JP2008526014A - 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、第1の窒化物半導体層と、第1の窒化物半導体層上に形成された活性層と、活性層上に形成されたデルタドープ第2の窒化物半導体層とを含む窒化物半導体発光素子であって、本発明による窒化物半導体発光素子及びその製造方法によれば、窒化物半導体発光素子の光出力が向上し、光出力低下現象が改善され、ESD(Electro Static Discharge)に対する信頼性が向上する。
【選択図】図6
Description
また、デルタドープp−GaN層は、アンドープAlGaN/デルタドープp−GaN構造を一周期として形成でき、その周期で複数回繰り返して成長できる。アンドープAlGaN層は、Alの組成が0.01〜0.02内で、10〜300Åの厚さの範囲で成長される。
また、第1の実施形態及び第2の実施形態では、第1の電極接触層であるn−GaN層は、Si−In同時ドーピングにより形成されたn−GaN層であることができ、そのドーピング濃度は1〜9×1019/cm3の範囲で形成され、その厚さは1〜4μmの範囲内で形成されることができる。
また、活性層は、井戸層/SiNxクラスター層/障壁層からなる単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造で提供され、SiNxクラスター層はSiデルタドーピング方法により成長できる。また、SiNxクラスター層は、SiH4又はSiH6ドーピング源のみとしてSiデルタドーピング方法により成長できる。
Claims (44)
- 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成されたデルタドープ第2の窒化物半導体層とを含むことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層上に形成された第3の窒化物半導体層を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第3の窒化物半導体層は、インジウム含量が順次変化されたスーパーグレーディング構造のn−InGaN層又はn−InGaN/InGaN超格子構造層で形成されることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第3の窒化物半導体層と前記デルタドープ第2の窒化物半導体層との間にSiドープGaN層がさらに形成されることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第3の窒化物半導体層上には、透明電極がさらに形成されることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記透明電極は、ITO、IZO(In−ZnO)、GZO(Ga−ZnO)、AZO(Al−ZnO)、AGZO(Al−Ga ZnO)、IGZO(In−Ga ZnO)、IrOx、RuOx、RuOx/ITO、Ni/IrOx/Au、Ni/IrOx/Au/ITOの何れか一つで形成されることを特徴とする請求項5に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の窒化物半導体層の下部に具備されるバッファ層と、
前記バッファ層の下部に具備される基板とをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。 - 前記バッファ層の上部に具備されるひずみ制御層を含むことを特徴とする請求項7に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記バッファ層は、AlInN/GaN積層構造、InGaN/GaN超格子構造、InxGa1−xN/GaN積層構造及びAlxInyGa1-(x+y)N/InxGa1−xN/GaNの積層構造から選択されて形成されることを特徴とする請求項7に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の窒化物半導体層と前記活性層との間に、インジウム含量が1〜5%であるローモル窒化物半導体層をさらに形成することを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、10〜300Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、アンドープGaN/デルタドープp−GaN、アンドープAlGaN/デルタドープp−GaN、アンドープInGaN/デルタドープp−GaN、アンドープGaN/アンドープAlGaN cap/デルタドープp−GaN及びアンドープInGaN/アンドープAlGaN cap/デルタドープp−GaNの何れか一つで1回以上繰り返して成長されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、ドーピング量を変化させたものを一周期として形成され、前記一周期を1回以上繰り返して成長されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、MgデルタドープGaN層、Mg−AlデルタドープGaN層又はMg−Al−InデルタドープGaN層の何れか一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、アンドープGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープAlGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープInGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層及びアンドープInGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層構造の何れか一周期により、前記一周期の厚さが互いに異なるように2回以上繰り返して成長される、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記アンドープAlGaN層は、Alの組成が0.01〜0.02内で、10〜300Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項15に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記アンドープInGaN層は、Inの組成が0.01〜0.1内で、10〜300Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項15に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記アンドープAlGaN cap層は、Alの組成が0.01〜0.02の内で、5〜200Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項15に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の窒化物半導体層は、Si−In同時ドーピングにより形成されたn−GaN層であり、そのドーピング濃度は1〜9×1019/cm3の範囲で形成され、その厚さは1〜4μmで形成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の窒化物半導体層は、アンドープAlGaN/ドープGaN超格子構造を一周期として、その周期で複数回繰り返して成長され、全体厚さは2μm以下で形成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記アンドープAlGaN層は、Alの組成が0.05〜0.3内で、10〜200Åの厚さの範囲で形成され、前記ドープGaN層は、200〜500Åの厚さの範囲で形成されることを特徴とする請求項20に記載の窒化物半導体発光素子。
- バッファ層と、
前記バッファ層上に形成される第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層上に形成される第1の電極接触層と、
前記第1の窒化物半導体層上に形成され、井戸層及び障壁層からなる単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造の活性層と、
前記活性層上に形成されたMgデルタドープ第2の窒化物半導体層とを含むことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記Mgデルタドープ第2の窒化物半導体層は、第2の電極接触層であることを特徴とする請求項22に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記Mgデルタドープ第2の窒化物半導体層上に形成されるn型第2の電極接触層を含むことを特徴とする請求項22に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記井戸層と前記障壁層との間には、SiNxクラスター層がさらに挿入されることを特徴とする請求項22に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記SiNxクラスター層は、Siデルタドーピング方法により成長されることを特徴とする請求項25に記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板上にバッファ層を形成するステップと、
前記バッファ層上に第1の窒化物半導体層を形成するステップと、
前記第1の窒化物半導体層上に活性層を形成するステップと、
前記活性層上にデルタドープ第2の窒化物半導体層を形成するステップとを含むことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記バッファ層は、AlInN/GaN積層構造、InGaN/GaN超格子構造、InxGa1−xN/GaN積層構造及びAlxInyGa1-(x+y)N/InxGa1−xN/GaNの積層構造から選択されて形成されることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記活性層の形成前に、インジウム含量が1〜5%であるローモル窒化物半導体層を形成するステップがさらに含まれることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、MgデルタドープGaN層、Mg−AlデルタドープGaN層又はMg−Al−INデルタドープGaN層の何れか一つを含むことを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、10〜300Åの厚さの範囲で成長され、Cp2MG又はDMZn MOソースを用いて成長されることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、アンドープGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープAlGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープInGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層及びアンドープInGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層構造の何れか一つで1回以上繰り返して成長される、請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、ドーピング量を変化させたものを一周期として形成され、前記一周期を1回以上繰り返して成長されることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層のドーピング源として、Cp2Mg及びDMZn MOの何れか一つ、又は、Cp2Mg及びDMZn MOの何れか一つとTMAl及びTMInMOの何れか一つとが共に使用されることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記デルタドープ第2の窒化物半導体層は、アンドープGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープAlGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープInGaN層/デルタドープp−GaN層、アンドープGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層及びアンドープInGaN層/アンドープAlGaN cap層/デルタドープp−GaN層構造の何れか一周期により、前記一周期の厚さが互いに異なるように2回以上繰り返して成長される、請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記アンドープAlGaN層は、Alの組成が0.01〜0.02内で、10〜300Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項35に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記アンドープInGaN層は、Inの組成が0.01〜0.1内で、10〜300Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項35に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記アンドープAlGaN cap層は、Alの組成が0.01〜0.02内で、5〜200Åの厚さの範囲で成長されることを特徴とする請求項35に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第2の窒化物半導体層上に第3の窒化物半導体層を形成するステップがさらに含まれることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第3の窒化物半導体層は、インジウム含量が順次変化されたスーパーグレーディング構造のn−InGaN層又はn−InGaN/InGaN超格子構造層で形成されることを特徴とする請求項39に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第3の窒化物半導体層と前記デルタドープ第2の窒化物半導体層との間に、SiドープGaN層を形成するステップがさらに含まれることを特徴とする請求項39に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記バッファ層の形成後に、インジウムがドープされた窒化物半導体層を形成するステップがさらに含まれることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記活性層は、井戸層/SiNxクラスター層/障壁層からなる単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造で設けられていることを特徴とする請求項27に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記SiNxクラスター層は、SiH4又はSiH6ドーピング源としてSiデルタドーピング方法により成長されることを特徴とする請求項43に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
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