JP2008525750A - 凍結乾燥処理中に脱水運転を監視するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記気体からプラズマを発生するように構成された発生器と結合された前記気体と接触しているプラズマ源を備える、気体をイオン化するためのシステムと、
前記プラズマにより放出される放射スペクトルの発生を分析するための装置に連結されたプラズマ発生区域の近くに配置された放射線センサを備える、イオン化された気体を分析するためのシステムと
を備える。
電極を含むシステム(低圧でのルミネセンス型もしくは大気圧でのコロナ型の電場における放電)によって、
または、電極なしのシステム(可変の無線周波数もしくはマイクロ波周波数の電磁場における放電)によって
プラズマを発生する気体にエネルギーを伝達することができる。
Claims (12)
- 筐体内に含まれる気体を分析するための分析器を含む、真空ラインに連結された前記筐体内での凍結乾燥中の脱水を制御するための装置であって、前記気体分析器が、
前記気体からプラズマを発生するように構成された発生器と結合された前記気体と接触しているプラズマ源を備える、気体をイオン化するためのシステムと、
前記プラズマにより放出される放射スペクトルの発生を分析するための装置に連結されたプラズマ発生区域の近くに配置された放射線センサを備える、イオン化された気体を分析するためのシステムと
を備えることを特徴とする、装置。 - 前記プラズマ源が前記筐体に通じている励起チャンバ内にある、請求項1に記載の装置。
- 前記プラズマ源が誘導結合によって生成される請求項1または、請求項2に記載の装置。
- 前記発生器が無線周波数発生器である、請求項3に記載の装置。
- 前記発生器が、前記チャンバの外側の周りに巻き付けられた誘導ソレノイドによって誘導的に前記プラズマを発生する、請求項4に記載の装置。
- 前記発生器が、前記チャンバの内側の励起アンテナによって誘導的に前記プラズマを発生する、請求項4に記載の装置。
- 前記アンテナがペニングマノメータである、請求項6に記載の装置。
- 前記放射スペクトルの発生を分析するための前記分析器が発光分析装置である、請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記チャンバの壁が石英、光学ガラス、または酸化アルミニウムである、請求項2から8のいずれかに記載の装置。
- 請求項1から9のいずれかに記載の装置によって筐体内での凍結乾燥中の脱水を制御する方法であって、脱水運転の一次乾燥ステップの終わりが、前記プラズマにより放出される放射スペクトルの発生を分析するための装置に連結されたプラズマ源を用いて前記筐体内の気体を分析することによって検出されることを特徴とする、方法。
- 前記放射スペクトルの発生を分析するための前記分析器が発光分析装置である、請求項10に記載の装置。
- 前記プラズマ源が誘導結合によって生成される、請求項10または請求項11に記載の方法。
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Zendehnam | Excitation processes in the positive column of electrical discharges in inert gases |
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