JP2008523598A - 円板状基板の乾燥装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
・1個の円板状基板を保持するための手段、
・円板状基板の表面上にリンス液を供給するための手段、
・エアゾール発生用の手段であって、エアゾール発生器に乾燥用液体を供給するために乾
燥用液体源に連結された前記エアゾール発生用の手段、及び
・円板状基板の表面上に前記エアゾールを供給するための手段。
・1個の円板状基板を準備し
・円板状基板の表面にリンス液を適用し
・円板状基板の表面にエアゾールを適用し、ここに、エアゾールは分散相として乾燥用液
体及び連続相として不活性気体よりなり
エアゾールの供給中、液体の少なくも一部分が円板状基板の表面上にありかつエアゾールの小滴が液体表面上で凝結する。
Claims (17)
- 円板状基板の乾燥装置であって、
−1個の円板状基板を保持するための手段
−円板状基板の表面上にリンス液を供給するための手段
−エアゾール発生用の手段であって、エアゾール発生器に乾燥用液体を供給するための乾
燥液用体源に連結されている前記エアゾール発生用の手段
−円板状基板の表面上に前記エアゾールを供給するための手段
を備えた前記乾燥装置。 - 1個の円板状基板を回転可能に保持するための手段を更に備えた請求項1による装置。
- エアゾール発生手段が、振動素子、高圧液体スプレイノズル(ガスレス)、(キャリヤガスを給送するために気体源に連結された)エヤーブラシノズル、2流体ジェットノズルよりなるグループから選定された手段を備える請求項1による装置。
- エアゾール発生手段が振動素子を備える請求項1による装置。
- 1個の円板状基板を回転可能に保持するための手段が、前記円板状基板と平行なプレートであって、処理の際、円板状基板と前記プレートとの間の間隙を提供するための前記プレートを更に備える請求項2による装置。
- 前記エアゾールを供給するための手段が少なくも1個のエアゾールノズルを備える請求項1による装置。
- 少なくも1個のエアゾールノズルを、円板状基板の表面を横切って動かすための手段を更に備える請求項6による装置。
- 前記リンス液を供給するための手段がリンス用ノズルを備える請求項1による装置。
- 円板状基板の表面を横切ってリンス用ノズルを動かすための手段を更に備える請求項8による装置。
- 前記円板状基板を覆うために円板状基板の寸法に対応するカバーを更に備える請求項1による装置。
- 滴分離器を更に備え、これがエアゾール発生用手段と前記エアゾールの供給用手段との間に運転するように配列される請求項1による装置。
- −1個の円板状基板を準備し
−円板状基板の表面にリンス液を適用し
−円板状基板の表面にエアゾールを適用し、ここに、エアゾールは分散相として乾燥用液
体及び連続相として不活性気体を含む
諸段階を含み、
エアゾールの供給中、液体の少なくも一部分が円板状基板の表面上にありかつエアゾールの小滴が液体表面上で凝結する
円板状基板の乾燥方法。 - エアゾールが円板状基板に供給されている時間の少なくも一部分において、前記円板状基板が円板状基板の表面と実質的に直角な軸線まわりで回転される請求項12による方法
。 - 液体とエアゾールとが、時間の少なくも一部分において同時に供給される請求項12による方法。
- エアゾールの供給点が円板状基板の表面を横切って動く請求項12による方法。
- リンス液の供給点が円板状基板の表面を横切って動く請求項12による方法。
- 円板状基板の両側が請求項12による方法により処理される円板状基板の乾燥方法。
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