JP2008539573A - 位相シフトを有するeuvマスクにおける調整可能なマスクブランク構造体 - Google Patents
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Abstract
Description
eMoSi2=(eMo+eSi)×0.69
第1の実験例では、調整層30は、Mo−Si二重層である。
調整層30は、二重層のペアMo−Siを含み、それぞれの二重層は、2nmのSiの層と、1.5nmのMoの層とを含む。他のパラメータは、実験例1におけるパラメータと同様である、この利点は、この場合において、2つの相互拡散領域Mo−Siがあり、従って、図1と比較して二重の収縮効果があり、全ての他の事項は同一であるということである。
調整層30は、モリブデンとシリコンとを同時スパタッリングまたは同時蒸着することによって得られるMo及びSiの混合体である。堆積速度は、Moに比べてSiが二倍の速度で堆積するように調整される。従って、結果物は、アモルファスMoSi2の単相、または、Mo凝集体を有するアモルファスSiの相、または、同時にそれらの両方の相を含む複合材料である。適切な焼き鈍しは、アモルファスMoSi2のこの層を均質化することによって調整層の収縮を引き起こす。
この実験例は、積層体30においてMoがRuに置き換えられたことを除いては、実験例1及び2と全く同一である。この利点は、Si中のRuの拡散がMoにおけるものより低温で起こるということである(表2参照)。焼き鈍しによるこの調整は、多層ミラー機能32、34におけるほとんど限定的ではない条件下で行われる。
Mo−Si多層の表面に堆積された吸収性の調整層30は、その表面上にシリコン50によって囲われたp型のPd−Siペア(p Pd−Si pairs)を有する多層(3nmのPd+4nmのSi)を含む。
−その位相が制御された環境下(真空の有無)で低温(T<300℃)において単純なフルウェハーアニーリングによって調整可能である、EUVリソグラフィにおける位相シフトマスクを作り、
−1オングストローム(位相シフトに関してその程度のオーダーで)より良好な解像度でマスクのエッチングされた部分とエッチングされていない部分との間の厚さの変化を調整し、従って光学位相シフトを調整し、
−多層ミラー32、34の光学機能に対するあらゆる劣化なしに1Åのオーダーの精度でこの調整を行い、
−エッチングの直後(樹脂の除去後)に続いて真空下でこの調整を行うことができるようにするために、使用することができる。
6 基板
8 吸収層
10 保護層
11 入射放射線
12 バッファ層
13 反射部
15 衰弱部分
20 停止層
30 調整層
32 多層積層体
34 多層積層体
50 シリコン
Claims (24)
- (a)多層積層体(32、34)を形成する段階であって、前記積層体内又は前記積層体上に形成される金属−半導体混合体からなる調整層(30)を有する多層積層体(32、34)を形成する段階と、
(b)前記調整層の少なくとも一部を含んで前記多層積層体の一部をエッチングする段階と、
(c)前記調整層を1nm未満内に収縮するための焼き鈍し段階と、
を有する、光学部品の形成方法。 - 焼き鈍しは、真空下で行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記積層体のエッチングされていない部分(34)によって反射される放射線を光学的特性解析によって制御する段階をさらに含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記多層積層体のエッチングされた部分(32)によって反射される放射線と前記多層積層体のエッチングされていない部分(34)によって反射される放射線との位相差を光学的特性解析によって制御する段階をさらに有する、請求項1から3の何れか一項に記載の方法。
- 前記調整層(30)は、一連の金属−半導体二重層を有する、請求項1から4の何れか一項に記載の方法。
- 前記調整層(30)は、金属凝集体を有する半導体材料マトリクスを有する、請求項1から4の何れか一項に記載の方法。
- 前記調整層は、1から5または10の二重層を有する、請求項5に記載の方法。
- 前記調整層は、前記多層積層体(32、34)との界面に障壁層を含む、請求項1から7の何れか一項に記載の方法。
- 前記障壁層は、炭化ホウ素(B4C)、炭素、炭化モリブデン(MoC)、二酸化珪素(SiO2)またはケイ化モリブデン(MoSi2)を含む、請求項8に記載の方法。
- 前記多層積層体の厚さ(32、34)は、前記焼き鈍し段階中にほぼ一定のままである、請求項1から9の何れか一項に記載の方法。
- 前記調整層(30)は、エッチング停止層(40)上に位置する、請求項1から10の何れか一項に記載の方法。
- 前記調整層(30)は、前記多層のエッチングされていない部分(34)上に位置する、請求項1から11の何れか一項に記載の方法。
- 前記半導体は、ゲルマニウムである、請求項12に記載の方法。
- 前記金属は、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)またはコバルト(Co)である、請求項12または13に記載の方法。
- 前記半導体材料は、シリコンである、請求項1から12の何れか一項に記載の方法。
- 前記金属は、モリブデンまたはルテニウムである、請求項1から12の何れか一項に記載の方法。
- 前記焼き鈍し段階は、200℃、300℃または400℃未満の温度で行われる、請求項1から16の何れか一項に記載の方法。
- 部分的にエッチングされた多層積層体(32、34)であって、前記積層体のエッチングされた部分内又は前記積層体のエッチングされた部分上に形成される金属−半導体混合体からなる別個の調整層(30)を有する光学部品。
- 前記半導体材料は、シリコンまたはゲルマニウムである、請求項18に記載の部品。
- 前記調整層は、一連の金属−シリコン二重層を有する、請求項18または19に記載の部品。
- 前記調整層は、1から5または10の二重層を有する、請求項18から20の何れか一項に記載の部品。
- 前記金属は、モリブデン、ルテニウム、ロジウム(Rh)、クロム(Cr)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銅(Cu)、コバルト(Co)またはニッケル(Ni)である、請求項18から21の何れか一項に記載の部品。
- 前記調整層(30)は、エッチング停止層(40)上に位置する、請求項18から22の何れか一項に記載の部品。
- 前記調整層(30)は、前記多層のエッチングされていない部分(34)上に位置する、請求項18から23の何れか一項に記載の部品。
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