JP2008527386A - 流れを規定している構成体を持つ静電容量圧力センサ - Google Patents

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Abstract

圧力センサは、本体と隔膜と流れを規定する構成体とを有する。前記本体は、内容量室を規定する。前記隔膜は、内容量室を第1と第2のセクションとに分割する。前記隔膜の少なくとも第1の部分は、第1のセクションの圧力が第2のセクションの圧力に対して増加するとき、第1の方向へ動き、減少するとき、第2の方向へ動く。前記隔膜の第1の部分と本体の少なくとも第1の部分は、静電容量で特徴付けられる。静電容量は、本体の第1の部分に対する前記隔膜の第1の部分の動きに応答して変化する。流れを規定している構成体は、前記内容量室の第1の部分から外部への流路を与える。流路の少なくとも一部は、第1から第2の位置へ延びる。流路の少なくとも一部は、全長と直線距離で特徴付けられる。全長は、第1から第2の位置への軌道を通る最短距離である。直線距離は、第1と第2の位置の間の最短距離である。全長は、直線距離の少なくとも2倍よりも長い。

Description

この発明は、静電容量圧力センサに関する。特に、この発明は、静電容量圧力センサと共に使用する改良されたフィルタに関する。
図1Aは、従来技術のセラミックス静電容量圧力センサ100の縦側面図である。図1Bは、センサ100の分解図である。このセンサ100のようなセンサはよく知られているが、このセンサの構成と動作の簡単な記述が以下で与えられる。このセンサ100は、セラミックスPr本体102(Prは参照圧力を表す)と、セラミックスPx本体104(Pxは未知の圧力を表す)と、薄く可撓性のセラミックス隔膜106と、入口チューブ108とを有する。図1Aに示されるように、このセンサ100が組み立てられたとき、前記Pr本体102とPx本体104が一緒に結合され、この結果、前記隔膜106は、前記Pr本体とPx本体の間に固定される。前記隔膜106は、前記入口チューブ108中の圧力に応答して曲がる、即ち変形することができる。従って、前記チューブ108中の圧力は、前記隔膜106の位置を検出することで測定されることができる。
前記Pr本体102とPx本体104とは、一緒に結合されたとき、内容量室を規定するように形成されている。前記隔膜106は、この内容量室を上側チャンバ122と下側チャンバ124(上側、下側並びに同様の用語は、ここでは図面を参照して使用され、センサのいかなる絶対的な位置をも意味しない)とに分割している。センサ100が組み立てられたとき、前記隔膜106とPr本体102とは、一緒になって上側チャンバ122を形成し、前記隔膜106とPx本体104とは、一緒になって下側チャンバ124を形成している。前記Px本体104は、中央の孔126を規定している。前記入口チューブ108はまた、中央の通路130を形成し、この中央の通路130は、下側チャンバ124と流体的に連通している。
前記隔膜106は、薄く可撓性のセラミックスディスクであり、上に導電性フィルム140が配置されている。もう1つの導電性フィルム142が、前記Pr本体102の中央の一部に配置されていて、このフィルム142は、前記隔膜106上の導電性フィルム140と間隔を空けて向かい側にある。前記2つの導電性フィルム140、142は、可変コンデンサ144の2つのプレートを形成している。よく知られているように、前記可変コンデンサ144によって与えられる静電容量は、特に、前記2つのプレート140、142間の距離によって変動する。前記センサ100はまた、導電性ピン150、152を有する。一方のピン150は、前記隔膜106のフィルム140と電気的に接続されており、また、他方のピン152は、前記Pr本体102のフィルム142と電気的に接続されている。これらピン150、152は、それぞれ、このセンサ100の本体の外部と、前記フィルム140、142との電気的な接続を与える。
動作中、参照圧力(例えば真空)が前記上側チャンバ122中に確立され、前記入口チューブは、気体供給源と接続され、これより気体の圧力が測定される。前記隔膜106は、前記下側チャンバ中の圧力に応答して曲がり、即ち変形し、この結果、前記入口チューブ108中の圧力と一致して変化する前記可変コンデンサ144によって電気容量が与えられる。従って、前記可変コンデンサ144によって与えられる電気容量は、前記入口チューブ108中の圧力を示す。
よく知られているように、このセンサ100のようなセンサは、図1A並びに図1Bでは簡便化のために示されていない付加的な特性を有する。例えば、このようなセンサは、前記上側チャンバ122中の真空を維持するために、ゲッターをしばしば有する。また、このようなセンサは、図示された単一フィルム142の代わりに前記Prカバー102にそれぞれ置かれた2つの導電性フィルムをしばしば有する。よく知られているように、このような2つのフィルムを持つことで、センサに1つの代わりに2つの可変コンデンサを与えることができ、センサの温度安定性を向上させることができる。
このセンサ100のような圧力センサは、例えば、堆積室へ運ばれるガス管中の流体の圧力を測定するために、もしくは、堆積室自体の中の圧力を測定するために、集積回路製作の工場でしばしば使用される。アルミニウムのエッチングのような、集積回路製作で使用されるプロセスのいくつかは、大きな体積のパーティクルもしくは汚染物質を発生させる傾向がある。前記隔膜106がこのような汚染物質に直面するのを防ぐことが一般的に望ましい。前記隔膜106上にこのような汚染物質が堆積すると、このセンサ100によって与えられる圧力測定の正確さに著しく影響する。従って、従来技術の圧力センサは、前記隔膜106に汚染物質が達するのを防ぐための様々なメカニズムを使用している。
多くのこのような濾過のメカニズムが開発されてきているが、前記隔膜上に汚染物質が達したり留まったりするのを防ぐように、方法や構造を改良する必要性が依然としてある。
これらの、並びに他の目的は、改良された圧力センサによって達成される。
この圧力センサは、本体と、隔膜と、流れを規定している構成体とを有する。前記本体は、内容量室を規定している。前記隔膜は、前記内容量室を第1のセクションと第2のセクションとに分割している。前記隔膜の少なくとも第1の部分は、前記第1のセクションの圧力が前記第2のセクションの圧力に対して増加すると、第1の方向に動く。前記隔膜の前記第1の部分は、この第1のセクションの圧力が前記第2のセクションの圧力に対して減少すると、第2の方向に動く。前記隔膜の前記第1の部分と、前記本体の少なくとも第1の部分とは、静電容量によって特徴付けられる。この静電容量は、本体の前記第1の部分に対する隔膜の前記第1の部分の動きに応答して変化する。流れを規定する構成体は、少なくとも一部が、前記内容量室の前記第1のセクションから前記内容量室の外部への流路を規定している。前記流路の少なくとも一部は、第1の位置から第2の位置へ延びる。前記流路の少なくとも一部は、全長と直線距離によって特徴付けられる。前記全長は、前記第1の位置から前記第2の位置への軌道を通る最短距離である。前記直線距離は、前記第1の位置と前記第2の位置の間の最短距離である。
一態様では、前記全長は、前記直線距離の少なくとも5倍である。他の態様では、流れを規定する構成体は、非金属である。他の態様では、流路の少なくとも一部は曲がっている。他の態様では、流れを規定する構成体は、1つの単一の構造を有する。
この発明の他の目的と効果とは、この発明の最良形態の例に関して簡単に、いくつかの具体例が示され記述されている以下の詳細な記述から、これらの技術に関して容易に明確になることができる。この発明は、具体化されるとき、他の、並びに異なる具体例において実施が可能であり、前記いくつかの詳細は、様々な点において修正が可能である。従って、図面と記述は、本質を例証したものと見なされることができ、請求項で示されたアプリケーションの範囲に関して、制限的または限定的意味ではない。
この発明の本質と目的のより完全な理解とのために、同じ参照番号が同じもしくは同様の部分を示すように用いられている複数の添付図面に関する以下の詳細な記述を参照することができる。
図2Aは、この発明に従って構成された、組み立てられたセラミックス静電容量圧力センサ200を示す。図2Bは、センサ200を分解した図を示す。従来技術のセンサ100(図1Aと1B)と同様に、改良されたセンサ200は、Pr本体102と、隔膜106と、入口チューブ108と、導電性ピン150、152とを有する。しかしながら、従来技術のセンサ100とは異なり、改良されたセンサ200はまた、ターボ溜め260と改良されたPx本体204とを有する。前記ターボ溜め260は、前記Px本体204によって規定された中央の孔226中に置かれている。
以下で非常に詳細に議論されるように、前記ターボ溜め260は、濾過機能を与えている。即ち、前記ターボ溜め260は、パーティクルと汚染物質を取り除き、前記隔膜106に達することができるパーティクルと汚染物質の総量を減少させる。
図3Aは、図2A並びに2Bと同様の効果をもつ前記ターボ溜め260の拡大図である。図3Bは、図3Aに示された3B−3B線で示した方向からの、前記ターボ溜め260の底面図である。図示されたように、前記ターボ溜め260は、ねじに似ていて、中央の柱310とらせん状のねじ山320とを有する。このねじ山320の内側の一部は、ねじ山がねじの中央の一部に取着されているのと同じように、前記中央の柱310の外側の曲面に取着されている。前記ターボ溜め260はまた、基部340を形成するディスクを規定している。前記中央の柱310の底部は、基部340の中央の一部に取着されていて、前記ねじ山320の底部は、基部340と併合されている。図3A並びに3Bに示されたように、前記基部340は、複数の孔342を規定している。前記ターボ溜め260は、1つの単一のセラミックス片で構成されることが望ましい。
図4は、センサ200のPx本体204の中央の孔226中に置かれた前記ターボ溜め260の拡大図である。図示されたように、前記Px本体204の中央の孔226は、Px本体204の内壁228によって規定されている。前記ターボ溜め260がセンサ200に設置されたとき、前記ねじ山320の外端は、前記内壁228と密接に適合しているが、接触していない。前記ねじ山320の外端と内壁228との間の小さなギャップGが、図4Aに最も良く示されている。前記ターボ溜め260の中央の柱310は、前記孔226の中央部を占めている。従って、前記ターボ溜め260とPx本体204とは、前記中央の孔226の底部から上部へ延びているらせん状の溝350を規定するように協同している。前記ターボ溜め260の基部340の孔342は、前記入口チューブ108によって規定された溝130と前記らせん状の溝350との間に流体的な連通を与える。前記らせん状の溝350の上部は、前記隔膜106の底面とPx本体204の上面とによって規定される前記下側チャンバ124に連通している。従って、前記らせん状の溝350は、(前記入口チューブ108によって規定された)溝130と前記隔膜106との間の流体的な連通を果たす。前記溝130から前記隔膜106に向かって進むパーティクルもしくは汚染物質は、この隔膜106に達する前に、前記孔342と前記らせん状の溝350を通る。
前記ターボ溜め260の基部340によって規定された前記孔342は、選ばれた大きさのパーティクルが前記溝130から前記らせん状の溝350へ進むのを排除するように形成されている。即ち、前記孔342は、大きなパーティクルが前記溝350に入り込むのを防止するフィルタとして機能する。図3A並びに3Bに示されるように、前記孔342は、一般的に細長く、長さL(図3B)と幅W(図3A)によって特徴付けられている。1つの好ましい具体例では、幅Wは0.254ミリメートル(0.010インチ)、長さLは0.10668〜1.6002ミリメートル(0.0042〜0.063インチ)である。圧力が測定される気体中に見られるパーティクルの多くは、ほぼ球形であるので、前記孔342は、幅Wより長いか等しい半径によって特徴付けられるパーティクルを排除する。前記孔342は、U.S.Pat.No.5811685(汚染物質排除システムを備える流体圧力センサと題し、この発明の譲受人に譲渡されている)の図4に示されたバッフルの孔と同様の方法で形成されることができると理解される。
図3Bは、基部340の領域のおよそ3分の1に4グループで配置された複数の孔342を示す。即ち、図3Bに示された具体例では、基部340のおよそ3分の2は孔が形成されていない。しかしながら、例えば、図3Cでは、他の具体例が示されていて、前記孔342は、基部340全体に渡って配置されることができる。
このセンサ200は、低圧流体(例えば、2.67パスカル(0.02トル)以下)を測定するために使用されることができる。前記溝350中の圧力が約2.67パスカル(0.02トル)以下のとき、溝350中の物質の動きは、分子流によって特徴付けられる。図4に示すように、分子流は、分子が溝350中でセンサの固体表面(例えば、壁228、ねじ山320の壁、もしくは中央の柱310の外壁)と衝突するまで、ほぼ直線の軌道を進む。これは、分子がセンサの一表面から他の表面へと直線の軌道を進みそうもなく、その代わりに互いにはね返りが起こりそうな、密度の高い気体中での振る舞いと対照的である。分子流の条件下で、前記溝350を通過するいかなる汚染物質も、溝350を通過し隔膜106に達する前に、溝350(壁228、ねじ山320の壁、もしくは中央の柱の壁310)を規定する表面との衝突が何度も起こる。汚染物質パーティクルが、前記溝350を通過して下側チャンバ124に入るのではなく、このセンサ200の表面に堆積、もしくは付着する確率は、センサ200の表面に対して汚染物質が衝突する回数の増加関数である。前記溝350のらせん形状は、前記溝130から下側チャンバ124に向かって通過する汚染物質が、下側チャンバ124に達する前に、(前記溝350を規定する)センサ200の表面と何度も衝突することを保証する。これは、いかなる汚染物質も前記溝350を実際に通過し、隔膜106に達することができる可能性を著しく減少させる。
前記溝130かららせん状の溝350を通って下側チャンバ124に入る分子による軌道が、矢印360と370によって図4に示されている。矢印360は、前記溝130から前記孔342を通って前記らせん状の溝350に進む分子の軌道を示している。矢印370は、前記らせん状の溝350を通って下側チャンバ124に進む分子が一般的に従うらせん状の軌道を示している。しかしながら、矢印370は一般的、もしくは平均的な分子による軌道のみを表していると考えられることができる。分子が流れる領域での分子は、直線の軌道を進むので、分子は、矢印370によって示された平均的な流れを成すように、非常に多くの直線の軌道と衝突とを必要とする。
前記のように、らせん状の溝350を規定していることに加え、前記ターボ溜め260と前記Px本体204もまた、前記ねじ山320の外端と内壁228との間の小さなギャップG(図4Aに最も良く示されている)を規定している。このギャップGは、センサ200の組立を容易にするために(即ち、比較的もろいセラミックスの前記ターボ溜め260をPx本体に規定された前記孔226に挿入するのを容易にするために)与えられている。理論的には、前記溝130から下側チャンバ124に向かって進む分子は、前記らせん状の溝350を通る軌道(一般的に矢印370によって示される)に従う、もしくは前記ねじ山320の外端と内壁228との間のギャップGの1つを通過することによって近道をすることができる。しかしながら、前記内壁228とねじ山320の外端との間の小さなギャップGは、前記溝350のギャップよりもかなり小さいと考えることができる。従って、このギャップGによるコンダクタンスは、ギャップGを通るパーティクルと分子流をほとんど除去する前記溝350のコンダクタンスよりもかなり小さい。また、実際にギャップGに進入するいかなる汚染物質も、ギャップGにある間、前記ねじ山320と壁228の表面で何度もはね返りが起こりそうであり、この結果、ギャップGに付着する(即ち、ギャップGで規定される表面の1つに堆積する)。従って、もしこのセンサ200が、汚染物質を含む気体や液体の圧力を測定するために使用されるならば、汚染物質がギャップGに堆積することでギャップGはやがて詰まる、もしくは塞がりそうである。
ギャップGは、例えば、前記ねじ山320の外端と内壁228との間にガラスの目張りを与えることによって、組立の間、除去もしくは減少させることができる。しかしながら、ギャップGの存在は、前記ターボ溜め260、即ちこのセンサ200の性能を下げず、従って、ギャップGをなくす必要はないと考えられる。
汚染物質が隔膜に達する前に、いかなる汚染物質もセンサ200の表面と何度も衝突することを保証することによって、前記ターボ溜め260(とターボ溜め260によって形成された前記らせん状の溝350)は、U.S.Pat.No.6443015(静電容量圧力センサのためのバッフルと題し、この発明の譲受人に譲渡されている)に記載された、幅に対する長さの高いアスペクト比によって特徴付けられるチャンバと同様の機能を提供する。しかしながら、前記ターボ溜め260は、よりコンパクトな形状でこの機能を与え、非常に小さくコンパクトな圧力センサの生産をより促進する。図4Aに示すように、1つの好ましい実施例では、前記ターボ溜めの外径D1は6.299ミリメートル(0.248インチ)、前記Px本体で規定される孔226の直径は6.299ミリメートル(0.248インチ)、ギャップGは平均で0.0254ミリメートル(0.001インチ)である。この具体例では、前記基部340の外径は7.37ミリメートル(0.29インチ)、前記中央の柱310の高さH1は4.06ミリメートル(0.16インチ)、前記ターボ溜め全体の高さH2は4.57ミリメートル(0.18インチ)、前記基部340の高さH3は0.51ミリメートル(0.02インチ)である。この実施例ではまた、このセンサ200(図2B)の外径は3.81センチメートル(1.500インチ)、このセンサ200の高さH4は1.016センチメートル(0.400インチ)である。
要約すると、前記ターボ溜め260は、2つの代表的な形式の機械的な濾過機能を与える。即ち、第1に、前記孔342は、特定の大きさのパーティクルが前記溝350に進入するのを防ぐ。また、第2に、前記溝350の形状によって、溝350に進入する多くの(前記孔342を通り抜けられるだけ十分に小さい)汚染物質が前記隔膜106に達するのが防がれる。
前記の機械的な濾過機能に加えて、前記ターボ溜め260はまた、熱的な濾過機能を提供する。このセンサ200は、熱い気体や液体(例えば200度)の圧力を測定するために使用されることができる。このセンサが、圧力を測定される気体の温度、もしくはこの近くの温度であるように、加熱されることができる。熱センサ200は、センサ200の内部表面上に凝縮される量を減少させ、また、センサ200によって与えられる圧力測定の正確さを向上させることができる。動作中、前記入口チューブ108は、圧力が測定される気体源と一般的に接続されている。気体源は、例えば、パイプ、バルブ、またはチャンバで良い。圧力が測定される気体が高い温度のとき、前記入口チューブ108に接続された気体源は、熱放射源としてセンサ200のように考えることができる。前記ターボ溜め260は、気体源から前記隔膜106へのサイトパス(sight pass)のラインを塞ぎ、この結果、熱放射に対する濾過を提供する。即ち、前記ターボ溜め260は、気体源から放射される熱が前記隔膜206に直接入射するのを防ぐ。
前記ターボ溜め260は、セラミックス静電容量圧力センサに関連して記述されている。しかしながら、前記ターボ溜め260は、他のタイプのセンサにも使用されることができる。例えば、前記ターボ溜め260は、金属で製造されて、金属センサで使用されることができる。金属はセラミックスよりももろくないので、このようなセンサで、前記ねじ山の外端と前記孔226の内壁との間のギャップGをなくす、もしくは減少させることは比較的簡単であると考えられる。例えば、このセンサで、前記ターボ溜めの外径は、ターボ溜めに適合する範囲で前記孔の直径よりもわずかに大きく作製されることができ、また、(より大きな)ターボ溜めは(より小さな)孔に適合させるように押圧されることができる。
また、前記ターボ溜め260は、1本のらせん状のねじ山320(これによってらせん状の溝350を規定する)を有すると記述されている。しかしながら、前記ねじ山320も前記溝350も、完全ならせん状である必要はない。前記ターボ溜めと前記Px本体とによって規定された溝350が環状、もしくは曲がりくねっている限り、(少なくとも、前記溝内の圧力が、分子流を十分に提供できるくらい低いとき、汚染物質が隔膜に達する前に、汚染物質がこのセンサの表面に何度も接触するのを保証することによって)このターボ溜めは、望ましい汚染物質の濾過機能を提供する。図5は、らせん状の溝500の概略図である。前記溝500は、入口502と出口504とを有する。図5に示された溝500は、(例えば図4に示された)前記溝350の概略的な描写であると考えられる。即ち、前記入口502は、前記孔342に対応し、前記出口504は、前記溝350と前記下側チャンバ124との連結部に対応している。図6は、他の曲がった溝510の概略図であり、この溝510は、入口512と出口514とを有する。前記溝510は、らせん状ではなく、環状、もしくは曲がりくねっている。この発明に従って形成されるターボ溜めは、らせん状の溝の代わりに、図6に示されるような形状の溝を提供することができる。これらの溝500、510はかなり異なって見えるが、これらは重要な共通の特性を持つ。どちらの溝も、入口から出口への直線の軌道を提供しない。また、前記入口から出口へ進む前に、溝500、510のどちらを通って進むパーティクルも、何度か方向を変えることができる。これらの溝500、510は、全長LT(即ち、前記入口から出口へ溝の中を延びる長さ)、前記入口と出口の間の直線距離DSによって特徴付けられる。両方の溝で、溝の全長LTは、直線距離DSよりも十分に長い。
溝500、510、もしくは他の曲がりくねった溝を使用するセンサは、この発明に従って構成されることができるが、前記らせん状の溝500、もしくは350が最適である。なぜならば、いかなる溝も直線部分を有さず、代わりに(らせん状の溝でのような)一定の曲がった部分があり、1つの直線の軌道によって通り抜けられることができる溝の長さの重要な部分がないからである。一方で、前記溝510のような溝は、1つの直線の軌道によって通り抜けられることができる部分を有する。例えば、少なくとも理論的には、前記溝510のような溝は、約20回の衝突のみ(即ち、溝内であらゆる適切な角度に対する1つの衝突)が起こる分子流の領域で、分子によって通り抜けられることができる。一方で、分子流の領域での流れは、同様の全長を持つ一定の曲がった溝を通り抜けるために、分子に対して非常に多くの衝突が必要とされる。また、すべての一定の曲がった溝の中で、らせん状の溝が、与えられた全長に対して最も形状的にコンパクトである。従って、らせん状の溝が最適である。
この発明に従って構成された溝で、溝の全長LTは、できれば入口と出口の間の直線距離DSの少なくとも2倍よりも長いことが望ましい。溝の全長LTは、入口と出口の間の直線距離DSの少なくとも5倍よりも長いことがより望ましい。溝の全長LTは、入口と出口の間の直線距離DSの6倍よりも長いことがより望ましい。また、溝は、入口から出口へ環状、もしくは曲がりくねった軌道によって特徴付けられることが望ましい。前記ターボ溜め260の具体例で、寸法を示すD1〜D3、H1〜H3が(図4Aに関連して)上記で与えられ、溝の全長LTの最小値(即ち前記中央の柱310の周りで近接して流れを受ける軌道)が約3.05センチメートル(1.2インチ)であるのに対し、前記ターボ溜めの全高さH2(直線距離DSに近い)は約0.46センチメートル(0.18インチ)である。
前記ターボ溜め260は、1つのねじ山320を有すると記述されている。前記ターボ溜め260は、1つのねじ山で記述されている代わりに、いくつかのねじ山で構成されることができると考えられる。このような具体例では、このセンサは、1つの曲がりくねった溝の代わりに、複数の環状、もしくは曲がりくねった溝を規定する。また、前記ターボ溜めは、ねじ山から広がる障害物(例えば、フィン)を有し、前記溝350を邪魔するかもしれないので、汚染物質が前記隔膜に達することができない可能性がさらに増加するかもしれない。このような障害物は、前記溝350のコンダクタンスを十分に減少させないことが望ましい。また、前記ターボ溜め260は、このセンサ本体で規定された孔中に配置されると記述されている。あるいは、前記ターボ溜めは、前記入口チューブ中に配置されることができる。
ここでのこの発明に関連する範囲から逸脱せずに、上記の一連の装置に対して特定の変化を加えるとき、上記に含まれた、もしくは添付図面で示されたすべての事柄は、例証であると解釈され、限られた意味ではない。
図1Aは、従来技術のセラミックス静電容量圧力センサの縦側面図である。 図1Bは、図1Aに示された前記センサの分解図である。 図2Aは、この発明に従って構成されたセラミックス静電容量圧力センサの縦側面図である。 図2Bは、図2Aに示された前記センサの分解図である。 図3Aは、この発明に従って構成されたターボ溜めの側面図である。 図3Bは、図3Aに3B−3Bの線で示された方向からの、前記ターボ溜めの底面図である。 図3Cは、この発明に従って構成された他のターボ溜めの概観図である。 図4は、図2A並びに2Bに示されたセンサのターボ溜めと、Px本体の部分と、入口チューブの部分との拡大図である。 図4Aは、図4に示されたものと同じ構成で、参照符号がなく、寸法の線が示された図である。 図5は、この発明に従って構成されたセンサによって形成されたらせん状の溝の概略図である。 図6は、この発明に従って構成されたセンサによって形成されたらせん状でない溝の概略図である。

Claims (23)

  1. 内容量室を規定し、第1の孔を規定している壁を有する本体と、
    前記内容量室を第1のセクションと第2のセクションとに分割している可撓性の隔膜と、
    セラミックスによって形成され、前記第1の孔中に配置された第1の構造部分を有し、流れを規定する構成体とを具備する圧力センサであって、
    前記第1の孔は、前記内容量室の外部のパーティクルが、前記第1の孔を通って進み隔膜へ達するように配置されていて、
    前記隔膜の少なくとも第1の部分が、前記第1のセクションの圧力が前記第2のセクションの圧力に対して増加すると、第1の方向に動き、また、前記第1のセクションの圧力が前記第2のセクションの圧力に対して減少すると、前記隔膜の第1の部分は第2の方向に動き、
    前記隔膜の第1の部分と本体の少なくとも第1の部分とが、静電容量によって特徴付けられ、この静電容量は、前記本体の第1の部分に対する前記隔膜の第1の部分の動きに応答して変化し、
    また、前記第1の構造部分は、前記壁と間隔を空けていて、前記構成体は、少なくとも一部が、前記内容量室の前記第1のセクションからこの内容量室の外部の位置への、第1の流路を規定し、この第1の流路の少なくとも一部は、第1の位置から第2の位置に延び、この第1の流路の少なくとも一部は、全長と直線距離によって特徴付けられ、この全長は、前記第1の位置から前記第2の位置への軌道を通る最短距離であり、また、前記直線距離は、前記第1の位置と前記第2の位置の間の最短距離であり、全長は直線距離の少なくとも5倍であるような、圧力センサ。
  2. 流れを規定する前記構成体は、中央の柱と、この中央の柱の外側に配設されたほぼらせん状の少なくとも1つのねじ山とを有する請求項1のセンサ。
  3. 流れを規定する前記構成体は、複数の孔を規定している基部をさらに有する請求項2のセンサ。
  4. 前記第1の流路の前記少なくとも一部は、ほぼらせん状である請求項1のセンサ。
  5. 内部の溝を規定している入口チューブをさらに具備し、この内部の溝は、前記第1の流路と流体的に連通している請求項1のセンサ。
  6. 前記本体は、セラミックス材料で形成され、また、前記隔膜は、セラミックスの隔膜部と金属の隔膜部とを有する請求項1のセンサ。
  7. 前記本体の前記第1の部分は、金属フィルムで形成されている請求項1のセンサ。
  8. 前記本体は、セラミックス材料で形成されている請求項1のセンサ。
  9. 前記第1の流路の前記少なくとも一部は、滑らかな曲線によって特徴付けられる流路の一部を有する請求項1のセンサ。
  10. 前記本体は、第1のセラミックス部分と第2のセラミックス部分とを有し、第1の金属フィルムが、前記本体の前記第1のセラミックス部分の一部に配置され、前記本体の前記第2のセラミックス部分は、前記第1の孔を規定している前記壁を有し、
    また、可撓性の前記隔膜は、セラミックスの隔膜部と、このセラミックスの隔膜部に配置された金属フィルムとを有し、本体の前記第1のセラミックス部分と本体の前記第2のセラミックス部分の間に配置され、
    さらに、第1の端が、本体の前記第2のセラミックス部分と接続されていて、第2の端が、流体源と接続するように形成され、前記第2の端から前記第1の端へ延びた内部の溝を規定し、この内部の溝は、前記第1の孔と流体的に連通している、入口チューブを具備し、
    さらに、流れを規定する前記構成体は、基部と、中央の柱と、ねじとを有し、このねじは、前記中央の柱の外側に配設され、また、前記構成体と、本体の前記第2のセラミックス部分とは、ほぼらせん状の溝を規定し、このらせん状の溝は、前記第1の流路の少なくとも一部を有し、前記隔膜に達する前に、前記内部の溝から前記隔膜へ進む流体の少なくとも一部が、前記ほぼらせん状の溝を通過するように形成され、前記基部は、前記内部の溝から前記ほぼらせん状の溝を分離し、また、この基部は、複数の孔を規定し、これら孔は、前記ほぼらせん状の溝と前記内部の溝との間に流体的な連通を与える請求項1のセンサ。
  11. 前記構成体は、少なくとも一部が、第2の流路を規定し、この第2の流路は、前記内容量室の前記第1のセクションから内容量室の外部の位置へ延び、前記第2の流路の少なくとも一部は、前記第1の位置から前記第2の位置へ延び、前記第1の流路は、前記第2の流路よりも高いコンダクタンスを有する、請求項1のセンサ。
  12. 流れを規定する前記構成体は、中央の柱と、この中央の柱の外側に配設されたほぼらせん状の少なくとも1つのねじ山とを有する請求項11のセンサ。
  13. 流れを規定する前記構成体は、複数の孔を規定している基部をさらに有する請求項12のセンサ。
  14. 前記第1の流路の前記少なくとも一部は、ほぼらせん状である請求項11のセンサ。
  15. 内部の溝を規定している入口チューブをさらに具備し、この内部の溝は、前記第1と第2の流路を流体的に連通している請求項11のセンサ。
  16. 前記本体は、セラミックス材料で形成され、前記隔膜は、セラミックスの隔膜部と金属の隔膜部とを有する請求項11のセンサ。
  17. 本体の前記第1の部分は、金属フィルムで形成されている請求項11のセンサ。
  18. 前記第1の流路の前記少なくとも一部は、滑らかな曲線によって特徴付けられる流路の一部を有する請求項11のセンサ。
  19. 流れを規定する前記構成体は、前記らせん状のねじ山から第1の流路の少なくとも一部へ延びた複数の障害物をさらに有する請求項2のセンサ。
  20. 流れを規定する前記構成体は、前記ねじかららせん状の溝の少なくとも一部へ延びた複数の障害物をさらに有する請求項10のセンサ。
  21. 流れを規定する前記構成体は、前記らせん状のねじから前記第1の流路の少なくとも一部へ延びた複数の障害物をさらに有する請求項12のセンサ。
  22. 前記本体は、セラミックス材料で形成された請求項11のセンサ。
  23. 前記本体は、前記第1の孔に近接した第2の孔を規定する第2の壁を有し、この第2の孔は前記第1の孔より大きく、前記基部は、この第2の孔中に配置されている請求項3のセンサ。
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