JP2008304689A - パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク - Google Patents
パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008304689A JP2008304689A JP2007151495A JP2007151495A JP2008304689A JP 2008304689 A JP2008304689 A JP 2008304689A JP 2007151495 A JP2007151495 A JP 2007151495A JP 2007151495 A JP2007151495 A JP 2007151495A JP 2008304689 A JP2008304689 A JP 2008304689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- resist
- resist film
- forming
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【解決手段】本発明のパターン形成方法は、段差を備えた基板上に形成されたレジスト膜に荷電粒子線を照射する第1のステップと、前記レジスト膜に前記第1のステップよりも高いドーズ量で荷電粒子線を照射する第2のステップと、を相前後して行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、レジスト膜が平坦となるように充分にレジスト膜を厚くした場合であっても、第一のステップによりレジスト膜の表層が低ドーズ量で露光されるため、最終的に形成されるレジストパターンのアスペクト比を低くすることが出来る。
【選択図】 図4
Description
また、線幅の小さいパターンを解像するための位相シフトマスクとして用いられるレベンソン型フォトマスクでは、透明基材に段差形状のパターンを形成することが知られている。
通常のデュアルダマシン構造形成工程では、形成する段差ごとに、レジストパターンを形成することが知られている。
1、段差のある基板上にレジストをコートする際、レジスト膜の厚さが段差と同じかそれ以下だと凸部上のレジスト膜が薄くなってしまうため、平坦なレジスト膜を得ることが出来ない。このため、所望するレジストパターンを得ることが困難である(図2)。
2、レジスト膜が平坦となるように充分にレジスト膜を厚くした場合、形成したレジストパターンのアスペクト比はレジスト膜の厚みに応じて高くなるため、レジストパターン倒れが発生する。このため、所望するレジストパターンを得ることが困難である(図3)。
を特徴とするパターン形成方法である。
なお、本発明において「段差」とは、矩形状の溝に限定されず、円形や多角形の溝を定期的に繰り返すパターンも含むものとし、その段差は、1段のみに限定されず、より多段の場合も含むものとして定義する。
本発明の構成によれば、レジスト膜が平坦となるように充分にレジスト膜を厚くした場合であっても、第一のステップによりレジスト膜の表層が低ドーズ量で露光されるため、最終的に形成されるレジストパターンのアスペクト比を低くすることが出来る。
このため、レジストパターン倒れの発生を抑制することが出来、複数の段差を備えた微細な3次元構造パターンの形成を好適に行うことが可能となる。
まず、レジストをコートした基板(図1(a))に1層目のパターニングを行う(図1(b))。
次に、レジストパターンをマスクにCr膜を、Cr膜をマスクにQzをエッチングする(図1(c))。
次に、洗浄し、1層目のパターンが作製される(図1(d))。
その後、作製された石英パターン上に、2層目のレジストコートおよびパターニングを行い、エッチング、洗浄を行う(図1(h))。
また、1層目段差を埋めるようにレジストを厚くした場合(図3(a))、レジストパターン倒れが発生し、解像性低下を引き起こしてしまう(図3(b))。
本発明のパターン形成方法は、段差を有する基板上にコートされたレジスト膜に対して低ドーズ量の荷電粒子線を照射し、レジスト膜の表層のみを露光することにより、形成されるレジストパターンのアスペクト比を低くすることが出来る。よって、複数の段差を備えた微細な3次元構造パターンの形成を好適に行うことが可能となる。
本発明のパターン形成方法は、
基板に段差を形成する工程と、
前記基板の段差を形成した側に、レジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をパターニングし、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとし、前記基板をエッチングする工程と、を備え、
前記レジスト膜をパターニングし、レジストパターンを形成する工程は、
前記レジスト膜に、荷電粒子線を照射する第1のステップと、
前記レジスト膜に、前記第1のステップよりも高いドーズ量で荷電粒子線を照射する第2のステップと、を備え、
前記第1のステップと前記第2のステップとを相前後して行う工程である。
まず、基板に段差を形成する。
次に、段差を有する基板上に、レジスト膜を形成する。
レジスト膜は、レジスト膜の表面が平坦となるように、充分に段差が埋まるように厚くコートする(図4(a))。
次に、レジスト膜に、荷電粒子線を用いてレジストパターンを形成する。
荷電粒子線を用いてレジストパターンを形成する方法は適宜公知の方法を用いれば良い。
レジスト膜の全面に、荷電粒子線を照射する第1のステップと、
レジスト膜のパターン形成部に、前記第1のステップよりも高いドーズ量で荷電粒子線を照射する第2のステップと、行う。
ステップ1では、レジスト膜の表層のみに荷電粒子線が到達するように、低いドーズ量で電子線照射を行う(図4(b))。レジスト膜の表層が露光されるため、最終的に形成されるレジストパターンのアスペクト比を低く抑えることが出来る。
ステップ2では、ステップ1よりも高いドーズ量で荷電粒子線照射を行う(図4(c))。第2のステップにより、所望するレジストパターンを描画する。
レジストパターンのアスペクト比は、レジストパターンの高さに対するレジストパターンの寸法幅に対する比で表され、レジストパターンのアスペクト比が高いほど、レジストパターン倒れが発生することが知られている。よって、同一のレジスト膜の厚みを有していても、レジストパターン寸法幅が小さいほど、レジストパターンは高アスペクト比となる。
このため、特に、レジストパターン寸法幅が100nm以下の場合、レジストパターン倒壊の問題は無視できないものとなる。
本発明によれば、微細な3次元構造パターンにおいて、最小の寸法幅が100nm以下の多段パターンであっても、好適にパターン形成を行うことが出来る。
次に、レジストパターンをマスクとして基板にエッチングを行う。エッチングとしては、適宜公知の方法により行って良い。例えば、ドライエッチング、ウェットエッチングなどを行っても良い。
また、エッチングの条件は、用いた基板/レジストに応じて、適宜調節して良い。
本発明のパターン形成方法によれば、荷電粒子線照射により段差上のレジスト膜の表層を低ドーズ量で露光することにより、レジストパターン倒れの発生を抑制することが出来る。よって、更なる微細なパターニングを可能とし、かつ多段の微細な3次元構造パターンを形成するのに適したパターン形成方法が可能となる。
また、本発明のパターン形成方法は、2段の3次元構造パターンのみならず、より多段の3次元構造パターンを形成する場合にも活用することが出来る。
このとき、Crのエッチングの条件は、Cl2流量40sccm、O2流量10sccm、He流量80sccm、圧力30Pa、ICPパワー300W、RIEパワー30Wであった。
また、石英のエッチング条件は、C4F8流量10sccm、O2流量10〜25sccm、Ar流量75sccm、圧力2Pa、ICPパワー200W、RIEパワー550Wであった。
また、深さ250nmまで石英のドライエッチングを行った。
以上より、1層目段差を形成することが出来た。
このとき、Crのエッチングの条件は、Cl2流量40sccm、O2流量10sccm、He流量80sccm、圧力30Pa、ICPパワー300W、RIEパワー30Wであった。
また、石英のエッチング条件は、C4F8流量10sccm、O2流量10〜25sccm、Ar流量75sccm、圧力2Pa、ICPパワー200W、RIEパワー550Wであった。
また、深さ200nmまで石英のドライエッチングを行った。
以上より、本発明のパターン形成方法を用いて光インプリント用のインプリントモールドを製造することが出来た。
12…Cr層
13…レジスト膜
14…レジストパターン
15…Crパターン
16…石英パターン(1段)
17…石英パターン(2段)
18…倒壊したレジストパターン
19…露光部
20…電子線(低いドーズ量)
21…電子線(高いドーズ量)
Claims (4)
- 微細な3次元構造パターンを形成するパターン形成方法において、
基板に段差を形成する工程と、
前記基板の段差を形成した側に、レジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をパターニングし、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとし、前記基板をエッチングする工程と、を備え、
前記レジスト膜をパターニングし、レジストパターンを形成する工程は、
前記レジスト膜に、荷電粒子線を照射する第1のステップと、
前記レジスト膜に、前記第1のステップよりも高いドーズ量で荷電粒子線を照射する第2のステップと、を備え、
前記第1のステップと前記第2のステップとを相前後して行う工程であること
を特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法であって、
レジストパターン寸法幅が100nm以下のものを含むこと
を特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載のパターン形成方法を用いて製造されたインプリントモールド。
- 請求項1または2のいずれかに記載のパターン形成方法を用いて製造されたフォトマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151495A JP2008304689A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151495A JP2008304689A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008304689A true JP2008304689A (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=40233476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007151495A Pending JP2008304689A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008304689A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219456A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成方法、インプリントモールド及びフォトマスク |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10312066A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Toshiba Corp | レジストパターン形成方法 |
JPH11160510A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-06-18 | Canon Inc | 多段階段状素子の作製方法又は該素子作製用モールド型の作製方法 |
JP2001004821A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Canon Inc | 回折光学素子及びその製造方法 |
JP2002040624A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
JP2007114451A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Hoya Corp | マスクブランクス、および転写マスクの製造方法 |
-
2007
- 2007-06-07 JP JP2007151495A patent/JP2008304689A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10312066A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Toshiba Corp | レジストパターン形成方法 |
JPH11160510A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-06-18 | Canon Inc | 多段階段状素子の作製方法又は該素子作製用モールド型の作製方法 |
JP2001004821A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Canon Inc | 回折光学素子及びその製造方法 |
JP2002040624A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
JP2007114451A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Hoya Corp | マスクブランクス、および転写マスクの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219456A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成方法、インプリントモールド及びフォトマスク |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5359430B2 (ja) | パターン形成方法、インプリントモールド及びフォトマスク | |
JP4407770B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP4998168B2 (ja) | インプリントモールド製造方法 | |
JP2013183014A (ja) | パターン形成方法 | |
US8778574B2 (en) | Method for etching EUV material layers utilized to form a photomask | |
CN102122113A (zh) | 光刻方法 | |
CN107799402A (zh) | 二次图形的形成方法 | |
JP2010503993A (ja) | リフトオフ・パターニング向けの向上したエッチング技法 | |
JP2002303992A (ja) | 微小構造の製造方法 | |
JP2012023242A (ja) | パターン製造方法およびパターン形成体 | |
CN106168737B (zh) | 化学增幅光阻材料、共聚物及微影方法 | |
JP5621201B2 (ja) | インプリントモールド製造方法およびインプリントモールド | |
JP2011167780A (ja) | パターン形成方法およびパターン形成体 | |
KR100988112B1 (ko) | 균일성 제어를 위해 염소로 다단계 포토마스크를 에칭하는방법 | |
JP4967630B2 (ja) | インプリントモールドおよびインプリントモールド製造方法 | |
JP5682202B2 (ja) | パターン形成方法、パターン形成体 | |
US9651870B2 (en) | Method and tool of lithography | |
JP2008286828A (ja) | パターン形成方法 | |
JP2008304689A (ja) | パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク | |
JP5440071B2 (ja) | パターン形成方法、パターン形成体 | |
US11699594B2 (en) | Preparation method for accurate pattern of integrated circuit | |
JP2008126448A (ja) | マイクロ・ナノ微細構造体を有するスタンパーおよびその製造方法 | |
JP2007313814A (ja) | モールドおよびその製造方法 | |
JP5343345B2 (ja) | パターン形成方法、インプリントモールド、フォトマスク | |
JP5837811B2 (ja) | レジスト現像剤、レジストパターンの形成方法及びモールドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120524 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120808 |