ここでは、半導体ウエハの表面に亘って改善された分布の化学物質を提供するバッチスプレイツールシステム及び方法が説明される。次の説明では、例示的な実施例の種々の局面が、本分野の他の当業者に仕事の内容を伝達するために当業者に一般的に用いられている用語を用いて説明される。しかし、当業者にとっては、本発明が幾つかの説明される局面のみで実現できることは明らかだろう。説明の目的上、特定の数、材料及び構成は、例示的な実施例の完全な理解のために提供される。しかし、当業者にとっては、本発明が特定の詳細無しで実現できることは明らかだろう。他の例において、広く知られた構成は、例示的な実施例の邪魔とならないように割愛ないし簡易化される。
種々の動作は、本発明を理解するのに最も有用な態様で、多数の離散的な動作として説明されるが、説明の順番は、これらの動作が必然的に順番に依存することを暗示すると解釈されるべきでない。特に、これらの動作は、提示の順に実行される必要はない。
図1は、従来のバッチスプレイツール100を示す。処理室(図示せず)内には、2以上のプロセスカセット102がターンテーブル104に搭載される。各プロセスカセット102は、半導体ウエハ106の1ロットをスタック(積層)態様で保持する。図1は、スタックの半導体ウエハ106の上部のみを示す。各ロットは、任意の適切な数の半導体ウエハ106、例えば25個の半導体ウエハ106を含んでよい。当然ながら、プロセスカセット102は、25個以上若しくは以下の半導体ウエハ106を保持してもよい。バッチスプレイツール100は、また、1つ以上のスプレイポスト(spray posts)108を含んでよく、スプレイポスト108から、1以上の化学物質が、半導体ウエハ106上に定量供給(例えば噴射)される。スプレイポスト108は、サイドスプレイポスト108(A)及び/又はセンタスプレイポスト108(B)を含んでよい。
ターンテーブル104は、反時計方向(図1に示すように)若しくは時計方向のいずれかで処理室内を回転することができる。スプレイポスト108は、化学物質110を定量供給する際、回転せず、処理室内の固定位置に留まる。ターンテーブル104が回転すると、半導体ウエハ106は、ターンテーブル104の中心軸まわりに回転し、スプレイポスト108を通過し、そこで、定量供給されている化学物質を受ける。ある知られたシステムでは、サイドスプレイポスト108(A)のみが用いられる。他の知られたシステムでは、(図1に示すように)サイドスプレイポスト108(A)及びセンタスプレイポスト108(B)の双方が用いられる。
プロセスカセット102は、ターンテーブル104とプロセスカセット102の間の相対的に動きがないように、ターンテーブル104に取り付けられる。その結果、各半導体ウエハ106の外向きの縁部112(即ち、ターンテーブル104の中心に対して外向きの縁部)は、ターンテーブル104の回転の際に常に外に向き、各半導体ウエハ106の内向きの縁部114(即ち、ターンテーブル104の中心に対して内向きの縁部)は、ターンテーブル104の回転の際に常に内に向く。例えば、半導体ウエハ106が、そのウエハノッチがターンテーブル104の中心に向くように装着される場合、ターンテーブル104の回転の際、ウエハノッチは、ターンテーブル104の中心を向き続ける。
唯一のサイドスプレイポスト108(A)を用いるシステムでは、ターンテーブル104の回転は、外向きの縁部112を、化学物質110が噴射される半導体ウエハ106の部分のみに連続的にする。内向きの縁部114は、半導体ウエハ106の全体表面に亘って化学物質110が移動した後だけ化学物質110を受ける。化学物質110の各半導体ウエハ106の表面に亘る正確な経路は、噴射力、回転速度、及び、法線に対するウエハの角度のようなパラメータにより影響されるが、化学物質110は、全体として、外向きの縁部112から内向きの縁部114への実質的に単一の方向でウエハ106に亘って主に移動するといえる。この一方向の移動は、半導体ウエハ106の表面に亘った化学物質110の不均一な分布を引き起こす傾向にある。
サイドスプレイポスト108(A)及びセンタスプレイポスト108(B)の双方を用いるシステムでは、化学物質110は、半導体ウエハ106に亘って2方向に移動することができる。プロセスカセット102がサイドスプレイポスト108(A)を通過する際、外向きの縁部112は、依然として化学物質110を受ける半導体ウエハ106の第1の部分である。また、プロセスカセット102がセンタスプレイポスト108(B)を通過する際、内向きの縁部114は、化学物質110を受ける半導体ウエハ106の第1の部分である。化学物質110は、この度は、半導体ウエハ106の表面に亘って2方向で分散されるが、不均一性は依然として存在する。
図2は、プロセスカセット120への半導体ウエハ106の搭載の仕方を示す。図に示すように、プロセスカセット102は、半導体ウエハ106のスタックを固定するために複数の支柱マウント200を用いる。ターンテーブル104が回転し、各半導体ウエハ106が化学物質110の1方向若しくは2方向の塗布を受ける際、支柱マウント200は、支柱マウント200の近傍の一以上の領域202にてウエハの不均一性を生む前縁作用及び後縁作用を引き起こす。これは、従来のバッチスプレイツールで発生する更なるその他の問題である。
これらの不均一性の問題を軽減するため、本発明により製作されるバッチスプレイツールは、半導体ウエハ106がターンテーブル104から独立して回転されるバッチスプレイ処理を提供する。即ち、バッチスプレイ処理中にターンテーブル104が回転する際、半導体ウエハ106は、ターンテーブル104から独立してターンテーブル104に対して回転する。これにより、各半導体ウエハ106は、外向きの縁部112若しくは内向きの縁部114だけでなく、その全周部がスプレイポスト108に晒されることが可能となる。
図3は、本発明の一実施例によるバッチスプレイツール300を示す。バッチスプレイツール300は、処理室(図示せず)内に搭載されるターンテーブル104を含む。ターンテーブル104は、時計方向若しくは反時計方向に回転することができる。バッチスプレイツール300は、また、化学物質110を搬送するためのスプレイポスト308を含み、これに限定されないが、サイドスプレイポスト308(A)及びセンタスプレイポスト308(B)を含む。
1つ以上のプロセスカセット302は、ターンテーブル104に搭載される。本発明によれば、ターンテーブル302は、ターンテーブル104から独立して回転することができる。この回転は、図3に示すような反時計回り若しくは時計回りであってよい。ある実施例では、プロセスカセット302の回転は、ターンテーブル104と同一の方向であってよく、他の実施例では、プロセスカセット302の回転は、ターンテーブル104の反対方向であってよい。ある実施例では、各プロセスカセット302は、同一のターンテーブル104に搭載される他のプロセスカセット302から独立して回転してもよい。
プロセスカセット302は、半導体ウエハ106の1ロットをそれぞれ保持してよい。半導体ウエハ106は、プロセスカセット302に対して固定であり、プロセスカセット302に対して移動しない。しかし、プロセスカセット302の独立型の回転は、ターンテーブル104に対して半導体ウエハ106を回転させる。半導体ウエハ106は、自身の中心軸若しくはプロセスカセット302の中心軸まわりに回転する。外向きの縁部112若しくは内向きの縁部114のみが直接噴射される従来のシステムとは異なり、プロセスカセット302の回転との組み合わせによるターンテーブル104の回転により、各半導体ウエハ106の全周が、スプレイポスト308により直接噴射されることが可能となる。半導体ウエハ106をその全周に沿って噴射することは、化学物質110の1方向若しくは2方向の塗布から生ずる問題を最小化し、支柱マウント200の作用を最小化し、半導体ウエハ106の表面に亘る均一性を改善するといった、多くの効果を提供する。
本発明の幾つかの実施例では、ターンテーブル104は、毎分300回転(300RPM)までの範囲の速度で回転してもよい。ある実施例では、プロセスカセット302は、200RPMまでの範囲の速度で回転してもよい。他の実施例では、多くの他のRPM範囲が、ターンテーブル104若しくはプロセスカセット302に対して用いられてもよい。
図4は、プロセスカセット302を回転させる機構を含むバッチスプレイツール300の一実施例の断面図である。バッチスプレイツール300は、スプレイポスト308(A)及び308(B)及びプロセスカセット302を収容する処理室400を含んでよい。図示のように、プロセスカセット302は、それぞれ、半導体ウエハ106のスタックを保持する。各プロセスカセット302は、プロセスカセット302を保持し回転させる中央支持ポスト402上に搭載されてもよい。ある実施例では、中央支持ポスト402は、鍵付きロッキング機構によりプロセスカセット302に取り付けられてもよい。ある実施例では、中央支持ポスト402は、中央支持ポスト402に回転を誘導するために用いられるモータユニットに取り付けられてもよい。モータユニット404は、それ故に、中央支持ポスト402によりプロセスカセット302を回転させる。
本発明の実施例では、モータユニット404は、ターンテーブル104に搭載されてもよい。ターンテーブル104は、このとき、軸406まわりに回転してよい。ターンテーブル104は、モータユニット404がプロセスカセット302を回転させている間にモータユニット404を回転させることができる。ある実施例では、ターンテーブル104及びモータユニット404は、図4に示すように、処理室内に収容されてもよい。ある実施例では、モータユニット404は、処理室内に収容されてもよく、プロセスカセット302は、ターンテーブル104の頂部に搭載される。
本発明のその他の実施例では、プロセスカセット302は、回転する磁石を用いて回転されてもよい。各プロセスカセット302の底面は、磁化されてよく、回転する磁石は、処理室400の内部若しくは外部に搭載されてもよい。回転磁石は、プロセスカセット302に回転を誘導する。この実施例では、プロセスカセット302は、プロセスカセット302が自由に回転することを可能とする機構を用いてターンテーブル104に搭載されてもよい。
図5は、本発明により形成されるバッチスプレイツール500を示し、ここでは、半導体ウエハ106のスタックは、半導体ウエハ106のスタックが搭載されるプロセスカセット502及びターンテーブル104の双方から独立して回転する。この実施例では、プロセスカセット502は、ターンテーブル104に固定され、独立して回転しない。半導体ウエハ106のスタックは、しかしながら、プロセスカセット502内で回転する。半導体ウエハ106のスタックが、プロセスカセット502及びターンテーブル104の双方から独立して回転できるので、各半導体ウエハ106は、同様に、その全周を化学物質の噴射110に晒す。ある実施例では、半導体ウエハ106は、(図5に示すように)時計方向に回転してよく、ある実施例では、半導体ウエハ106は、反時計方向に回転してもよい。半導体ウエハ106は、ターンテーブル104と同一若しくは反対の方向に回転してもよい。
図6は、半導体ウエハ106のスタックが独立的に回転できるプロセスカセット502の一実施例を示す。プロセスカセット502は、半導体ウエハ106のスタックを係止し回転させる複数の回転する支柱600を含む。各回転支柱600は、半導体ウエハ106のスタックを回転させるために、時計方向若しくは反時計方向の同一の方向に回転する必要がある。従って、プロセスカセット502は、ターンテーブル104に対して回転しないが、半導体ウエハ106のスタックは、回転する。他の実施例では、ボールベアリングのような代替的な回転機構が、半導体ウエハ106のスタックを係止し回転させるために用いられてもよい。
図7は、プロセスカセット702及び半導体ウエハ106の双方がターンテーブル104から独立して回転するバッチスプレイツール700の更なるその他の実施例を示す。ターンテーブル104、プロセスカセット702及び半導体ウエハ106の各回転は、半導体ウエハ106に亘る化学物質110の所望の流れに依存して、すべて同一方向若しくは異なる方向であってよい。
本発明のシステム及び方法は、これらに限定されないが、無電解めっき(例えば無電解コバルトめっき)及び金属エッチングを含む多様な処理に用いられることができる。本発明のバッチスプレイツールは、半導体ウエハの表面に亘る改善された化学物質の塗布の均一性を提供でき、フォットレジスト剥膜後に半導体ウエハ上にしばしば生ずる縞を低減でき、また、無電解めっき処理を用いてめっきされるウエハ若しくはウエット洗浄の水内均一性を改善する。
本発明の図示された実施例の上述の説明は、要約書に説明されたものを含めて、排他的な意図で無く、また、開示される正確な形態に本発明を限定する意図でない。本発明の特別な実施例及び例がここでは説明の目的で記載されているが、当業者が認識するような、種々の等価的な修正は、本発明の範囲内で可能である。
これらの修正は、上述の詳細な説明に照らして本発明に対してなされうる。添付の特許請求の範囲で用いられる用語は、明細書及び特許請求の範囲に開示される特定の実施例に本発明を限定するものと解釈されるべきでない。むしろ、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲により全体として判断されるべきであり、クレーム解釈の確立されたドクトリンで解釈されるべきである。