JP2009020358A - プラズマディスプレイ装置及び半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】片側駆動時のパネルの輝度寿命を延ばす。
【解決手段】複数の表示セルを含むプラズマディスプレイ装置であって、第1の維持電極と、この第1の維持電極との間で、放電空間を通じて維持放電を行う電極であって、基準電位に接続された第2の維持電極と、アドレス電極と、を備え、第2の維持電極と放電空間との間の電気容量を、第1の維持電極と放電空間との電気的容量よりも大きくした。
【選択図】図1

Description

本発明は、AC型プラズマディスプレイ装置及びそれに用いる半導体装置に関する。
AC型プラズマディプレイ装置(以下、プラズマディスプレイ装置と呼ぶ)は、ブラウン管テレビ等に比べ大画面化が容易で、また薄型であることなどから、近年、急速に普及している。しかし一方で、大画面のためその消費電力が大きく、消費電力の低減が求められている。
プラズマディスプレイ装置の表示パネルは、図12,図13に示すように、前面ガラス1と背面ガラス2との間に挟まれた構造を有する。プラズマディスプレイ装置の表示パネルには、前面ガラス1の背後に誘電体層6xyが形成されており、ここに維持電極であるX電極5xと、Y電極5yとが交互に配列されている。
また誘電体層6xyの背後には、リブ3によって区画されて放電空間4が形成される。リブ3の放電空間4側の面には、蛍光体層7が設けられており、放電空間4内にはキセノン(Xe)等のガスが封入されている。
背面ガラス2上には、アドレス電極5aが形成されている。このアドレス電極5aと、放電空間4との間には誘電体層6aが介在している。
維持電極であるX電極5xとY電極5yとは、略平行かつ交互に配置され、これらX電極5x、Y電極5yに対してアドレス電極5aが垂直方向に交差して、2次元マトリクスを構成している。
この表示パネルは模式的には、図14に示すように、X電極5xとY電極5yとがそれぞれ、誘電体層6xyを介して放電空間4に充填されたガスとの間にキャパシタCx,Cyを形成している。また、アドレス電極5aは誘電体層6aを介して放電空間4に充填されたガスとの間にキャパシタCaを形成している。
すなわち、プラズマディスプレイ装置の表示パネルは模式的に、X電極5x,Y電極5y,アドレス電極5aの各電極に対応するコンデンサCx,Cy,Caと、これらの各電極に対応して設けられたスイッチSx,Sy,Saとを含む回路と等価なものとして評価できる。
表示パネルの駆動制御は、各放電空間4に蓄積された電荷をリセットするリセット期間、パネルの発光箇所を選択するアドレス期間、パネルを発光させて明るさを制御するサステイン期間に分けて行う。アドレス期間では、アドレス電極5aとY電極5yとの間に電圧を印加して放電を行わせ、放電空間4内の壁面に電荷(壁電荷)を付与する。これにより、次のサステイン期間に発光させるセル(放電空間4)を選択する。
サステイン期間では、Y電極5yとX電極5xに電圧を加える。これにより放電空間4に差電圧Vwxy(>0)が印加されることとなる。そして、この差電圧が放電電圧以上になるとセル内部がプラズマ状態となって発光する。
このプラズマ状態となった状態は、図14に示したスイッチSx,Sy,Saがオンした状態と等価である。このとき放電容量Cx,Cy,Caの放電が行われる。そしてその後、放電が完了すると発光しなくなる。そこで発光を維持するためには、サステイン期間において、X電極5xと、Y電極5yとに交互に電圧を印加することが行われる(以下、この方法を両側駆動と呼ぶ)。ここで模式的に、CxとCyとの合成容量をCpと書けば、こうした駆動のための回路は、図15に例示するようにX電極5xと、Y電極5yとの双方をそれぞれ駆動する回路部分を含み、部品点数が多く、コストが大きい。また、発光時の電流がX、Yの各電極5x、5yを駆動する駆動回路のスイッチ素子に流れるため、駆動回路の損失も大きい。
そこでこの駆動回路の低損失化、部品点数の削減の課題を解決するために、図16に示すように、維持電極のいずれか(例えばX電極5x)をグラウンドなどに固定してVx=0とし、もう一方の維持電極(例えばY電極5y)の電位を図17のYに示すように変化させて発光させ、サスティン期間では、Y電極5yに正負の電圧を交互に印加することで発光を維持する方式(以下、片側駆動と呼ぶ)が考えられている(特許文献1)。
米国特許出願公開第2006/007063号明細書
このように、一方の維持電極をグラウンドに固定した状態で駆動する場合の発光セル内部の状態について説明する。
Vx>Vy,Vy>Vxでの発光時のセルの内部状態を図18,図19にあるように、等価回路で示す。発光時には、スイッチSx、Sy、Saがオンし、放電容量Cx、Cy、Caの電荷が移動し、外部電圧Vx、Vy、Vaで決定される平衡状態になる。平衡状態でのVdは、
Vd=(Cx・Vx + Cx・Vy + Ca・Va)/(Cx+Cy+Ca)
と計算される。ここで従来の構造に基づき、近似的にCx=Cy=Caと見なして、両側駆動時の平衡状態での放電空間電位Vdを計算すると、Vx>Vyでは、Vd=57Vとなる。アドレス電極側の放電容量Caに印加される電圧Vwa(以降アドレス電極壁電圧と呼ぶ)はVa=0Vであるので、Vwa=57Vとなる。Vx<Vyでも同様に、Vd=57V
、Vwa=57Vとなる。パネルの発光を維持する期間においては、Vx>Vyの状態と、Vx<Vyの状態とを交互に移行する。しかしながら、いずれの場合もVwaが実質的に等しく、蛍光体の表面の電荷量が変わらず、発光放電による蛍光体への影響は小さい。
一方、維持電極のいずれかを例えばグラウンドに固定し、もう一方の維持電極に正負の電圧を交互に印加することで発光を維持する片側駆動時の平衡状態での放電空間電位Vdを計算すると、Vx>Vy,Vy>Vxでの発光時のセルの内部状態を、図20,図21に示すように、アドレス電極壁電圧Vwaが10Vから−57Vまで変化することとなる。また、この変化に応じて蛍光体表面の電荷量が変化し、発光放電による蛍光体へのダメージが両側駆動に対して大きくなり、パネルの輝度寿命が短くなることが考えられる。
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、片側駆動時のパネルの輝度寿命を延ばすことのできるプラズマディスプレイ装置を提供することを、その目的の一つとする。
本発明の一態様は、複数の表示セルを含むプラズマディスプレイ装置であって、第1の維持電極と、前記第1の維持電極との間で、前記表示セルの放電空間を通じて維持放電を行う電極であって、基準電位に接続された第2の維持電極と、アドレス電極と、を備え、前記第2の維持電極と放電空間との間の電気容量を、前記第1の維持電極と放電空間との電気的容量よりも大きくしたものである。
これによりアドレス電極壁電圧の変化を抑制する。
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置は、図1に例示するように、金属シャシSに支持された表示パネル10と、アドレスドライバ回路20と、走査・維持ドライバ回路30と、制御回路40とを含んで構成されている。
表示パネル10は、図2に示すように、前面ガラス11と背面ガラス12との間に挟まれた構造を有する。プラズマディスプレイ装置の表示パネルには、前面ガラス11の背後に誘電体層16xyが形成されており、ここに維持電極であるX電極15xと、Y電極15yとが交互に配列されている。ここで、X電極15xの幅を、Y電極15yの幅に比べて大きくし、X電極15xを予め定めた基準電位に固定する。例えば、このX電極15xを、共通端子(GND)に接続する。また、X電極15xは、金属シャシSに接続されてもよい。
すなわち、表示パネル10を、アドレス電極15aに沿って破断し、セルの断面を参照すると、図3に示すように、X電極15xの幅がY電極15yの幅に比べて大きく形成されている。
また誘電体層16xyの背後には、リブ13によって区画されて放電空間14が形成される。リブ13の放電空間14側の面には、蛍光体層17が設けられており、放電空間14内にはキセノン(Xe)等のガスが封入されている。
背面ガラス12上には、アドレス電極15aが形成されている。このアドレス電極15aと、放電空間14との間には誘電体層16aが介在している。
維持電極であるX電極15xとY電極15yとは、略平行かつ交互に配置され、これらX電極15x、Y電極15yに対してアドレス電極15aが垂直方向に交差して、2次元マトリクスを構成している。
この表示パネル10は、X電極15xとY電極15yとが誘電体層16xyを介して放電空間14に接している。このため模式的には図4に示すように、放電空間14に充填されたガスがプラズマとなったときに(模式的なスイッチSx,Sy,Saがオンとなったときに)、X電極15xとY電極15yとが、放電空間14に充填されたガスとの間にキャパシタCx,Cyを形成することとなる。ここで、基準電位に接続された側のキャパシタCxの容量は、X電極15xがY電極15yよりも幅広になっているので、Cx>Cyとなる。
また、アドレス電極15aは誘電体層16aを介して放電空間14に充填されたガスとの間にキャパシタCaを形成する。
アドレスドライバ回路20は、アドレス期間においては、発光させるべきセルのY電極15yに電圧が供給されているとき、アドレス電極15aに対して、所定のアドレス電圧を供給する。また、このアドレスドライバ回路20は、維持期間においては、アドレス電極壁電圧の変化を抑制するべく、アドレス電極15aに印加する電圧VaをY電極15yに印加する電圧Vyに同期させて、Vy=VsのときVa=Va+、Vy=−VsのときVa=Va−(ただし、Va+>Va−)と変化させることとしてもよい。
走査・維持ドライバ回路30は、図16に例示したような、従来の片側駆動回路でもよいが、図5に示す回路を用いてもよい。図5に示す回路は、図16の駆動回路において用いられていたスイッチ素子としてのパワーMOSを、IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)としたものである。
図5に例示する駆動回路には、出力電圧をハイレベルにクランプして発光電流を流すための第1のスイッチ素子であるIGBT301aと、出力電圧をローレベルにクランプして発光電流を流すための第2のスイッチ素子であるIGBT301bと、Y電極15yと放電空間14との間に形成される容量Cyに、コイルLを介して充電、放電するための第3のスイッチ素子であるIGBT302a、302bと、を備えて構成されている。
この図5に例示する駆動回路では、アドレス期間において、IGBT301aをオンとする期間を設けて発光させるセルに対応するY電極15yに所定電圧のパルスを印加する。またこのとき、発光させるセルに対応するアドレス電極15aを所定電位とする。これにより、発光させるセルのY電極15yに正の壁電荷、アドレス電極15aとX電極15xとに負の壁電荷が生じる。そして発行させるセル内でアドレス放電が行われる。
また図5に例示する駆動回路では、発光期間(サステイン期間)においてIGBT301aと、IGBT301bとを交互にオンとする。このようにすると、アドレス期間にアドレス放電が行われたセルにおいてY電極15yの壁電圧が、X電極15xの壁電圧より高い期間と低い期間とが交互に生じる。そして、Y電極15yとX電極15xとの間に維持放電が発生して、発光が持続される。
制御回路40は、入力される映像信号に基づいて、各セルの発光輝度を決定する。またこの制御回路40は、決定した発光輝度に応じて、各セルを発光させるサブフィールドを決定する。そしてサブフィールドごとに、発光させるセルについてアドレス放電を起こすよう、アドレスドライバ回路20と、走査・維持ドライバ回路30とを制御する。また、この制御回路40は、サステイン期間において維持放電を行わせるよう、走査・維持ドライバ回路30等を制御する。
この表示パネルを片側駆動するときの動作について、X電極15xの電位Vxと、Y電極15yの電位Vyとが、それぞれVx>Vy,Vy>Vxでの発光時のセルの内部状態を等価回路としての図4を参照しつつ説明する。発光時には、図4に示したスイッチSx、Sy、Saがオンし、放電容量Cx、Cy、Caの電荷が移動し、各電極の電位Vx、Vy、Vaで決定される平衡状態になる。平衡状態でのVdは、
Vd=(Cx・Vx + Cx・Vy + Ca・Va)/(Cx+Cy+Ca)
と計算される。なお、ここではアドレス電極15aに印加する電圧VaをY電極15yに印加する電圧Vyに同期させて、Vy=VsのときVa=Va+、Vy=−VsのときVa=Va−(ただし、Va+>Va−)と変化させるとする。すると、X電極15xの電位を0V(GND電位)として、
(1)Vy=Vs、Vx=0V、Va=Va+のときと、
(2)Vy=−Vs、Vx=0V、Va=Va−のときとのそれぞれのアドレス電極壁電圧Vwa1,Vwa2は、次のようになる。
(1)のとき:
Vwa1=(Cy・Vs+Ca・Va+)/(Cx+Cy+Ca))−Va+
=(Cy・Vs− (Cx+Cy)・Va+)/(Cx+Cy+Ca))
(2)のとき:
Vwa2= (−Cy・Vs+Ca・Va−)/(Cx+Cy+Ca))−Va−
=(−Cy・Vs− (Cx+Cy)・Va−)/(Cx+Cy+Ca))
すなわち、アドレス壁電圧の変化は、
Vwa1− Vwa2=
(2・Cy・Vs−(Cx+Cy)・(Va−Va−)/(Cx+Cy+Ca))
となる。
仮にVs=170V、Va+=70V、Va−=0Vととり、Cx、Cyの比(Cx/Cy)を変化させたときのVwa1− Vwa2の値を図示すると、図6に示すようになる。
この図6に示す通り、X電極15xの放電容量をY電極15yの放電容量に対して大きくするほどアドレス電極壁電圧の変化は小さくなり、蛍光体へのダメージが小さくなって、輝度寿命の低下が抑制できる。図6に示すようにアドレス壁電圧の変化は、Cx/Cy<3までは実質的に直線的に漸減し、Cx/Cy>3では、Cx/Cy<3までの変化に比べて急峻に単調減少する。
これにより、入力された映像信号をもとに、制御回路40が、表示パネル10の各セルの発光輝度を決定し、アドレスドライバ回路20及び走査・維持ドライバ回路30を制御する。この結果、映像信号に応じた映像が表示パネル10に表示される。このとき、本実施の形態のプラズマディスプレイ装置では、発光しているセルにおいて維持放電が発生するときにも、アドレス電極壁電圧の変化が従来のものに比べて抑制される。
ここまでの説明においては、X電極15xの放電容量Cxを、Y電極15yの放電容量Cyよりも大きくするために、X電極15xの幅をY電極15yの幅よりも大きくする例について述べたが、放電容量CxをCyより大きくする方法はこれに限られない。
例えば、Y電極15yと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みよりも、X電極15xと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みを薄くしてもよい。すなわち、図7にセルの断面図を示すように、X電極15xが形成されている部分の誘電体層16xyと、Y電極15yが形成されている部分の誘電体層16xyとで厚みを異ならせるのである。これによっても、放電容量CxをCyより大きくすることができる。
さらに、図8に示すように、X電極15xが形成されている部分の誘電体層16xの誘電率を、Y電極15yが形成されている部分の誘電体層16yの誘電率より高くしてもよい。これによっても、放電容量CxをCyより大きくすることができる。
また、ここまでで述べたように、
(1)X電極15xの幅をY電極15yの幅よりも大きくする、
(2)Y電極15yと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みよりも、X電極15xと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みを薄くする、
(3)X電極15xが形成されている部分の誘電体層16xの誘電率を、Y電極15yが形成されている部分の誘電体層16yの誘電率より高くする
の各方法のうち、2以上の方法を組み合わせて用いてもよい。つまり、Cx>Cyとなるように設定できれば構わない。例えば、図9に示すように、X電極15xの幅をY電極15yの幅よりも大きくしつつ、Y電極15yと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みよりも、X電極15xと放電空間14との間に介在する誘電体層16xyの厚みを薄くしてもよい。
また、ここではX電極15xは、共通電位(GND)に接続されることとしたが、これに限らず、基準電位に維持された電源またはキャパシタに接続されてもよい。
次に、図5に例示した駆動回路におけるIGBTの構造の例について述べる。IGBTの構造は、プレーナゲート構造と、トレンチゲート構造とに大別される。図5に例示したプラズマディプレイ装置の制御回路においては、より飽和電流密度が大きい、つまり絶縁ゲートが単位面積当たりに稠密なトレンチゲート構造のIGBTを用い、容量負荷に急峻な電流を流すようにしても好適である。
例えば、このIGBTは、図10に例示するように、第1導電型の第1半導体層41と、この第1半導体層41に積層された第2導電型の第2半導体層42と、第2半導体層42に積層され、第2半導体層より低濃度の不純物を含有した第2導電型の第3半導体層43と、第3半導体層43の少なくとも一部に積層され、第3半導体層43より高濃度の不純物を含有した第1導電型の第4半導体層44と、第4半導体層44内に設けられ、第4半導体層より高濃度の不純物を含有した第2導電型の第5半導体部45と、第1半導体層41に接する第1主電極51と、第4半導体層44及び、第5半導体部45に接する第2主電極52と、第5半導体部45に接し、第4半導体層44を貫通して、第3半導体層43に到達する絶縁ゲート部53とを備える。
さらに図5に例示した駆動回路に用いることのできる、別のIGBTは、図11に例示するように、図10に例示したトレンチゲート型IGBTのトレンチゲート間に、上記第4半導体層及び第5半導体層を含む領域と、第2主電極52から絶縁された(フローティングの)、第1導電型の第6の半導体層46を備えた領域とを交互に配置している。これにより、オン状態のときの伝導度を向上する、伝導度変調を促進でき、容量負荷であるプラズマディプレイ装置においても有効に作用する。
また、ここでは第2主電極52から絶縁されている例について述べたが、第6半導体層46は、必ずしも絶縁されていなくとも、抵抗を介して第2主電極52に接していてもよい。
さらに、これらのIGBTはライフタイム制御されてもよい。プラズマディスプレイパネルは数10kHz〜数100kHzの高速でスイッチングするため、充電、放電、発光電流を流し終わった後、オン時に蓄積されたスイッチ素子内部の電荷を速やかに消滅させる必要があるが、ライフタイム制御されたIGBTを用いることで、かかる要望を満足できる。
また、図5に示した駆動回路において、IGBT301a,301b,302a,302b、並びにダイオードD1,D2,D3,D4を含むスイッチ素子を、一つのモジュールに実装することとしてもよい。この場合、これらの各素子を基板の一方の面上に配し、当該基板の他方の面側に放熱板を接続することとしてもよい。また、放熱板を用いなくとも、当該基板の他方の面側をシャシに固定して放熱を図ってもよい。
さらに、これらIGBTのゲートを駆動するゲートドライバICも、当該モジュールに取り込むこととしてもよい。例えば、ゲートドライバICもまた、IGBT等と同じ基板上に配してもよい。
本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の構成例を表すブロック図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルの構造例を表す透視図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルの断面図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルの構造を表す模式図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の駆動回路の例を表す概略回路図である。 各維持電極の放電容量比に対するアドレス電極壁電圧の変化の実験例を表す説明図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルの別の例を表す断面図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルのさらに別の例を表す断面図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の表示パネルのまた、さらに別の例を表す断面図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の駆動回路に用いるIGBTの構造例を表す説明図である。 本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイ装置の駆動回路に用いる別のIGBTの構造例を表す説明図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルの構造例を表す透視図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルの構造例を表す断面図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを模式的に表す説明図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルの駆動回路の一例を表す概略回路図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを片側駆動する駆動回路の例を表す概略回路図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを片側駆動する際の制御信号の例を表すタイミングチャート図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを両側駆動したときの壁電圧の変化を表す説明図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを両側駆動したときの壁電圧の変化を表す説明図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを片側駆動したときの壁電圧の変化を表す説明図である。 一般的なプラズマディスプレイ装置の表示パネルを片側駆動したときの壁電圧の変化を表す説明図である。
符号の説明
1,11 前面ガラス、2,12 背面ガラス、3,13 リブ、4,14 放電空間、5a,15a アドレス電極、5x,15x X電極、5y,15y Y電極、6,16 誘電体層、7,17 蛍光体層、10 表示パネル、20 アドレスドライバ回路、30 走査・維持ドライバ回路、40 制御回路、41 第1半導体層、42 第2半導体層、43 第3半導体層、44 第4半導体層、45 第5半導体部、46 第6半導体層、51 第1主電極、52 第2主電極、53 絶縁ゲート部、301,302 IGBT。

Claims (13)

  1. 複数の表示セルを含むプラズマディスプレイ装置であって、
    第1の維持電極と、
    前記第1の維持電極との間で、前記表示セルの放電空間を通じて維持放電を行う電極であって、基準電位に接続された第2の維持電極と、
    アドレス電極と、
    を備え、
    前記第2の維持電極と放電空間との間の電気容量が、前記第1の維持電極と放電空間との電気的容量よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  2. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第1の維持電極と前記第2の維持電極と前記アドレス電極を備えたパネルを支持する金属シャシを有し、
    前記第2の維持電極は、前記金属シャシに接続されていることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  3. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第2の維持電極は、出力電位が、前記基準電位に維持された電源またはキャパシタに接続されていることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  4. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第2の維持電極の幅が、前記第1の電極の幅よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  5. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第1の維持電極及び前記第2の維持電極と放電空間との間に誘電体層が設けられ、
    前記誘電体層は、前記第1の維持電極と放電空間との間にある部分の厚さよりも、前記第2の維持電極と放電空間との間にある部分の厚さが薄く形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  6. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第1の維持電極及び前記第2の維持電極と放電空間との間に誘電体層が設けられ、
    前記誘電体層は、前記第1の維持電極と放電空間との間にある部分の誘電率よりも、前記第2の維持電極と放電空間との間にある部分の誘電率が高くなるよう形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  7. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第1の維持電極に電圧を印加する駆動回路を有し、
    当該駆動回路が、
    出力電圧をハイレベルにクランプして発光電流を流すための第1のスイッチ素子と、
    出力電圧をローレベルにクランプして発光電流を流すための第2のスイッチ素子と、
    前記第1の維持電極と放電空間との間に形成される容量に、コイルを介して充電、放電するための第3のスイッチ素子と、を備え、
    前記第1、2、3のスイッチ素子がIGBTであることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  8. 請求項7記載のプラズマディスプレイ装置であって、
    前記第1、2、3のスイッチ素子であるIGBTがライフタイム制御されていることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
  9. 第1の維持電極と、前記第1の維持電極との間で、放電空間を通じて維持放電を行う電極であって、基準電位に接続された第2の維持電極と、アドレス電極とを備え、前記第2の維持電極と放電空間との間の電気容量が、前記第1の維持電極と放電空間との電気的容量よりも大きいプラズマディスプレイ装置を駆動する半導体装置であって、
    前記第1の維持電極に電圧を印加する駆動回路を有し、
    当該駆動回路が、
    出力電圧をハイレベルにクランプして発光電流を流すための第1のスイッチ素子と、
    出力電圧をローレベルにクランプして発光電流を流すための第2のスイッチ素子と、
    前記第1の維持電極と放電空間との間に形成される容量に、コイルを介して充電、放電するための第3のスイッチ素子と、を備え、
    前記第1、第2、第3のスイッチング素子が、
    第1導電型の第1半導体層と、
    前記第1半導体層に積層された第2導電型の第2半導体層と、
    前記第2半導体層に積層され、第2半導体層より低濃度の不純物を含有した第2導電型の第3半導体層と、
    前記第3半導体層の少なくとも一部に積層され、前記第3半導体層より高濃度の不純物を含有した第1導電型の第4半導体層と、
    前記第4半導体層内に設けられ、前記第4半導体層より高濃度の不純物を含有した第2導電型の第5半導体部と、
    前記第1半導体層に接する第1主電極と、
    前記第4半導体層及び、第5半導体部に接する第2主電極と、
    前記第5半導体部に接し、前記第4半導体層を貫通して、前記第3半導体層に到達する絶縁ゲート部と、
    を備えたIGBTを用いてなることを特徴とする半導体装置。
  10. 請求項9記載の半導体装置であって、
    前記絶縁ゲート部は、トレンチゲート構造をなすことを特徴とする半導体装置。
  11. 請求項10記載の半導体装置であって、
    前記トレンチゲート構造をなす絶縁ゲート部の間に、電位がフローティング電位となっているか、または、前記第2主電極に抵抗を介して接続された第1導電型の第6半導体層が形成されていることを特徴とする半導体装置。
  12. 請求項9記載の半導体装置であって、
    前記駆動回路が基板の一方の面上に形成され、当該基板の他方の面側に放熱手段を設けたことを特徴とする半導体装置。
  13. 請求項9記載の半導体装置であって、
    前記第1、第2、第3のスイッチ素子のゲートを駆動するゲート駆動素子を前記基板上にさらに備えたことを特徴とする半導体装置。
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