JP2009031536A - スキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に光反射層6が形成されたミラー2と、ミラー2を挟んで同一直線上に支持部材3が配置され、支持部材3が配置された仮想直線を駆動軸Lとして、ミラー2を駆動軸Lの周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、ミラー2の光反射層6とは反対側の面に、ミラー2よりも熱伝導率の高い薄膜9が形成されているスキャナ1。
【選択図】図1
Description
この構成によれば、レーザー光によりミラーに蓄熱した熱を、形成された薄膜を介して効率的に放熱することができる。そのため、ミラーの温度上昇に対応する補正電力が減少し若しくは不要となり、実効電力を高めることができる。その結果、ミラーのサイズを大きくすることが可能になり、低い電圧で安定したミラー駆動が可能なミラースキャナを提供することが可能となる。
この構成によれば、前記ミラーの表面積が広がるため、レーザー光によりミラーに蓄熱した熱を効率的に放熱することができる。そのため、ミラーの温度上昇に対応する補正電力が減少し若しくは不要となり、実効電力を高めることができる。その結果、ミラーのサイズを大きくすることが可能になり、低い電圧で安定したミラー駆動が可能なミラースキャナを提供することが可能となる。
この構成によれば、前記ミラーの表面積が広がるため、レーザー光によりミラーに蓄熱した熱を効率的に放熱することができる。そのため、ミラーの温度上昇に対応する補正電力が減少し若しくは不要となり、実効電力を高めることができる。その結果、ミラーのサイズを大きくすることが可能になり、低い電圧で安定したミラー駆動が可能なミラースキャナを提供することが可能となる。
この構成によれば、前記静電容量素子部からも放熱が可能になり、更に放熱効率が高まる。
この構成によれば、凹部により前記ミラーの表面積が広がるため、ミラーの放熱効率が更に高まる。また、凹部を形成することにより、ミラーが軽量化できるため、低い電圧で安定したミラー駆動が可能なミラースキャナを提供することが可能となる。
アモルファスシリコン膜は熱処理の条件によって緻密なポリシリコン膜から表面の粗いポリシリコン膜まで、その表面形状を大きく変動させることができる。本発明では、ポリシリコン膜の膜密度が粗くなる(若しくは多孔質となる)ような条件でアモルファスシリコン膜を熱処理し、それによって、ミラーの裏面に粗面化された薄膜を形成している。この構成によれば、薄膜がポリシリコン膜で形成されるため、シリコン基板によってミラーを形成した場合に、薄膜とミラーとの密着力が高まる。そのため、信頼性に優れたスキャナが提供できる。
この構成によれば、柱状のカーボンナノチューブが薄膜状に形成されるため、ミラーの表面積が著しく広がる。そのため、非常に高い放熱効率を実現することができる。
この構成によれば、支持部材に薄膜が形成されないため、支持部材の弾性率の低下を防ぎ、ミラーの振れ角の減少を防ぐことが出来る。
この構成によれば、凹部がマトリクス状に多数形成されることで、更にミラーの表面積(放熱効率)を高めることができる。また、凹部の形成されない部分(厚みの厚い部分)が縦横に形成されるため、その部分が梁の役割を果たし、凹部形成によるミラーの強度低下を防ぐことができる。そのため、信頼性が高く、安定したミラー駆動が可能なスキャナが提供できる。
この構成によれば、凹部がハニカム状に多数形成されることで、更にミラーの表面積(放熱効率)を高めることができる。また、凹部の形成されない部分(厚みの暑い部分)が縦横に形成されるため、その部分が梁の役割を果たし、凹部形成によるミラーの強度低下を防ぐことができる。そのため、信頼性が高く、安定したミラー駆動が可能なスキャナが提供できる。
この構成によれば、凹部を形成したミラーの慣性モーメントが駆動軸を挟んで対称となるため、駆動時の不具合をなくすことができる。
以下、図1を参照しながら、本発明の第1実施形態に係るスキャナについて説明する。図1(a)は本実施形態のスキャナを光反射層側から見た平面図であり、図1(b)は図1(a)のIbで結ばれる線での断面図である。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
図5は、本発明の第2実施形態に係るスキャナの、図1(b)に対応する断面図である。本実施形態のスキャナの構成は、第1実施形態のスキャナと一部共通している。異なるのは、ミラーの光反射層とは反対側の面に、ミラーよりも熱伝導率の高い薄膜が形成されておらず、粗面化処理が施されていることである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。ここで粗面化処理とは、平坦な面に対して物理的な処理を施すことにより、もとの平坦な面に微細な凹凸を無数に付すことを指す。
図7は、本発明の第3実施形態に係るスキャナの、図1(b)に対応する断面図である。本実施形態のスキャナの構成は、第1実施形態のスキャナと一部共通している。異なるのは、ミラーの光反射層とは反対側の面に形成される薄膜が、その形成過程において膜表面に微細な凹凸を形成しながら成長する、化学的に粗面化された粗面化薄膜であることである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
この構成によれば、柱状のカーボンナノチューブが薄膜状に形成されるため、ミラー23の表面積が著しく広がる。そのため、非常に高い放熱効率を実現することができる。
図9は、本発明の第4実施形態に係るスキャナの説明図であり、(a)が平面図、(b)が図9(a)のIXbで結ばれる線での断面図である。本実施形態のスキャナの構成は、第1実施形態のスキャナと一部共通している。異なるのは、ミラーよりも熱伝導率の高い薄膜が形成される前に、ミラーの光反射層とは反対側の面に複数の凹部を設けることである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
Claims (11)
- 表面に光反射層が形成されたミラーと、
前記ミラーを所定の駆動軸の周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、
前記ミラーの前記光反射層とは反対側の面に、前記ミラーよりも熱伝導率の高い薄膜が形成されていることを特徴とするスキャナ。 - 表面に光反射層が形成されたミラーと、
前記ミラーを所定の駆動軸の周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、
前記ミラーの前記光反射層とは反対側の面に、粗面化処理が施されていることを特徴とするスキャナ。 - 表面に光反射層が形成されたミラーと、
前記ミラーを所定の駆動軸の周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、
前記ミラーの光反射層とは反対側の面に、表面に微細な凹凸が形成された薄膜が形成されていることを特徴とするスキャナ。 - 前記ミラーの駆動軸上には、前記ミラーを静電駆動するための静電容量素子部が接続され、
前記静電容量素子部の、前記光反射層への光の入射側とは反対側の面に、前記静電容量素子部よりも熱伝導率の高い薄膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスキャナ。 - 前記ミラーの前記光反射層とは反対側の面に凹部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のスキャナ。
- 前記薄膜は、アモルファスシリコン膜を熱処理して形成されたポリシリコン膜であることを特徴とする請求項3に記載のスキャナ。
- 前記薄膜は、カーボンナノチューブの薄膜であることを特徴とする請求項3に記載のスキャナ。
- 前記ミラーを前記駆動軸の周りに揺動可能に支持する支持部材が設けられ、
前記薄膜は、前記支持部材を除く部分に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項3に記載のスキャナ。 - 前記凹部は、マトリクス状に配列されるように形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスキャナ。
- 前記凹部は、ハニカム状に配列されるように形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスキャナ。
- 前記凹部は、前記駆動軸に対して対称に配置されていることを特徴とする請求項5に記載のスキャナ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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