JP2005274115A - 流体加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加熱流体が流れる配管途中に設置する発熱管6と、この発熱管6を加熱するために発熱管外周部に巻装されたコイル5と、このコイル5に高周波電流を流す高周波電源装置1とを備え、前記発熱管5は、導電性材料を用い両端部6bを有し、その両端部の前記流体集合部6b間を複数本の接続管6aで接続している。
【選択図】図1
Description
前記公知技術の流体加熱装置は、図6を参照して、導電性材料によって管状に形成され、被加熱流体が流される配管に両端部が連通接続されている発熱曲管13と、前記発熱曲管13の外側に配接されて発熱曲管を取り囲むように巻装されているコイル14と、コイルに高周波電流を流す電源装置部15とを備えることにより、流体加熱装置を構成している。上記構成によりコイルに高周波電流を流すと発熱曲管を流れる被加熱流体が加熱される。
この流体加熱装置は図示していないが、半導体基板や液晶基板などに対して所要の処理を施す基板処理装置へIPA蒸気等のガスや純水、薬液等の液体を供給する配管の途中に発熱管6の流入部6c、流出部6dをそれぞれ接続するものである。この発熱管6を加熱するために発熱管6の外周部に石英等の非導電性材料の筒9を設置しこれにコイル5を巻装してある。筒9と発熱管6の間にセラミックファイバー等の断熱材10を配置している。前記コイル5に高周波電流を流す高周波電源装置1は、温度調節器3と制御器2からなる制御手段4に接続されている。発熱管6の流出部6aの流路中に設置された熱電対、測温抵抗体等の流体温度検出器7と、発熱管6に取り付けられた発熱管温度検出器8は、それぞれ温度調節器3に接続されている。
液体が流れていない時は発熱管6に取り付けられた発熱管温度検出器8で発熱管6の温度を検出し、その発熱管温度信号に基づいて温度調節器3は発熱管が設定温度になるように制御器2を制御し、コイル5に流れる高周波電流を制御する。このとき流体が流れている時の温度以下になるように制御温度を設定すれば、発熱管を異常な高温に空焼きすることが無く発熱管の寿命を長く保つことができると共に次に流体が流れて来た時にすばやく加熱することができる。
このような構成にすることにより、発熱管6からの輻射熱や伝導熱を大幅に遮断することができ流体の温度を約1000℃の高温まで昇温することが可能となる。
図3は発熱管6の第3実施例である。流入部6cと流出部6dが直角方向に構成されている。
図1と同様に両端に流体集合部6dと流体集合部間を複数本の接続管で接続する構成になっており、同様の効果がある。
これにより、乱流が生じ、図1と同様の効果が得られる。
2 制御器
3 温度調節器
4 制御手段
5 コイル
6 発熱管
6a接続管
6b流体集合部
6c流入部
6d流出部
7 流体温度検出手段
8 発熱管温度検出手段
10 断熱材
Claims (5)
- 被加熱流体が流れる配管途中に設置する発熱管と、この発熱管を加熱するために発熱管外周部に巻装されたコイルと、このコイルに高周波電流を流す高周波電源装置とを備え、
前記発熱管は、導電性材料で製作し、両端部に位置する流体集合部と、両端部の前記流体集合部間を接続する複数本の接続管とで、構成したことを特徴とする流体加熱装置。 - 前記発熱管を流れる流体が乱流を生じるように流体集合部、流入部、流出部を構成したことを特徴とする請求項1記載の流体加熱装置。
- 前記流体の温度を検出する流体温度検出手段と、この流体温度検出手段からの流体温度信号に基づいて所要の制御を行う制御手段と、前記発熱管の温度を検出する発熱管温度検出手段と、この発熱管温度検出手段からの発熱管温度信号に基づいて流体が流れていない時に所要の制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の流体加熱装置。
- 前記発熱管外周部と、この発熱管外周部に巻装するコイルとの間に、断熱材を入れたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の流体加熱装置。
- 前記コイルに数百度の耐熱電線を使用したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の流体加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004124861A JP2005274115A (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | 流体加熱装置 |
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JP2004124861A JP2005274115A (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | 流体加熱装置 |
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JP2005274115A true JP2005274115A (ja) | 2005-10-06 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2005274115A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010532215A (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-07 | バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド | 透析流体加熱システム |
-
2004
- 2004-03-23 JP JP2004124861A patent/JP2005274115A/ja active Pending
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JP2010532215A (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-07 | バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド | 透析流体加熱システム |
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