JP2009006571A - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル開口13に連通するノズル連通孔23と、圧力発生室11とが幅方向に複数並設されて設けられ、表面の結晶面方位が(110)面の流路形成基板12と、圧力発生室11に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、ノズル連通孔23が、流路形成基板12の表面に対して垂直な結晶面方位が(111)面で画成されていると共に、当該ノズル連通孔23の液体供給側とは反対側の端部の2つの前記(111)面が鋭角となる角部に2つの(111)面に対して鈍角で形成された傾斜面40を設ける。
【選択図】 図4
Description
かかる態様では、ノズル連通孔に傾斜面を設けることによって、互いに隣接するノズル連通孔の間の隔壁の剛性を高めることができる。したがって、ノズル連通孔を高密度に配置することができ、ノズル開口を高密度化することができる。また、ノズル連通孔に傾斜面を設けることで、ノズル連通孔の開口面積が著しく減少するのを防止して、流路抵抗の増加による液体噴射特性の劣化を防止できる。
かかる態様では、高密度印刷が可能で且つ安定した印刷品質を保つことができる液体噴射装置を実現できる。
かかる態様では、ノズル連通孔に確実に傾斜面を形成することができると共に、常に同一形状の傾斜面を形成することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す断面図であり、図2は、流路形成基板のノズルプレート側からの平面図であり、図3は、図2の要部拡大平面図及びそのA−A′断面図である。
以上、本発明の実施形態1について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、ノズル連通孔23の液体供給側(インク供給路22)とは反対側の端部に傾斜面40を形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ノズル連通孔23の液体供給側の端部の角部にも傾斜面を形成するようにしてもよい。また、圧力発生室11の長手方向の端部の角部にも傾斜面を形成するようにしてもよい。
Claims (7)
- 液体を噴射するノズル開口に連通するノズル連通孔と、該ノズル連通孔を介して前記ノズル開口に連通する圧力発生室とが幅方向に複数並設されて設けられた表面の結晶面方位が(110)面の結晶基板からなる流路形成基板と、前記圧力発生室に相対向する領域に設けられて当該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、
前記圧力発生室が、前記流路形成基板の厚さ方向の途中まで形成されていると共に、前記ノズル連通孔が、前記圧力発生室の液体供給側とは反対側の長手方向一端部側に前記流路形成基板を厚さ方向に貫通して設けられ、
前記ノズル連通孔が、前記流路形成基板の表面に対して垂直な結晶面方位が(111)面で画成されていると共に、当該ノズル連通孔の前記液体供給側とは反対側の端部の2つの前記(111)面が鋭角となる角部には、2つの(111)面に対して鈍角で形成された傾斜面が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記傾斜面が、前記ノズル連通孔の前記並設方向の側面を画成する(111)面に対して125.3度で形成されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記傾斜面が、前記ノズル開口側の開口から当該ノズル連通孔の深さ方向に対して内側に突出するように傾斜して設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズル連通孔が、幅方向の側面を画成する第1の(111)面と、該第1の(111)面に対して70.5度の角度で長手方向の端面を画成する第2の(111)面とで形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズル連通孔の前記傾斜面が、前記ノズル連通孔の前記ノズル開口側の開口で、前記ノズル連通孔の前記長手方向の端面を画成する(111)面に接する前記ノズル開口の同心円と接する位置に設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 液体を噴射するノズル開口に連通するノズル連通孔と、該ノズル連通孔を介して前記ノズル開口に連通する圧力発生室とが幅方向に複数並設されて設けられた表面の結晶面方位が(110)面の結晶基板からなる流路形成基板と、前記圧力発生室に相対向する領域に設けられて当該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、
前記圧力発生室が、前記流路形成基板の厚さ方向の途中まで形成されていると共に、前記ノズル連通孔が、前記圧力発生室の液体供給側とは反対側の長手方向一端部側に前記流路形成基板を厚さ方向に貫通して設けられ、
前記ノズル連通孔が、前記流路形成基板の表面に対して垂直な結晶面方位が(111)面で画成されていると共に、当該ノズル連通孔の前記液体供給側とは反対側の端部の2つの前記(111)面が鋭角となる角部には、2つの(111)面に対して鈍角で形成された傾斜面が設けられた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板の表面に酸化皮膜を形成すると共に、当該酸化皮膜の前記ノズル連通孔となる領域に当該流路形成基板の結晶面方位の(111)面に沿った酸化皮膜除去部を形成し、且つ当該酸化皮膜除去部の前記傾斜面となる領域に当該ノズル連通孔の前記並設方向の側面を画成する(111)面に対して125.3度以上の角度の傾斜部を酸化皮膜除去部として形成した後、前記酸化皮膜を介して前記流路形成基板を異方性エッチングすることにより、前記流路形成基板に前記傾斜面を有する前記ノズル連通孔を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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JPH10202877A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
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JP2003175597A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-24 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
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