JP2008546153A - イオン注入における微粒子の防止 - Google Patents
イオン注入における微粒子の防止 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008546153A JP2008546153A JP2008514943A JP2008514943A JP2008546153A JP 2008546153 A JP2008546153 A JP 2008546153A JP 2008514943 A JP2008514943 A JP 2008514943A JP 2008514943 A JP2008514943 A JP 2008514943A JP 2008546153 A JP2008546153 A JP 2008546153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- ion
- ion beam
- workpiece
- implantation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/045—Beam blanking or chopping, i.e. arrangements for momentarily interrupting exposure to the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/022—Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/026—Shields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/028—Particle traps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30433—System calibration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31701—Ion implantation
- H01J2237/31705—Impurity or contaminant control
Abstract
Description
本発明は、一般的には、イオン注入システム及びイオンを加工物に注入するための方法に関し、より詳しくは、加工物の上流の様々位置においてイオンビーム内の微粒子汚染を軽減するための方法に関する。
通常、イオン源から発生したイオンは、ビームとして整形され、所定のビーム経路に沿って注入ステーションに導かれる。イオンビーム注入装置は、更に、イオン源と注入ステーションとの間に延在するビーム形成/整形構造体を含んでいる場合もある。このビーム形成/整形構造体は、イオンビームを維持し、ビームが注入ステーションに至る途中で通る細長い内部空洞又は通路の境界を形作るものである。イオン注入装置の作動時には、この通路は、イオンが空気分子と衝突した結果として所定のビーム経路から偏向される確率を低減するために、通常、排気されている。
Claims (22)
- イオン注入システムの微粒子汚染を制御するための方法であって、
前記イオン注入システム内のイオンビームにより汚染物が発生する注入電流のイオンビームを形成するように、イオン源にパワーを供給する段階と、
イオンビーム制御信号を供給する段階と、
前記イオンビーム制御信号に基づいて、前記イオンビームの電流が、前記注入電流と、前記イオン注入システム内の前記汚染物の発生が大幅に低減される最小電流との間で、約20マイクロ秒以内に変調されるように、前記イオン源のパワーを制御する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記イオン源にパワーを供給する段階は、フィラメントカソードから射出される電子により前駆ガスをイオン化することによってイオンビームを形成するように、前記イオン源の前記フィラメントカソード及びミラー電極に電流を供給するステップを含み、前記イオン源のパワーを制御する段階は、前記ミラー電極に供給される電流を制御するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ミラー電極に供給される電流を制御するステップは、イオン化のために使用可能な電子数を制御するように、前記フィラメントカソードと前記ミラー電極との間の電位差を制御するステップを含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記ミラー電極を正の電位で駆動することにより、前記注入電流から前記最小電流に低減することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記ミラー電極を負の電位で駆動することにより、前記最小電流から前記注入電流に増大することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記イオン源にパワーを供給する段階は、フィラメントカソードから射出される電子により前駆ガスをイオン化することによってイオンビームを形成するように、前記イオン源の前記フィラメントカソード、ミラー電極、及び、少なくとも1つのグリッドに電流を供給するステップを含み、前記イオン源のパワーを制御する段階は、前記少なくとも1つのグリッドに供給される電流を制御するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのグリッドに供給される電流を制御するステップは、イオン化のために使用可能な電子数を制御するように、前記フィラメントカソードと前記少なくとも1つのグリッドとの間の電位差を制御するステップを含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記少なくとも1つのグリッドを正の電位で駆動することにより、前記注入電流から前記最小電流に低減することを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記少なくとも1つのグリッドを負の電位で駆動することにより、前記最小電流から前記注入電流に増大することを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記イオンビーム制御信号を供給する段階は、前記イオン注入システム内の加工物の位置を判別するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記イオンビーム制御信号は、加工物操作システムにより供給されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記イオンビーム制御信号は、前記イオンビームの経路に沿って配置されたファラデーカップにより供給されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記最小電流は、前記注入電流の0%と10%の間であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- イオン注入システムの微粒子汚染を制御するための方法であって、
フィラメントカソード及びミラー電極を含むイオン源を準備する段階と、
前記イオン注入システム内の加工物の位置を判別する段階と、
前記フィラメントカソードから射出される電子により前駆ガスをイオン化することによってイオンビームを形成し、前記イオンビームが注入電流のときに前記イオン注入システム内に汚染物が発生するように、前記イオン源の前記フィラメントカソード及び前記ミラー電極に電流を供給する段階と、
前記加工物の位置に少なくとも部分的に基づいて、前記イオンビームの電流を前記注入電流と最小電流との間で変調し、前記イオンビームが前記最小電流のときに前記イオン注入システム内に発生する前記汚染物が大幅に低減するように、前記ミラー電極に供給される電流を制御する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記加工物の位置を判別する段階は、加工物操作システムから、前記加工物への注入の準備が整ったことを示す信号を供給するステップを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記加工物の位置を判別する段階は、前記加工物の下流に配置されたファラデーにより供給される信号を分析するステップを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記最小電流は、前記注入電流の0%と10%の間であることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記イオンビームの電流は、前記注入電流と前記最小電流との間で約20マイクロ秒以内に変調されることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記ミラー電極に供給される電流を制御する段階は、イオン化のために使用可能な電子数を制御するように、前記フィラメントカソードと前記ミラー電極との間の電位差を制御するステップを含み、前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記ミラー電極を正の電位で駆動することにより、前記注入電流から前記最小電流に低減することを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記ミラー電極に供給される電流を制御する段階は、イオン化のために使用可能な電子数を制御するように、前記フィラメントカソードと前記ミラー電極との間の電位差を制御するステップを含み、前記イオンビームの電流は、前記フィラメントカソードに対して前記ミラー電極を負の電位で駆動することにより、前記最小電流から前記注入電流に増大することを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 加工物にイオンを注入するためのシステムであって、
フィラメントカソード及びミラー電極を含み、イオンビームを形成するように動作可能なイオン源と、
前記イオン源の前記フィラメントカソード及び前記ミラー電極にパワーを供給するための電源と、
イオン注入の間に、内部に前記加工物が配置されるエンドステーションと、
前記エンドステーション内の前記加工物の存在又は不在を示すイオンビーム制御信号を供給するように動作可能な加工物操作システムと、
前記イオンビーム制御信号に基づいて、前記イオンビームの電流を注入電流と最小電流との間で約20マイクロ秒以内に変調し、前記注入電流の前記イオンビームによって汚染物が発生し、前記汚染物の発生が前記最小電流で大幅に低減するように、前記電源から前記イオン源に供給されるパワーを制御するように動作可能なコントローラーと、
を含むことを特徴とするイオン注入システム。 - 前記イオン源は、更に、少なくとも1つのグリッドを含み、前記電源は、更に、前記少なくとも1つのグリッドにパワーを供給することを特徴とする請求項21に記載のイオン注入システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US68751405P | 2005-06-03 | 2005-06-03 | |
US60/687,514 | 2005-06-03 | ||
PCT/US2006/021643 WO2006133038A2 (en) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | Particulate prevention in ion implantation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008546153A true JP2008546153A (ja) | 2008-12-18 |
JP5482981B2 JP5482981B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=37198590
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008514943A Active JP5482981B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | イオン注入における微粒子の防止 |
JP2008514945A Active JP5429448B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | ビームストップ及びビーム調整方法 |
JP2008514944A Active JP5333733B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | 荷電ビームダンプ及び粒子アトラクター |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008514945A Active JP5429448B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | ビームストップ及びビーム調整方法 |
JP2008514944A Active JP5333733B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | 荷電ビームダンプ及び粒子アトラクター |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7547898B2 (ja) |
EP (3) | EP1891658A2 (ja) |
JP (3) | JP5482981B2 (ja) |
KR (3) | KR101306541B1 (ja) |
CN (2) | CN101238538B (ja) |
TW (3) | TWI426541B (ja) |
WO (3) | WO2006133038A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013533573A (ja) * | 2010-04-06 | 2013-08-22 | アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド | 微粒子低減のための真空内ビーム形成口の清浄化 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7361890B2 (en) * | 2004-07-02 | 2008-04-22 | Griffin Analytical Technologies, Inc. | Analytical instruments, assemblies, and methods |
KR101306541B1 (ko) * | 2005-06-03 | 2013-09-17 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 빔 정지 및 빔 조정 방법 |
US7491947B2 (en) * | 2005-08-17 | 2009-02-17 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Technique for improving performance and extending lifetime of indirectly heated cathode ion source |
US7462845B2 (en) * | 2005-12-09 | 2008-12-09 | International Business Machines Corporation | Removable liners for charged particle beam systems |
US7959060B2 (en) | 2006-03-21 | 2011-06-14 | Graphic Packaging International, Inc. | Multi-ply carton having reclosable opening feature |
US7683348B2 (en) * | 2006-10-11 | 2010-03-23 | Axcelis Technologies, Inc. | Sensor for ion implanter |
US7566887B2 (en) * | 2007-01-03 | 2009-07-28 | Axcelis Technologies Inc. | Method of reducing particle contamination for ion implanters |
WO2009076155A2 (en) * | 2007-12-07 | 2009-06-18 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Particle trap |
US7928413B2 (en) * | 2008-01-03 | 2011-04-19 | Applied Materials, Inc. | Ion implanters |
US7994488B2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-08-09 | Axcelis Technologies, Inc. | Low contamination, low energy beamline architecture for high current ion implantation |
US8217372B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-07-10 | Exogenesis Corporation | Gas-cluster-jet generator and gas-cluster ion-beam apparatus utilizing an improved gas-cluster-jet generator |
US20110291022A1 (en) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | Axcelis Technologies, Inc. | Post Implant Wafer Heating Using Light |
US8669517B2 (en) * | 2011-05-24 | 2014-03-11 | Axcelis Technologies, Inc. | Mass analysis variable exit aperture |
CN102891207A (zh) * | 2011-07-19 | 2013-01-23 | 上海凯世通半导体有限公司 | 用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统 |
US8951384B2 (en) * | 2011-10-20 | 2015-02-10 | Applied Materials, Inc. | Electron beam plasma source with segmented beam dump for uniform plasma generation |
US9129777B2 (en) | 2011-10-20 | 2015-09-08 | Applied Materials, Inc. | Electron beam plasma source with arrayed plasma sources for uniform plasma generation |
US8894805B2 (en) | 2011-10-20 | 2014-11-25 | Applied Materials, Inc. | Electron beam plasma source with profiled magnet shield for uniform plasma generation |
CN103247508B (zh) * | 2012-02-14 | 2015-11-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于检测离子源污染的分析器 |
US9711324B2 (en) | 2012-05-31 | 2017-07-18 | Axcelis Technologies, Inc. | Inert atmospheric pressure pre-chill and post-heat |
US9443700B2 (en) | 2013-03-12 | 2016-09-13 | Applied Materials, Inc. | Electron beam plasma source with segmented suppression electrode for uniform plasma generation |
TWI686838B (zh) | 2014-12-26 | 2020-03-01 | 美商艾克塞利斯科技公司 | 改善混合式掃描離子束植入機之生產力的系統及方法 |
US9721750B2 (en) * | 2015-07-28 | 2017-08-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Controlling contamination particle trajectory from a beam-line electrostatic element |
US9824857B2 (en) * | 2016-01-14 | 2017-11-21 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Method for implantation of semiconductor wafers having high bulk resistivity |
CN106531605B (zh) * | 2016-12-08 | 2018-06-05 | 苏州能讯高能半导体有限公司 | 一种离子注入设备及系统 |
US10473599B2 (en) * | 2017-12-01 | 2019-11-12 | Bruker Axs Gmbh | X-ray source using electron impact excitation of high velocity liquid metal beam |
US10276340B1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-04-30 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Low particle capacitively coupled components for workpiece processing |
CN111524779B (zh) * | 2020-04-28 | 2023-02-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 防着板装置及离子源腔室、离子注入机 |
US11538714B2 (en) * | 2020-05-21 | 2022-12-27 | Applied Materials, Inc. | System apparatus and method for enhancing electrical clamping of substrates using photo-illumination |
US11875967B2 (en) | 2020-05-21 | 2024-01-16 | Applied Materials, Inc. | System apparatus and method for enhancing electrical clamping of substrates using photo-illumination |
US11315819B2 (en) | 2020-05-21 | 2022-04-26 | Applied Materials, Inc. | System apparatus and method for enhancing electrical clamping of substrates using photo-illumination |
CN114334592A (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-12 | 中国科学院微电子研究所 | 污染物粒子收集板以及离子注入装置 |
JP7284464B2 (ja) * | 2021-05-06 | 2023-05-31 | 日新イオン機器株式会社 | イオンビーム照射装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984003943A1 (en) * | 1983-03-29 | 1984-10-11 | Veeco Ai Inc | Ion implantation control system |
JPH01167941A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Fuji Electric Co Ltd | イオンビーム注入制御方法 |
JPH10177846A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Sony Corp | イオン注入装置のイオン源 |
JP2000294186A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Applied Materials Inc | イオン注入方法及びイオン注入装置 |
US20010054698A1 (en) * | 2000-06-22 | 2001-12-27 | Berrian Donald W. | Ion implantation uniformity correction using beam current control |
US20020053642A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Berrian Donald W. | System and method for rapidly controlling the output of an ion source for ion implantation |
JP2007525811A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-09-06 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | イオンビーム電流の調整 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4124801A (en) * | 1976-09-24 | 1978-11-07 | Phrasor Technology Incorporated | Apparatus and process for separating materials |
US4435642A (en) * | 1982-03-24 | 1984-03-06 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Ion mass spectrometer |
JPH0727768B2 (ja) * | 1985-09-09 | 1995-03-29 | 東京エレクトロン株式会社 | イオン注入装置 |
JPS635293A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | Japan Steel Works Ltd:The | ビ−ム形状測定装置 |
US5134299A (en) * | 1991-03-13 | 1992-07-28 | Eaton Corporation | Ion beam implantation method and apparatus for particulate control |
JPH0613017A (ja) * | 1992-06-27 | 1994-01-21 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びイオン注入装置 |
JPH08171883A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-07-02 | Ibiden Co Ltd | イオン注入装置用カーボン材料 |
US5656092A (en) * | 1995-12-18 | 1997-08-12 | Eaton Corporation | Apparatus for capturing and removing contaminant particles from an interior region of an ion implanter |
JP2000149855A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Hitachi Ltd | イオン注入装置および半導体装置の製造方法 |
GB2345574A (en) * | 1999-01-05 | 2000-07-12 | Applied Materials Inc | Apparatus and method for monitoring and tuning an ion beam in an ion implantation apparatus |
US6207964B1 (en) | 1999-02-19 | 2001-03-27 | Axcelis Technologies, Inc. | Continuously variable aperture for high-energy ion implanter |
US6501078B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-12-31 | Applied Materials, Inc. | Ion extraction assembly |
US6534775B1 (en) * | 2000-09-01 | 2003-03-18 | Axcelis Technologies, Inc. | Electrostatic trap for particles entrained in an ion beam |
JP2003215257A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-30 | Toshiba Corp | イオン検出器 |
US6777696B1 (en) * | 2003-02-21 | 2004-08-17 | Axcelis Technologies, Inc. | Deflecting acceleration/deceleration gap |
US6670624B1 (en) * | 2003-03-07 | 2003-12-30 | International Business Machines Corporation | Ion implanter in-situ mass spectrometer |
JP4063784B2 (ja) * | 2003-05-15 | 2008-03-19 | シャープ株式会社 | イオン発生素子、イオン発生装置 |
KR101306541B1 (ko) * | 2005-06-03 | 2013-09-17 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 빔 정지 및 빔 조정 방법 |
-
2006
- 2006-06-02 KR KR1020077030940A patent/KR101306541B1/ko active IP Right Grant
- 2006-06-02 KR KR1020077030942A patent/KR20080031226A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-06-02 JP JP2008514943A patent/JP5482981B2/ja active Active
- 2006-06-02 US US11/445,667 patent/US7547898B2/en active Active
- 2006-06-02 US US11/445,677 patent/US7547899B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-02 WO PCT/US2006/021643 patent/WO2006133038A2/en active Application Filing
- 2006-06-02 EP EP06760675A patent/EP1891658A2/en not_active Withdrawn
- 2006-06-02 WO PCT/US2006/021646 patent/WO2006133040A2/en active Application Filing
- 2006-06-02 EP EP06772086A patent/EP1891657A2/en not_active Withdrawn
- 2006-06-02 JP JP2008514945A patent/JP5429448B2/ja active Active
- 2006-06-02 WO PCT/US2006/021647 patent/WO2006133041A2/en active Application Filing
- 2006-06-02 EP EP06772085A patent/EP1891659A2/en not_active Withdrawn
- 2006-06-02 CN CN2006800284825A patent/CN101238538B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-02 JP JP2008514944A patent/JP5333733B2/ja active Active
- 2006-06-02 TW TW095119562A patent/TWI426541B/zh active
- 2006-06-02 CN CN2006800284420A patent/CN101233597B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-02 TW TW095119563A patent/TWI404106B/zh active
- 2006-06-02 KR KR1020077030938A patent/KR101236563B1/ko active IP Right Grant
- 2006-06-02 TW TW095119557A patent/TW200707497A/zh unknown
- 2006-06-02 US US11/445,722 patent/US7579604B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984003943A1 (en) * | 1983-03-29 | 1984-10-11 | Veeco Ai Inc | Ion implantation control system |
JPH01167941A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Fuji Electric Co Ltd | イオンビーム注入制御方法 |
JPH10177846A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Sony Corp | イオン注入装置のイオン源 |
JP2000294186A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Applied Materials Inc | イオン注入方法及びイオン注入装置 |
US20010054698A1 (en) * | 2000-06-22 | 2001-12-27 | Berrian Donald W. | Ion implantation uniformity correction using beam current control |
US20020053642A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Berrian Donald W. | System and method for rapidly controlling the output of an ion source for ion implantation |
JP2007525811A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-09-06 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | イオンビーム電流の調整 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013533573A (ja) * | 2010-04-06 | 2013-08-22 | アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド | 微粒子低減のための真空内ビーム形成口の清浄化 |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5482981B2 (ja) | イオン注入における微粒子の防止 | |
JP4875883B2 (ja) | イオン化したクラスタ、分子及び単一原子を発生するためのイオン発生装置 | |
JP5652583B2 (ja) | ハイブリッド結合及び二重機械式走査構造を有するイオン注入システム及び方法 | |
KR101108895B1 (ko) | 가스 희석으로 이온 소스의 성능을 향상시키고 수명을 연장시키는 기술 | |
US7589333B2 (en) | Methods for rapidly switching off an ion beam | |
US7511287B2 (en) | Systems and methods that mitigate contamination and modify surface characteristics during ion implantation processes through the introduction of gases | |
JPH06236747A (ja) | イオン注入中の半導体ウェハにおける帯電を低減するプラズマ放出システム | |
JP2007525811A (ja) | イオンビーム電流の調整 | |
JP2008536257A (ja) | 高コンダクタンスイオン源 | |
EP2206137A1 (en) | Plasma electron flood for ion beam implanter | |
US8183542B2 (en) | Temperature controlled ion source | |
US6476399B1 (en) | System and method for removing contaminant particles relative to an ion beam | |
US8242469B2 (en) | Adjustable louvered plasma electron flood enclosure | |
US20090114841A1 (en) | Double plasma ion source | |
JP6379187B2 (ja) | 基板電荷中和用ピンチ・プラズマブリッジ・フラッドガン | |
JPH11142599A (ja) | イオン注入装置のためのリボンフィラメント及びその組立体 | |
KR101562785B1 (ko) | 이중 플라즈마 이온 소오스 | |
US20100019141A1 (en) | Energy contamination monitor with neutral current detection | |
US7361915B2 (en) | Beam current stabilization utilizing gas feed control loop | |
US11120970B2 (en) | Ion implantation system | |
MATSUDA et al. | Industrial Aspects of Ion-Implantation Equipment and Ion Beam Generation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120229 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131004 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20131015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5482981 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |