JP2009004679A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下部電極、第1,第2,第3の強誘電体膜および上部電極を順に形成する際(ステップS1〜S5)、第1,第3の強誘電体膜は、所定の元素を添加して、第2の強誘電体膜より薄く形成し、第2の強誘電体膜は、そのような元素を添加せずに形成する。これにより、元素添加による強誘電体キャパシタのスイッチング電荷量の低下を抑えつつ、その疲労特性やインプリント特性の向上、リーク電流の低減を図ることが可能になる。
【選択図】図1
Description
フラッシュメモリは、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)のゲート絶縁膜中にフローティングゲートが埋め込まれた構造を有し、そのフローティングゲートに電荷を蓄積することによって情報を記憶する。情報の書き込み/消去には絶縁膜を通過するトンネル電流を流す必要があり、比較的高い電圧を必要とする。
アプライド・フィジクス・レターズ(Applied Physics letters),2000年,Vol.77,No.19,p.3036 ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス(Japanese Journal of Applied Physics),1993年,Vol.32,No.9B,p.4168 ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス(Japanese Journal of Applied Physics),1994年,Vol.33,No.9B,p.5211
図1は強誘電体キャパシタの形成フローの一例を示す図、図2は強誘電体キャパシタの構成例を示す図である。
下部電極101としては、例えば、白金(Pt),イリジウム(Ir),ルテニウム(Ru),ロジウム(Rh),レニウム(Re),オスミウム(Os),パラジウム(Pd)等の貴金属膜や、そのような貴金属膜を2層以上積層したものを用いることができる。あるいは、それらのうち2種以上を含む合金膜や、そのような合金膜を2層以上積層したものを用いることもできる。
第1,第2,第3の強誘電体膜102a,102b,102cは、ABO3型ペロブスカイト構造またはBi層状構造の結晶となる材料を用いて形成される。例えば、PZTのほか、LaをドープしたPZT(PLZT)、チタン酸ビスマスランタン((Bi,La)4Ti3O12;BLT)、SBT、タンタル酸ニオブ酸ストロンチウムビスマス(SrBi2(Ta,Nb)2O9;SBTN)等を用いることができる。
まず、第1の実施の形態について説明する。
図3〜図11はFeRAMの各形成工程の説明図である。以下、順に説明する。
まず、n型またはp型のSi基板1に、トランジスタの活性領域を画定するSTI(Shallow Trench Isolation)2を形成する。なお、STI2に替えて、LOCOS(Local Oxidation of Silicon)法によって素子分離領域を形成してもよい。
次いで、スパッタ法により全面にコバルト(Co)等の高融点金属膜を形成し、加熱を行い、第1,第2のソース・ドレイン領域10a,10bおよびゲート電極5a,5bの表面をシリサイド化する。その後、全面にプラズマCVD法により膜厚200nmの酸化窒化シリコン(SiON)膜を形成してカバー絶縁膜12を形成し、カバー絶縁膜12上に、テトラエトキシシラン(TEOS)ガスを使用するプラズマCVD法により膜厚1000nmのSiO膜(第1の層間絶縁膜)13を形成する。そして、その第1の層間絶縁膜13の上面をCMP(Chemical Mechanical Polishing)法により研磨して平坦化する。なお、この平坦化後、第1の層間絶縁膜13の膜厚は、Si基板1の平坦面上から700nmとなる。
図4は下部電極形成工程の要部断面模式図である。
酸化防止膜21の形成まで行った後は、図4に示すように、その上に下部電極としてPt膜30を形成する。Pt膜30は、例えば、Arガス雰囲気中、0.2Paの圧力下、基板温度を400℃とし、0.5kWのスパッタパワーで、膜厚100nmで形成する。
Pt膜30の形成後は、強誘電体膜として、第1,第2,第3のPZT膜32a,32b,32cからなる3層構造のPZT膜32を形成する。
この第2のPZT膜32bの形成では、まず、Pb原料としてビスジピバロイルメタネート鉛(Pb(DPM)2)、Zr原料としてテトラキスジメチルへプタンジオネートジルコニウム(Zr(DMHD)4)、Ti原料としてビスイソプロポキシビスジピバロイルメタネートチタン(Ti(O−iPr)2(DPM)2)を用い、これらをそれぞれTHF溶媒中に0.3mol/Lの濃度で溶解し、Pb,Zr,Tiの各液体原料を準備する。次いで、これらの各液体原料を、MOCVD装置の気化器に、流量0.474mL/分のTHF溶媒と共に、それぞれ0.326mL/分、0.200mL/分、0.200mL/分の流量で供給して気化させる。それにより、Pb,Zr,Tiの各原料ガスを調製する。そして、例えば、ArガスとO2ガスの混合ガス雰囲気、圧力665Pa、基板温度を620℃に保持したチャンバに各原料ガスを導入し、620秒間作用させる。これにより、膜厚80nmの第2のPZT膜32bを形成する。
図7は上部電極形成工程の要部断面模式図である。
まず、PZT膜32上に、スパッタ法により、形成時点で結晶の、膜厚20nm〜70nm、例えば25nmのIrOX膜を形成する。例えば、形成温度300℃、140sccmのArガスと60sccmのO2ガスの混合ガス雰囲気中、1kW程度のスパッタパワーで、そのようなIrOX膜を形成する。
このようにしてIr/IrOY/IrOX積層構造の上部電極33を形成する。
上部電極33の形成後は、ウェハの背面洗浄を行った後、強誘電体キャパシタのパターニング用に、第1,第2のマスク層40a,40bからなるハードマスク40を形成する。このハードマスク40は、例えば、次のようにして形成する。
強誘電体キャパシタの形成後は、その強誘電体キャパシタを覆うように、保護膜として第1のALO膜41を形成する。この第1のALO膜41は、例えば、スパッタ法により、膜厚20nmで形成する。あるいはMOCVD法により、膜厚2nm〜5nmの第1のALO膜41を形成する。
第1のALO膜41の形成および回復アニール後は、第1のALO膜41上に、例えば、CVD法により、膜厚20nmの第2のALO膜42を形成する。
以上、FeRAMの形成フローについて説明したが、ここで、その強誘電体キャパシタを構成するPZT膜32の結晶構造について説明する。
上記第1の実施の形態では、図3に示したように、グルー膜18およびWプラグ19の形成段階において、まず第2の層間絶縁膜17にコンタクトホールを形成し、その後、全面にTi膜、TiN膜およびW膜を形成して、それらを第2の層間絶縁膜17が露出するようにCMP法により研磨(オーバー研磨)するようにした。そして、その後、下地導電膜20および酸化防止膜21を形成するようにした。
NH3プラズマ処理後、全面に、例えば、被処理ウェハとターゲットの間の距離を60mmに設定したスパッタ装置を用い、0.15PaのAr雰囲気中、基板温度20℃、2.6kWのスパッタパワーを35秒間供給することにより、(002)面に優先配向された膜厚100nmのTi膜を形成する。そして、N2ガス雰囲気中、650℃、60秒間のRTA処理を行い、(111)面に優先配向されたTiN膜からなる下地導電膜20を形成する。なお、下地導電膜20は、ここでは膜厚100nm程度となるが、凹部60の深さ等に応じ、膜厚100nm〜300nmの範囲で適宜設定することができる。また、下地導電膜20は、ここではTiN膜としたが、W膜、Si膜、Cu膜等で形成することもできる。
図14は第2の実施の形態のFeRAMの要部断面模式図である。
上記のようにして研磨およびNH3プラズマ処理まで行った後は、上記第1の実施の形態と同様のフローとなる。
この第2の実施の形態のFeRAMの形成方法によれば、平坦性および配向性の良い強誘電体キャパシタを備える、高性能で信頼性の高いFeRAMが得られるようになる。
上記第2の実施の形態では、図13に示したように、下地導電膜20の研磨後に、第2の層間絶縁膜17、グルー膜18およびWプラグ19がすべて下地導電膜20で覆われた状態になるようにした。
次に、第4の実施の形態について説明する。なお、この第4の実施の形態の説明においては、上記第1の実施の形態で述べた要素と同一の要素については同一の符号を付している。
この第4の実施の形態のFeRAMは、グルー膜14aおよびWプラグ15a上に下地導電膜20および酸化防止膜21を介して強誘電体キャパシタが形成され、その強誘電体キャパシタに直接配線72が形成されている点で、上記第1の実施の形態のFeRAMと相違する。このようなFeRAMは、次のようにして形成することができる。
以上、第1〜第4の実施の形態について説明したが、上記の強誘電体キャパシタの形成原理は、例示したようなスタック構造を採用したFeRAMのほか、プレーナ構造を採用したFeRAMにも、同様に適用可能である。
下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に第1の元素が添加された第1の強誘電体膜を形成する工程と、
前記第1の強誘電体膜上に第2の強誘電体膜を前記第1の強誘電体膜より厚く形成する工程と、
前記第2の強誘電体膜上に第2の元素が添加された第3の強誘電体膜を前記第2の強誘電体膜より薄く形成する工程と、
前記第3の強誘電体膜上に上部電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記第1の強誘電体膜の結晶化後、前記第2の強誘電体膜を形成することを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記4) 前記第1,第2,第3の強誘電体膜を、ABO3型ペロブスカイト構造を有する結晶で形成し、
前記第1,第2の元素は、前記結晶のAサイトまたはBサイトに添加されるSr,Ca,Ba,Na,K,Nb,Ta,W,Ir,Ru,希土類元素から選択される1種または2種以上であることを特徴とする付記1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記7) 強誘電体キャパシタを備える半導体装置において、
下部電極と、
前記下部電極上に形成され、第1の元素が添加された第1の強誘電体膜と、
前記第1の強誘電体膜上に前記第1の強誘電体膜より厚く形成された第2の強誘電体膜と、
前記第2の強誘電体膜上に前記第2の強誘電体膜より薄く形成され、第2の元素が添加された第3の強誘電体膜と、
前記第3の強誘電体膜上に形成された上部電極と、
を有することを特徴とする半導体装置。
前記第1,第2の元素は、ABO3型ペロブスカイト構造のAサイトまたはBサイトに添加されるSr,Ca,Ba,Na,K,Nb,Ta,W,Ir,Ru,希土類元素から選択される1種または2種以上であることを特徴とする付記7記載の半導体装置。
(付記10) 前記第1,第3の強誘電体膜は、膜厚が1nm〜30nmであることを特徴とする付記7〜9のいずれか1項に記載の半導体装置。
2 STI
3 pウェル
4a,4b ゲート絶縁膜
5a,5b ゲート電極
6a 第1のソース・ドレイン・エクステンション領域
6b 第2のソース・ドレイン・エクステンション領域
9a,9b サイドウォール
10a 第1のソース・ドレイン領域
10b 第2のソース・ドレイン領域
12 カバー絶縁膜
13 第1の層間絶縁膜
14a,14b,18,46a,46b,70 グルー膜
15a,15b,19,47a,47b,71 Wプラグ
16,21 酸化防止膜
17 第2の層間絶縁膜
20 下地導電膜
30 Pt膜
32 PZT膜
32a 第1のPZT膜
32b 第2のPZT膜
32c 第3のPZT膜
33,103 上部電極
40 ハードマスク
40a 第1のマスク層
40b 第2のマスク層
41 第1のALO膜
42 第2のALO膜
43 第3の層間絶縁膜
44 バリア膜
45 第4の層間絶縁膜
48,72 配線
48a,48c,72a,72c TiN/Ti積層膜
48b,72b AlCu合金膜
60 凹部
100 強誘電体キャパシタ
101 下部電極
102a 第1の強誘電体膜
102b 第2の強誘電体膜
102c 第3の強誘電体膜
Claims (6)
- 強誘電体キャパシタを備えた半導体装置の製造方法において、
下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に第1の元素が添加された第1の強誘電体膜を形成する工程と、
前記第1の強誘電体膜上に第2の強誘電体膜を前記第1の強誘電体膜より厚く形成する工程と、
前記第2の強誘電体膜上に第2の元素が添加された第3の強誘電体膜を前記第2の強誘電体膜より薄く形成する工程と、
前記第3の強誘電体膜上に上部電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の強誘電体膜を、スパッタ法によりアモルファス状態で成膜した後、不活性ガス雰囲気中、または不活性ガスと酸化性ガスとの混合ガス雰囲気中で熱処理を行って結晶化することにより形成し、
前記第1の強誘電体膜の結晶化後、前記第2の強誘電体膜を形成することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の強誘電体膜は、MOCVD法により形成されることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1,第2,第3の強誘電体膜を、ABO3型ペロブスカイト構造を有する結晶で形成し、
前記第1,第2の元素は、前記結晶のAサイトまたはBサイトに添加されるSr,Ca,Ba,Na,K,Nb,Ta,W,Ir,Ru,希土類元素から選択される1種または2種以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 強誘電体キャパシタを備える半導体装置において、
下部電極と、
前記下部電極上に形成され、第1の元素が添加された第1の強誘電体膜と、
前記第1の強誘電体膜上に前記第1の強誘電体膜より厚く形成された第2の強誘電体膜と、
前記第2の強誘電体膜上に前記第2の強誘電体膜より薄く形成され、第2の元素が添加された第3の強誘電体膜と、
前記第3の強誘電体膜上に形成された上部電極と、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1,第2,第3の強誘電体膜は、ABO3型ペロブスカイト構造を有する結晶であり、
前記第1,第2の元素は、ABO3型ペロブスカイト構造のAサイトまたはBサイトに添加されるSr,Ca,Ba,Na,K,Nb,Ta,W,Ir,Ru,希土類元素から選択される1種または2種以上であることを特徴とする請求項5記載の半導体装置。
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