JP2014137275A - 圧力測定器及びその圧力測定器を備える基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準圧力室10Aを内部に備える検出部21と、ダイヤフラム10と測定圧力室10Bとを連通する連通部22と、検出部21と連通部22との間に配置され、略円環形状の通路を形成する円環流路形成部23とを有し、検出部21は円筒形状の内部にダイヤフラム10を配置され、連通部22は、検出部の該円筒形状の内径より小さい内径を有する円管形状であり、測定圧力室の気体を略円環形状の通路に流入させ、円環流路形成部23は、連通部から流入する気体を略円環形状の通路に通過させ、通過させた気体をダイヤフラムの側面に供給し、略円環形状の通路はダイヤフラムの変位量の微分値が最大値となる位置と対向する位置に形成される。
【選択図】図2
Description
[圧力測定器の構成]
図2を用いて、本発明の第1の実施形態に係る圧力測定器100について説明する。なお、図2は、本実施形態に係る圧力測定器100の一例を説明する概略断面図である。
以下に、本発明の実施形態に係る圧力測定器100の内部流路について説明する。
第1の実施形態に係る圧力測定器100を含む第2の実施形態に係る基板処理装置(縦型熱処理装置)200を用いて、本発明を説明する。本実施形態に係る基板処理装置200は、互いに反応するAガス及びBガスを交互に処理室に供給することによって、処理室内に配置された基板を処理する。また、基板処理装置200は、不活性ガスのCガスを用いて、処理室内をパージする。このとき、基板処理装置200は、圧力測定器100を用いて、処理状態に応じて処理室内の圧力をそれぞれ測定する。
図6を用いて、本実施例に係る圧力測定器100Eの構成等を具体的に説明する。図6は、本実施例に係る圧力測定器100Eを説明する概略断面図である。
図7(a)は、比較例1に係る圧力測定器301を説明する概略断面図である。
図7(b)は、比較例2に係る圧力測定器302を説明する概略断面図である。
図8に、本実施例に係る圧力測定器100Eの効果・利点を確認するために行った実験の実験結果の一例を示す。本実験は、本実施例に係る圧力測定器100E(図6)の実験結果L1と比較例の圧力測定器301、302(図7(a)、図7(b))の実験結果La、Lbとを比較した。ここで、図8の横軸は、圧力測定器の使用時間tである。図8の縦軸は、圧力測定器の0点位置を示す無次元数Spである。
200 : 基板処理装置
10、11 : ダイヤフラム
10A: 基準圧力室
10B: 測定圧力室
21 : 検出部
22 : 連通部
23 : 円環流路形成部
23P: 円形平板
23Pa:円形の開口
Dd、Dd1 : ダイヤフラムの外径(第1の連通部の内径)
Ds、Ds1 : 円環形状の通路の中心径
Ws、Ws1 : 円環形状の通路の幅
Rd : 所定の範囲
f1、f2 : ダイヤフラムに作用する応力
Claims (6)
- 基準圧力室と測定圧力室との境界に配置されたダイヤフラムを用いて、前記ダイヤフラムの変形を検出することによって、該測定圧力室の圧力を測定する圧力測定器であって、
前記基準圧力室を内部に備える検出部と、
前記ダイヤフラムと前記測定圧力室とを連通する連通部と、
前記検出部と前記連通部との間に配置され、略円環形状の通路を形成する円環流路形成部と
を有し、
前記検出部は、円筒形状であり、該円筒形状の内部に前記ダイヤフラムを配置され、
前記連通部は、前記検出部の該円筒形状の内径より小さい内径を有する円管形状であり、前記測定圧力室の気体を前記略円環形状の通路に流入させ、
前記円環流路形成部は、前記連通部から流入する気体を前記略円環形状の通路に通過させ、通過させた気体を前記ダイヤフラムの側面に供給し、
前記略円環形状の通路は、前記ダイヤフラムの変位量の微分値が最大値となる位置と対向する位置に形成される、
ことを特徴とする圧力測定器。 - 前記略円環形状の通路の内径と外径との範囲は、前記基準圧力室と前記測定圧力室との圧力差によって前記ダイヤフラムが軸対称で変形する位置に対向する所定の範囲である、ことを特徴とする、請求項1に記載の圧力測定器。
- 前記円環流路形成部は、円形平板を備え、
前記円形平板の外径は、前記検出部の内径又は前記ダイヤフラムの外径に対して5%から15%の範囲内の大きさである、ことを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の圧力測定器。 - 前記円形平板の外径は、前記検出部の内径又は前記ダイヤフラムの外径に基づいて設定されることによってシフト量及び/又はシフト方向を制御する、ことを特徴とする、請求項3に記載の圧力測定器。
- 前記ダイヤフラムの変形を静電容量式、圧電式、又は、光学式で検出する、ことを特徴とする、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の圧力測定器。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の圧力測定器と、
前記測定圧力室と連通する処理室で基板を処理する基板処理手段と、
を有する基板処理装置。
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