JP2008506237A - Cntエミッターのパターン化 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、一般に電界放出、そして特に、電界放出用途に用いられるカーボンナノチューブのようなナノ粒子に関する。
カーボンナノチューブ(CNT)は、それらの驚くべき物理的、化学的、電子的、および機械的性質のため(非特許文献1)、多くの企業および機関によって調査されている。それらは、ディスプレイ、マイクロ波供給源、X線チューブのような多くの用途、および多くのその他の用途のための優れた冷電子供給源として用いられ得る。これは、それらの優れた電界放出性質および化学的不活性のためであり、これは、長い寿命に亘り、非常に安定な、低圧作動を可能にする(非特許文献2)。
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本発明は、大スケールの表面上でCNTエミッターをパターン化するための低温の方法を提供することにより前述の必要性を取り扱う。本発明は、得られるディイスプレイデハイスの良好な均一性ととともに、高容量の工業的用途で実施され得る。本発明は、予備製作されたコンポジット構造の全面の上にCNTエミッター材料の堆積、および物理的方法を用いるこの表面の所望されない部分からこのCNTエミッター材料の除去を含む。
以下の説明においては、本発明の完全な理解を提供するために、特定の基板材料のような多くの特定の詳細が提示される。しかし、本発明は、このような特定の詳細なくして実施され得ることは当業者に自明である。その他の例では、周知の回路は、本発明を不必要な詳細で不明りょうにしないためにブロック図で示されている。大部分は、タイミング考慮などに関する詳細は、このような詳細が本発明の完全な理解を得るために必ずしも必要ではないので省略されており、そして当業者の技量の範囲内である。
Claims (10)
- ナノ粒子電界エミッターをパターン化する方法であって:
ナノ粒子電界エミッターをパターン化する構造物を提供する工程;
該構造物の全面上にナノ粒子材料の均一層を堆積する工程;および
物理的方法を用いて該構造物の面の所望されない領域からナノ粒子材料の層を除去する工程、を包含する、方法。 - 前記堆積する工程が:
スプレー;スクリーンプリント;電気泳動堆積;浸漬;インクジェットプリント;分与;スピンコーティング;ブラッシングおよびその任意の組み合わせ;からなる群から選択されるプロセスによって実施される、請求項1に記載の方法。 - 前記ナノ粒子材料が:
単一壁カーボンナノチューブ;二重壁カーボンナノチューブ;複数壁カーボンナノチューブ;バッキーチューブ;カボンフィブリル;化学的改変カーボンナノチューブ;誘導体化カーボンナノチューブ;金属カーボンナノチューブ;半導体カーボンナノチューブ;金属化カーボンナノチューブ;グラファイト;カーボンウィスカー;およびその任意の組み合わせ;からなる群から選択される材料を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ナノ粒子材料が:
球形粒子;ディスク形状粒子;層状粒子;ロッド様粒子;金属粒子;半導体粒子;ポリマー粒子;セラミック粒子;誘電体粒子;粘土粒子;ファイバ;ナノ粒子;およびその任意の組み合わせ;からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。 - 前記ナノ粒子材料の層が、約10nm〜約1mmの範囲の厚みを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記構造物および前記ナノ粒子材料が、約150℃より高い温度に曝されない、請求項1に記載の方法。
- 前記除去する工程が:
テーピング;サンドブラスト;ビーズブラスト;ジェット;研削;研磨;機械的エッチング;引っ掻き;アブレーション;浸食;およびその任意の組み合わせ;からなる群から選択される物理的方法によって実施される、請求項1に記載の方法。 - 前記構造物が、以下の工程:
絶縁性のガラスまたはセラミック基板を提供する工程;および
該基板の表面上にパターン化された層として堆積された電気伝導性材料を形成する工程、を包含する個々の層を付与するプロセスを用いて、個々の層を備えた半導体コンポジット構造として形成される、請求項1に記載の方法。 - さらに:
前記電気伝導性材料のパターン化された層の上の前記基板の表面上のパターン化された層として堆積された電気絶縁性材料を形成する工程をさらに包含する、請求項8に記載の方法。 - 前記電気伝導性材料のパターン化が、標準的なスクリーンプリントプロセスで実施される、請求項8に記載の方法。
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