JP2009004713A - ガス供給機構及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理ガス供給孔211は,電極板206に設けられたガス吐出孔214と,処理ガス供給機構本体201に設けられたガス噴出孔212とにより構成し,ガス噴出孔は,上流側に流入した処理ガスを下流側に設けられたノズル部232の噴出口232aからガス吐出孔に向けて噴出することにより,エジェクタ作用を利用してノズル部の周りに形成した吸引流路236に吸引力を発生させる。これにより,処理ガス供給機構本体201と電極板206との境界に処理ガスが漏洩しないようにすることができる。
【選択図】図3
Description
まず,本発明の第1実施形態にかかる処理ガス供給機構を適用可能な基板処理装置について説明する。ここでは,基板処理装置として処理室内に上部電極と下部電極(サセプタ)を対向配置して上部電極から処理ガスを処理室内に供給する平行平板型のプラズマ処理装置を例に挙げ,この上部電極に処理ガス供給機構を適用する場合について説明する。図1は,本実施形態にかかるプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。なお,図1は説明を簡略化するために,処理ガス供給孔211の数を実際の数よりも少なく示している。
ガス供給機構である上部電極200には,処理ガス供給源170がガス供給管172を介して接続されており,この処理ガス供給源170から処理ガス(例えばエッチングガスであるフルオロカーボンガス(CXFy)),クリーニングガス(例えばO2ガス)などが供給される。またガス供給管172には,バルブ174及びマスフローコントローラ176が備えられており,これによって処理ガスやクリーニングガスの流量が調節される。
ところで,プラズマ処理装置100の処理室102内においては,プラズマが生成されると,このプラズマからの入熱により上部電極200の温度が上昇する。また,温度調整機構116によって下部電極104が加熱されると,この熱輻射を受けて上部電極200の温度が上昇する。このため,上部電極200を構成する処理ガス供給機構本体201と電極板206はいずれも熱膨張する。
ここで,本実施形態にかかる処理ガス供給機構を有する上部電極200が備える処理ガス供給孔211の構成例について図面を参照しながら説明する。図2は,本実施形態にかかる処理ガス供給孔の構成を説明するための断面図であり,図1に示す1つの処理ガス供給孔が形成される周辺構造であるQ部を拡大したものである。図2に示すように,処理ガス供給孔211は,板状部材としての電極板206に貫通して設けられたガス吐出孔214と,処理ガス供給機構本体201の冷却板204に設けられたガス噴出孔(駆動流路)212とにより構成される。
続いて,本発明の第2実施形態にかかる処理ガス供給孔について図面を参照しながら説明する。図4は,本実施形態にかかる処理ガス供給孔の構成を説明するための図であり,図1に示す1つの処理ガス供給孔が形成される周辺構造であるQ部を拡大したものである。
第2実施形態にかかる処理ガス供給孔211は,図3に示す処理ガス供給機構本体201と電極板206との間に,プラズマや熱輻射などからの入熱や異常放電を抑制できる材質からなる板状の中間部材205を積層し,この中間部材205側にノズル部232を設けたものである。なお,図4において図3と同様の機能を有する部分には同一の符号を伏してその詳細な説明を省略する。
102 処理室
104 下部電極
106 排気口
108 フォーカスリング
110 高圧直流電源
112 静電チャック
114 電極
116 温度調整機構
118 ガス通路
120 絶縁板
122 シールドリング
124 ゲートバルブ
126 シール部材
150 第1高周波電源
152 整合器
154 ハイパスフィルタ
160 第2高周波電源
162 整合器
164 ローパスフィルタ
170 処理ガス供給源
172 ガス供給管
174 バルブ
176 マスフローコントローラ
180 排気装置
200 上部電極
201 処理ガス供給機構本体
202 上部部材
204 冷却板
205 中間部材
206 電極板
208 処理ガス導入口
210 拡散室
211 処理ガス供給孔
211A エジェクタ作用を利用しない処理ガス供給孔
211B エジェクタ作用を利用した処理ガス供給孔
212 ガス噴出孔
212a 大径部
212b テーパ部
212c 小径部
212d ガス圧縮空間
214 ガス吐出孔
232 ノズル部
232a 噴出口
234 拡径部
236 吸引流路
260 空隙部
262 連通孔
W ウエハ
Claims (20)
- 前記処理室内の載置台に対向して設けられ,前記載置台に保持される被処理基板に向けて処理ガスを供給する処理ガス供給機構であって,
前記処理ガスを導入する処理ガス導入口と,
前記処理ガス導入口から導入された処理ガスを拡散させる拡散室が形成された処理ガス供給機構本体と,
前記処理ガス供給機構本体の前記載置台側に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは熱膨張率の異なる部材からなる板状部材と,
前記処理ガスを前記拡散室から前記処理室内に供給する複数の処理ガス供給孔と,を備え,
前記各処理ガス供給孔は,前記板状部材に設けられたガス吐出孔と,前記処理ガス供給機構本体に設けられたガス噴出孔とにより構成し,
前記ガス噴出孔は,上流側に連通した前記拡散室から流入した処理ガスを,下流側に設けられたノズル部の噴出口から前記ガス吐出孔に向けて噴出するように構成するとともに,前記ノズル部の周りには,上流側が前記ガス供給機構本体と前記板状部材の境界に連通し,下流側が前記ガス吐出孔に合流する吸引流路を形成したことを特徴とする処理ガス供給機構。 - 前記ノズル部は,前記処理ガス供給機構本体の積層面から前記ガス吐出孔内に突出するように形成するとともに,前記ガス吐出孔には前記ノズル部を遊嵌する拡径部を前記板状部材の積層面に開口するように設けることにより,前記ノズル部と前記拡径部の隙間を前記吸引流路とすることを特徴とする請求項1に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ノズル部と前記拡径部はともに,下流側に向うに連れて径が小さくなる形状にしたことを特徴とする請求項1に記載の処理ガス供給機構。
- 前記処理ガス供給機構本体と前記板状部材の境界には,前記板状部材の積層面側に開口する前記拡径部の開口端の周囲を囲むとともに,前記吸引流路の上流側に連通する空隙部を形成したことを特徴とする請求項1に記載の処理ガス供給機構。
- 前記空隙部は,前記拡径部の開口端に前記板状部材の積層面から形成した凹部により構成されることを特徴とする請求項4に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ガス噴出孔は,下流側の孔径が上流側の孔径よりも小さくなるように形成したことを特徴とする請求項1に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ガス噴出孔は,前記下流側の孔と前記上流側の孔との間にガス圧縮空間を形成したことを特徴とする請求項7に記載の処理ガス供給機構。
- 前記処理ガス供給機構本体は金属で形成し,前記板状部材はシリコン含有材料で形成したことを特徴とする請求項1に記載の処理ガス供給機構。
- 前記処理室内の載置台に対向して設けられ,前記載置台に保持される被処理基板に向けて処理ガスを供給する処理ガス供給機構であって,
前記処理ガスを導入する処理ガス導入口と,
前記処理ガス導入口から導入された処理ガスを拡散させる拡散室が形成された処理ガス供給機構本体と,
前記処理ガス供給機構本体の前記載置台側に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは熱膨張率の異なる部材からなる板状部材と,
前記処理ガス供給機構本体と前記板状部材との間に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは材質の異なる部材からなる中間部材と,
前記処理ガスを前記拡散室から前記処理室内に供給する複数の処理ガス供給孔と,を備え,
前記各処理ガス供給孔は,前記板状部材に設けられたガス吐出孔と,前記処理ガス供給機構本体と前記中間部材に設けられたガス噴出孔とにより構成し,
前記ガス噴出孔は,上流側に連通した前記拡散室から流入した処理ガスを,下流側に設けられたノズル部の噴出口から前記ガス吐出孔に向けて噴出するように構成するとともに,前記ノズル部の周りには,上流側が前記中間部材と前記板状部材の境界に連通し,下流側が前記ガス吐出孔に合流する吸引流路を形成したことを特徴とする処理ガス供給機構。 - 前記ノズル部は前記中間部材を加工して前記中間部材の積層面から前記ガス吐出孔内に突出するように形成するとともに,前記ガス吐出孔には前記ノズル部を遊嵌する拡径部を前記板状部材の積層面に開口するように設けることにより,前記ノズル部と前記拡径部の隙間を前記吸引流路とすることを特徴とする請求項9に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ノズル部と前記拡径部はともに,下流側に向うに連れて径が小さくなる形状にしたことを特徴とする請求項9に記載の処理ガス供給機構。
- 前記中間部材と前記板状部材の境界には,前記板状部材の積層面側に開口する前記拡径部の開口端の周囲を囲むとともに,前記吸引流路の上流側に連通する空隙部を形成したことを特徴とする請求項9に記載の処理ガス供給機構。
- 前記空隙部は,前記拡径部の開口端に前記板状部材の積層面から形成した凹部により構成されることを特徴とする請求項12に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ガス噴出孔は,下流側の孔径が上流側の孔径よりも小さくなるように形成したことを特徴とする請求項9に記載の処理ガス供給機構。
- 前記ガス噴出孔は,前記下流側の孔と前記上流側の孔との間にガス圧縮空間を形成したことを特徴とする請求項14に記載の処理ガス供給機構。
- 前記処理ガス供給機構本体は金属で形成し,前記中間部材と前記板状部材はともにシリコン含有材料で形成したことを特徴とする請求項9に記載の処理ガス供給機構。
- 前記中間部材に,前記処理ガス供給機構本体と前記中間部材の境界を前記空隙部に連通する連通路を形成したことを特徴とする請求項12に記載の処理ガス供給機構。
- 前記処理室内の載置台に対向して設けられ,前記載置台に保持される被処理基板に向けて処理ガスを供給する処理ガス供給機構であって,
前記処理ガスを導入する処理ガス導入口と,
前記処理ガス導入口から導入された処理ガスを拡散させる拡散室が形成された処理ガス供給機構本体と,
前記処理ガス供給機構本体の前記載置台側に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは熱膨張率の異なる部材からなる板状部材と,
前記処理ガスを前記拡散室から前記処理室内に供給する複数の処理ガス供給孔と,を備え,
前記複数の処理ガス供給孔のうち,少なくとも前記載置台に載置された被処理基板に対向する領域よりも外側の領域に形成されている処理ガス供給孔については,前記板状部材に設けられたガス吐出孔と,前記処理ガス供給機構本体に設けられたガス噴出孔とにより構成し,
前記ガス噴出孔は,上流側に連通した前記拡散室から流入した処理ガスを,下流側に設けられたノズル部の噴出口から前記ガス吐出孔に向けて噴出するように構成するとともに,前記ノズル部の周りには,上流側が前記ガス供給機構本体と前記板状部材の境界に連通し,下流側が前記ガス吐出孔に合流する吸引流路を形成したことを特徴とする処理ガス供給機構。 - 処理室内の載置台に対向して設けられた処理ガス供給機構から前記処理室内に処理ガスを供給することにより,前記載置台に載置された被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって,
前記処理ガス供給機構は,
前記処理ガスを導入する処理ガス導入口と,
前記処理ガス導入口から導入された処理ガスを拡散させる拡散室が形成された処理ガス供給機構本体と,
前記処理ガス供給機構本体の前記載置台側に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは熱膨張率の異なる部材からなる板状部材と,
前記処理ガスを前記拡散室から前記処理室内に供給する複数の処理ガス供給孔と,を備え,
前記各処理ガス供給孔は,前記板状部材に設けられたガス吐出孔と,前記処理ガス供給機構本体に設けられたガス噴出孔とにより構成し,
前記ガス噴出孔は,上流側に連通した前記拡散室から流入した処理ガスを,下流側に設けられたノズル部の噴出口から前記ガス吐出孔に向けて噴出するように構成するとともに,前記ノズル部の周りには,上流側が前記ガス供給機構本体と前記板状部材の境界に連通し,下流側が前記ガス吐出孔に合流する吸引流路を形成したことを特徴とする基板処理装置。 - 処理室内の載置台に対向して設けられた電極に高周波電力を印加して生成された処理ガスのプラズマによって,前記載置台に載置された被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって,
前記電極は,
前記処理ガスを導入する処理ガス導入口と,
前記処理ガス導入口から導入された処理ガスを拡散させる拡散室が形成された処理ガス供給機構本体と,
前記処理ガス供給機構本体の前記載置台側に積層され,前記処理ガス供給機構本体とは熱膨張率の異なる部材からなる電極板と,
前記処理ガスを前記拡散室から前記処理室内に供給する複数の処理ガス供給孔と,を備え,
前記各処理ガス供給孔は,前記板状部材に設けられたガス吐出孔と,前記処理ガス供給機構本体に設けられたガス噴出孔とにより構成し,
前記ガス噴出孔は,上流側に連通した前記拡散室から流入した処理ガスを,下流側に設けられたノズル部の噴出口から前記ガス吐出孔に向けて噴出するように構成するとともに,前記ノズル部の周りには,上流側が前記ガス供給機構本体と前記板状部材の境界に連通し,下流側が前記ガス吐出孔に合流する吸引流路を形成したことを特徴とする基板処理装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012069868A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング用の電極板及びプラズマエッチング処理装置 |
JP2016128593A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、ガス分散ユニット、半導体装置の製造方法およびプログラム |
KR20210096250A (ko) * | 2018-12-06 | 2021-08-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4900956B2 (ja) * | 2007-06-25 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給機構及び基板処理装置 |
CN102017168B (zh) * | 2008-06-06 | 2013-07-24 | 株式会社爱发科 | 薄膜太阳能电池制造装置 |
US9111728B2 (en) | 2011-04-11 | 2015-08-18 | Lam Research Corporation | E-beam enhanced decoupled source for semiconductor processing |
US8900403B2 (en) * | 2011-05-10 | 2014-12-02 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing system having multiple decoupled plasma sources |
US8980046B2 (en) | 2011-04-11 | 2015-03-17 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing system with source for decoupled ion and radical control |
US8900402B2 (en) * | 2011-05-10 | 2014-12-02 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing system having multiple decoupled plasma sources |
KR101947844B1 (ko) * | 2011-05-10 | 2019-02-13 | 램 리써치 코포레이션 | 다수의 디커플링된 플라즈마 소스들을 갖는 반도체 프로세싱 시스템 |
JP6100564B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2017-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び載置台 |
CN103972132B (zh) * | 2013-01-24 | 2017-07-11 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和载置台 |
JP6240712B1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-11-29 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
US10217626B1 (en) * | 2017-12-15 | 2019-02-26 | Mattson Technology, Inc. | Surface treatment of substrates using passivation layers |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283498A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Tokyo Electron Ltd | 減圧処理装置 |
JP2002252219A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2003332314A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-21 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6998014B2 (en) * | 2002-01-26 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for plasma assisted deposition |
JP3982678B2 (ja) | 2002-02-27 | 2007-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20040261712A1 (en) * | 2003-04-25 | 2004-12-30 | Daisuke Hayashi | Plasma processing apparatus |
US20050103265A1 (en) * | 2003-11-19 | 2005-05-19 | Applied Materials, Inc., A Delaware Corporation | Gas distribution showerhead featuring exhaust apertures |
US8317968B2 (en) * | 2004-04-30 | 2012-11-27 | Lam Research Corporation | Apparatus including gas distribution member supplying process gas and radio frequency (RF) power for plasma processing |
US7712434B2 (en) * | 2004-04-30 | 2010-05-11 | Lam Research Corporation | Apparatus including showerhead electrode and heater for plasma processing |
JP2007165512A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP4900956B2 (ja) * | 2007-06-25 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給機構及び基板処理装置 |
-
2007
- 2007-06-25 JP JP2007166863A patent/JP4900956B2/ja active Active
-
2008
- 2008-05-27 US US12/127,311 patent/US8221581B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283498A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Tokyo Electron Ltd | 減圧処理装置 |
JP2002252219A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2003332314A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-21 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012069868A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング用の電極板及びプラズマエッチング処理装置 |
US9117635B2 (en) | 2010-09-27 | 2015-08-25 | Tokyo Electron Limited | Electrode plate for plasma etching and plasma etching apparatus |
US9818583B2 (en) | 2010-09-27 | 2017-11-14 | Tokyo Electron Limited | Electrode plate for plasma etching and plasma etching apparatus |
JP2016128593A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、ガス分散ユニット、半導体装置の製造方法およびプログラム |
KR20210096250A (ko) * | 2018-12-06 | 2021-08-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 |
KR102607692B1 (ko) * | 2018-12-06 | 2023-11-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080314523A1 (en) | 2008-12-25 |
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US8221581B2 (en) | 2012-07-17 |
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