JP2009034671A5 - - Google Patents
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 23
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008179115A JP5066021B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-09 | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007181528 | 2007-07-10 | ||
| JP2007181528 | 2007-07-10 | ||
| JP2008179115A JP5066021B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-09 | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009034671A JP2009034671A (ja) | 2009-02-19 |
| JP2009034671A5 true JP2009034671A5 (https=) | 2011-08-04 |
| JP5066021B2 JP5066021B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40437096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008179115A Active JP5066021B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-09 | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5066021B2 (https=) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5020136B2 (ja) * | 2007-07-10 | 2012-09-05 | 株式会社荏原製作所 | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
| JP5284773B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-09-11 | 株式会社荏原製作所 | 処理温度を上昇させる排ガス処理方法、排ガス処理装置の運転方法、および排ガス処理装置 |
| JP5498752B2 (ja) * | 2009-10-07 | 2014-05-21 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3264453B2 (ja) * | 1992-09-02 | 2002-03-11 | セントラル硝子株式会社 | Nf▲3▼ガスの前処理方法 |
| JP3713333B2 (ja) * | 1996-07-04 | 2005-11-09 | 同和鉱業株式会社 | 弗化炭素類の分解法 |
| JPH1176742A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-23 | Sony Corp | 排ガス処理装置および排ガス処理方法 |
| JP3789277B2 (ja) * | 1999-04-28 | 2006-06-21 | 昭和電工株式会社 | フッ素化合物の分解用反応剤、分解方法及びその用途 |
| JP2002224565A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-08-13 | Japan Pionics Co Ltd | フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法 |
| JP4211467B2 (ja) * | 2003-04-16 | 2009-01-21 | 株式会社日立製作所 | 触媒式排ガス処理装置及び排ガス処理方法 |
| JP4413040B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2010-02-10 | 株式会社コロナ | シフト反応装置 |
| JP5048208B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2012-10-17 | 株式会社荏原製作所 | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 |
| JP4715991B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2011-07-06 | 戸田工業株式会社 | フッ素及び/又はホウ素を吸着する吸着剤 |
| JP4673780B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2011-04-20 | 大陽日酸株式会社 | 有害ガスの除害装置 |
| JP5020136B2 (ja) * | 2007-07-10 | 2012-09-05 | 株式会社荏原製作所 | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
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- 2008-07-09 JP JP2008179115A patent/JP5066021B2/ja active Active
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