JP2009006447A - 工作物の研削方法及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工作物Wを工作物回転軸回りに回転させ、工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石30を回転させ、工作物回転軸に直交する方向に沿って工作物Wに対して砥石30を相対的に進退移動させて、あるいは工作物回転軸に平行な方向に沿って工作物Wに対して砥石30を相対的に移動させて、砥石30の円筒面または端面にて工作物Wを研削する工作物の研削方法において、工作物を回転させる工作物回転手段21への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号G20を重畳させて、工作物Wの回転速度を小刻みに変更しながら研削する。
【選択図】図3
Description
加工の際には、図4(B)に示すように工作物回転軸に直交する方向に沿ってワークWに対して砥石30を相対的に進退移動させて砥石30の円筒面30EでワークWの円筒面WEを研削または研磨している。なお、以降の説明では、「研削」は研削と研磨を含むものとする。
ここで、図1において、工作物回転軸(C軸)回りにワークWを回転させる主軸モータ21、C軸に直交するX軸に沿って砥石30をワークWに対して相対的に進退移動させる砥石テーブル駆動モータ22、砥石30を砥石回転軸回りに回転させる砥石回転駆動モータ24、C軸に平行なZ軸方向に沿ってワークWを砥石30に対して相対的にスライド移動させる主軸テーブル駆動モータ23は、数値制御装置40(制御手段)からの駆動信号によって駆動する(詳細は後述する)。
ワークWの円筒面WEに縞状模様BMが残る原因としては、図4(A)に示すようにワークWを工作物回転軸(C軸)回りに回転させながら、砥石回転軸回りに回転する砥石30を切込んで研削する際、砥石30のアンバランス等による振動によって砥石30のX軸方向の位置の偏差(目標位置と実際の位置との差)が周期的に発生して、砥石回転軸とワーク中心とのX軸方向の距離(心間距離)の周期的な変化が発生し、この心間距離変化の周波数とC軸の回転数の相関が整数倍比となった場合に発生すると考えられる。
なお、この縞状模様BMは、熟練作業者でなければ肉眼で判断できないくらい微細な場合もある。仕上げ研削して完成したワークWに縞状模様BMが形成されてしまっていることに気づかずに当該ワークWを製品等に組み込んでしまうと、異音や振動が発生する場合があるため、たとえ肉眼で判断できなくても縞状模様BMが形成されているのは好ましくない。
また同様に、図5に示すように、ワークWに対して工作物回転軸に平行な方向に砥石30を相対的に移動させて、ワークWの端面WT(工作物回転軸に直交する面)を、砥石30の端面30T(砥石回転軸に直交する面)で研削する場合も、ワークWの端面WTに縞状模様BMが形成される場合がある。
また、びびり振動を検出した際に、ワークWの回転速度(C軸の回転速度)、砥石の回転速度、砥石の送り速度のいずれかを変更する場合、特許文献1にも記載されているように、通常、速度を遅くする方向に変更するため、サイクルタイムが長くなり、加工効率が低下する。また、これらの速度のいずれかを変更した場合は、加工精度や加工面品位に影響を与える可能性もある。
また、砥石を回転させる砥石回転駆動モータには、回転数が一定となる三相モータが用いられる場合があり、三相モータが用いられている場合には砥石の回転速度を変更することができない。この場合、砥石の回転速度を変更するためには、砥石回転駆動モータを、回転速度が変更可能なインバータモータ等と交換する必要があり、砥石回転駆動モータの交換の手間と費用がかかる。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、加工効率や加工精度に影響を与えることなく、比較的容易にびびり振動の発生を抑制することができる工作物の研削方法及び加工装置を提供することを課題とする。
請求項1に記載の工作物の研削方法は、工作物を工作物回転軸回りに回転させ、前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させ、前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、あるいは前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、前記砥石における円筒面または前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する、工作物の研削方法において、前記工作物を回転させる工作物回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させる、工作物の研削方法である。
請求項2に記載の工作物の研削方法は、工作物を工作物回転軸回りに回転させ、前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させ、前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、あるいは前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、前記砥石における円筒面または前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する、工作物の研削方法において、前記砥石を回転させる砥石回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させる、工作物の研削方法である。
請求項3に記載の工作物の研削方法は、請求項1または2に記載の工作物の研削方法であって、前記複数の周波数成分を含む振動信号はホワイトノイズである、工作物の研削方法である。
請求項4に記載の工作物の研削方法は、請求項1〜3のいずれかに記載の工作物の研削方法であって、前記振動信号を重畳させる駆動信号は、速度指令信号である、工作物の研削方法である。
請求項5に記載の加工装置は、工作物を工作物回転軸回りに回転させる工作物回転手段と、前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させる砥石回転手段と、前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石の円筒面にて前記工作物を研削する第1切込み手段、または前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石における前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する第2切込み手段、の少なくとも一方の切込み手段と、前記工作物回転手段と前記砥石回転手段と前記少なくとも一方の切込み手段の各々に駆動信号を出力する制御手段とを備える。
そして、前記制御手段は、前記工作物回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させ、前記工作物回転手段は、前記制御手段からの駆動信号に重畳されている前記振動信号に基づいて、回転速度を小刻みに変更しながら前記工作物を回転させる。
請求項6に記載の加工装置は、工作物を工作物回転軸回りに回転させる工作物回転手段と、前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させる砥石回転手段と、前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石の円筒面にて前記工作物を研削する第1切込み手段、または前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石における前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する第2切込み手段、の少なくとも一方の切込み手段と、前記工作物回転手段と前記砥石回転手段と前記少なくとも一方の切込み手段の各々に駆動信号を出力する制御手段とを備える。
そして、前記制御手段は、前記砥石回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させ、前記砥石回転手段は、前記制御手段からの駆動信号に重畳されている前記振動信号に基づいて、回転速度を小刻みに変更しながら前記砥石を回転させる。
請求項7に記載の加工装置は、請求項5または6に記載の加工装置であって、前記複数の周波数成分を含む振動信号は、ホワイトノイズである。
請求項8に記載の加工装置は、請求項5〜7のいずれかに記載の加工装置であって、前記振動信号を重畳させる駆動信号は、速度指令信号である。
また、工作物の回転速度をランダムに小刻みに変更するため、周期的に発生する砥石30のびびり振動(共振)そのものを抑制することも期待できる。
これにより、工作物毎や砥石毎、更に運転条件毎に、びびり振動の測定と運転条件の変更を行う必要がない。
また、重畳する振動信号の周波数成分や振幅を適切に設定することで、加工効率や加工精度に影響を与えることなく、びびり振動の発生を抑制することができる。
また、砥石の回転速度を特に変更する必要がないため、回転数が一定となる三相モータが砥石回転駆動モータとして用いられていても、回転速度が変更可能なインバータモータ等と交換する必要がない。
そして、請求項1と同様に、種々の周波数成分を含む振動信号は数値制御装置にて比較的容易に発生させることが可能であり、工作物毎や砥石毎、更に運転条件毎に、びびり振動の測定と運転条件の変更を行う必要がなく、重畳する振動信号の振幅を適切に設定することで、加工効率や加工精度に影響を与えることなく、びびり振動の発生を抑制することができる。
また、砥石の回転速度をランダムに小刻みに変更するため、周期的に発生する砥石30のびびり振動(共振)そのものを直接的に抑制することも期待できる。
図1は、本発明の工作物の研削方法を適用した、加工装置1(研削盤)の一実施の形態における構成の例の平面図を示している。また、図2は、図1におけるA方向から見た加工装置1の側面図(数値制御装置40、心押し台21T等は省略している)の例を示している。
加工装置1は、ベース2と主軸テーブルTB1と、砥石テーブルTB2と、数値制御装置40(制御手段に相当)とを備えている。
砥石テーブルTB2には、略円筒状の砥石30を備えている。砥石30は、砥石テーブルTB2に載置された砥石回転駆動モータ24(砥石回転駆動装置であり、砥石回転手段に相当)により、Z軸に平行な砥石回転軸を中心に回転する。なお、Z軸は、ワークW(工作物に相当)の回転軸(工作物回転軸に相当)であるC軸に平行な軸であり、後述する送りネジ23BがZ軸である。
また、クーラントノズル70は、ワークWの被加工部と砥石30の冷却と潤滑を行うためのクーラント(冷却油等の流体)を吐出するノズルである。クーラントは、数値制御装置40から制御されるクーラント供給ポンプ74によりクーラントノズル70に供給されて吐出される。なお、クーラントの吐出量は、数値制御装置40から制御される流量調節バルブ72にて調節される。
また、主軸モータ21(C軸駆動装置であり、工作物回転手段に相当)は、ワークWを支持してワークWをC軸回りに回転させる。
また、砥石テーブルTB2は、ベース2に設けられた砥石テーブル駆動モータ22(X軸駆動装置であり、第1切込み手段に相当)と送りネジ22B、及び砥石テーブルTB2に設けられたナット(図示省略)により、ベース2に対してX軸方向に移動可能である。なお、X軸は、前記C軸に直交する方向の軸であり、送りネジ22BがX軸である。
主軸テーブルTB1の上には、心押し台21Tが固定され、主軸台21Dが、種々の長さのワークに対応可能とするように、心押し台21Tに近接または離間可能となるように、心押し台21Tに対向する位置に載置されている。主軸台21D及び心押し台21Tには、それぞれ支持部21C、21S(チャック等)が設けられており、これら支持部21C、21Sの間にワークWが保持(支持)される。この支持部21C、21Sを結ぶ軸がC軸である。
また、砥石テーブル駆動モータ22には砥石テーブルTB2のX軸方向の位置を検出する位置検出器22Eが設けられており、主軸テーブル駆動モータ23には主軸テーブルTB1のZ軸方向の位置を検出する位置検出器23Eが設けられており、主軸モータ21には、ワークWの回転角度または回転速度を検出する位置検出器21Eが設けられている。これらの位置検出器としては種々のものを用いることができるが、本実施の形態ではエンコーダを用いている。
CPU41は、入出力装置43から入力されるデータと、記憶装置42に記憶されているプログラムやデータと、インターフェース44を介して入力される外部入力信号に基づいて出力指令値を計算し、インターフェース44を介して出力指令値を出力する。
外部入力信号としては、ワークWの回転角度(あるいは回転速度)を検出する位置検出器21Eからの信号、砥石テーブルTB2のX軸方向の位置を検出する位置検出器22Eからの信号、主軸テーブルTB1のZ軸方向の位置を検出する位置検出器23Eからの信号、ワークWの外径を測定する定寸装置60からの検出信号等が用いられる。
ドライブユニット51は主軸モータ21に駆動信号を出力し、C軸を回転中心としてワークWを回転させる。ドライブユニット52は砥石テーブル駆動モータ22に駆動信号を出力し、砥石テーブルTB2をX軸方向に移動させる。ドライブユニット53は主軸テーブル駆動モータ23に駆動信号を出力し、主軸テーブルTB1をZ軸方向に移動させる。また、ドライブユニット54は砥石回転駆動モータ24に駆動信号を出力し、砥石30を回転させる。また、ドライブユニット55は定寸装置60のX軸方向に沿った移動や一対の揺動アーム61a、61b(図2参照)の開閉等を行う駆動信号を出力する。
なお、図1の例では、砥石回転駆動モータ24には検出器を設けていないが、砥石回転駆動モータ24にも速度検出器等を設け、砥石回転駆動モータ24の回転速度をフィードバック制御することも可能である。
定寸装置60(測定手段)は、ワークWを挟んで砥石30と対向する位置のベース2上に設けられ、ワークWの外径を測定可能である。定寸装置60は、C軸回りに回転する被加工部の外径の寸法をリアルタイムに検出して検出信号を出力する。そして数値制御装置40は、増幅器56(図1を参照)を介して定寸装置60からの検出信号を取り込み、被加工部の外径がどれだけであるか、リアルタイムに連続的に認識することができる。
定寸装置60は、駆動装置69と定寸装置本体66等にて構成され、駆動装置69は、パイロットバー68を介して定寸装置本体66をX軸方向に進退移動させることが可能である。
定寸装置本体66には、先端にワークWの被加工部の外周部の上下2個所に接触する接触子である一対のフィーラ(検出部に相当し、図示省略)を設けた一対の揺動アーム61a、61bが揺動可能に設けられている。また、揺動アーム61a、61bは、互いに閉止する方向(間隔が狭くなる方向)に付勢されている。
ワークWの被加工部の外径の測定を行う場合、例えば、ワークWの粗研削中に定寸装置60の前進が数値制御装置40からドライブユニット55(図1を参照)を介して指令され、駆動装置69が定寸装置本体66をX軸方向に沿ってワークWに近接する方向に移動させる。そして、一対の揺動アーム61a、61bに設けられた一対のフィーラがワークWの外径を測定可能な位置に到達すると、定寸装置本体66の移動が停止される。そして、数値制御装置40からドライブユニット55(図1を参照)を介してリトラクト装置に解除指令を出力すると、一対のフィーラはワークWの外周部の上下2個所に接触する。
加工装置1は、一対のフィーラをワークWの外周部に接触した状態を保持しながら、砥石30をワークWに対して切込む方向に移動させて研削することが可能である。従って、ワークWの被加工部を砥石30で研削しながら、研削している被加工部の外径を定寸装置60にて測定可能である。
次に、図3(A)及び(B)を用いて第1の実施の形態における研削方法について説明する。図3(A)は研削中のワークWと砥石30を示す模式図であり、第1の実施の形態では、ワークWの円筒面WEの研削時において、ワークWの回転速度を小刻みに変更する。このワークWの回転速度を小刻みに変更する方法について、図3(B)を用いて説明する。
なお、本実施の形態に記載しているワークWの回転速度は、ワークWの外周部の周速度[mm/min]を指しており、ワークWの加工個所の半径をr[mm]、円周率をπ、ワークWの回転数をN[1/min]とすると、以下のように求めることができる。
ワークWの回転速度[mm/min]=2πr×N
まず、ノードN10では、CPU41にて演算された出力指令値である目標位置(この場合、目標とするC軸の回転角度)が加算入力され、位置検出器21Eからの検出信号に基づいた実際の位置(この場合、実回転角度)が減算入力され、目標位置と実際の位置との偏差(位置に関する偏差)が求められ、求めた偏差(位置に関する偏差)が出力されて位置制御ブロックB10に入力される。
そして、位置制御ブロックB10から、入力された偏差に応じた回転速度が、ノードN20に出力される。
ノードN20では、位置制御ブロックB10からの回転速度が加算入力され、微分ブロックB22から出力される回転速度(位置検出器21Eからの検出信号による位置の時間微分)が減算入力され、位置の偏差に基づいた回転速度と実際の回転速度との偏差(回転速度に関する偏差)が求められ、求めた偏差(回転速度に関する偏差)が出力されてノードN22に入力される。
ホワイトノイズは、あらゆる周波数の成分をほぼ同量ずつ含むノイズであり、図3(B)に示すホワイトノイズG20は、速度0(ゼロ)を基準とした種々の周波数成分(例えば、0〜300Hz程度)を含む所定振幅の速度として加算入力(重畳)される。また、所定振幅の例としては、びびり振動が発生した場合のワークWに形成された縞状模様BMの凹凸の高さに対して30〜40%程度に設定する。なお、上記の周波数成分を含む所定振幅のホワイトノイズG20は、既存の数値制御装置40にて比較的容易に発生させることができる。
そして、速度制御ブロックB20では、ノードN22から入力された回転速度に基づいた電流を求め、求めた電流をノードN30に出力する。
電流制御ブロックB30では、入力された偏差(電流に関する偏差)に基づいた駆動信号(この場合、PWM信号の周波数やデューティ比)を求め、求めた駆動信号をモータM(この場合、主軸モータ21)に出力する。そして、出力された駆動信号により実際にモータMに供給された電流が電流センサB40にて検出され、検出信号がノードN30へと出力される。
そして、モータMの実際の回転速度に基づいた検出信号(例えば回転速度に応じた周期のパルス列)が、位置検出器21Eから出力され、微分ブロックB22及びノードN10へと出力される。
これにより、ワークW毎、砥石30毎、加工条件(運転条件)毎にびびり振動を測定する必要がなく、比較的容易に砥石30のびびり振動の発生を抑制することができる。
また、重畳するホワイトノイズの周波数成分や振幅を適切に設定することで、加工効率や加工精度に影響を与えることなく、びびり振動の発生を抑制することができる。
また、砥石の回転速度を特に変更する必要がないため、回転数が一定となる三相モータが砥石回転駆動モータとして用いられていても、回転速度が変更可能なインバータモータ等と交換する必要がない。
ワークWの回転速度を小刻みに変更する第1の実施の形態に対して、第2の実施の形態では、ワークWの円筒面WEの研削時において、砥石30の回転速度を小刻みに変更する。第2の実施の形態では、図1に示す砥石回転駆動モータ24に速度検出器を設け、図3(B)におけるモータMを砥石回転駆動モータ24に変更し、位置検出器21Eを砥石回転駆動モータ24の速度検出器に変更した制御ブロックとなる。また、砥石回転駆動モータ24には、回転速度を変更可能なモータを使用する。
なお、各ノード(ノードN10〜ノードN30)、各制御ブロック(位置制御ブロックB10〜電流制御ブロックB30)、電流センサB40の入出力信号等は、第1の実施の形態の説明と同様であるので説明を省略する。
なお、本実施の形態に記載している砥石30の回転速度は、砥石30の円筒面の周速度[mm/min]を指しており、砥石30の半径をR[mm]、円周率をπ、砥石30の回転数をM[1/min]とすると、以下のように求めることができる。
砥石30の回転速度[mm/min]=2πR×M
これにより、第1の実施の形態と同様に、ワークW毎、砥石30毎、加工条件(運転条件)毎にびびり振動を測定する必要がなく、比較的容易に砥石30のびびり振動の発生を抑制することができる。特に、砥石30の回転速度を直接的に小刻みに変更するので、砥石30の共振に伴うびびり振動の発生を抑制することが期待できる。
また、第1の実施の形態と同様に、重畳するホワイトノイズの周波数成分や振幅を適切に設定することで、加工効率や加工精度に影響を与えることなく、びびり振動の発生を抑制することができる。
同様に、Z軸方向については、砥石30に対してワークWをZ軸方向に移動させたが、ワークWに対して砥石30をZ軸方向に移動させる構成にすることもできる。従って、Z軸駆動装置は、ワークWに対して砥石30を相対的にZ軸方向に移動させることができるものである。
本実施の形態では、ワークWを回転させる主軸モータ21への駆動信号にホワイトノイズを重畳、あるいは砥石30を回転させる砥石回転駆動モータ24への駆動信号にホワイトノイズを重畳する例を説明したが、重畳する信号はホワイトノイズに限定されるものではなく、複数の周波数成分を含む振動信号であればよい。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
また、あらゆる種類の周波数成分を含むホワイトノイズを重畳させた場合、あらゆる種類のワークW、砥石30、運転条件等に対応できる。これにより、ワーク毎、砥石毎、運転条件毎に調整する工数を削減できるので便利である。
また、本実施の形態にて説明した加工装置1は、工作物回転軸に直交する方向から切込む第1切込み手段(砥石テーブル駆動モータ22)と、工作物回転軸に平行な方向から切込む第2切込み手段(主軸テーブル駆動モータ23)との双方を備えた例を説明したが、第1切込み手段と第2切込み手段の少なくとも一方を備えた加工装置に適用することができる。
2 ベース
W ワーク
21 主軸モータ(工作物回転手段)
22 砥石テーブル駆動モータ(第1切込み手段)
23 主軸テーブル駆動モータ(第2切込み手段)
24 砥石回転駆動モータ(砥石回転手段)
21E、22E、23E 位置検出器
TB1 主軸テーブル
TB2 砥石テーブル
22B、23B 送りネジ
30 砥石(加工手段)
40 数値制御装置(制御手段)
41 CPU
42 記憶装置
43 入出力装置
44 インターフェース
51〜55 ドライブユニット
60 定寸装置(測定手段)
61a、61b 揺動アーム
70 クーラントノズル
72 流量調節バルブ
74 クーラント供給ポンプ
N10〜N30 ノード
B10 位置制御ブロック
B20 速度制御ブロック
B30 電流制御ブロック
B40 電流センサ
M モータ
E 位置検出器
G20 ホワイトノイズ
Claims (8)
- 工作物を工作物回転軸回りに回転させ、
前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させ、
前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、あるいは前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、前記砥石における円筒面または前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する、工作物の研削方法において、
前記工作物を回転させる工作物回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させる、
工作物の研削方法。 - 工作物を工作物回転軸回りに回転させ、
前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させ、
前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、あるいは前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて、前記砥石における円筒面または前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する、工作物の研削方法において、
前記砥石を回転させる砥石回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させる、
工作物の研削方法。 - 請求項1または2に記載の工作物の研削方法であって、
前記複数の周波数成分を含む振動信号は、ホワイトノイズである、
工作物の研削方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の工作物の研削方法であって、
前記振動信号を重畳させる駆動信号は、速度指令信号である、
工作物の研削方法。 - 工作物を工作物回転軸回りに回転させる工作物回転手段と、
前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させる砥石回転手段と、
前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石の円筒面にて前記工作物を研削する第1切込み手段、または前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石における前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する第2切込み手段、の少なくとも一方の切込み手段と、
前記工作物回転手段と前記砥石回転手段と前記少なくとも一方の切込み手段の各々に駆動信号を出力する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記工作物回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させ、
前記工作物回転手段は、前記制御手段からの駆動信号に重畳されている前記振動信号に基づいて、回転速度を小刻みに変更しながら前記工作物を回転させる、
加工装置。 - 工作物を工作物回転軸回りに回転させる工作物回転手段と、
前記工作物回転軸に平行な砥石回転軸回りに略円筒状の砥石を回転させる砥石回転手段と、
前記工作物回転軸に直交する方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石の円筒面にて前記工作物を研削する第1切込み手段、または前記工作物回転軸に平行な方向に沿って前記工作物に対して前記砥石を相対的に移動させて前記砥石における前記砥石回転軸に直交する端面にて前記工作物を研削する第2切込み手段、の少なくとも一方の切込み手段と、
前記工作物回転手段と前記砥石回転手段と前記少なくとも一方の切込み手段の各々に駆動信号を出力する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記砥石回転手段への駆動信号に、複数の周波数成分を含む振動信号を重畳させ、
前記砥石回転手段は、前記制御手段からの駆動信号に重畳されている前記振動信号に基づいて、回転速度を小刻みに変更しながら前記砥石を回転させる、
加工装置。 - 請求項5または6に記載の加工装置であって、
前記複数の周波数成分を含む振動信号は、ホワイトノイズである、
加工装置。 - 請求項5〜7のいずれかに記載の加工装置であって、
前記振動信号を重畳させる駆動信号は、速度指令信号である、
加工装置。
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