JP2009038364A - 立体プリント配線板とその製造方法 - Google Patents

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禎志 中村
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Abstract

【課題】モバイル機器の小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な、半導体の高機能・多ピン化に対応した小型、低背、三次元実装化を容易に実現するパッケージ形態を提供することを目的とする。
【解決手段】上側基板1と、下側基板2と、これらの基板の間を接続する接続層3とからなり、前記上側基板1と前記下側基板2とは互いに異なる形状を有し、前記接続層3は、樹脂を含む絶縁性材料であり、前記接続層3の所定の位置に貫通孔9が形成され、この貫通孔9に導電性ペースト6が充填されたビア7を有し、少なくとも前記接続層3の端面の周縁部にソルダレジスト14が形成されたことを特徴とする立体プリント配線板16である。
【選択図】図2

Description

本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に広く用いられる立体プリント配線板とその製造方法に関するものである。
最近、モバイル商品としてパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などが普及し、特にその小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等の要望が強く、それに対応するため半導体の実装形態も、パッケージの小型・低背化、三次元実装化が進んでいる。このような半導体パッケージの低背化、三次元実装化を容易に実現する方法の一つとして、キャビティを有する立体プリント配線板を用いる方法が知られている。
以下に従来の立体プリント配線板の形態について、図15を用いて説明する。
図15において、接続層21を間にして、下側基板22と、上側基板23とを、電極の位置や窓の位置などを位置合わせしながら重ね合わせた後、加熱圧着して、電子部品埋め込み用の窪みを備える立体プリント配線板27を形成している。
なお、この発明の出願に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2004−253774号公報
図15のような従来の立体プリント配線板は、接続層に一般的にプリプレグを用いることになるが、プリプレグでは織布、不織布、フィルムなどの芯材を含んでいるために、特に導電性ペーストからなるビアの形状保持には有効であるが、上側および下側のプリント配線板表面に形成された配線パターンの埋め込みが困難であった。
また、接続層にボンディングシートを用いた場合、配線パターンの埋め込みは容易であるが、接続層に充填された導電ペーストが流れるという課題を有していた。
本発明は、上記課題を鑑みて成されたものであり、多ピンの基板間接続が可能で、かつ基板内での配線密度も高めることのできる立体プリント配線板を提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明は上側基板と、下側基板と、これらの基板の間を接続する接続層とからなり、前記上側基板と前記下側基板とは互いに異なる形状を有し、前記接続層は、樹脂を含む絶縁性材料であり、前記接続層の所定の位置に貫通孔が形成され、この貫通孔に導電性ペーストが充填されたビアを有し、少なくとも前記接続層の端面の周縁部にソルダレジストが形成されたことを特徴とする立体プリント配線板であり、このような構成にすることにより、多ピンの基板間接続が可能で、かつ基板内での配線密度も高めることが可能となり、さらに凹部を有しているので、凹部に部品実装することにより薄型の実装基板を実現することができる。
以上のように本発明は、多ピンの基板間接続が可能で、かつ基板内での配線密度も高めることが可能となるため、モバイル機器の小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な、半導体の高機能・多ピン化に対応した小型、低背、三次元実装化を容易に実現するパッケージ形態を提供することが可能となる。
(実施の形態1)
以下本発明の実施の形態1について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の実施の形態における立体プリント配線板の斜視図及び断面図である。本実施の形態の立体プリント配線板は、表層に配線が形成され互いに形状の異なる上側基板1と、下側基板2と、接続層3で構成され、上側基板1と下側基板2とが異なる形状を有しているために、図1(A)に示すようにキャビティとなる凹部4が形成されることになる。接続層3は、厚みが30〜300μmであることが望ましい。厚みが30μm未満ならば配線の埋め込み性が悪くなり、300μmを超えるとビアのアスペクト比を維持するためビアの小径化が困難になったり、接続信頼性が損なわれることがある。
図1(B)に示すように、この凹部4に実装部品5を実装することによって、実装体としての総厚を薄くすることが可能となる。
本実施の形態における接続層3の拡大断面図を図1(C)に示す。接続層3は、無機フィラーが熱硬化性樹脂に分散されてなる絶縁性材料であり、この接続層3の所定の位置に貫通孔が形成され、この貫通孔に導電性ペースト6が充填されたビア7を有している。
本発明において、接続層3における無機フィラーは、シリカ、アルミナ、チタン酸バリウムの内少なくとも一種以上のもので構成されていることが好ましい。また、接続層3における無機フィラーの粒径は1〜15μm、無機フィラーの含有率は70〜90重量%であることが好ましい。無機フィラーの含有率が70%未満ならば、接続層3を形成する無機フィラー量が熱硬化性樹脂の量に対して少なく粗な状態となり、熱硬化性樹脂がプレス中に流動する際に、同時に無機フィラーも流動してしまい、90%を超えると、接続層3の樹脂量が少なくなり過ぎ、配線の埋込性や密着性が損なわれることがある。
本発明のプリント配線板に使用される導電性ペースト6は、銅、銀、金、パラジウム、ビスマス、錫およびこれらの合金の内から構成され、粒径は1〜20μmであることが好ましい。
本発明の立体プリント配線板について、図2を用いてさらに詳細に説明する。図2は、本発明の立体プリント配線板の一例を示す断面図である。本発明では、図2に示すように、接続層3の端面の周縁部にソルダレジスト14が形成されている。ここで、立体プリント配線板を構成する接続層3の面積は、上側基板1の面積よりも小さく形成されており、かつ接続層3の周縁部に形成されているソルダレジスト14は、下側基板2の表面よりも突出して形成されている。接着層3の面積が上側基板1よりも小さく形成されることにより、熱プレス工程において生じる接着層3のフロー樹脂15のたまり場を設けることができる。また、ソルダレジスト14が下側基板2の表面よりも突出されて形成されることにより、ソルダレジスト14が熱プレス工程において生じる接続層3のフロー樹脂15に対するストッパーとしての機能を有することができ、また下側基板2の表面に形成された配線パターンがフロー樹脂15で汚染されることも確実に防止することができる。なお、上側基板1と接続層3と下側基板2の積層が完了した後、上側基板1の壁面およびソルダレジスト14を被覆するようにさらにソルダレジストを形成していてもよい。
次に、本実施の形態の立体プリント配線板の製造プロセスについて、図3〜5を用いて詳細に説明する。
まず、図3(A)に示すように、接続層3の両面にPETフィルム8を貼り付ける。次に図3(B)に示すように、接続層3を上側基板1より小さくかつ相似な形状に切断し、上側基板1と下側基板2の配線とを接続させる位置に貫通孔9を形成する。次に図3(C)に示すように、貫通孔9内に銅または銅合金からなる導電性ペースト6を充填し、ビア7を形成する。次に図3(D)に示すように、接続層3を上側基板1または下側基板2のいずれか一方と接着させるために、一方の面のPETフィルム8を剥離する。ここでは、下側基板2と先に接着させるために下面のPETフィルムを剥離しているが、先に上側のPETフィルムを剥離してもよい。
次に、図4(A)に示すように、あらかじめ接続層3が形成される領域の周縁部にソルダレジスト14が形成された下側基板2に接続層3を配置し、さらに図4(B)に示すように、接続層3を下側基板2に形成された配線10上に仮止めする。この積層時に配線10は接続層3に埋め込まれる。こうすることにより導電性ペースト6が圧縮されるので、配線10との接続性が向上する。その後、図4(C)に示すように、先に剥離しなかった面のPETフィルム8を剥離する。
次に図5(A)に示すように、上側基板1を接続層3上の所望の位置に位置合わせしながら重ね合わせて配置し、加熱加圧させながら積層させる。この積層時に配線10は接続層3に埋め込まれる。こうすることにより導電性ペースト6がさらに圧縮されるので、配線10との接続性が大幅に向上する。
このとき、加熱加圧によって接続層3からフロー樹脂15が発生するが、ソルダレジスト14によってフロー樹脂15のはみ出しを防止することができ、下側基板2の表面の配線10の汚染を防止することができる。
なお、本発明において、接続層3を配置する前に下側基板2とともに上側基板1の表面に予めソルダレジストを形成することが好ましく、さらにソルダレジスト形成後に上側基板1に形成された表層の配線において少なくとも接続層と接触する領域を粗化するとより好ましい。
また本実施の形態においては、下側基板2と接続層3を重ね合わせた後上側基板1を重ね合わせたが、上側基板1と接続層3を先に重ね合わせ、その後下側基板2を重ね合わせて積層してもかまわない。
その後図5(B)に示すように立体プリント配線板16を完成させる。
なお、一般に、窪みすなわち凹部を有する構造の場合、凹部の隅部分にゴミや基材の粉末等がたまりやすくなる。凹部を有さない平滑なプリント配線板であれば、ゴミ取り用粘着ロールでゴミや粉末等を容易に除去していたが、凹部の隅部分は粘着ロールでの除去が困難であった。
そこで、凹部4内へのゴミや粉末が入るのを防止するために、上側基板1、下側基板2、接続層3の凹部4への粉末の飛散、凹部4へのゴミ等の付着およびそれによる実装の不具合を防止するために、図6に示すように、絶縁被膜として5〜30μmの厚みのドライフィルム状の永久レジスト11を貼り付け、上側基板1、下側基板2、ソルダレジスト14の壁面を被覆することが、本発明の立体プリント配線板としてより好ましい。これにより凹部4内の特に隅の部分への粉末やゴミの付着の防止を図ることができる。永久レジスト11の厚みが5μm未満の場合ピンホールが発生しやすくなるのでコーティングが不十分となり、30μmを超えると基板への追従性が悪くなることがある。
本発明の接続層3の熱膨張係数は、上側基板1および下側基板2の熱膨張係数以下、すなわち65ppm/℃以下もしくは上側基板1あるいは下側基板2の熱膨張係数よりも低いということが望ましい。
65ppm/℃を超える場合、または上側基板1および下側基板2の熱膨張係数よりも高い場合、接続層3の変形により立体プリント配線板のそりや変形が発生しやすくなることになる。
また、接続層3のガラス転移点(DMA法(Dynamic Mechanical Analysis 動的粘弾性測定法))は、185℃以上もしくは上側基板1および下側基板2と比較して10℃以上高いことが望ましい。185℃未満または差が10℃未満ならば、例えばリフローのような高温を要するような工程で基板のそりやうねりが複雑な形状になったり不可逆になることがある。
また、接続層3は、織布、不織布、フィルムなどの芯材を含まない構成のものを用いる。芯材を含む場合、上述の通り上側および下側のプリント配線板表面に形成された配線パターンの埋め込みが困難となる。
接続層3の最低溶融粘度は、図7の溶融粘度曲線に示すように、1000〜100000Pa・sが適切である。1000Pa・s未満の場合、樹脂流れが大きくなり、凹部4内への流れ込みが発生するおそれがあり、100000Pa・sを超える場合、プリント配線板との接着不良や配線10への埋め込み不良が発生するおそれがある。
また、接続層3は、着色剤を含有していてもよい。この場合、実装性、光反射性が向上する。
また、接続層3の樹脂フローを抑制するためすなわち凹部4内に樹脂が流れるのを防止する必要があるため、樹脂フローを抑制するためのエラストマーを含有している。
なお、上側基板1および下側基板2は、スルーホール配線板や全層IVH構造のALIVH配線板など、樹脂基板であれば特に限定されるものではなく、両面基板であっても多層基板であってもよい。また、基板と接続層を交互に複数層積層してもよい。
また、上側基板1および下側基板2に用いる絶縁材料は、ガラス織布とエポキシ系樹脂の複合材としたが、アラミド、全芳香族ポリエステルから選ばれる有機質繊維およびガラス繊維、アルミナ繊維より選ばれる無機質繊維のいずれかで構成される織布と熱硬化性樹脂の複合材からなる場合、p−アラミド、ポリイミド、ポリ−p−フェニレンベンゾビスオキサゾ−ル、全芳香族ポリエステル、PTFE、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルイミドから選ばれる有機質繊維およびガラス繊維、アルミナ繊維より選ばれる無機質繊維のいずれかで構成される不織布と熱硬化性樹脂の複合材からなる場合および、p−アラミド、ポリ−p−フェニレンベンゾビスオキサゾール、全芳香族ポリエステル、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルサルフォン、ポリエステルテレフタレート、ポリイミドおよびポリフェニレンサルファイドの少なくともいずれかの合成樹脂フィルムの両面に熱硬化性樹脂層を形成した複合材を用いて絶縁材料を形成してもよい。
熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリブタジエン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、およびシアネート樹脂から選ばれる少なくとも一つの熱硬化性樹脂を利用することができる。
なお、本実施の形態において、図1のように上側基板の形状を下側基板2よりも外枠が小さい浮き島形状のもので説明したが、図8に示すように外枠が同一形状で上側基板1の任意の箇所をくりぬいて凹部4を形成していてもかまわない。
(実施の形態2)
以下本発明の実施の形態2について、図面を参照しながら説明する。なお、実施の形態1と同一の構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
図9は本発明の実施の形態における立体プリント配線板の斜視図及び断面図である。本実施の形態の立体プリント配線板は、実施の形態1の立体プリント配線板と同一の構成である。実施の形態2の特徴は、接続層3が、熱可塑性樹脂を含む絶縁性材料であり、この接続層3内に導電性ペーストが充填されたビアを有している。接続層3は、厚みが30〜300μmであることが望ましい。
本発明の立体プリント配線板について、図10を用いてさらに詳細に説明する。本発明では、実施の形態1と同様、図10に示すように、接続層3の周縁部にソルダレジスト14が形成されている。ここで、立体プリント配線板を構成する接続層3の面積は、上側基板1の面積よりも小さく形成されており、かつ接続層3の端面に形成されているソルダレジスト14は、下側基板2の表面よりも突出して形成されている。接着層3の面積が小さく形成されることにより、熱プレス工程において生じる接着層3のフロー樹脂15のたまり場を設けることができる。また、ソルダレジスト14が下側基板2の表面よりも突出されて形成されることにより、ソルダレジスト14が熱プレス工程において生じる接続層3のフロー樹脂15に対するストッパーとしての機能を有することができ、また下側基板2に形成された配線10がフロー樹脂15で汚染されることも確実に防止することができる。なお、上側基板1と接続層3と下側基板2の積層が完了した後、上側基板1の壁面およびソルダレジスト14を被覆するようにさらにソルダレジストを形成していてもよい。
次に、本実施の形態の立体プリント配線板の製造プロセスについて、図11,12を用いて詳細に説明する。
まず、本実施の形態における接続層3は、接着性を有しないため、カバーフィルム13を貼り付けるための仮止め手段として、厚み1〜10μmの熱硬化性樹脂からなる糊層12を形成する。なお、厚みが1μm未満の場合、ピンホールが発生するため、また、10μmを超える場合、後工程でカバーフィルム13が剥離されなくなるおそれがある。糊層12を形成後、接続層3の両面にカバーフィルム13を貼り付ける。この状態を図11(A)に示す。なお、糊層12は、実施の形態1に記載の接続層すなわち無機フィラーが熱硬化性樹脂に分散されてなる絶縁性材料に貼り付けてもよい。
また、糊層12は、ラミネート性を向上させるために常温時にタック性のないものが好ましい。次に図11(B)に示すように、接続層3を上側基板1より小さくかつ相似な形状に切断し、上側基板1と下側基板2の配線とを接続させる位置に貫通孔9を形成する。その後図11(C)に示すように、貫通孔9内に銅または銅合金からなる導電性ペースト6を充填し、ビア7を形成する。次に図11(D)に示すように、接続層3を上側基板1および下側基板2と接着させるために、両面のカバーフィルム13を剥離する。
次に、図12(A)に示すように、接続層3を上側基板1および下側基板2の所望の位置に位置合わせしながら重ね合わせて配置し、図12(B)に示すように、接続層3を上側基板1および下側基板2で挟み込むように重ね合わせ、加熱加圧させながら積層させる。ここで図12(A)において、実施の形態1と同様、下側基板2上に配置される接続層3の周縁部にはあらかじめソルダレジスト14が形成されている。以上の工程により立体プリント配線板16を完成させる。
この積層時に配線10は接続層3に埋め込まれる。こうすることにより導電性ペースト6がさらに圧縮されるので、配線10との接続性が大幅に向上する。なお、本実施の形態において、実施の形態1の図4〜5の積層方法を用いてもよい。
また、実施の形態1においても、接続層3にPETフィルム8を形成する前に糊層12を形成してもよく、この場合接続層3の材料破砕を防止する効果を得ることができる。
なお、実施の形態1と同様に、上側基板1、下側基板2、凹部4へのゴミ等の付着およびそれによる実装の不具合を防止するために、図13に示すように、5〜30μmの厚みのドライフィルム状の永久レジスト11を貼り付け、上側基板1、下側基板2、接続層3の壁面を被覆することが、本発明の立体プリント配線板としてより好ましい。これにより凹部4内の特に隅の部分へのゴミ等の付着の防止を図ることができる。永久レジスト11の厚みが5μm未満の場合ピンホールが発生しやすくなるのでコーティングが不十分となり、30μmを超えると基板への追従性が悪くなることがある。
本実施の形態における接続層3の熱可塑性樹脂は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)、PES(ポリエーテルサルフォン)、熱可塑性ポリイミド等が用いられる。
本発明の接続層3の熱膨張係数は、上側基板1および下側基板2の熱膨張係数以下、すなわち65ppm/℃以下もしくはプリント配線板の熱膨張係数よりも低いということが望ましい。
また、接続層3のガラス転移点(DMA法)は、185℃以上もしくは上側基板1および下側基板2と比較して10℃以上高いことが望ましい。
また、接続層3は、織布、不織布、フィルムなどの芯材を含まない構成のものを用いる。芯材を含む場合、上述の通り上側基板1および下側基板2の表面に形成された配線パターンの埋め込みが困難となる。
また、接続層3の最低溶融粘度は、実施の形態1と同様、図7の溶融粘度曲線に示すように、1000〜100000Pa・sが適切である。
なお、上側基板1および下側基板2は、スルーホール配線板や全層IVH構造のALIVH配線板など、樹脂基板であれば特に限定されるものではなく、両面基板であっても多層基板であってもよい。また、基板と接続層を交互に複数層積層してもよい。
また、上側基板1および下側基板2に用いる絶縁材料は、ガラス織布とエポキシ系樹脂の複合材としたが、アラミド、全芳香族ポリエステルから選ばれる有機質繊維およびガラス繊維、アルミナ繊維より選ばれる無機質繊維のいずれかで構成される織布と熱硬化性樹脂の複合材からなる場合、p−アラミド、ポリイミド、ポリ−p−フェニレンベンゾビスオキサゾ−ル、全芳香族ポリエステル、PTFE、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルイミドから選ばれる有機質繊維およびガラス繊維、アルミナ繊維より選ばれる無機質繊維のいずれかで構成される不織布と熱硬化性樹脂の複合材からなる場合および、p−アラミド、ポリ−p−フェニレンベンゾビスオキサゾール、全芳香族ポリエステル、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルサルフォン、ポリエステルテレフタレート、ポリイミドおよびポリフェニレンサルファイドの少なくともいずれかの合成樹脂フィルムの両面に熱硬化性樹脂層を形成した複合材を用いて絶縁材料を形成してもよい。
熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリブタジエン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、およびシアネート樹脂から選ばれる少なくとも一つの熱硬化性樹脂を利用することができる。
なお、本実施の形態において、実施の形態1と同様、図14に示すように外枠が同一形状で上側基板1の任意の箇所をくりぬいて凹部4を形成していてもかまわない。
本発明にかかる立体プリント配線板は、部品実装後の実装体としての基板総厚を薄く形成することができるため、パソコン、デジタルカメラ、携帯電話など小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等に対応するためのパッケージ基板として用いることができ、半導体パッケージの低背化、三次元実装化を容易に実現する方法の一つとして、これらの実装基板に関する用途に適用できる。
本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の一例を示す斜視図及び断面図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の一例を示す断面図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の製造工程を示す断面図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の製造工程を示す断面図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の製造工程を示す断面図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の一例を示す断面図 本発明の実施の形態1,2における立体プリント配線板の接続層の溶融粘度を示す図 本発明の実施の形態1における立体プリント配線板の一例を示す斜視図及び断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の一例を示す斜視図及び断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の一例を示す断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の製造工程を示す断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の製造工程を示す断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の一例を示す断面図 本発明の実施の形態2における立体プリント配線板の一例を示す斜視図及び断面図 従来のプリント配線板を示す断面図
符号の説明
1 上側基板
2 下側基板
3 接続層
4 凹部
5 実装部品
6 導電性ペースト
7 ビア
8 PETフィルム
9 貫通孔
10 配線
11 永久レジスト
12 糊層
13 カバーフィルム
14 ソルダレジスト
15 フロー樹脂
16 立体プリント配線板

Claims (12)

  1. 上側基板と、下側基板と、これらの基板の間を接続する接続層とからなり、前記上側基板と前記下側基板とは互いに異なる形状を有し、前記接続層は、樹脂を含む絶縁性材料であり、前記接続層の所定の位置に貫通孔が形成され、この貫通孔に導電性ペーストが充填されたビアを有し、少なくとも前記接続層の端面の周縁部にソルダレジストが形成されたことを特徴とする立体プリント配線板。
  2. 接続層は無機フィラーが熱硬化性樹脂に分散されてなる請求項1に記載の立体プリント配線板。
  3. 接続層は熱可塑性樹脂である請求項1に記載の立体プリント配線板。
  4. 接続層の面積は上側基板よりも小さい面積で形成され、かつ前記接続層の端面の周縁部に形成されるソルダレジストは前記下側基板の表面よりも突出して形成されたことを特徴とする請求項1に記載の立体プリント配線板。
  5. 接続層は、芯材を含まない請求項1に記載の立体プリント配線板。
  6. 前記上側基板と下側基板の壁面は、絶縁性被膜で被覆されている請求項1に記載の立体プリント配線板。
  7. 絶縁性被膜は耐電防止剤が含有されている請求項6に記載の立体プリント配線板。
  8. 接続層は、着色剤が含有されている請求項1に記載の立体プリント配線板。
  9. 表層に配線が形成された上側基板と下側基板とこれらの基板の間を接着するための樹脂を含む絶縁性材料を有する接続層を準備し、立体形状を形成するために前記上側基板と前記接続層とを所望の形状に切断する工程と、前記下側基板の所望の領域にソルダレジストを形成する工程と、前記接続層の所定の位置に貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する工程と、前記下側基板あるいは前記上側基板上に前記接続層を位置合わせしながら重ね合わせる工程と、前記接続層上に他方の基板を位置合わせしながら重ね合わせる工程と、前記下側基板と前記接続層と前記上側基板を加熱加圧しながら積層する工程とを少なくとも備えたことを特徴とする立体プリント配線板の製造方法。
  10. 下側基板にソルダレジストを形成する領域は、接続層の端面の周縁部の領域である請求項9に記載の立体プリント配線板の製造方法。
  11. 前記下側基板と前記接続層と前記上側基板を積層する工程の前に、あらかじめ前記下側基板に形成された表層の配線において少なくとも前記接続層と接触する領域を粗化する工程を備えた請求項9に記載の立体プリント配線板の製造方法。
  12. 前記下側基板と前記接続層と前記上側基板を積層する工程の前に、あらかじめ前記上側基板に形成された表層の配線において少なくとも前記接続層と接触する領域を粗化する工程を備えた請求項9に記載の立体プリント配線板の製造方法。
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