CN209819883U - 用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器 - Google Patents
用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供了一种包括石英壳体、石英螺旋气管、碳素加热器和K型热电偶的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，石英壳体具有进气管和排气管，石英螺旋气管安装于石英壳体内部，其一端连接进气管，另一端位于石英壳体内，碳素加热器安装于石英壳体内部用于对高纯氮气加热，K型热电偶安装于石英壳体内部用于监测高纯氮气的温度。碳素加热器可快速将经由石英螺旋气管进入腔体内的高纯氮气加热，且石英螺旋气管增加了氮气被加热的路径以及加热器的氮气加热量，不仅提高了高纯氮气加热器的加热速度，还实现了高温高纯氮气供应量满足氮气用量需求的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，特别是指用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器。
背景技术
在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇(IPA)吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。
高纯氮气的消耗量很大，所以需要对氮气快速加热，但是现有的单台高纯氮气加热器的加热速度不能满足氮气用量需求，只能多台联合使用，导致设备成本增高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种加热速度快的高纯氮气加热器，以解决上述问题。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：
用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，包括：
整体焊接的石英壳体，其具有进气管和排气管；
安装于石英壳体内部的石英螺旋气管，其一端连接所述进气管，另一端位于所述石英壳体内；
碳素加热器，安装于所述石英壳体内部，用于对高纯氮气加热，所述碳素加热器的外围设置有密封包覆加热丝的石英管；
K型热电偶，安装于所述石英壳体内部，用于监测高纯氮气的温度。
高纯氮气由排气管进入石英螺旋气管内，氮气被碳素加热器加热后从排气管排出。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述碳素加热器为U型，安装在所述石英螺旋气罐的中间孔内。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述进气管和排气管的管内壁上设置有环形卡槽。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述石英壳体内部焊接有容纳K 型热电偶的石英套管。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述石英壳体内部设置有支撑所述石英螺旋气罐的石英支撑块。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述石英壳体的外部设置有不锈钢罩壳，罩壳与石英壳体之间填充有保温棉。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型的整体结构由石英材质密封式全焊接加工，K型热电偶和 U型碳素加热器均不与氮气直接接触，可达高纯氮气高洁净度使用需求；
2.本实用新型中的高功率U型碳素加热器可快速将经由石英螺旋气管进入腔体内的高纯氮气加热，且石英螺旋气管增加了氮气被加热的路径以及加热器的氮气加热量，不仅提高了高纯氮气加热器的加热速度，还实现了高温高纯氮气供应量满足氮气用量需求的目的；
3.本实用新型的石英螺旋气管中被加热的氮气先排放至石英壳体内部腔室内，再在压力作用下由排气管排出，加热器内部会始终储存有被加热的氮气，可实现高温氮气的持续供应；
4.本实用新型中的K型热电偶搭配温控器及SCR(温度调整器)使用, 可精确控温于±1℃；
5.本实用新型在石英壳体外部增加不锈钢罩壳，并填充保温棉，可防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例一中公开的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器的剖视图；
图2是实施例二中公开的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器的剖视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
参见图1所示的高纯氮气加热器，其应用于晶圆干燥工艺中，包括石英壳体10、石英螺旋气管20、碳素加热器30和K型热电偶40。石英壳体10为整体密封焊接结构，其具有进气管11和排气管12，这两个气管与石英壳体为整体，管内壁上设置有实现与其它设备管路密封连接的环形卡槽13。石英螺旋气管20安装于石英壳体10内部，其一端连接进气管，另一端位于石英壳体10内。碳素加热器30安装于石英壳体10内部用于对高纯氮气加热，碳素加热器30可设置为U型，安装在石英螺旋气管的中间孔内。K型热电偶40 安装于石英壳体10内部用于监测高纯氮气的温度，K型热电偶40搭配温控器及SCR(温度调整器)使用,可精确控温于±1℃。
高纯氮气由排气管进入石英螺旋气管20内，再由石英螺旋气罐进入石英壳体10的内腔中，氮气被碳素加热器30将石英螺旋气管内和石英壳体10 内的氮气，被加热的氮气从排气管排出。石英螺旋气管20增加了氮气被加热的路径以及加热器的氮气加热量，不仅提高了高纯氮气加热器的加热速度，还实现了高温高纯氮气供应量满足氮气用量需求的目的。石英螺旋气管20中被加热的氮气先排放至石英壳体10内部腔室内，再在压力作用下由排气管排出，加热器内部会始终储存有被加热的氮气，可实现高温氮气的持续供应。
碳素加热器30的外围设置有密封包覆加热丝的石英管80，石英壳体10 内部焊接有容纳K型热电偶40的石英套管50，如此热电偶和碳素加热器30 均不与氮气直接接触，可达高纯氮气高洁净度使用需求。
石英壳体10内部设置有支撑石英螺旋气管的石英支撑块14。
实施例二
本实施例基于实施例一。
如图2所示，石英壳体10的外部设置有不锈钢罩壳60，在罩壳与石英壳体10之间填充保温棉70，可防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，包括：
整体焊接的石英壳体，其具有进气管和排气管；
安装于石英壳体内部的石英螺旋气管，其一端连接所述进气管，另一端位于所述石英壳体内；
碳素加热器，安装于所述石英壳体内部，用于对高纯氮气加热，所述碳素加热器的外围设置有密封包覆加热丝的石英管；
K型热电偶，安装于所述石英壳体内部，用于监测高纯氮气的温度。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，所述碳素加热器为U型，安装在所述石英螺旋气管的中间孔内。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，所述进气管和排气管的管内壁上设置有环形卡槽。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，所述石英壳体内部焊接有容纳K型热电偶的石英套管。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，所述石英壳体内部设置有支撑所述石英螺旋气管的石英支撑块。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，所述石英壳体的外部设置有不锈钢罩壳，罩壳与石英壳体之间填充有保温棉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920384600.0U CN209819883U (zh) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | 用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111312627A (zh) * | 2020-02-27 | 2020-06-19 | 至微半导体(上海)有限公司 | 一种用于晶圆干燥的提升氮气移除水分子的能力的方法 |
| CN111335714A (zh) * | 2020-03-06 | 2020-06-26 | 张海亮 | 一种智慧车库 |
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