のレンズ5の焦点距離f1を−100mm、第2のレンズ7の焦点距離f2を100mm、両者の間隔δを5mmとすると、合成焦点距離fは、2000mmになる。
第1のレンズ5は、第2のレンズ7の位置におけるビーム径を、第1のレンズ5の位置におけるビーム径よりも大きくする。また、第1のレンズ5と第2のレンズ7とからなる組み合わせレンズは、マスク2が配置された位置の物点を、加工対象物20の表面上に結像させる。結合倍率は、例えば1/4倍である。図1は、第1のレンズ5の光軸、第2のレンズ7の光軸、及びレーザビームの中心光線が一致する場合を示している。このとき、マスク2の開口部の像が、加工対象物20の表面上の原点P0に形成される。
図3に、レンズ支持機構8の平面図を示す。2本のX方向ガイド8Xaのそれぞれに、X方向移動部8XbがX方向に移動可能に支持されている。2本のY方向ガイド8Yaの各々の一端が一方のX方向移動部8Xbに固定され、他端が他方のX方向移動部8Xbに固定されている。Y方向ガイド8Yaのそれぞれに、Y方向移動部8Ybが、Y方向に移動可能に支持されている。第2のレンズ7が、Y方向移動部8Ybに固定されている。X方向移動部8Xb及びY方向移動部8Ybは、ボールねじ機構、リニアモータ等により移動する。X方向移動部8Xb及びY方向移動部8Ybを移動させることにより、第2のレンズ7をx方向及びy方向に移動させることができる。
図2に、第2のレンズ7をx方向に偏芯させたときのレーザビームの伝搬の様子を示す。偏芯量dを40mmとすると、レーザビームの中心光線の偏向角φは約22°になり、マスク2の開口部の像が、加工対象物20上の原点P0から離れた位置P1に形成される。理想的には、第2のレンズ7をxy面に平行な方向に移動させても像面の位置は変化しない。第1のレンズ5と第2のレンズ7との合成焦点距離fを長くすると、第2のレンズ7の偏芯量dがわずかであっても、加工対象物20の表面における像の移動距離P0P1を長くすることができる。
図1に戻って、所望の寸法のビームスポットを得るための第2のレンズ7の必要な大きさについて説明する。波長532nm、レーザ品質M2が5のレーザビームを用いて、加工対象物20の表面におけるビームスポットサイズdを100μmにするためには、加工対象物20に入射する円錐形のレーザビームの頂角θを約34mradにすればよい。このとき、第2のレンズ7が配置された位置におけるレーザビームのビーム径は約68mmになる。
第2のレンズ7をx方向及びy方向に40mm移動させた状態でも第2のレンズ7によるレーザビームのケラレが発生しないようにするためには、第2のレンズ7の有効開口径を148mm以上にすればよい。
上述のように、第2のレンズ7を、その光軸に垂直な方向に移動させても、理想的には像面の位置は変化しない。ところが、実際には、レンズの球面収差等により、像面の位置がz方向に変化する。このとき、第1のレンズ5を、その光軸方向に変位させて、第1のレンズ5と第2のレンズ7との間隔δを調整することにより、常に加工対象物20の表面にマスク2の開口部を結像させることが可能になる。例えば、第1のレンズ5と第2のレンズ7との間隔を5mmから4.95mmまで狭くすると、合成焦点距離は、2000mmから2020mmまで長くなる。このように、間隔δをわずかに変化させることで、合成焦点距離を大きく変化させることができる。第1のレンズ5のz方向への変位量はわずかでよいため、光軸方向変位機構に、圧電アクチュエータを用いることができる。
なお、第1のレンズ5をz方向に変位させる代わりに、第2のレンズ7をz方向に変位させてもよい。
図4に、制御装置9が記憶している位置データの一例を示す。第2のレンズ7の(x、y)面内の位置(xa,ya)と、加工対象物20の表面上におけるレーザビームの入射位置(xb,yb)と、第1のレンズのz方向の適正位置zaとの関係が記憶されている。例えば、第2のレンズ7の位置を(xa1,ya1)とすると、加工対象物20の表面内の位置(xb1,yb1)にレーザビームが入射する。このとき、第1のレンズ5のz方向の位置をza1とすることにより、加工対象物20の表面に、マスク2の開口部を結像させることができる。制御装置9は、この位置データに基づいて、光軸方向変位機構6及びレンズ支持機構8を制御する。
なお、ステージ10の加工対象物保持面が、レンズの光軸に対して傾いている場合には、この傾きを考慮して、図4に示した第1のレンズの適正位置zaを設定しておけばよい。例えば、加工対象物20が、一辺の長さ1.5m程度の正方形である場合、ステージ10はそれよりも大きくなり、その姿勢を高精度に微調整することが困難である。入射位置に応じて第1のレンズ5を光軸方向に変位させることにより、ステージ10の姿勢の高精度の微調整を行う必要がなくなる。
図2では、第2のレンズ7をx方向に移動させたが、第2のレンズ7をy方向に移動させることにより、加工対象物20の表面上においてレーザビームの入射位置をy方向に移動させることができる。x方向への移動とy方向への移動とを組み合わせることにより、レーザビームの入射位置を、加工対象物20の表面上において2次元方向に移動させることができる。
上記第1の実施例では、レーザビームをx方向に偏向させる場合と、y方向に偏向させる場合とによらず、ビーム中心光線の偏向位置が一箇所である。このため、2枚の揺動ミラーを用いてレーザビームを走査する場合に比べて、入射位置の補正を容易に行うことができる。
図5に、第2の実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。以下、第1の実施例によるレーザ加工装置との相違点に着目して説明する。第1の実施例では、第1のレンズ5及び第2のレンズ7が、マスク2の開口部を加工対象物20の表面上に結像させる結合光学系を用いた。第2の実施例では、第1のレンズ5に平行光線束が入射し、第1のレンズ5と第2のレンズ7とからなる組み合わせレンズの焦平面の位置に、加工対象物20が配置される。第1の実施例によるレーザ加工装置のマスク2は不要である。
第2の実施例では、加工対象物20の表面においてレーザビームのビームスポットが最小になる。第2のレンズ7をxy面に平行な方向に移動させることにより、レーザビームを走査し、ビームスポットを位置を加工対象物20の表面上で移動させることができる。
第2の実施例では、図4に示した第1のレンズの適正位置zaに、ステージ10に保持された加工対象物20上においてビームスポットを最小にするための第1のレンズ5の位置が記憶されている。図4に示した位置データに基づいて、第1のレンズ5を光軸方向に移動させることにより、第2のレンズ7の球面収差等に起因する焦点ずれを補償することができる。
図6に、第3の実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。以下、第1の実施例によるレーザ加工装置との相違点に着目して説明する。第1の実施例では、第1のレンズ5に凹レンズが用いられていたが、第3の実施例では、凸レンズが用いられる。第1のレンズ5の焦点距離をf1、第2のレンズ7の焦点距離をf2、両者の間隔をδとすると、第1のレンズ5と第2のレンズ7との合成焦点距離fは、下記の式で表される。
1/f=1/f1+1/f2−δ/(f1f2)
第1のレンズ5によって収束されたレーザビームがほぼ一点に収束され、その後発散光線束となって第2のレンズ7に入射する。第1のレンズ5と第2のレンズ7との間隔を適当に選択することにより、第2のレンズ7の位置におけるビーム径を、第1のレンズ5の位置におけるビーム径よりも大きくすることができる。このため、第1の実施例と同様の効果が得られる。なお、第2の実施例においても、第1のレンズ5を凸レンズで構成することが可能である。
1/f=1/f1+1/f2−δ/(f1f2)
第1のレンズ5によって収束されたレーザビームがほぼ一点に収束され、その後発散光線束となって第2のレンズ7に入射する。第1のレンズ5と第2のレンズ7との間隔を適当に選択することにより、第2のレンズ7の位置におけるビーム径を、第1のレンズ5の位置におけるビーム径よりも大きくすることができる。このため、第1の実施例と同様の効果が得られる。なお、第2の実施例においても、第1のレンズ5を凸レンズで構成することが可能である。
上記実施例において、第2のレンズ7の移動によって十分広い領域を走査するために、第1のレンズ5と第2のレンズ7との合成焦点距離を、第2のレンズ7の焦点距離の10倍以上にすることが好ましい。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 レーザ光源
2 マスク
5 第1のレンズ
6 光軸方向変位機構
7 第2のレンズ
8 レンズ支持機構
8Ya Y方向ガイド
8Yb Y方向移動部
8Xa X方向ガイド
8Xb X方向移動部
9 制御装置
10 ステージ
20 加工対象物
2 マスク
5 第1のレンズ
6 光軸方向変位機構
7 第2のレンズ
8 レンズ支持機構
8Ya Y方向ガイド
8Yb Y方向移動部
8Xa X方向ガイド
8Xb X方向移動部
9 制御装置
10 ステージ
20 加工対象物
Claims (6)
- レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームの経路内に配置され、該レーザビームのビーム断面を整形する断面整形器と、
前記断面整形器を通過したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第2のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくし、前記第1及び第2のレンズは、前記断面整形器が配置されている位置の物点を、前記ステージに保持されている加工対象物の表面上に結像させるレーザ加工装置。 - さらに、前記第1及び第2のレンズの少なくとも一方のレンズを、該レンズの光軸方向に変位させる光軸方向変位機構を有する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- さらに、
前記第2のレンズの光軸に垂直な方向に関する該第2のレンズの位置と、前記断面整形器の位置の物点が前記ステージに保持された加工対象物上に結像するための前記光軸方向変位機構による変位量と、前記ステージに保持された加工対象物の表面内におけるレーザビームの入射位置との関係を記憶する制御装置を有し、
前記制御装置は、レーザビームを入射させる加工対象物上の目標位置から、前記第2のレンズの位置、及び前記光軸方向変位機構による変位量を算出し、前記レンズ支持機構及び前記光軸方向変位機構を制御する請求項2に記載のレーザ加工装置。 - レーザビームを出射させるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームが入射する位置に配置された第1のレンズと、
前記第1のレンズを通過したレーザビームが入射する位置に配置された凸レンズである第2のレンズと、
前記第1及び第2のレンズからなる組み合わせレンズの焦平面の位置に加工対象物を保持するステージと、
前記第2のレンズを、その光軸に垂直な方向に移動可能に支持するレンズ支持機構と
を有し、前記第1のレンズに入射するレーザビームは平行光線束とされており、前記第1のレンズは、前記第2のレンズが配置された位置のビーム径を、該第1のレンズが配置された位置のビーム径よりも大きくするレーザ加工装置。 - さらに、前記第1及び第2のレンズの少なくとも一方のレンズを、該レンズの光軸方向に変位させる光軸方向変位機構を有する請求項4に記載のレーザ加工装置。
- さらに、
前記第2のレンズの光軸に垂直な方向に関する該第2のレンズの位置と、前記ステージに保持された加工対象物上においてビームスポットを最小にするための前記光軸方向変位機構による変位量と、前記ステージに保持された加工対象物の表面内におけるレーザビームの入射位置との関係を記憶する制御装置を有し、
前記制御装置は、レーザビームを入射させる加工対象物上の目標位置から、前記第2のレンズの位置、及び前記光軸方向変位機構による変位量を算出し、前記レンズ支持機構及び前記光軸方向変位機構を制御する請求項5に記載のレーザ加工装置。
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JP2015030022A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
CN108500460A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-09-07 | 苏州天弘激光股份有限公司 | 有限功率宽幅激光焊接头及激光焊接机 |
KR20220120487A (ko) * | 2021-02-22 | 2022-08-30 | 주식회사 아큐레이저 | 레이저 조사 장치 |
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