JP2010194831A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズルを比較的高密度化しても液滴噴射特性を良好に維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板15が、第1の振動部材27と第2の振動部材28とを含み、第1の振動部材27は、第1のシート部材27と第1の支持板30とからなる第1の複合板31で形成され、第1の支持板30で構成されて圧電素子16の先端部が当接する第1の島部32を有し、第2の振動部材28は、第2のシート部材33と第2の支持板34とからなる第2の複合板35で形成され、第2の支持板34で構成されて第1の島部32に対向する部分に設けられる第2の島部36を有する構成とする。
【選択図】図2
【解決手段】振動板15が、第1の振動部材27と第2の振動部材28とを含み、第1の振動部材27は、第1のシート部材27と第1の支持板30とからなる第1の複合板31で形成され、第1の支持板30で構成されて圧電素子16の先端部が当接する第1の島部32を有し、第2の振動部材28は、第2のシート部材33と第2の支持板34とからなる第2の複合板35で形成され、第2の支持板34で構成されて第1の島部32に対向する部分に設けられる第2の島部36を有する構成とする。
【選択図】図2
Description
本発明はノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
液滴を吐出する液体噴射ヘッドとしては、例えば、インク滴を噴射するノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエーターを使用したものが実用化されている。具体的には、例えば、圧力室が形成される第1層の一方面側にノズルが形成されたノズルプレートが接合され、他方面側中間層が接合され、圧力発生手段である圧電素子の先端が、この中間層上に設けられる島部(島状部)に当接するように設けられたものがある(例えば、特許文献1参照)。
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、近年のノズルの高密度化に伴って、圧電素子が当接する島部の幅が徐々に狭くなってきている。そして島部の幅が狭くなると、島部の剛性が低下してしまい圧電素子の駆動時に振動板の変位を確保することができないという問題がある。すなわちノズルからインク滴を所望の特性(噴射スピード、噴射量等)で噴射させることができないという問題がある。
また島部の剛性を確保するために、島部の厚さを厚くすることが考えられるが、島部が高密度に設ける場合には、製造が極めて困難であるという問題もある。
なお、このような問題は、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ノズルを比較的高密度化しても液滴噴射特性を良好に維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、該振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子とを有し、前記振動板が、第1の振動部材と該第1の振動部材と前記流路形成基板との間に配される第2の振動部材とを含み、前記第1の振動部材は、第1のシート部材と第1の支持板とからなる第1の複合板で形成され、前記第1の支持板で構成されて前記圧電素子の先端部が当接する第1の島部を有し、前記第2の振動部材は、第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板で形成され、前記第2の支持板で構成されて前記第1の島部に対向する部分に設けられる第2の島部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、第1の島部が第2の島部に対向する領域に形成されているので、第2の島部の剛性が実質的に向上する。これにより、圧電素子の駆動によって振動板を良好に変形させることができる。
かかる本発明では、第1の島部が第2の島部に対向する領域に形成されているので、第2の島部の剛性が実質的に向上する。これにより、圧電素子の駆動によって振動板を良好に変形させることができる。
ここで、少なくとも前記圧力発生室の並設方向において、前記第1の島部の幅が前記第2の島部の幅よりも広いことが好ましい。これにより、第1の島部を第2の島部に比較的容易に対向する位置に配置できる。
また前記第1のシート部材には貫通孔が設けられており、前記第1の振動部材と前記第2の振動部材との間に画成される空間が前記貫通孔によって大気解放されていることが好ましい。これにより、製造過程における加熱よって上記空間内の空気が膨張して第1及び第2のシート部材の変形や破れ等が生じるのを抑えることができる。
また前記第1の振動部材は、前記第1の島部の外周部に前記第1のシート部材で構成される第1の薄肉部を有すると共に、前記第2の振動部材は、前記第2の島部の外周部に前記第2のシート部材で構成される第2の薄肉部を有し、前記第1の薄肉部の幅が、前記第2の薄肉部の幅よりも広いことが好ましい。これにより第2の振動部材の変形が第1の振動部材によって規制されることがなく、圧電素子の駆動によって振動板を良好に変形させることができる。
また本発明は、上記のような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
さらに本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、該振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子とを有し、前記振動板が、第1の振動部材と該第1の振動部材と前記流路形成基板との間に配される第2の振動部材とを含み、前記第1の振動部材は、第1のシート部材と第1の支持板とからなる第1の複合板で形成され、前記第1の支持板で構成されて前記圧電素子の先端部が当接する第1の島部を有し、前記第2の振動部材は、第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板で形成され、前記第2の支持板で構成されて前記第1の島部に対向する部分に設けられる第2の島部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路形成基板が複数一体的に形成された流路形成基板用ウエハー上に前記第2の振動部材を形成する工程と、当該第2の振動部材上に前記第1の振動部材を形成する工程と、前記流路形成基板用ウエハーを分割する工程とを具備し、前記第2の振動部材を形成する工程では、前記流路形成基板用ウエハー上に第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板を接合した後、前記流路形成基板用ウエハーに設けられたアライメントマークを基準としてマスク部材を位置決めし、このマスク部材を介して前記第2の支持板をエッチングすることによって前記第2の島部を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、第2の島部を圧力発生室に対して高精度に形成することができる。これにより、圧電素子の駆動によって振動板を良好に変位させることができ、液滴の噴射特性を向上した液体噴射ヘッドを製造することができる。
かかる本発明では、第2の島部を圧力発生室に対して高精度に形成することができる。これにより、圧電素子の駆動によって振動板を良好に変位させることができ、液滴の噴射特性を向上した液体噴射ヘッドを製造することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1及び図2に示すように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド10は、複数の圧力発生室11を有する流路形成基板12と、各圧力発生室11に連通する複数のノズル13が穿設されたノズルプレート14と、流路形成基板12のノズルプレート14とは反対側の面に設けられる振動板15と、該振動板15上の各圧力発生室11に対応する領域に設けられる圧電素子16とを有する。
(実施形態1)
図1及び図2に示すように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド10は、複数の圧力発生室11を有する流路形成基板12と、各圧力発生室11に連通する複数のノズル13が穿設されたノズルプレート14と、流路形成基板12のノズルプレート14とは反対側の面に設けられる振動板15と、該振動板15上の各圧力発生室11に対応する領域に設けられる圧電素子16とを有する。
流路形成基板12には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室11が隔壁17によって区画されてその幅方向で複数並設されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板12には、複数の圧力発生室11が並設された列が2列設けられている。また、各圧力発生室11の列の外側には、各圧力発生室11にインクを供給するためのリザーバー18が、流路形成基板12を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室11とリザーバー18とは、インク供給路19を介して連通している。インク供給路19は、本実施形態では、圧力発生室11よりも狭い幅で形成されており、リザーバー18から圧力発生室11に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室11のリザーバー18とは反対の端部側には、流路形成基板12を貫通するノズル連通孔20が形成されている。このような流路形成基板12の材料は、特に限定されないが、本実施形態ではシリコン単結晶基板を用いており、上記圧力発生室11等の流路は、流路形成基板(シリコン単結晶基板)12をエッチングすることによって形成されている。
この流路形成基板12の一方面側にはノズル13が穿設されたノズルプレート14が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル13は、流路形成基板12に設けられたノズル連通孔20を介して各圧力発生室11と連通している。
また、流路形成基板12の他方面側、すなわち、圧力発生室11の開口面側には振動板15が接合されて、各圧力発生室11はこの振動板15によって封止されている。そして、圧力発生室11内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子16は、この振動板15上に先端部が当接した状態で固定されている。具体的には、圧電素子16は、振動に寄与する活性領域と振動に寄与しない不活性領域とから構成され、この活性領域の先端部が振動板15上に当接している。
この圧電素子16は、本実施形態では、圧電材料21と電極形成材料22及び23とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層され、振動に寄与しない不活性領域が固定基板24に固着されている。また、本実施形態では、圧電素子16の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密封可能な圧電素子保持部25を有するヘッドケース26が振動板15上に固定されている。そして、圧電素子16が固定された固定基板24が、圧電素子16とは反対側の面でこのヘッドケース26に固定されている。
ここで、圧電素子16の先端部が当接する振動板15は、第1の振動部材27と、第1の振動部材27と流路形成基板12との間に配される第2の振動部材28とを有する。第1の振動部材27は、図2の拡大図に示すように、第1のシート部材29と第1の支持板30とからなる第1の複合板31で形成され、第1の支持板30で構成されて圧電素子16の先端部が当接する第1の島部32を有する。一方、第2の振動部材28は、第2のシート部材33と第2の支持板34とからなる第2の複合板35で形成され、第2の支持板34で構成されて第1の島部32に対向する部分に設けられる第2の島部36を有する。そして、第2の振動部材28が第2のシート部材33側で流路形成基板12に接合され、第1の振動部材27が第1のシート部材29側で第2の振動部材28に接合されて振動板15が構成されている。
第1のシート部材29及び第2のシート部材33は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる。一方、第1の支持板30及び第2の支持板34は、例えば、金属材料等からなる。本実施形態では、第1及び第2のシート部材29,33が、厚さが数μm程度のPPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルムからなり、第1及び第2の支持板30,34が、厚さが数十μm程度のステンレス鋼板(SUS)からなる。第1及び第2のシート部材29,33として、PPSの他にポリサルフォン、ポリカーボネイト、ポリエーテルエーテルケトン、アクリルニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体等の材料を用いたものを利用しても良い。また、第1及び第2の支持板30,34はステンレス鋼板の他に、ニッケルなどを利用しても良い。
このような構成の第1の振動部材27には、上述のように圧電素子16の先端部が当接する第1の島部32が設けられている。すなわち、図2及び図3に示すように、第1の振動部材27の各圧力発生室11の周縁部に対向する領域には、実質的に第1のシート部材29で構成される第1の薄肉部37が形成されており、この第1の薄肉部37の内側に第1の島部32が設けられている。また図2及び図4に示すように、第2の振動部材28の各圧力発生室11の周縁部に対向する領域には、第1の振動部材27と同様に、実質的に第2のシート部材33で構成される第2の薄肉部38が形成されており、この第2の薄肉部38の内側に第2の島部36が設けられている。また第1の薄肉部37を構成する第1のシート部材29には、隔壁17に対向する領域に貫通孔39が設けられており、第1の振動部材27と第2の振動部材28との間に画成される空間がこの貫通孔39によって大気解放されている。
このような振動板15の構成では、流路形成基板12に接合される第2の振動部材28を構成する第2の島部36の剛性が実質的に向上する。すなわち、第2の島部36に当接する第1の島部32が存在することで、第2の島部36の剛性が実質的に向上する。したがって、後述のように圧電素子16を駆動させる際、この圧電素子16の駆動に伴って振動板15を良好に変形させることができ、圧力発生室11の容積を十分に変化させることができ、各ノズル13からインク滴を良好に噴射させることができる。
ここで、図2に示すように、圧力発生室11の長手方向における第1の薄肉部の幅W1が、第2の薄肉部の幅W2よりも広いことが好ましい。また本実施形態では、第1のシート部材29と第2のシート部材33を同一材料で形成しているが、第1のシート部材29を、第2のシート部材33よりも柔らかい材料で形成するようにしてもよい。これにより、第1の振動部材27は第2の振動部材28よりも変形し易くなる。したがって、第1の振動部材27によって第2の振動部材28の変形が規制されることがなく、圧力発生室11の容積を良好に変化させることができる。ここで「幅」とは、圧力発生室11が並設されている方向を「幅」を示す幅方向と称し、流路形成基板12の面方向において、当該幅方向と直交する方向を長手方向と称する。
また第1の振動部材27に設けられる第1の島部32は、図2に示すように、少なくとも圧力発生室11の並設方向の幅W3が第2の島部36の幅W4よりも広いことが好ましい。また、圧力発生室11の長手方向においても第1の島部32の幅は第2の島部36よりも広いことが好ましい。つまり、第1の島部32は第2の島部36よりも大きく形成されていることが好ましい。
第1の島部32は、第2の島部36の剛性を確保する役割を果たすものであり、第2の島部36に当接されていれば、第2の島部36に対してそれ程高精度に位置決めされている必要はない。したがって、後述するように第2の島部36に対して第1の島部32を容易に位置合わせすることができ、製造効率が向上すると共に、歩留まりが向上する。
なお本実施形態では、振動板15のリザーバー18に対向する領域に、第2の薄肉部38と同様に、第2の支持板34がエッチングにより除去されて実質的に第2のシート部材33のみで構成されるコンプライアンス部40が設けられている。このコンプライアンス部40は、リザーバー18内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部40の第2のシート部材33が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバー18内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
このようなインクジェット式記録ヘッド10では、圧電素子16及び振動板15の変形によって各圧力発生室11の容積を変化させて所定のノズル13からインク滴を噴射させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバー18にインクが供給されると、インク供給路19を介して各圧力発生室11にインクが分配される。実際には、圧電素子16に電圧を印加することにより圧電素子16を収縮させることで、振動板15が圧電素子16と共に変形して圧力発生室11の容積が広げられ、圧力発生室11内にインクが引き込まれる。
上述のように第2の島部36の剛性が高められているため、このように圧電素子16を収縮させる際、図5に示すように第2の島部36が撓むことなく振動板15(第1及び第2のシート部材29,33)が変形し、圧力発生室11の容積が十分に広げられる。これにより、各ノズル13からインク滴を良好に噴射させることができる。
詳細には、ノズル13に至るまでヘッドの内部にインクを満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧電素子16に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子16が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板15の変位も元の状態に戻る。結果として圧力発生室11が収縮して内部圧力が高まり、ノズル13からインク滴が良好に噴射される。
ところで、島部(第2の島部)の剛性は、例えば、島部自体の厚さを厚くすることによっても高めることはできる。しかしながら、島部が高密度に形成されていると、島部間は狭くなる。このため、比較的厚さの厚い支持板(第2の支持板)をエッチング(特にウェットエッチング)して島部を良好に形成するのは難しい。
これに対し本発明では、第1の振動部材27と第2の振動部材28とを重ねるようにしたので、第2の支持板34の厚さを薄くすることができるため、第2の支持板34を良好にエッチングして第2の島部36を高精度に形成することができる。したがって、各ノズル13から噴射するインク滴の噴射特性を向上することができると共に、噴射特性の均一化を図ることができる。
以下、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法、具体的には、インクジェット式記録ヘッドを構成する振動板の形成方法について図6及び図7を参照して説明する。
振動板15の形成手順としては、まずは図6及び図7(a)に示すように、流路形成基板用ウエハー100に第2の振動部材28を構成する第2のシート部材33及び第2の支持板34で構成される第2の複合板35を接合する。なお流路形成基板用ウエハー100は、複数の流路形成基板12が一体的に形成されるシリコンウエハーであり、振動板15を形成する前にエッチングにより圧力発生室11等の流路が予め形成されている。また第2の複合板35を構成する第2のシート部材33及び第2の支持板34は、流路形成基板用ウエハー100に順次接合するようにしてもよい。
そして、このように流路形成基板用ウエハー100に第2の複合板35を接合した状態で第2の支持板34をエッチングすることで、図7(b)に示すように、第2の薄肉部38及び第2の島部36を形成する。具体的には、例えば、エッチング用のガラスマスク200を、流路形成基板用ウエハー100に形成されたアライメントマーク110(図6参照)を基準として第2の支持板34上に位置決めする。そして、このエッチング用のガラスマスク200を介して第2の支持板34を、例えば、ウェットエッチングすることによって第2の薄肉部38及び第2の島部36を形成する。これにより、第2の薄肉部38及び第2の島部36を圧力発生室11に対して高精度に形成することができる。なお図示しないが、このときにコンプライアンス部40も同時に形成する。
次に図7(c)に示すように、第2の薄肉部38及び第2の島部36が形成された第2の振動部材28上に、第1のシート部材29及び第1の支持板30で構成される第1の振動部材27を接合する。すなわち流路形成基板用ウエハー100に接合する前に、第1の支持板30をエッチングすることによって第1の薄肉部37及び第1の島部32を形成しておく。なおこの場合、第1のシート部材29に設けられる貫通孔39は、何れのタイミングで形成してもよい。
その後、第1の島部32のそれぞれが各第2の島部36に当接するように第1の振動部材27を位置決めして第2の振動部材28に接合する。これにより第1及び第2の振動部材27,28を含む振動板15が形成される。
このような手順で振動板15を形成することで、流路形成基板用ウエハー100に第2の振動部材28及び第1の振動部材27を順次接合するのと比べて、第2の島部36と圧力発生室11との位置精度を大幅に向上することができる。したがって、各ノズル13から噴射されるインク滴の噴射特性を向上することができると共に、噴射特性の均一化を図ることができる。
また上述したように本実施形態では第1の島部32が第2の島部36よりも大きく形成されている。このため、第2の振動部材28に第1の振動部材27を接合する際、第1の振動部材27を比較的容易に位置決めして第2の振動部材28に接合することができる。したがって、作業効率を向上することができると共に歩留まりが向上するため、コストの削減を図ることもできる。
また第1の振動部材27を構成する第1のシート部材29には、上述したように貫通孔39が設けられている。この貫通孔39が設けられていることで、製造過程の熱による空気の膨張に伴う第1又は第2のシート部材29,33の変形や破れを抑制でき、振動板15を良好に形成することができる。すなわち第1のシート部材29に貫通孔39が設けられていないと、第1の振動部材27と第2の振動部材28との間に画成される空間は密封されてしまうため、製造過程の熱により空間内の空気が膨張して第1又は第2のシート部材29,33が変形する等の問題が生じる虞があるが、第1のシート部材29に貫通孔39が設けられていることで、このような問題の発生を抑えることができる。
なお本実施形態では、第2の振動部材28上に第1の振動部材27を接合するようにしたが、勿論、第2の振動部材28上に、第1の複合板31を接合し、その後、第2の複合板35の場合と同様に、第1の支持板30をウェットエッチングすることによって第1の薄肉部37及び第1の島部32を形成してもよい。この場合には、ウェットエッチングにより第1の薄肉部37及び第1の島部32を形成した後に貫通孔39を形成するのが好ましい。エッチング前に貫通孔39を形成してしまうと、貫通孔39を介してエッチング液が第2の振動部材28側に流れ込み、第2の支持板34がエッチングされてしまう虞があるからである。
また、このように振動板15が形成された流路形成基板用ウエハー100は、その後、各流路形成基板12に分割される。例えば、流路形成基板用ウエハー100には、切断予定線に沿って脆弱部が形成されており、このような流路形成基板用ウエハー100に外力を加えることで各流路形成基板12に分割する。このような方法で流路形成基板用ウエハー100を分割する場合には、振動板15にも切断予定線に沿って、切り込み等の脆弱部を設けておくことが好ましい。これにより、流路形成基板用ウエハー100と共に振動板15を良好に分割することができる。
また、本実施形態では、流路形成基板用ウエハー100の全面に振動板15を連続的に形成するようにしたが、例えば、図8に示すように、流路形成基板用ウエハー100の各流路形成基板12に対向する領域に、振動板15をそれぞれ独立して形成するようにしてもよい。これにより、流路形成基板用ウエハー100を各流路形成基板12に良好に分割することができる。
(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態を説明したが、勿論、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、振動板15が2層(第1の振動部材27及び第2の振動部材28)で構成された例を説明したが、勿論、3層以上で構成されていてもよい。
以上、本発明の実施形態を説明したが、勿論、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、振動板15が2層(第1の振動部材27及び第2の振動部材28)で構成された例を説明したが、勿論、3層以上で構成されていてもよい。
また、インクジェット式記録ヘッドの構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、第1及び第2の薄肉部37,38を複数の圧力発生室11に対応する領域に連続的に設けるようにしたが、勿論、圧力発生室11毎にそれぞれ独立して設けるようにしてもよい。また、上述の実施形態では、圧力発生室11とノズル13とを連通するノズル連通孔20を、流路形成基板12に形成するようにしたが、これに限定されず、ノズル連通孔20は、流路形成基板12とは別の基板に設けられていてもよい。
また本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図9に示すように、インクジェット式記録装置における記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
なお上述の実施形態では、液体噴射ヘッドとしてインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを例示すると共に液体噴射装置としてインクジェット式記録装置を例示したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
11 圧力発生室、 12 流路形成基板、 13 ノズル、 14 ノズルプレート、 15 振動板、 16 圧電素子、 17 隔壁、 18 リザーバー、 19 インク供給路、 20 ノズル連通孔、 21 圧電材料、 22,23 電極形成材料、 24 固定基板、 25 圧電素子保持部、 26 ヘッドケース、 27 第1の振動部材、 28 第2の振動部材、 29 第1のシート部材、 30 第1の支持板、 31 第1の複合板、 32 第1の島部、 33 第2のシート部材、 34 第2の支持板、 35 第2の複合板、 36 第2の島部、 37 第1の薄肉部、 38 第2の薄肉部、 39 貫通孔、 40 コンプライアンス部、 100 流路形成基板用ウエハー、 110 アライメントマーク、 200 ガラスマスク
Claims (6)
- 液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、該振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子とを有し、
前記振動板が、第1の振動部材と該第1の振動部材と前記流路形成基板との間に配される第2の振動部材とを含み、
前記第1の振動部材は、第1のシート部材と第1の支持板とからなる第1の複合板で形成され、前記第1の支持板で構成されて前記圧電素子の先端部が当接する第1の島部を有し、
前記第2の振動部材は、第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板で形成され、前記第2の支持板で構成されて前記第1の島部に対向する部分に設けられる第2の島部を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 少なくとも前記圧力発生室の並設方向において、前記第1の島部の幅が前記第2の島部の幅よりも広いことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1のシート部材には貫通孔が設けられており、前記第1の振動部材と前記第2の振動部材との間に画成される空間が前記貫通孔によって大気解放されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1の振動部材は、前記第1の島部の外周部に前記第1のシート部材で構成される第1の薄肉部を有すると共に、前記第2の振動部材は、前記第2の島部の外周部に前記第2のシート部材で構成される第2の薄肉部を有し、
前記第1の薄肉部の幅が、前記第2の薄肉部の幅よりも広いことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、該振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子とを有し、前記振動板が、第1の振動部材と該第1の振動部材と前記流路形成基板との間に配される第2の振動部材とを含み、前記第1の振動部材は、第1のシート部材と第1の支持板とからなる第1の複合板で形成され、前記第1の支持板で構成されて前記圧電素子の先端部が当接する第1の島部を有し、前記第2の振動部材は、第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板で形成され、前記第2の支持板で構成されて前記第1の島部に対向する部分に設けられる第2の島部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板が複数一体的に形成された流路形成基板用ウェハー上に前記第2の振動部材を形成する工程と、当該第2の振動部材上に前記第1の振動部材を形成する工程と、前記流路形成基板用ウェハーを分割する工程とを具備し、
前記第2の振動部材を形成する工程では、前記流路形成基板用ウェハー上に第2のシート部材と第2の支持板とからなる第2の複合板を接合した後、前記流路形成基板用ウェハーに設けられたアライメントマークを基準としてマスク部材を位置決めし、このマスク部材を介して前記第2の支持板をエッチングすることによって前記第2の島部を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009041561A JP2010194831A (ja) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
US12/710,289 US20100214371A1 (en) | 2009-02-24 | 2010-02-22 | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing liquid ejecting head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009041561A JP2010194831A (ja) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010194831A true JP2010194831A (ja) | 2010-09-09 |
Family
ID=42630620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009041561A Withdrawn JP2010194831A (ja) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100214371A1 (ja) |
JP (1) | JP2010194831A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9539809B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-01-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection apparatuses including compressible material |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000043261A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-15 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
JP2002036549A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3389987B2 (ja) * | 1999-11-11 | 2003-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-02-24 JP JP2009041561A patent/JP2010194831A/ja not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-02-22 US US12/710,289 patent/US20100214371A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000043261A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-15 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
JP2002036549A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100214371A1 (en) | 2010-08-26 |
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