JP2009009075A - 光学部品の接着方法および素子製作装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコーンオイルを接着剤として用いシリコーンオイルで挟まれた非線形光学結晶、光学結晶、レーザー素子、レンズ、光学窓、ミラー、プリズム、フィルター、偏光子、あるいは光ファイバー、イメージインテンシファイアー、検出器、プラスチックレンズなどの光学部品とフッ化物結晶や石英ガラスなどの薄板とを光接着し、紫外線透過性、耐湿気性、耐水性、高出力レーザー耐性を持つ光学素子を生産すると同時に、波長変換用非線形光学結晶素子を大量生産する。
【選択図】 図1
Description
図2は2面がフッ化物結晶薄板で接着されたCLBO非線形光学結晶の残り4面の耐水性保護形成方法説明図である。2面がフッ化物結晶薄板3で接着されたCLBO非線形光学結晶素子7の残り4面にシリコーンオイルの光酸化接着で石英ガラス板8を貼り付けることによって、あるいはピッチなどの嫌水性接着剤9を塗布することによって、またはシリコーン樹脂をコーティングした後空気中で紫外線を照射し表面を酸化させガラス化することにより湿気や水を遮断する。シリコーン樹脂のコーティングのみの場合は耐水性は有るがガスや水蒸気などが浸入するため耐湿性には劣る。
(B)スラブ型レーザーロッド
1 非線形光学結晶(CLBO,KDP,BBOなど)または光学部品
2 シリコーンオイル
3 フッ化物結晶薄板(フッ化カルシウム、フッ化マグネシウムなど)
4 加圧
5 真空紫外光(Xe2エキシマランプ)
6 アモルファスガラス(接着層)
7 2枚のフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で接着された非線形光学結晶
8 石英ガラス板
9 シリコーンゴム、ピッチなどの嫌水性接着剤
10 石英ガラス薄板
11 マスク(未露光部のため)
12 非線形光学素子
13 KDP非線形光学結晶
14 作動ガス加圧露光装置
15 ガス加圧室
16 ガス吸引室
17 オーリング
18 石英ガラス製加圧板
19 ガス入力弁
20 ガス吸入・廃棄弁
21 真空紫外線入射窓
22 均一加圧機構を有する反応容器
23 外圧室
24 内圧室
25 紫外線入射窓・加圧板
26 ねじ付き押さえ枠
27 取り付け枠
28 機械的加圧露光装置
29 ボルト
30 ナット
31 ダイヤモンドカッター切断線
32 ダイヤモンドカッターで分割された非線形光学素子
33 矩形状非線形光学素子
34 反射膜
35 レーザーミラー基板
36 円筒型レーザーロッド
37 アモルファスガラス膜
38 スラブ型レーザーロッド
39 ディスクタイプレーザーヘッド
40 励起光
41 レーザー光
42 筒(円筒、角筒)
43 シリコーン樹脂(RTVゴム)
44 小穴(脱気・ガス入・シリコーンオイルまたはシリコーン樹脂圧入)
Claims (11)
- 光学研磨後の被接着面に反射防止膜あるいは金属、多層膜または干渉フィルター膜などの反射膜や光学膜のコーティングを施したあるいは未コーティングの非線形光学結晶、光学結晶、レーザー素子、レンズ、光学窓、ミラー、プリズム、フィルター、偏光子、あるいは光ファイバー、イメージインテンシファイアー、検出器、プラスチックレンズなどの光学部品と平面または球面に研磨した光学ガラスあるいはハロゲン化物結晶や光学結晶などの薄板とを酸化ガス雰囲気でシリコーンオイルを挟み、加圧密着させた状態で紫外線に透明な薄板あるいは光学部品側から紫外線を入射して光接着することを特徴とする光学部品の光接着方法および素子製作装置。
- 前記薄板はシリコーンオイルの接着前に接着面側に反射膜あるいは反射防止膜が施されたものであるか、あるいは接着後被接着面に反射膜あるいは反射防止膜を蒸着することを特徴とする請求項1記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 前記薄板がフッ化物結晶の場合には反射防止膜や保護膜を施こさないことを特徴とする請求項1記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 前記加圧密着させる手段は油圧やスプリングなどによる機械的加圧と高圧ガスによる加圧方法があるが、高圧ガス加圧方の場合は外圧室のなかに内圧室が位置し、内圧室と外圧室とは2枚の紫外線入射窓板によって遮断され、この紫外線入射窓板と内圧室内部との間にはオーリングまたはベローズを付け、内圧ガスと外圧ガスとを遮断し、かつ外圧室の圧力を均等に内圧室に伝達される機構を有し、この2枚の紫外線入射窓板の間に前記光学部品の片側あるいは両側にシリコーンオイルを挟んだ前記薄板を挿入し、かつ2枚の紫外線入射窓板の少なくとも一方が石英ガラスまたはフッ化物結晶板であり、当該内圧室は低気圧の酸化ガスの入れ替えができる構造であり、他方外圧室には高圧ガス導入口と少なくとも1つの耐圧を満足する平面あるいは曲面から成る紫外線入射窓を有することを特徴とする請求項1記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 前記非線形光学結晶のレーザー入射面と出射面の両面に接着された薄板の周囲はシリコーンオイルの光酸化膜、ピッチあるいはシリコーン樹脂の光酸化膜または嫌水性接着剤でシール、あるいは残り4面にシリコーンオイルの光酸化接着で石英ガラスあるいは透明板を貼り付けることによって外気や湿気から遮断することを特徴とする請求項1記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 前記非線形光学結晶のレーザー入射面と出射面の両面にシリコーンオイルを介してフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板を加圧密着させた状態で、励起レーザー光入射面と倍波出射面の部分は紫外線露光は行わず、その周囲紫外線に透明な部材側から紫外線を入射して光接着することを特徴とする光学部品の光接着方法および素子製作装置。
- 前記非線形光学結晶の大口径結晶のレーザー入射面と出射面の両面を光学研磨後、全両面をフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で接着した大口径光学素子あるいは大口径結晶のレーザー入射面か出射面のいずれか一方を研磨後、研磨面にフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で接着した後、他方の面を研磨して、この研磨面にもフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で接着した大口径光学素子をシリコーンオイルの中でダイヤモンドカッター切断して複数個の素子に分割するか、あるいは短冊状に切断後、切断面にシリコーンオイルを塗布し石英ガラス板を加圧状態で紫外線照射接着後、シリコーンオイル中でダイヤモンドカッター切断して複数個の素子に分割することを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- レーザー入射面と出射面の両面が光学研磨された前記非線形光学結晶を、この非線形光学結晶と同じ長さの筒の側面に1つまたは複数の小穴を有する円筒あるいは角筒型容器の中に入れ、この筒の両端面と前記非線形光学結晶の両研磨面の両方をシリコーンオイルを介してフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板を加圧状態で光接着した後、筒内部と非線形光学結晶の間隙に小穴からシリコーンオイルまたはシリコーン樹脂を充填することを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 請求項8記載の筒内部と非線形光学結晶の間隙にシリコーンオイルまたはシリコーン樹脂を充填する前に、筒内部の非線形光学結晶を乾燥空気中または真空あるいは筒側面の一方の小穴からヘリウムガスを流し他方の小穴から排気しながら、100から300℃の間で加熱した後、あるいは一つの小穴のみでヘリウムガスを封入加熱後真空排気し、筒側面の小穴から筒内部と非線形光学結晶の間隙にシリコーンオイルまたはシリコーン樹脂を充填した後、小穴をふさぎ、かつその筒を水冷または空冷あるいはペルチェ冷凍素子で電子冷却することを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- レーザー入射面と出射面の両面が光学研磨された前記非線形光学結晶を、この非線形光学結晶と同じまたは僅かに長い筒の側面に小穴を有する円筒あるいは角筒容器の中に入れ、この筒の両端面のみをフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で光接着した後、筒内部と非線形光学結晶の間隙に小穴からシリコーンオイルを充填することを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
- 請求項7記載の大口径非線形結晶の両光学面全体をフッ化物結晶あるいは石英ガラスなどの薄板で接着後切断し、その切断面をさらに石英ガラスまたは光学ガラスで光接着した後、複数個の素子に分割し、これらの素子を乾燥空気中または真空中あるいはヘリウムガス雰囲気で100から300℃の間で加熱した後、非線形結晶が露出している2面を石英ガラスまたは光学ガラスで光接着して光学結晶の全面が大気と遮断した後、この非線形光学結晶素子を水冷または空冷あるいはペルチェ冷凍素子で電子冷却することを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着方法および素子製作装置。
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