JP2009038377A - Iii族窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子と正孔の再結合により光を生成する活性層40を備える複数個のIII族窒化物半導体層と、複数個のIII族窒化物半導体層の成長に利用される基板10として、対向する2つの辺91が丸められている突起90を有する基板10とを備えるIII族窒化物半導体発光素子を提供する。
【選択図】図6
Description
また、本発明は、突起の側面方向の制約を解消しながらも、結晶性に優れたIII族窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。
また、本発明は、突起を有する基板に対してスクライビングラインがなす角度を調節することによって外部量子効率を上げたIII族窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。
また、本発明は、窒化物半導体の成長のための空間を基板上に十分に確保できるIII族窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。
本発明は、電子と正孔の再結合により光を生成する活性層を備える複数個のIII族窒化物半導体層と、複数個のIII族窒化物半導体層の成長に利用される基板として、対向する2つの辺が丸められている(rounded)突起を有する基板とを備えるIII族窒化物半導体発光素子を提供する。
また、上記発明においては、基板が少なくとも1つの切断面により境界をなしており、2つの連結辺の延長線が少なくとも1つの切断面と交差していていもよい。ここで、少なくとも1つの切断面は発光素子の外殻を形成する面であり、ダイアモンドカッティングによって形成されてもよく、スクライビング/ブレイキング工程によって形成されてもよい。
また、上記発明においては、基板がサファイア基板であることが好ましい。
また、上記発明においては、2つの連結辺が直線であってもよい。
また、上記発明においては、丸められた対向する2つの辺が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と対向していてもよい。
基板が突起が複数個形成された第1アレイと、突起が複数個形成された第2アレイとを具備し、第1アレイの複数個の突起と第2アレイの突起とが交互するように配置されていてもよい。
また、上記発明においては、基板がサファイア基板であることが好ましい。
上記発明においては、基板がサファイア基板であることが好ましい。
また、上記発明においては、少なくとも2つの辺のうち他辺が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と交差していてもよい。
また、上記発明においては、基板が突起が複数個形成された第1アレイと、突起が複数個形成された第2アレイとを具備し、第1アレイの突起の丸められた辺と、第2アレイの突起が丸められた辺が交互するように配置されていてもよい。
また、本発明に係るIII族窒化物半導体発光素子によると、突起を有する基板に対してスクライビングラインがなす角度を調節することによって外部量子効率を上げることができる。
また、本発明に係るIII族窒化物半導体発光素子によると、窒化物半導体の成長のための空間を基板上に十分に確保し、窒化物半導体層の結晶性を高めることができる。
図5は、本実施形態に係るIII族窒化物半導体発光素子の一例を示す図面である。このIII族窒化物半導体発光素子は、突起90が形成されたサファイア基板10と、サファイア基板10上に成長されるバッファ層20と、バッファ層20の上に成長されるn型窒化物半導体層30と、n型窒化物半導体層30上に成長される活性層40と、活性層40の上に成長されるp型窒化物半導体層50と、p型窒化物半導体層50上に形成される透光性電極60と、透光性電極60上に形成されたp側電極70と、p型窒化物半導体層50と活性層40がメサエッチングされて露出されたn型窒化物半導体層31の上に形成されるn側電極80とを備えている。
B アレイ(第2アレイ)
10 サファイア基板(基板)
10a,10b 切断面
40 活性層
90 突起
91 辺
92 連結辺
Claims (15)
- 電子と正孔の再結合により光を生成する活性層を備える複数個のIII族窒化物半導体層と、複数個のIII族窒化物半導体層の成長に利用される基板として、対向する2つの辺が丸められている突起を有する基板とを備えるIII族窒化物半導体発光素子。
- 突起が丸められた対向する2つの辺を連結する2つの連結辺を備える請求項1に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 基板が少なくとも1つの切断面により境界をなしており、
2つの連結辺の延長線が少なくとも1つの切断面と交差する請求項2に記載のIII族窒化物半導体発光素子。 - 基板がサファイア基板である請求項3に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 2つの連結辺の延長線が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と交差する請求項2に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 2つの連結辺が直線である請求項2に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 丸められた対向する2つの辺が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と対向する請求項1に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 基板が突起が複数個形成された第1アレイと、突起が複数個形成された第2アレイとを具備し、
第1アレイの複数個の突起と第2アレイの突起とが交互するように配置されている請求項1に記載のIII族窒化物半導体発光素子。 - 基板が少なくとも1つの切断面により境界をなしており、
突起が丸められた対向する2つの連結辺を連結する2つの連結直線辺を備え、
2つの連結辺の延長線が少なくとも2つの切断面と交差し、
2つの連結辺の延長線が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と交差し、
丸められた対向する2つの辺が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と対向し、
基板が突起が複数個形成された第1アレイと、突起が複数個形成された第2アレイとを具備し、第1アレイの複数個の突起と第2アレイの突起が交互するように配置されている請求項1に記載のIII族窒化物半導体発光素子。 - 基板がサファイア基板である請求項9に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 電子と正孔の再結合により光を生成する活性層を備える複数個のIII族窒化物半導体層と、
複数個のIII族窒化物半導体層の成長に利用され、少なくとも2つの辺を有する突起を備える基板として、少なくとも2つの辺が窒化物半導体層の成長安定面と対向する丸められた辺を有する基板とを備えるIII族窒化物半導体発光素子。 - 基板がサファイア基板である請求項11に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 基板が少なくとも1つの切断面により境界をなしており、
少なくとも2つの辺のうち他辺の延長線が少なくとも1つの切断面と交差する請求項11に記載のIII族窒化物半導体発光素子。 - 少なくとも2つの辺のうち他辺が複数個の窒化物半導体層の成長安定面と交差する請求項13に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 基板が突起が複数個形成された第1アレイと、突起が複数個形成された第2アレイとを具備し、
第1アレイの突起の丸められた辺と、第2アレイの突起が丸められた辺が交互するように配置されている請求項11に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
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