JP2009004245A - 透過電子顕微鏡の収差補正方法 - Google Patents
透過電子顕微鏡の収差補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009004245A JP2009004245A JP2007164699A JP2007164699A JP2009004245A JP 2009004245 A JP2009004245 A JP 2009004245A JP 2007164699 A JP2007164699 A JP 2007164699A JP 2007164699 A JP2007164699 A JP 2007164699A JP 2009004245 A JP2009004245 A JP 2009004245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- electron microscope
- transmission electron
- relaxation
- mode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【解決手段】照射系Csコレクターを搭載した透過電子顕微鏡において、モードをTEM系からSTEM系に変化させた場合に、透過電子顕微鏡を構成するレンズに所定の値を中心として正負にその振幅が漸次減少していくような所定の周波数によるレンズ緩和処理を行なう、ように構成する。
【選択図】図5
Description
(2)請求項2記載の発明は、前記レンズ緩和処理は、印加する交流周波数の滞留時間と、緩和幅と、最大緩和変化量を設定し、TEMモードからSTEMモードに移行する際に、目的のレンズに対してレンズ緩和をスタートさせ、現状値から最大変化量をマイナス方向或いはプラス方向に動かし、その後、最大振幅から漸次最小振幅になるように所定の周波数で最大値から現状値まで交流信号を印加させる、ものであることを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記レンズ緩和処理において、それぞれの振幅の交流の山及び谷で一定時間の滞留時間だけ、設定値を保持することを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明は、前記レンズ緩和処理を行なった後、現状値にセットし、目的の像観察を行なうことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、透過電子顕微鏡を構成する特定のレンズに対してレンズ緩和処理を行なうことにより、ヒステリシスの影響を除去することができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、レンズに印加する徐々に振幅が小さくなる交流信号の山と谷において、一定期間の滞留時間を設け、滞留時間の間だけ設定値を保留することにより、レンズ緩和を好ましい状態で行なうことができる。
(4)請求項4記載の発明によれば、レンズ緩和を行なった後に、像観察を行なうことにより、正確な透過電子像を得ることができる。
1)デガウス(Degauss)法
従来の方法は、電流(電圧)をプラスマイナスに振る必要があるため、片側のみしか励磁できないような電気的回路の場合には適用できない。また、励磁を0付近で電気的に振動させるため、温度変化によるドリフトが大きくなる可能性がある。
2)レンズ緩和(Lense Relaxation)法
今回、本発明で提案する方法である。STEMモードで、使用するCMの値(現状値)を中心にして電圧を振動させる方法である。これにより、レンズを構成する磁気回路の磁区が安定化され、再現性よく同じ磁場を実現することができる。そして、温度ドリフトも最小限に抑えることができる。
2 コンデンサレンズ
3 コンデンサレンズ
4 偏向器
5 偏向器
6 コンデンサミニレンズ(CM)
7 対物プレフィールド
8 試料
10 収差補正器(コレクター)
11 トランスファレンズ
12 多極子
13 トランスファレンズ
14 トランスファレンズ
15 多極子
16 トランスファレンズ
Claims (4)
- 照射系Csコレクターを搭載した透過電子顕微鏡において、
モードをTEM系からSTEM系に変化させた場合に、透過電子顕微鏡を構成するレンズに所定の値を中心として正負にその振幅が漸次減少していくような所定の周波数によるレンズ緩和処理を行なう、
ようにしたことを特徴とする透過電子顕微鏡の収差補正方法。 - 前記レンズ緩和処理は、
印加する交流周波数の滞留時間と、緩和幅と、最大緩和変化量を設定し、
TEMモードからSTEMモードに移行する際に、目的のレンズに対してレンズ緩和をスタートさせ、
現状値から最大変化量をマイナス方向或いはプラス方向に動かし、
その後、最大振幅から漸次最小振幅になるように所定の周波数で最大変化量が現状値になるもで交流信号を印加させる、
ものであることを特徴とする請求項1記載の透過電子顕微鏡の収差補正方法。 - 前記レンズ緩和処理において、それぞれの振幅の交流の山及び谷で一定時間の滞留時間だけ、設定値を保持することを特徴とする請求項2記載の透過電子顕微鏡の収差補正方法。
- 前記レンズ緩和処理を行なった後、現状値にセットし、目的の像観察を行なうことを特徴とする請求項3記載の透過電子顕微鏡の収差補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007164699A JP2009004245A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 透過電子顕微鏡の収差補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007164699A JP2009004245A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 透過電子顕微鏡の収差補正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009004245A true JP2009004245A (ja) | 2009-01-08 |
Family
ID=40320399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007164699A Pending JP2009004245A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 透過電子顕微鏡の収差補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009004245A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56116258A (en) * | 1980-02-15 | 1981-09-11 | Jeol Ltd | Electron lens device |
JPH04328232A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-11-17 | Philips Gloeilampenfab:Nv | 荷電粒子ビーム装置 |
JPH09243697A (ja) * | 1996-03-05 | 1997-09-19 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 直流地絡検出装置 |
JP2003187732A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-07-04 | Jeol Ltd | 磁界型レンズの消磁方法及び消磁回路 |
JP2006269101A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
-
2007
- 2007-06-22 JP JP2007164699A patent/JP2009004245A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56116258A (en) * | 1980-02-15 | 1981-09-11 | Jeol Ltd | Electron lens device |
JPH04328232A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-11-17 | Philips Gloeilampenfab:Nv | 荷電粒子ビーム装置 |
JPH09243697A (ja) * | 1996-03-05 | 1997-09-19 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 直流地絡検出装置 |
JP2003187732A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-07-04 | Jeol Ltd | 磁界型レンズの消磁方法及び消磁回路 |
JP2006269101A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3985057B2 (ja) | 粒子光学機器のレンズ収差補正用補正装置 | |
JP6173862B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
US8217352B2 (en) | Ponderomotive phase plate for transmission electron microscopes | |
JP4851268B2 (ja) | 収差補正方法および電子線装置 | |
JP4829584B2 (ja) | 電子線装置の自動調整方法及び電子線装置 | |
JP6901572B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP5952048B2 (ja) | イオンビーム装置 | |
JP2009004245A (ja) | 透過電子顕微鏡の収差補正方法 | |
JP4328192B2 (ja) | 荷電粒子光学系における多極場発生装置および収差補正装置 | |
JP2002184336A (ja) | 荷電粒子線顕微鏡装置、荷電粒子線応用装置、荷電粒子線顕微方法、荷電粒子線検査方法、及び電子顕微鏡装置 | |
JP6777821B2 (ja) | 収差補正装置及び荷電粒子線装置 | |
JPS6312347B2 (ja) | ||
WO2021229732A1 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の制御方法 | |
JP6163255B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び球面収差補正方法 | |
JP6339734B2 (ja) | 荷電粒子線応用装置、及び、収差補正器 | |
JPH0255899B2 (ja) | ||
WO2019234787A1 (ja) | 電子線装置 | |
JP6318157B2 (ja) | 荷電粒子線レンズモジュール及びそれを備えた荷電粒子線装置 | |
JP2019057384A (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の制御方法 | |
JP5228463B2 (ja) | 電子線装置、電子線形状測定方法及び画像処理方法 | |
JP5502794B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2017011270A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 | |
JP2008097902A (ja) | 電子ビーム装置及び該装置を用いた非点収差調整方法 | |
JP4980628B2 (ja) | 自動遷移ボタンを用いたヒステリシス除去方法 | |
JPH05283028A (ja) | 荷電粒子ビーム装置における像信号処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100305 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120620 |