JP2009002606A - 蒸気発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】透明シリカガラスからなり、かつ耐圧性能の優れた加熱管を備えた蒸気発生装置を提供する。
【解決手段】カーボンワイヤー発熱体をガラス管に封入してなるヒータ部2と、前記ヒータ部を内部に配する螺旋状の加熱管3とを具備し、前記加熱管3に供給された液体を加熱し、蒸気を発生させる蒸気発生装置1であって、前記加熱管3はOH基が5ppm以下の透明シリカのガラス管からなり、少なくとも被加熱領域Sにおける外径Dと内径dとの比が1.5以上であり、前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm〜3μmに形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】カーボンワイヤー発熱体をガラス管に封入してなるヒータ部2と、前記ヒータ部を内部に配する螺旋状の加熱管3とを具備し、前記加熱管3に供給された液体を加熱し、蒸気を発生させる蒸気発生装置1であって、前記加熱管3はOH基が5ppm以下の透明シリカのガラス管からなり、少なくとも被加熱領域Sにおける外径Dと内径dとの比が1.5以上であり、前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm〜3μmに形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体を加熱し、蒸気を発生させる蒸気発生装置に関し、より詳しくはカーボンワイヤー発熱体をガラス管に封入したヒータ部を備える蒸気発生装置に関する。
従来から流体を加熱する流体加熱装置が知られているが、この流体加熱装置と蒸気発生装置は、液体を加熱する点において同一であり、両者は加熱された液体を導出するか、蒸気を導出するかの点において異なる。ここでは、背景技術として、流体加熱装置を例にとって説明する。この流体加熱装置としては、小型かつ単純な構成で加熱することができる抵抗加熱方式の流体加熱装置が知られており、図8に示すようなシーズヒータ装置が広く利用されている。
図示するシーズヒータ装置50は、加熱管51の内部空間に、U字型の金属管を有するヒータ部52がフランジ53に支持され配置される。ヒータ部52の金属管内には、ニクロム線からなる発熱体が耐熱性絶縁粉末と共に封入されている。
また、加熱管51には、液体Wを加熱管51内に導入する導入口51aと、加熱後の液体を加熱管51外に導出する導出口51bとが設けられている。
また、加熱管51には、液体Wを加熱管51内に導入する導入口51aと、加熱後の液体を加熱管51外に導出する導出口51bとが設けられている。
このような構成のシーズヒータ装置50において、導入口51aから加熱管51内に供給された液体Wは、ヒータ部52の金属管面に直に接触することによって加熱され、導出口51bから導出される。尚、流体加熱装置を蒸気発生装置として用いた場合には、導出口から蒸気が導出される。
しかしながら、このシーズヒータ装置50のヒータ部52にあっては、発熱体の周りに絶縁粉末が介在するため、ヒータ部52自体が所定の温度に昇温するまでに時間を要し、液体Wを即座に加熱することができないという課題を有している。
そこで、ヒータ部の昇温速度がより速く、水の吸収波長(2.2μm、2.7μm)に適応する赤外線放射を行なうことのできるカーボンワイヤー発熱体を用いたカーボンワイヤーヒータ装置が注目されている。
図9に、従来のカーボンワイヤーヒータ装置の断面図を示す。図示するカーボンワイヤーヒータ装置60は、石英ガラスからなる加熱管61の内部空間にヒータ部62がフランジ63によって支持され配置される。
図9に、従来のカーボンワイヤーヒータ装置の断面図を示す。図示するカーボンワイヤーヒータ装置60は、石英ガラスからなる加熱管61の内部空間にヒータ部62がフランジ63によって支持され配置される。
ヒータ部62は、螺旋状に形成された細い石英ガラス管の中に発熱体であるカーボンワイヤー発熱体が封入され、このカーボンワイヤー発熱体が電力供給されることにより発熱し、赤外線を放射するようになされている。
また、加熱管61には、加熱前の液体を管内に導入する導入口61aと、加熱した液体を管外に導出する導出口61bとが設けられている。
また、加熱管61には、加熱前の液体を管内に導入する導入口61aと、加熱した液体を管外に導出する導出口61bとが設けられている。
この構成において、導入口61aから加熱管61内に供給された液体Wは、ヒータ部62の石英ガラス管に直に接触して赤外線により加熱され、昇温後に導出口61bから導出される。尚、流体加熱装置を蒸気発生装置として用いた場合には、導出口61bから蒸気が導出される。
このカーボンワイヤーヒータ装置60によれば、ヒータ部62を即座に昇温できると共に、水の波長に適応した赤外線放射により、シーズヒータ装置よりも速く液体の温度を昇温することができる。
尚、カーボンワイヤー発熱体を用いた加熱装置については、特許文献1に記載されている。
特開2003−294312号公報
このカーボンワイヤーヒータ装置60によれば、ヒータ部62を即座に昇温できると共に、水の波長に適応した赤外線放射により、シーズヒータ装置よりも速く液体の温度を昇温することができる。
尚、カーボンワイヤー発熱体を用いた加熱装置については、特許文献1に記載されている。
ところで、図9に示したカーボンワイヤーヒータ装置にあっては、石英ガラスからなる加熱管が用いられている。この装置を蒸気発生装置として用いる場合には、前記加熱管の肉厚をかなり厚くしなければ、蒸気圧に耐えられないという技術的課題があった。
一方、この加熱管を金属製にすることも考えられるが、金属製の加熱管を用いると、導出される蒸気が金属あるいは金属化合物で汚染される虞がある。
本願発明者らは、石英ガラスからなる加熱管であることを前提として、この加熱管について鋭意研究を重ね、蒸気発生装置における加熱管として好適な加熱管を創作するに至ったものである。
一方、この加熱管を金属製にすることも考えられるが、金属製の加熱管を用いると、導出される蒸気が金属あるいは金属化合物で汚染される虞がある。
本願発明者らは、石英ガラスからなる加熱管であることを前提として、この加熱管について鋭意研究を重ね、蒸気発生装置における加熱管として好適な加熱管を創作するに至ったものである。
本発明は、上記技術的課題を解決するためになされたものであり、透明シリカガラスからなり、かつ耐圧性能の優れた加熱管を備えた蒸気発生装置を提供することを目的とするものである。
前記した課題を解決するために、本発明に係る蒸気発生装置は、カーボンワイヤー発熱体をガラス管に封入してなるヒータ部と、前記ヒータ部を内部に配する螺旋状の加熱管とを具備し、前記加熱管に供給された液体を加熱し、蒸気を発生させる蒸気発生装置であって、前記加熱管はOH基が5ppm以下の透明シリカガラス管からなり、少なくとも被加熱領域における外径と内径との比が1.5以上であり、前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm以上3μm以下であることを特徴としている。
このように、加熱管は透明シリカガラス管で螺旋状に形成され、更に少なくとも被加熱領域における前記ガラス管の外径と内径との比が1.5以上に形成されるため、高圧の蒸気圧に対しても耐久性を有し、加熱管の破損等を防止することができる。尚、加熱管の外径と内径との比が1.5未満の場合には、高圧に耐えることができず、破損する虞がある。
また、前記加熱管を構成するシリカガラスのOH基濃度が5ppm以下であるため、赤外線吸収波長帯が3.5μm以上となる。したがって、例えば水の赤外線吸収波長である2.2μmと2.7μmの赤外線は前記加熱管に吸収されることなく通過するため、加熱管内の液体を有効に加熱することができる。
更に、前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm〜3μmであるため、前記したように、例えば水の赤外線吸収波長である2.2μmと2.7μm、加熱管内の液体(水)を有効に加熱することができる。
また、前記加熱管を構成するシリカガラスのOH基濃度が5ppm以下であるため、赤外線吸収波長帯が3.5μm以上となる。したがって、例えば水の赤外線吸収波長である2.2μmと2.7μmの赤外線は前記加熱管に吸収されることなく通過するため、加熱管内の液体を有効に加熱することができる。
更に、前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm〜3μmであるため、前記したように、例えば水の赤外線吸収波長である2.2μmと2.7μm、加熱管内の液体(水)を有効に加熱することができる。
ここで、前記螺旋状の加熱管の少なくとも被加熱領域において、ガラス管の内径が一定であることが望ましい。このように螺旋状の加熱管の内径が一定であるため、流体の滞留によって、加熱管の内部に異物が残留することがなく、一定純度の蒸気を発生させることできる。
また、前記螺旋状の加熱管における蒸気導出口近傍の内径が、前記被加熱領域の内径に比べて、小さく形成されていることが望ましい。
このように、前記加熱管の蒸気導出口近傍の内径が、前記被加熱領域の内径に比べて、小さく形成されている場合には、加熱管内部の圧力を高めることができ、高温高圧の蒸気を、より効率良く発生させることができる。
このように、前記加熱管の蒸気導出口近傍の内径が、前記被加熱領域の内径に比べて、小さく形成されている場合には、加熱管内部の圧力を高めることができ、高温高圧の蒸気を、より効率良く発生させることができる。
更に、前記螺旋状加熱管の螺旋状部外側が、表面が鏡面状態の金属箔で覆われると共に、前記螺旋状加熱管の両端が、断熱板あるいは表面が鏡面状態の金属板で覆われていることが望ましい。
このように、加熱管の螺旋状部外側が、表面が鏡面状態の金属箔で覆われ、前記螺旋状加熱管の両端が、断熱板あるいは表面が鏡面状態の金属板で覆われているため、カーボンワイヤー発熱体から放出された赤外線を有効に利用でき、必要な電力を減少させることができる。
このように、加熱管の螺旋状部外側が、表面が鏡面状態の金属箔で覆われ、前記螺旋状加熱管の両端が、断熱板あるいは表面が鏡面状態の金属板で覆われているため、カーボンワイヤー発熱体から放出された赤外線を有効に利用でき、必要な電力を減少させることができる。
また、前記加熱管の液体導入口近傍及び蒸気導出口近傍には、温度センサが設けられ、前記液体導入口と蒸気導出口の温度差から電力量を計算し、一定温度の蒸気を発生させることが望ましい。
本発明によれば、透明シリカのガラスからなり、かつ耐圧性能の優れた加熱管を備えた蒸気発生装置を得ることができる。
以下、本発明に係る蒸気発生装置の実施の形態について図面に基づき説明する。図1は本発明に係る蒸気発生装置の概略構成を示すブロック図である。
図示する蒸気発生装置1は、カーボンワイヤー発熱体4をガラス管に封入してなるヒータ部2と、前記ヒータ部2を内部に配する透明シリカガラス管からなる加熱管3とを備え、ヒータ部2が加熱管2に供給された液体Wに直に接触することなく液体Wを加熱するようになされている。
図示する蒸気発生装置1は、カーボンワイヤー発熱体4をガラス管に封入してなるヒータ部2と、前記ヒータ部2を内部に配する透明シリカガラス管からなる加熱管3とを備え、ヒータ部2が加熱管2に供給された液体Wに直に接触することなく液体Wを加熱するようになされている。
前記加熱管3は、少なくとも被加熱領域Sに形成された螺旋状部3aと、前記螺旋状部3aに連続して形成された液体導入部3bと、前記螺旋状部3bで生成された蒸気を蒸気導出する導出部3cとを備えている。
この加熱管を構成する透明のシリカガラス管はOH基が5ppm以下であり、図2に示すように被加熱領域Sにおける螺旋状部3aの外径Dと内径dとの比が1.5以上に形成されている。
このように被加熱領域Sにおける外径Dと内径dとの比が1.5以上に形成されているため、高圧の蒸気圧に対しても耐久性を有し、加熱管3の破損等を防止することができる。尚、加熱管3の外径Dと内径dとの比が1.5未満の場合には、高圧に耐えることができず、破損する虞がある。
この加熱管を構成する透明のシリカガラス管はOH基が5ppm以下であり、図2に示すように被加熱領域Sにおける螺旋状部3aの外径Dと内径dとの比が1.5以上に形成されている。
このように被加熱領域Sにおける外径Dと内径dとの比が1.5以上に形成されているため、高圧の蒸気圧に対しても耐久性を有し、加熱管3の破損等を防止することができる。尚、加熱管3の外径Dと内径dとの比が1.5未満の場合には、高圧に耐えることができず、破損する虞がある。
また、前記加熱管3を構成するシリカガラスのOH基濃度が5ppm以下であるため、赤外線吸収波長帯が3.5μm以上となる。例えば、水の赤外線吸収波長は2.2μmと2.7μmであるため、その赤外線吸収波長は通過し、加熱管3内の液体Wをより迅速に、また少ない電力で加熱することができる。
更に、加熱管3の内部に流体(液体又は蒸気)の滞留による異物が残留することがなく、一定の純度の蒸気を発生させるため、前記加熱管3の被加熱領域Sにおける螺旋状部3aの内径dは一定に形成されている。
更に、加熱管3の内部に流体(液体又は蒸気)の滞留による異物が残留することがなく、一定の純度の蒸気を発生させるため、前記加熱管3の被加熱領域Sにおける螺旋状部3aの内径dは一定に形成されている。
また、前記加熱管3は、加熱効率を向上させるため、螺旋状部3aにおける隣接するガラス管距離(ピッチ)をより小さく形成し、密に巻回されている。前記隣接するガラス管距離(ピッチ)はゼロ、即ち当接することが強度、熱効率の向上の観点から、より好ましい。
更に、加熱管3の内部の圧力を高め、高温高圧の蒸気を発生させるため、蒸気導出口3cの近傍の内径d1は、図3に示すように、前記被加熱領域Sの内径dに比べて、小さく形成されている。
このような加熱管3(透明シリカガラス管)は、一般的に知られている電気真空溶融によって製造することができる。
更に、加熱管3の内部の圧力を高め、高温高圧の蒸気を発生させるため、蒸気導出口3cの近傍の内径d1は、図3に示すように、前記被加熱領域Sの内径dに比べて、小さく形成されている。
このような加熱管3(透明シリカガラス管)は、一般的に知られている電気真空溶融によって製造することができる。
また、ヒータ部2は、図4、5に示すように端子部2aと発熱部2bとからなり、発熱部2bは、先端部がU字状に形成された細い透明シリカガラス管2c内にカーボンファイバー束からなるカーボンワイヤー発熱体4が封入され構成されている。
このヒータ部2は、前記端子部2aに電力供給されると、カーボンワイヤー発熱体4が発熱(フィラメント温度1000℃〜1100℃)し、発熱部2bは赤外線波長ピークが2μm以上3μm以下の赤外線を放射する。
尚、前記したように、ヒータ部2は液体Wに直に接触することなく液体Wを加熱する構成となされているが、赤外線により液体Wを加熱するため、ヒータ部2に、液体Wを直に接触させなくても充分に液体Wを昇温させることができる。
このヒータ部2は、前記端子部2aに電力供給されると、カーボンワイヤー発熱体4が発熱(フィラメント温度1000℃〜1100℃)し、発熱部2bは赤外線波長ピークが2μm以上3μm以下の赤外線を放射する。
尚、前記したように、ヒータ部2は液体Wに直に接触することなく液体Wを加熱する構成となされているが、赤外線により液体Wを加熱するため、ヒータ部2に、液体Wを直に接触させなくても充分に液体Wを昇温させることができる。
また、ヒータ部2におけるシリカガラスのOH基濃度は、前記した加熱管3と同様に、5ppm以下とすることにより、水の赤外線吸収波長である2.2μmと2.7μmが通過し、加熱管3内の液体Wをより迅速に、また少ない電力で加熱することができる。
更に、このヒータ部2は、前記したような先端部がU字状に形成されたものに限定されるものではなく、図7に示すように形成された螺旋状の細い透明シリカガラス管20内にカーボンファイバー束からなるカーボンワイヤー発熱体4が封入され構成されたものであっても良い。
このように、ヒータ部2を螺旋状の透明シリカガラス管20で形成した場合、加熱管3との距離tが全周囲において同一距離となるため、均一に加熱管3内部の流体Wを加熱することができ、より好ましい。
このように、ヒータ部2を螺旋状の透明シリカガラス管20で形成した場合、加熱管3との距離tが全周囲において同一距離となるため、均一に加熱管3内部の流体Wを加熱することができ、より好ましい。
また、図6に示すように、ヒータ部2及び加熱管3は、支持台10によって支持されている。支持台10によって支持されたヒータ部2には、制御装置7(制御手段)の制御により電力供給部9から電力供給されるよう構成されている。
更に、前記加熱管3の螺旋状部3a外側は、表面が鏡面状態の金属箔11で覆われ、また加熱管3の両端部は断熱板、あるいは表面が鏡面状態の金属板12,13で覆われている。これにより、放射された遠赤外線を有効に利用することができ、必要電力を減少させることができる。
また、加熱管2に液体Wが供給される液体導入口3bの下流側には、導入される液体Wの温度を検出するための入口温度センサ5が設けられ、蒸気導出口3cの上流側には、導出された蒸気の温度を検出するための出口温度センサ6が設けられている。これらセンサ5、6は例えばサーミスタにより構成され、制御装置7の温度測定部8に接続されている。
即ち、センサ5、6によって検出された信号(抵抗値)は温度測定部8においてデジタルデータに変換され、制御装置7において電力供給部9に対する制御データとして用いられるよう構成されている。
即ち、センサ5、6によって検出された信号(抵抗値)は温度測定部8においてデジタルデータに変換され、制御装置7において電力供給部9に対する制御データとして用いられるよう構成されている。
次に、この蒸気発生装置1において、液体Wとして純水を用い、水蒸気を発生させる場合について説明する。
先ず、液体導入口3bから純水が加熱管3に導入され、導入された純水は螺旋状部3a内においてヒータ部2の周りを回るように流れ、加熱されることにより、蒸気導出部3cから水蒸気が導出される。
先ず、液体導入口3bから純水が加熱管3に導入され、導入された純水は螺旋状部3a内においてヒータ部2の周りを回るように流れ、加熱されることにより、蒸気導出部3cから水蒸気が導出される。
加熱管3の加熱は、制御装置7の命令により電力供給部9からヒータ部2に電力を供給し、カーボンワイヤー発熱体4を発熱させることにより行う。これによりヒータ部2の周囲に形成された加熱管3内の純水を赤外線により加熱する。
尚、加熱開始時において制御装置7は、入口温度センサ5、出口温度センサ6によって、前記液体導入口3bと蒸気導出口3cの温度差から電力量を計算し、一定温度の水蒸気を発生させるように、その比較結果を電力供給部9にフィードバックし、ヒータ部2に供給する電力量を制御する。
尚、加熱開始時において制御装置7は、入口温度センサ5、出口温度センサ6によって、前記液体導入口3bと蒸気導出口3cの温度差から電力量を計算し、一定温度の水蒸気を発生させるように、その比較結果を電力供給部9にフィードバックし、ヒータ部2に供給する電力量を制御する。
上記実施形態にあっては、液体として純水を用いた場合を説明したが、他の液体を用いることもできる。また上記実施形態にあっては、加熱管3として全体形状が円筒形状のものを示したが、全体形状が矩形形状になるように螺旋状に巻回したものであっても良い。更に上記実施形態にあってはガラス管を単に一段の螺旋状なした加熱管を示したが、前記螺旋形状を重ねた、いわゆる複数段の重ね巻きした加熱管であっても良い。
本発明にかかる蒸気発生装置は、半導体製品の洗浄用、医療機器洗浄用、医療関係物の殺菌、減菌用、医薬品製造装置あるいは食品製造装置の洗浄用等、あらゆる産業の蒸気発生装置として用いることができる。
1 蒸気発生装置
2 ヒータ部
2a 端子部
2b 発熱部
2c 透明シリカガラス管
3 加熱管
3a 螺旋状部
3b 液体導入部
3c 蒸気導出部
4 カーボンワイヤー発熱体
5 入口センサ
6 出口センサ
7 制御装置
8 温度測定部
9 電力供給部
10 支持台
S 被加熱領域
2 ヒータ部
2a 端子部
2b 発熱部
2c 透明シリカガラス管
3 加熱管
3a 螺旋状部
3b 液体導入部
3c 蒸気導出部
4 カーボンワイヤー発熱体
5 入口センサ
6 出口センサ
7 制御装置
8 温度測定部
9 電力供給部
10 支持台
S 被加熱領域
Claims (5)
- カーボンワイヤー発熱体をガラス管に封入してなるヒータ部と、前記ヒータ部を内部に配する螺旋状の加熱管とを具備し、前記加熱管に供給された液体を加熱し、蒸気を発生させる蒸気発生装置であって、
前記加熱管はOH基が5ppm以下の透明シリカガラス管からなり、少なくとも被加熱領域における外径と内径との比が1.5以上であり、
前記カーボンワイヤー発熱体の赤外線波長ピークが2μm以上3μm以下であることを特徴とする蒸気発生装置。 - 前記螺旋状の加熱管の少なくとも被加熱領域において、ガラス管の内径が一定であることを特徴とする請求項1に記載の蒸気発生装置。
- 前記螺旋状の加熱管における蒸気導出口近傍の内径が、前記被加熱領域の内径に比べて、小さく形成されていることを特徴とする請求項2記載の蒸気発生装置。
- 前記螺旋状加熱管の螺旋状部外側が、表面が鏡面状態の金属箔で覆われると共に、前記螺旋状加熱管の両端が、断熱板あるいは表面が鏡面状態の金属板で覆われていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載された蒸気発生装置。
- 前記加熱管の液体導入口近傍及び蒸気導出口近傍には、温度センサが設けられ、前記液体導入口と蒸気導出口の温度差から電力量を計算し、一定温度の蒸気を発生させることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の蒸気発生装置。
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