JP2009004472A - 積層型ヒーターユニット - Google Patents
積層型ヒーターユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009004472A JP2009004472A JP2007162333A JP2007162333A JP2009004472A JP 2009004472 A JP2009004472 A JP 2009004472A JP 2007162333 A JP2007162333 A JP 2007162333A JP 2007162333 A JP2007162333 A JP 2007162333A JP 2009004472 A JP2009004472 A JP 2009004472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- heater unit
- intermediate member
- thermal conductivity
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【課題】積層方向の耐荷重性能を確保しつつ、良好な昇温性能を確保する積層型ヒーターユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】通電することで発熱する板状のヒーター部材26と、ヒーター部材26の一方の面に密着して設けられ、非導電性及びヒーター部材26の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有する第1中間部材30と、第1中間部材30の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、ウェハWと接する接触面36及び第1中間部材30よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材32と、ヒーター部材26の他方の面側に設けられたベース部材12と、ベース部材12とヒーター部材26との間に密着して設けられ、非導電性及びベース部材12よりも低い熱伝導率を有する第2中間部材18と、をヒーターユニット10が備えることで、積層方向の耐荷重性能が確保され、良好な昇温性能が確保される。
【選択図】図1
【解決手段】通電することで発熱する板状のヒーター部材26と、ヒーター部材26の一方の面に密着して設けられ、非導電性及びヒーター部材26の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有する第1中間部材30と、第1中間部材30の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、ウェハWと接する接触面36及び第1中間部材30よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材32と、ヒーター部材26の他方の面側に設けられたベース部材12と、ベース部材12とヒーター部材26との間に密着して設けられ、非導電性及びベース部材12よりも低い熱伝導率を有する第2中間部材18と、をヒーターユニット10が備えることで、積層方向の耐荷重性能が確保され、良好な昇温性能が確保される。
【選択図】図1
Description
本発明は、通電することで発熱するヒーター部材を備える積層型ヒーターユニットに関し、特には、半導体製造工程における半導体加熱装置に用いられる積層型ヒーターユニットに関する。
半導体(ウェハ)製造工程でウェハを加熱する加熱装置に用いられるヒーターユニットとしては、非導電性や耐熱性(耐熱衝撃性、耐熱応力)を向上させるためにウェハを載置する試料台と熱源であるヒーター部との間に隙間を介在させて、ヒーター部材からの輻射熱によってウェハを加熱する加熱方式が主流となっている(特許文献1参照)。また、ヒーターユニットの熱源であるヒーター部材に熱応力によるクラックが発生するのを抑制するため、スリット又は微小な開口を設ける技術が特許文献2に開示されている。
また、その他のウェハ加熱方式としては、試料台の下側に非導電部材を介してヒーター部材を設け、ヒーター部材からの熱伝導によってウェハを加熱する加熱方式がある。
特開2006−156119号公報
特開平7−296954号公報
また、その他のウェハ加熱方式としては、試料台の下側に非導電部材を介してヒーター部材を設け、ヒーター部材からの熱伝導によってウェハを加熱する加熱方式がある。
近年、ウェハ製造工程における加熱装置では、ウェハ同士を積層したり、ウェハの上にフィルム等を積層したりするため、これらの部材をプレス(加圧)しながら加熱できる加熱装置の要求が増えてきている。
しかしながら、前述した輻射熱を利用するヒーターユニットでは試料台とヒーター部材との間に隙間が介在するため、プレスによる面荷重に耐えられない虞がある。
また、熱伝導を利用するヒーターユニットでは、ヒーター部材と試料台との間に隙間が介在されないため輻射熱を利用するヒーターユニットよりもプレスによる面荷重に耐えられるが、ヒーターユニットの昇温性能が試料台及び非導電部材の各材質(特に熱伝導率)によって大きく左右される問題点がある。
このため、市場では、プレスにおける面荷重に耐えつつ、良好な昇温性能が得られるヒーターユニットの登場が期待されている。
また、熱伝導を利用するヒーターユニットでは、ヒーター部材と試料台との間に隙間が介在されないため輻射熱を利用するヒーターユニットよりもプレスによる面荷重に耐えられるが、ヒーターユニットの昇温性能が試料台及び非導電部材の各材質(特に熱伝導率)によって大きく左右される問題点がある。
このため、市場では、プレスにおける面荷重に耐えつつ、良好な昇温性能が得られるヒーターユニットの登場が期待されている。
本発明の目的は、上記事実を考慮して、積層方向の耐荷重性能を確保しつつ、良好な昇温性能を確保する積層型ヒーターユニットを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明の請求項1に係る積層型ヒーターユニットは、通電することで発熱する板状のヒーター部材と、前記ヒーター部材の一方の面に密着して設けられ、非導電性及び前記ヒーター部材の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有する第1の中間部材と、前記第1の中間部材の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、被加熱体と接する接触面、及び前記第1の中間部材よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材と、前記ヒーター部材の他方の面側に設けられたベース部材と、前記ベース部材と前記ヒーター部材との間に密着して設けられ、非導電性及び前記ベース部材よりも低い熱伝導率を有する第2の中間部材と、を備えることを特徴としている。
次に請求項1に記載の積層型ヒーターユニットの作用について説明する。
被加熱体を伝熱部材の接触面に接触させた状態で通電してヒーター部材を発熱させることで、熱が第1の中間部材及び伝熱部材を介して被加熱体へと伝熱し、被加熱体が加熱される。ここで、ベース部材、第2の中間部材、ヒーター部材、第1の中間部材及び伝熱部材が積層された構造のため、従来の隙間が介在される輻射熱を利用したヒーターユニットよりも積層方向に対する耐荷重性能が大きく確保される。また、第1の中間部材が非導電性及び、ヒーター部材の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有し、伝熱部材が第1の中間部材よりも高い熱伝導率を有することから、被加熱体に電気を流すことなく、効率よく熱伝導することができ、良好な昇温性能が確保される。
従って、本発明の積層型ヒーターユニットは、積層方向の耐荷重性能が確保されると共に、良好な昇温性能が確保される。
被加熱体を伝熱部材の接触面に接触させた状態で通電してヒーター部材を発熱させることで、熱が第1の中間部材及び伝熱部材を介して被加熱体へと伝熱し、被加熱体が加熱される。ここで、ベース部材、第2の中間部材、ヒーター部材、第1の中間部材及び伝熱部材が積層された構造のため、従来の隙間が介在される輻射熱を利用したヒーターユニットよりも積層方向に対する耐荷重性能が大きく確保される。また、第1の中間部材が非導電性及び、ヒーター部材の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有し、伝熱部材が第1の中間部材よりも高い熱伝導率を有することから、被加熱体に電気を流すことなく、効率よく熱伝導することができ、良好な昇温性能が確保される。
従って、本発明の積層型ヒーターユニットは、積層方向の耐荷重性能が確保されると共に、良好な昇温性能が確保される。
なお、第1の中間部材の熱伝導率がヒーター部材の熱伝導率の0.3倍未満だと昇温時間や均熱性等の温度特性に影響し、熱膨張率によっては温度差による破損につながる。熱伝導率が0.7倍を超える場合には金属などの部材も考えられるが、金属は熱膨張率が高く変形による破損が生じる虞がある。また、第1の中間部材は非導電性が条件となるため金属等の導電性を有する部材を用いることは望ましくない。
従って、第1の中間部材の熱伝導率をヒーター部材の熱伝導率の0.3〜0.7倍とすることが好ましい。
従って、第1の中間部材の熱伝導率をヒーター部材の熱伝導率の0.3〜0.7倍とすることが好ましい。
本発明の請求項2に係る積層型ヒーターユニットは、請求項1に記載の積層型ヒーターユニットにおいて、前記第1の中間部材の熱伝導率は、80W/m・k以上であることを特徴としている。
次に、請求項2に記載の積層型ヒーターユニットの作用について説明する。
第1の中間部材の熱伝導率が80W/m・k未満の場合には、良好な昇温性能を大きく確保することが難しく、80W/m・k以上の場合には、より良好な昇温性能を大きく確保することができる。
第1の中間部材の熱伝導率が80W/m・k未満の場合には、良好な昇温性能を大きく確保することが難しく、80W/m・k以上の場合には、より良好な昇温性能を大きく確保することができる。
本発明の請求項3に係る積層型ヒーターユニットは、請求項1又は請求項2に記載の積層型ヒーターユニットにおいて、前記ヒーター部材が炭化ケイ素を含む材料から構成されることを特徴としている。
次に、請求項3に記載の積層型ヒーターユニットの作用について説明する。
炭化ケイ素は高い耐熱性及び高い熱伝導率を有している。このため、ヒーター部材を炭化ケイ素が含まれる材料で構成することでクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能を向上させることができる。
炭化ケイ素は高い耐熱性及び高い熱伝導率を有している。このため、ヒーター部材を炭化ケイ素が含まれる材料で構成することでクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能を向上させることができる。
本発明の請求項4に係る積層型ヒーターユニットは、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の積層型ヒーターユニットにおいて、前記第1の中間部材が窒化アルミニウムを含む材料から構成されることを特徴としている。
次に、請求項4に記載の積層型ヒーターユニットの作用について説明する。
窒化アルミニウムは高い熱伝導率及び低い熱膨張率を有している。このため、第1の中間部材を窒化アルミニウムが含まれる材料で構成することでクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能を向上させることができる。また、第1の中間部材は熱膨張率が低いため、熱応力によって第1の中間部材にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
窒化アルミニウムは高い熱伝導率及び低い熱膨張率を有している。このため、第1の中間部材を窒化アルミニウムが含まれる材料で構成することでクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能を向上させることができる。また、第1の中間部材は熱膨張率が低いため、熱応力によって第1の中間部材にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
本発明の請求項5に係る積層型ヒーターユニットは、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の積層型ヒーターユニットにおいて、前記第2の中間部材は、前記伝熱部材へ前記ヒーター部材及び前記第1の中間部材を貫通して延び、先端側が前記伝熱部材に取り付けられる1つの支持部材を有することを特徴としている。
次に、請求項5に記載の積層型ヒーターユニットの作用について説明する。
ヒーター部材及び第1の中間部材は、これらの部材を貫通する支持部材によって一点で支持されるためヒーター部材及び第1の中間部材に熱膨張が生じたとしても、これらの部材は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。また同様に、伝熱部材は、支持部材によって一点で支持されるため伝熱部材に熱膨張が生じたとしても、伝熱部材は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。従って熱応力によってこれらの部材にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
ヒーター部材及び第1の中間部材は、これらの部材を貫通する支持部材によって一点で支持されるためヒーター部材及び第1の中間部材に熱膨張が生じたとしても、これらの部材は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。また同様に、伝熱部材は、支持部材によって一点で支持されるため伝熱部材に熱膨張が生じたとしても、伝熱部材は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。従って熱応力によってこれらの部材にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
本発明の積層型ヒーターユニットは、積層方向の耐荷重性能が確保されると共に、良好な昇温性能が確保される。
[第1の実施形態]
(構成)図1及び図2にしたがって、本発明の積層型ヒーターユニットの一実施形態を説明する。図1は本実施形態の積層型ヒーターユニットを積層方向に沿って切断した断面を示す部分断面図であり、図2は、ヒーター部材の平面図である。
(構成)図1及び図2にしたがって、本発明の積層型ヒーターユニットの一実施形態を説明する。図1は本実施形態の積層型ヒーターユニットを積層方向に沿って切断した断面を示す部分断面図であり、図2は、ヒーター部材の平面図である。
図1に示すように、本実施形態の積層型ヒーターユニット10(以下、ヒーターユニット10)は、円盤状のベース部材12、円盤状の第2中間部材18、円盤状のヒーター部材26、円盤状の第1中間部材30及び伝熱部材32の順で各部材を密着して積層した略円柱状の積層体である。なお、ヒーターユニット10の軸Lは各部材の軸と一致している。また、ヒーターユニット10の積層方向を矢印Yで示すものとする。
ベース部材12の外周縁部には、第2中間部材18の外周端部を囲うように突起部14が形成されている。この突起部14は第2中間部材18が軸Lと直交する方向へ移動するのを制限している。なお、本実施形態の突起部14は第2中間部材18の外周縁部に沿って連続して形成されているが、この構成に限定される必要は無く、第2中間部材18が軸Lと直交する方向へ移動するのが制限できれば突起部14の数や形状は特定されないものとする。
第2中間部材18は、ベース部材12(本実施形態での材質は石英。)よりも低い熱伝導率を有している。この第2中間部材18の熱伝導率は、具体的には、後述するヒーター部材26からベース部材12への熱伝導を抑制できる程度の熱伝導率に設定することが好ましい(例えば、1.1〜37W/m・k)。また、この第2中間部材18(本実施形態での材質はセラミックス。)は非導電性を有している。なお、ここで言う非導電性を有するとは、電気抵抗率が1.E+07Ω・m以上となる性質を有することを意味している。
ヒーター部材26は給電用の第1端子電極28A及び第2端子電極28Bを有している。第1端子電極28A及び第2端子電極28Bは、夫々の一端側がヒーター部材26に接続され、夫々の他端側がベース部材12及び第2中間部材18に設けられた夫々の貫通孔16、貫通孔20を通って図示しない外部の電源に接続されている。また、ヒーター部材26は炭化ケイ素を含む材料から構成されている。なお、本実施形態のヒーター部材26は炭化ケイ素焼結体であり、このヒーター部材26に対する炭化ケイ素の比率は97〜99.99%とすることが好ましい。
また、本実施形態では均熱性を考慮してヒーター部材26の形状を図2に示すような円形状の面に円弧状の溝が中心部から外周縁部に向けて所定の間隔で複数形成された形状としているが、良好な均熱性が得られれば、ヒーター部材26の形状は特定されないものとする。
また、本実施形態では均熱性を考慮してヒーター部材26の形状を図2に示すような円形状の面に円弧状の溝が中心部から外周縁部に向けて所定の間隔で複数形成された形状としているが、良好な均熱性が得られれば、ヒーター部材26の形状は特定されないものとする。
第1中間部材30は、非導電性を有している。また、第1中間部材30はヒーター部材26の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有し、且つ80W/m・k以上の熱伝導率を有している。さらに、第1中間部材30は窒化アルミニウムを含む材料から構成されている。なお、本実施形態の第1中間部材30は窒化アルミニウム焼結体であり、この第1中間部材30に対する窒化アルミニウムの比率は94〜99%とすることが好ましい。
伝熱部材32は、第1中間部材30側と密着した面と反対側の面が被加熱体(本実施形態では、ウェハ)Wと接する平らな接触面36となっている。また、伝熱部材32は第1中間部材30よりも高い熱伝導率(好ましくは、ヒーター部材26以上)を有している。なお、本実施形態の伝熱部材32は炭化ケイ素焼結体である。また、この伝熱部材32に対する炭化ケイ素の比率は97〜99.99%とすることが好ましい。
また、図1に示すように、第2中間部材18の中央部から伝熱部材32の中央部へ向けて円柱状の支持部材22が一体的に延設されている。この支持部材22は、ヒーター部材26及び第1中間部材30を貫通している。これらの貫通された各部材の中央部には支持部材22と同径又は大径な貫通孔が夫々形成されている。また、この支持部材22の伝熱部材32側には伝熱部材32に設けられた凹部34に嵌入可能な凸部24が形成され、この凸部24に凹部34を嵌入させることで、伝熱部材32が固定されて第2中間部材18と伝熱部材32との間に各部材が挟み込まれて固定される。
(作用)次に本実施形態のヒーターユニット10の作用について説明する。ヒーターユニット10がウェハ製造工程の加熱装置に用いられた場合、被加熱体(本実施形態では図1に示す円板状のウェハ(二点鎖線))Wを伝熱部材32の接触面36に接触させた状態で、端子電極28Aから端子電極28Bへ通電してヒーター部材26を発熱させることで、その熱が第1中間部材18及び伝熱部材32を介してウェハWへと伝熱し、ウェハWが加熱される。
ここで、ベース部材12、第2中間部材18、ヒーター部材26、第1中間部材30及び伝熱部材32が密着して積層された構造のため、例えばウェハWを2枚重ねにして図示しないプレス機構と接触面36とでウェハWをプレス(プレス方向は伝熱部材32からベース部材12への方向、即ちヒーターユニット10の積層方向)しても荷重に対して十分に耐えられると共に、このプレス状態でウェハWを加熱することができる。
ここで、ベース部材12、第2中間部材18、ヒーター部材26、第1中間部材30及び伝熱部材32が密着して積層された構造のため、例えばウェハWを2枚重ねにして図示しないプレス機構と接触面36とでウェハWをプレス(プレス方向は伝熱部材32からベース部材12への方向、即ちヒーターユニット10の積層方向)しても荷重に対して十分に耐えられると共に、このプレス状態でウェハWを加熱することができる。
また、第1中間部材30が非導電性及び、ヒーター部材26の0.3〜0.7倍且つ80W/m・k以上の熱伝導率を有し、伝熱部材32が第1中間部材30よりも高い熱伝導率を有することから、ウェハWに電気を流すことなく、効率よく熱伝導することができ、良好な昇温性能が確保される。このとき、ヒーター部材26、第1中間部材30及び伝熱部材32の各部材間における温度差が減少するため、熱応力によってヒーター部材26、第1中間部材30及び伝熱部材32にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
従って、ヒーターユニット10は、積層方向の耐荷重性能が確保されると共に、良好な昇温性能が確保される。
従って、ヒーターユニット10は、積層方向の耐荷重性能が確保されると共に、良好な昇温性能が確保される。
なお、第1中間部材30の熱伝導率がヒーター部材26の熱伝導率の0.3倍未満だと昇温時間や均熱性等の温度特性に影響し、熱膨張率によっては温度差による破損につながる。また、熱伝導率が0.7倍を超える場合には第1中間部材30として金属などの部材も考えられるが、金属は熱膨張率が高く変形による破損が生じる虞がある。また、第1中間部材30は非導電性が条件となるため、例えば金属等の導電性を有する部材を用いることは望ましくない。従って、第1中間部材30の熱伝導率をヒーター部材26の熱伝導率の0.3〜0.7倍とすることが好ましい。
また、第1中間部材30の熱伝導率が80W/m・k未満の場合には、良好な昇温性能を大きく確保することが難しいが、80W/m・k以上の場合には、より良好な昇温性能を大きく確保することができる。
さらに、ヒーター部材26が炭化ケイ素を含む材料(炭化ケイ素焼結体)で構成されているためクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能を向上させることができる。またさらに、第1中間部材30が窒化アルミニウムを含む材料(窒化アルミニウム焼結体)で構成されているためクラック等の破損を生じさせずに急速昇温性能をさらに向上させることができる。そして、第1中間部材30は熱膨張率が低いため、熱応力によって第1中間部材30にクラック等の破損が生じるのが抑制される。
ヒーター部材26及び第1中間部材30は、これらの部材を貫通する支持部材22によって一点で支持されるためヒーター部材26及び第1中間部材30に熱膨張が生じたとしても、これらの部材は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。また同様に、伝熱部材32は、支持部材22によって一点で支持されるため伝熱部材32に熱膨張が生じたとしても、伝熱部材32は積層方向と直交する方向には拘束されない、即ち膨張することができるため熱応力が緩和されて、クラック等の破損が生じるのが抑制される。
[その他の実施形態]
第1の実施形態では、支持部材22を用いてヒーター部材26及び第1中間部材30を支持する構成としたが、この構成に限定される必要は無く、図3に示すように、各部材が互いに凹凸を有してその凹及び凸を嵌め込むことでヒーターユニット10が形成される構成であっても良いものとする。
第1の実施形態では、支持部材22を用いてヒーター部材26及び第1中間部材30を支持する構成としたが、この構成に限定される必要は無く、図3に示すように、各部材が互いに凹凸を有してその凹及び凸を嵌め込むことでヒーターユニット10が形成される構成であっても良いものとする。
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されることは無く、特許請求の範囲に含まれる範囲で各種変更して実施可能であることは言うまでもない。
[試験例]
本発明の積層型ヒーターユニット(以下、ヒーターユニット)の昇温性能を調べるために以下の条件で試験を実施した。この試験には、第1の実施形態に係るヒーターユニットを使用し、このヒーターユニットによって加熱されたウェハ(被加熱体)の温度を測定した。なお、ウェハの温度は、ウェハ内に複数の熱電対を埋め込んで測定したものである。この試験は、クリーンルーム内のチャンバーによって行われ、試験時の室温は23°C程度であった。また、試験に使用したヒーターユニットのヒーター部材の熱伝導率は230W/m・k、第1中間部材の熱伝導率は150W/m・k、伝熱部材の熱伝導率は230W/m・kであった。
本発明の積層型ヒーターユニット(以下、ヒーターユニット)の昇温性能を調べるために以下の条件で試験を実施した。この試験には、第1の実施形態に係るヒーターユニットを使用し、このヒーターユニットによって加熱されたウェハ(被加熱体)の温度を測定した。なお、ウェハの温度は、ウェハ内に複数の熱電対を埋め込んで測定したものである。この試験は、クリーンルーム内のチャンバーによって行われ、試験時の室温は23°C程度であった。また、試験に使用したヒーターユニットのヒーター部材の熱伝導率は230W/m・k、第1中間部材の熱伝導率は150W/m・k、伝熱部材の熱伝導率は230W/m・kであった。
真空1pa下でのヒーターユニットの昇温性能試験。
まず、ヒーターユニットのヒーター部材に500°C/20分の指令を出す。このとき、ヒーター部材が目標温度に到達するまでのヒーター部材の出力は3.6kwであり、昇温レートは0.36°C/secであった。この結果を図4に示す。
なお、図4中の実線はヒーター部材の温度を示し、二点鎖線はウェハの温度(複数の熱電対の平均温度)を示しており、実線(ヒーター部材の温度)と二点鎖線(ウェハの温度)との間の開きが温度差を表している。すなわち、この開き(温度差)が小さいほどヒーター部材からウェハまでの熱ロスが少ないことを意味している。
まず、ヒーターユニットのヒーター部材に500°C/20分の指令を出す。このとき、ヒーター部材が目標温度に到達するまでのヒーター部材の出力は3.6kwであり、昇温レートは0.36°C/secであった。この結果を図4に示す。
なお、図4中の実線はヒーター部材の温度を示し、二点鎖線はウェハの温度(複数の熱電対の平均温度)を示しており、実線(ヒーター部材の温度)と二点鎖線(ウェハの温度)との間の開きが温度差を表している。すなわち、この開き(温度差)が小さいほどヒーター部材からウェハまでの熱ロスが少ないことを意味している。
窒素雰囲気下でのヒーターユニットの昇温性能試験。
まず、ヒーターユニットのヒーター部材に450°C/10分の指令を出す。このとき、ヒーター部材が目標温度に到達するまでのヒーター部材の出力を夫々3.6kw、7.5kw、11.2kwとした。このとき、このヒーター部材の出力に対応するヒーター部材の昇温レートは夫々3.6kw、7.5kw、11.2kwであった。この測定結果を表1及び、図5〜図7に示す。
なお、図5〜図7中の実線、及び二点鎖線は、真空1pa下でのヒーターユニットの昇温性能試験と同様に、実線がヒーター部材の温度を示し、二点鎖線がウェハの温度(複数の熱電対の平均温度)を示している。また、実線と二点鎖線との間の開きが温度差を表し、この開きが小さいほど熱ロスが少ないことを意味している。
まず、ヒーターユニットのヒーター部材に450°C/10分の指令を出す。このとき、ヒーター部材が目標温度に到達するまでのヒーター部材の出力を夫々3.6kw、7.5kw、11.2kwとした。このとき、このヒーター部材の出力に対応するヒーター部材の昇温レートは夫々3.6kw、7.5kw、11.2kwであった。この測定結果を表1及び、図5〜図7に示す。
なお、図5〜図7中の実線、及び二点鎖線は、真空1pa下でのヒーターユニットの昇温性能試験と同様に、実線がヒーター部材の温度を示し、二点鎖線がウェハの温度(複数の熱電対の平均温度)を示している。また、実線と二点鎖線との間の開きが温度差を表し、この開きが小さいほど熱ロスが少ないことを意味している。
表1の結果から、窒素雰囲気下では、ヒーター部材の出力が増加するのに比例して昇温時間が短くなっていることが分かる。またヒーター部材の出力の増加傾向と昇温レートの増加傾向が近似していることから本発明の積層型ヒーターユニットが良好な昇温性能を確保していることが分かる。
なお、図5〜図7に示すように、真空1pa下と、窒素雰囲気下とで均熱性が異なるのは、本発明の積層型ヒーターユニットは、複数の部材を積層させた構造体であることから、部材間に空気層(隙間)が少なからず存在することに起因している。
このため、真空の場合(図4参照)はヒーター部材に500°Cの指令を出しても、空気層だった部分が断熱層となって熱ロスとなり、ウェハ温度は約400°Cとなってしまうのに対して、大気圧(窒素雰囲気)の場合(図5〜図7参照)はこの空気層が対流熱伝導となって熱ロスが少なくなるため、ヒーター部材に500°Cの指令を出すとウェハ温度は約450°Cとなり温度差がほぼなくなる。
このため、真空の場合(図4参照)はヒーター部材に500°Cの指令を出しても、空気層だった部分が断熱層となって熱ロスとなり、ウェハ温度は約400°Cとなってしまうのに対して、大気圧(窒素雰囲気)の場合(図5〜図7参照)はこの空気層が対流熱伝導となって熱ロスが少なくなるため、ヒーター部材に500°Cの指令を出すとウェハ温度は約450°Cとなり温度差がほぼなくなる。
10 ヒーターユニット(積層型ヒーターユニット)
12 ベース部材
18 第2中間部材(第2の中間部材)
22 支持部材
26 ヒーター部材
30 第1中間部材(第1の中間部材)
32 伝熱部材
36 接触面
W ウェハ(被加熱体)
12 ベース部材
18 第2中間部材(第2の中間部材)
22 支持部材
26 ヒーター部材
30 第1中間部材(第1の中間部材)
32 伝熱部材
36 接触面
W ウェハ(被加熱体)
Claims (5)
- 通電することで発熱する板状のヒーター部材と、
前記ヒーター部材の一方の面に密着して設けられ、非導電性及び前記ヒーター部材の0.3〜0.7倍の熱伝導率を有する第1の中間部材と、
前記第1の中間部材の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、被加熱体と接する接触面、及び前記第1の中間部材よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材と、
前記ヒーター部材の他方の面側に設けられたベース部材と、
前記ベース部材と前記ヒーター部材との間に密着して設けられ、非導電性及び前記ベース部材よりも低い熱伝導率を有する第2の中間部材と、
を備えることを特徴とする積層型ヒーターユニット。 - 前記第1の中間部材の熱伝導率は、80W/m・k以上であることを特徴とする請求項1に記載の積層型ヒーターユニット。
- 前記ヒーター部材が炭化ケイ素を含む材料から構成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の積層型ヒーターユニット。
- 前記第1の中間部材が窒化アルミニウムを含む材料から構成されることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の積層型ヒーターユニット。
- 前記第2の中間部材は、前記伝熱部材へ前記ヒーター部材及び前記第1の中間部材を貫通して延び、先端側が前記伝熱部材に取り付けられる1つの支持部材を有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の積層型ヒーターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007162333A JP2009004472A (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 積層型ヒーターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007162333A JP2009004472A (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 積層型ヒーターユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009004472A true JP2009004472A (ja) | 2009-01-08 |
Family
ID=40320561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007162333A Pending JP2009004472A (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 積層型ヒーターユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009004472A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101141154B1 (ko) * | 2009-09-21 | 2012-07-13 | 세메스 주식회사 | 기판 가열 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그리고 이를 이용한 기판 처리 방법 |
JP2016508288A (ja) * | 2012-12-14 | 2016-03-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板処理チャンバ構成要素用の熱放射バリア |
CN112038256A (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-04 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 加热装置和键合装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005286107A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 加熱装置 |
JP2006140367A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置用加熱体およびこれを搭載した加熱装置 |
-
2007
- 2007-06-20 JP JP2007162333A patent/JP2009004472A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005286107A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 加熱装置 |
JP2006140367A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置用加熱体およびこれを搭載した加熱装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101141154B1 (ko) * | 2009-09-21 | 2012-07-13 | 세메스 주식회사 | 기판 가열 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그리고 이를 이용한 기판 처리 방법 |
JP2016508288A (ja) * | 2012-12-14 | 2016-03-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板処理チャンバ構成要素用の熱放射バリア |
US10177014B2 (en) | 2012-12-14 | 2019-01-08 | Applied Materials, Inc. | Thermal radiation barrier for substrate processing chamber components |
CN112038256A (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-04 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 加热装置和键合装置 |
CN112038256B (zh) * | 2019-06-04 | 2023-06-09 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 加热装置和键合装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4421595B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP5117146B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP5447123B2 (ja) | ヒータユニット及びそれを備えた装置 | |
JP6666717B2 (ja) | セラミックス部材 | |
JP6239894B2 (ja) | 静電チャック | |
JP6325424B2 (ja) | 静電チャック | |
JP2007258615A (ja) | 静電チャック | |
KR20110128722A (ko) | 고주파 전극의 접속 방법을 개선한 웨이퍼 유지체 및 그것을 탑재한 반도체 제조 장치 | |
JP6392961B2 (ja) | 静電チャック | |
JP4686996B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP2009004472A (ja) | 積層型ヒーターユニット | |
TW200541378A (en) | Heating device | |
JP2016174114A (ja) | 熱電変換モジュール | |
CN113039863B (zh) | 静电卡盘加热器 | |
JP5367232B2 (ja) | セラミックスヒーター | |
JP4436575B2 (ja) | ウエハ支持部材及びその製造方法 | |
JP6158634B2 (ja) | 静電チャック | |
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
CN112840741B (zh) | 陶瓷加热器 | |
JP3568194B2 (ja) | 半導体熱処理用セラミックヒーター | |
JP2003045765A (ja) | ウェハ支持部材 | |
JP7109262B2 (ja) | 電極埋設部材 | |
JP4307237B2 (ja) | 膜状ヒータとその製造方法 | |
JP2009176569A (ja) | セラミックスヒータ及びその製造方法 | |
JP4646502B2 (ja) | ウェハ支持部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20100609 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20121220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130507 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |