JP2008298950A - 光走査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、MEMSミラーのフレームへの取付作業を容易に行うことができる光走査装置を提供することを主たる課題とする。
【解決手段】光走査装置は、光を出射する光源と、光源を支持するフレームと、回転振動することで、光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材(ミラーパッケージ22)と、振動ミラーの回転振動軸RAと直交する主走査方向へ延び、かつ、振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材50と、振動ミラー保持部材を梁状部材50に固定させる第1固定部材60と、主走査方向に移動可能な状態で、梁状部材50をフレームに固定させる第2固定部材70と、梁状部材50の端部を押圧して梁状部材50の主走査方向における位置を調整する調整部材(調整ネジ80)と、を備える。
【選択図】図6

Description

本発明は、MEMSミラー等の振動ミラーを備えた光走査装置に関する。
一般に、画像形成装置として、帯電された感光ドラムに対して光走査装置によって光ビームを走査することで、感光ドラム上に静電潜像を形成し、その静電潜像に現像剤を供給することにより形成される現像剤像を用紙に転写することで、用紙に所定の画像を形成するものが知られている。
このような画像形成装置に設けられる光走査装置においては、従来、回転振動するMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)ミラーを用いて走査を行うものが知られている(例えば特許文献1参照)。
特開2004−198500号公報
ところで、MEMSミラーは非常に小さいものなので、取り扱いが難しく、例えば複数のリブが形成されたフレーム内に直接取り付けるには、非常に困難となる場合があった。また、MEMSミラーは、高周波で回転振動するため、周囲の部品を通して騒音が発生するおそれがあった。
そこで、本発明は、MEMSミラー等の非常に小さな振動ミラーのフレームへの取付作業を容易に行うことができる光走査装置を提供することを主たる課題とする。
前記課題を解決するため、本発明に係る光走査装置は、光を出射する光源と、前記光源を支持するフレームと、回転振動することで、前記光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材と、前記振動ミラーの回転振動軸と直交する主走査方向へ延び、かつ、前記振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材と、前記振動ミラー保持部材を前記梁状部材に固定させる第1固定部材と、前記主走査方向に移動可能な状態で、前記梁状部材を前記フレームに固定させる第2固定部材と、前記梁状部材の端部を押圧して前記梁状部材の前記主走査方向における位置を調整する調整部材と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、振動ミラーが振動ミラー保持部材を介して振動ミラーよりも大きな梁状部材に取り付けられるので、振動ミラーよりも取り扱い易い梁状部材をフレームに固定させるだけで、振動ミラーが簡単にフレームに取り付けられることとなる。
本発明によれば、梁状部材をフレームに固定させるだけで、振動ミラーがフレームに取り付けられることとなるので、振動ミラーのフレームへの取付作業を容易にすることができる。
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。参照する図面において、図1は本発明の一実施形態に係る光走査装置を示す斜視図であり、図2は光走査装置の各構成部品と光のルートを示す概略図である。最初に、図1および図2を参照して光走査装置1の全体構造について簡単に説明する。
[光走査装置1]
図1に示すように、光走査装置1は、光源ユニット10と、第1ミラーM1と、振動ミラーユニット20と、第1走査レンズ30と、第2走査レンズLと、第2ミラーM2と、これらを支持するフレーム40と、フレーム40の下側に配設される第3ミラーM3(図2参照)とを主に備えて構成されている。
[光源ユニット10]
図2に示すように、光源ユニット10は、レーザダイオード11と、カップリングレンズ12と、絞り部材13と、シリンドリカルレンズ14とを備えて構成されている。そして、レーザダイオード11から出射されたレーザビームは、カップリングレンズ12、絞り部材13およびシリンドリカルレンズ14を通った後、第1ミラーM1で反射され、振動ミラーユニット20に向かって照射される。
[振動ミラーユニット20]
振動ミラーユニット20は、その内部に、所定範囲で回転振動することで、第1ミラーM1側から出射されてくる光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラー21を備えて構成されている。そして、この振動ミラー21で反射された光は、第1走査レンズ30および第2走査レンズLを通った後、第2ミラーM2および第3ミラーM3で反射されて、光走査装置1外へ出射される。なお、光走査装置1外へ出射された光は、複写機やレーザプリンタ等の画像形成装置内の感光体(感光ドラム等)に投射されることで、感光体上の静電潜像の形成に寄与する。
次に、振動ミラーユニット20の詳細について説明する。参照する図面において、図3は振動ミラーユニットを示す分解斜視図であり、図4はミラーパッケージを示す拡大斜視図である。また、図5は梁状部材を後側から見た状態を示す拡大斜視図(a)と、上面図(b)であり、図6は組み立てられた状態の振動ミラーユニットを前側から見た状態示す斜視図(a)と、正面図(b)である。図7は、調整ネジを緩めた際の梁状部材の動きを示す正面図(a)と、調整ネジを締め付けた際の梁状部材の動きを示す正面図(b)である。なお、以下の説明における前後、左右、上下の方向については、図1に示す方向を基準とする。
図3に示すように、振動ミラーユニット20は、振動ミラー保持部材の一例としてのミラーパッケージ22と、長尺状の梁状部材50と、ミラーパッケージ22を梁状部材50に固定させる第1固定部材60と、梁状部材50をフレーム40に固定させる第2固定部材70と、調整部材の一例としての調整ネジ80を主に備えて構成されている。
ミラーパッケージ22は、図4に示すように、中空の矩形のケース状に形成されており、その内部で振動ミラー21を保持している。具体的に、振動ミラー21は、この振動ミラー21よりも一回り大きな開口を有する板状の支持体(図示せず)に軸部を介して一体に形成されることでMEMSミラーを構成している。そして、このMEMSミラーの支持体がミラーパッケージ22に固定されることで、振動ミラー21がミラーパッケージ22に対して揺動自在となっている。
また、ミラーパッケージ22には、その前壁22aに振動ミラー21を露出させるための開口部22bが形成されている。
図3に示すように、梁状部材50は、長尺状の部材であり、振動ミラー21の回転振動軸RA(図4参照)と直交する方向へ延び、かつ、ミラーパッケージ22よりも長く形成されている。梁状部材50とミラーパッケージ22の上下方向の長さ(回転振動軸RA方向の長さ)は、ほぼ同一である。また、図5(a)に示すように、梁状部材50の後側の中央部51には、ミラーパッケージ22を支持する一対の支持用突起51aが上下方向に並んで設けられている。
また、一対の支持用突起51aの間には、ミラーパッケージ22の開口部22bに対応する孔51bが形成されている。これにより、梁状部材50の前側から入射されてくる光が孔51bを通ってミラーパッケージ22内の振動ミラー21に投射され、この振動ミラー21で反射された光が孔51bを通って梁状部材50の前方に出射される。
また、梁状部材50の中央部51は、その両側の被支持部52よりも前方へ膨出するように形成されており、これにより、梁状部材50の後側に凹部53が形成されるようになっている。そして、凹部53の深さは、図5(b)に示すように、振動ミラー21の回転振動軸RAが被支持部52の後面52aの面内に位置するような深さで形成されている。言い換えると、後述する第1ネジN1の先端N11、球状突起71eおよび第2ネジN2の先端N21(図6参照)で規定される面内に、振動ミラー21の回転振動軸RAが位置するように、凹部53の深さが設定されている。これにより、煽り角の調整を容易に行うことができる。
また、梁状部材50の左側の端縁には、調整ネジ80と接触し、かつ、調整ネジ80の進退方向に対して傾斜する被押圧面の一例としての傾斜面54が形成されている。具体的に、この傾斜面54は、左方向に向かうにつれて徐々に下方へ傾斜しており、これにより、調整ネジ80を下方に締め込むと、この調整ネジ80が傾斜面54を介して梁状部材50を右方向に押圧するようになっている。
さらに、梁状部材50の各被支持部52の下端には、それぞれ後述する支持ブロック71の支持片71b(図3参照)と係合する係合溝55が形成されている。この係合溝55は、支持ブロック71の支持片71bよりも大きな幅で形成されており、これにより、梁状部材50が係合溝55の幅の範囲内において左右方向(主操作方向)に移動可能となっている。また、梁状部材50の各被支持部52の内縁側には、後述する第1固定部材60のアーム部62が挿入され、係合爪部63と係合する係合孔56が形成されている。
図3に示すように、第1固定部材60は、ミラーパッケージ22を梁状部材50に固定させるものであり、弾性変形可能な板材を適宜屈曲することで形成されている。具体的に、第1固定部材60は、ミラーパッケージ22の後面を支持する支持壁部61と、支持壁部61の左右両端から前方へ折り曲げられた一対のアーム部62と、各アーム部62の先端から左右方向外側へ折り曲げられた係合爪部63とを備えている。支持壁部61には、その中央部に左右方向に延びる長孔61aが形成されるとともに、この長孔61aの左右両側に前方へ突出する一対の凸部61bが形成されている。
ここで、長孔61aは、本実施形態では特に使用しないが、例えば、本実施形態におけるミラーパッケージ22の向きを前後逆に配置した場合には、ミラーパッケージ22内の振動ミラー21へ入射する光および振動ミラー21で反射された光が通る孔として利用することができる。また、振動ミラー21を両面ミラーとして利用することも可能である。
そして、このように構成される第1固定部材60の一対のアーム部62を左右方向内側に多少撓ませた状態で梁状部材50の各係合孔56に挿入させていき、係合爪部63を梁状部材50の前面に引っ掛けることによって、この第1固定部材60によってミラーパッケージ22が梁状部材50に固定される。詳しくは、ミラーパッケージ22は、第1固定部材60の一対の凸部61bと、梁状部材50の一対の支持用突起51a(図5参照)とによって支持されることとなる。
第2固定部材70は、梁状部材50を主に下側から支持する支持ブロック71と、支持ブロック71との間で梁状部材50を挟持する板ばね72とを備えて構成されている。
支持ブロック71は、フレーム40(図1参照)の底壁に沿って形成される基部71aと、梁状部材50の下端を支持する一対の支持片71b,71bと、梁状部材50の後面を支持する一対の支持柱71c,71dとを備えて構成されている。なお、本実施形態では、支持ブロック71をフレーム40に対して別体に構成しているが、本発明はこれに限定されず、支持ブロック71をフレーム40に一体に形成してもよい。ただし、この場合は、フレーム40に梁状部材50を固定させる第2固定部材70は、板ばね72のみで構成される。これに対し、本実施形態のように第2固定部材70を支持ブロック71と板ばね72で構成する場合には、梁状部材50は支持ブロック71を介してフレーム40に固定されることとなる。
基部71aは、左右方向に沿って延びる矩形の板状に形成されている。
支持片71bは、基部71aの両端側の前部から上方に向けて突出するように形成されている。そして、各支持片71bの中央部の間隔(ピッチ)は、図6(b)に示すように、梁状部材50の1次固有振動の各節F1の間隔と同じ大きさに設定されている。
支持柱71c,71dは、各支持片71bの後側に形成されており、各支持片71bよりも高くなるように形成されている。右側の支持柱71cには、前方へ突出する第1突起の一例としての球状突起71eが形成されるとともに、この球状突起71eと上下方向(回転振動軸RA方向;図4参照)にずれた位置に前後方向へ貫通して形成される貫通孔71fが形成されている。そして、この貫通孔71fには、後側から第1ネジN1が進退自在に螺合されており、この第1ネジN1の先端N11が、支持柱71cの前面71gから前方へ進退自在に突出することで、第2突起の一例として機能するようになっている。また、このように前方へ突出する第1ネジN1の先端N11と球状突起71eは、図6(b)に示すように、右側の支持片71bと上下方向において一直線状に並ぶように配設されている。
左側の支持柱71dには、前後方向へ貫通する貫通孔71hが形成されている。そして、この貫通孔71hには、後側から第2ネジN2が進退自在に螺合されており、この第2ネジN2の先端N21が、支持柱71dの前面71jから前方へ進退自在に突出することで、第3突起の一例として機能するようになっている。また、このように前方へ突出する第2ネジN2の先端N21は、図6(b)に示すように、左側の支持片71bと上下方向において一直線状に並ぶように配設されている。
そして、前記した球状突起71e、第1ネジN1の先端N11および第2ネジN2の先端N21によって梁状部材50が3点支持される。また、このように3点支持される梁状部材50は、第1ネジN1または第2ネジN2を適宜回転させて、その先端N11,N21を適宜進退させることで、その煽り角が調整され、ひいては、振動ミラー21の煽り角(反射角)が調整されるようになっている。詳しくは、第1ネジN1を適宜回転させることで、球状突起71eと第2ネジN2の先端N21とを結ぶ線を中心にして、梁状部材50および振動ミラー21が回動する。また、第2ネジN2を適宜回転させることで、球状突起71eと第1ネジN1の先端N11とを結ぶ線を中心にして、梁状部材50および振動ミラー21が回動する。
板ばね72は、基部72aと、第2弾性部材の一例としての前後押さえ部72bと、上下押さえ部72cと、第1弾性部材の一例としての位置調整用ばね部72dとを備えて構成されている。
基部72aは、左右方向に延びる矩形の板状に形成されており、その適所に、板ばね72を支持ブロック71またはフレーム40の適所に固定するための取付孔72eが形成されている。
前後押さえ部72bは、基部72aの両端側に一対形成されており、基部72aの前端から前方に延びた後、上方、前方、下方といった順で折り曲げられることで、その先端が前後方向に弾性変形可能となっている。そして、右側の前後押さえ部72bは、前記した球状突起71eおよび第1ネジN1の先端N11との間で梁状部材50を挟持し、左側の前後押さえ部72bは、前記した第2ネジN2の先端N21との間で梁状部材50を挟持する(図6(a)参照)。
上下押さえ部72cは、基部72aの中央付近に形成されており、基部72aの前端から前方に延びた後、上方、前方といった順で折り曲げられることで、その先端が上下方向に弾性変形可能となっている。上下押さえ部72cの先端部には、下方へ突出する凸部72fが形成されている。そして、上下押さえ部72cは、その凸部72fで梁状部材50を前記した一対の支持片71b,71bに対し、ひいては支持片71b,71bを介してフレーム40に対して押し付けて固定させる(図6(a)参照)。
位置調整用ばね部72dは、基部72aの右端に形成されており、その右端から左下方向に延びた後、前方に向かって延びるように形成されることで、梁状部材50を常時左方に押圧する。
以上のように構成される第2固定部材70は、左右方向(主走査方向)に移動可能な状態で、梁状部材50をフレーム40に支持ブロック71を介して固定させる。また、第2固定部材70の一対の前後押さえ部72b,72bによって、梁状部材50における1次固有振動の節F1(図6(b)参照)となる2個所が支持ブロック71を介してフレーム40に固定される。
調整ネジ80は、支持ブロック71またはフレーム40の適所に形成される図示せぬネジ穴に螺合されることで、梁状部材50の主走査方向(長手方向)とは異なる方向、本実施形態では上下方向(回転振動軸RA方向)に沿って進退可能に構成されている。そして、この調整ネジ80は、支持ブロック71等に螺合された状態において、その鍔部81が梁状部材50の傾斜面54と接触する。そのため、調整ネジ80を例えば図6(b)に示す状態から緩めて上方へ移動させると、図7(a)に示すように、調整ネジ80の鍔部81による梁状部材50の支持が徐々に解除されることで、位置調整用ばね部72dの復帰力により梁状部材50が左方に移動する。また、調整ネジ80を図6(b)に示す状態から締め付けて下方へ移動させると、図7(b)に示すように、調整ネジ80の鍔部81によって梁状部材50が位置調整用ばね部72dの付勢力に抗して右方に押圧されて移動する。以上により、梁状部材50の主走査方向(長手方向)における位置が調整ネジ80および位置調整用ばね部72dによって調整可能となっている。
次に、フレーム40に対する振動ミラー21の取付方法について説明する。
まず、図4に示すように、振動ミラー21をミラーパッケージ22内に固定する。続いて、このミラーパッケージ22を、図5(a)に示す梁状部材50の凹部53内にセットした後、第1固定部材60でミラーパッケージ22を梁状部材50に固定させる。
次に、図3に示す支持ブロック71をフレーム40に固定した後、支持ブロック71の支持片71b上に梁状部材50をセットする。その後、第2固定部材70を支持ブロック71またはフレーム40に固定することで、第2固定部材70によって梁状部材50を支持ブロック71に固定させる。
そして、調整ネジ80をフレーム40等に捩じ込んでいき、図7(a)および(b)に示すように梁状部材50の主走査方向における位置を調整して、図6(b)に示すように、梁状部材50の1次固有振動の節F1を第1ネジN1の先端N11、球状突起71eおよび第2ネジN2の先端N21にそれぞれ合わせる。なお、節F1,F1には、予め塗料や切り欠き等で印を付けておくのが望ましい。
その後は、図6(a)に示すように、適宜、第1ネジN1または第2ネジN2を調整することで、梁状部材50の煽り角、ひいては振動ミラー21の煽り角を調整する。以上により、振動ミラー21が適正な位置・角度でフレーム40に取り付けられることとなる。
以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
振動ミラー21がミラーパッケージ22を介して振動ミラー21よりも大きくて取り扱い易い梁状部材50に取り付けられるので、振動ミラー21のフレーム40への取付作業を容易にすることができる。また、振動ミラー21の位置や角度の調整も、取り扱い易い梁状部材50を動かせば達成されるので、その調整作業も容易となる。
調整ネジ80と位置調整用ばね部72dとによって、梁状部材50を主操作方向に自由に移動することができるので、振動ミラー21の主操作方向における位置調整を容易に行うことができる。
調整ネジ80の進退方向を振動ミラー21の回転振動軸RAに沿った方向としたので、本実施形態のように回転振動軸RAがフレーム40の底面に直交するように梁状部材50が配置される場合には、調整ネジ80を操作するためのドライバー等の工具をフレーム40の底面に直交する方向からフレーム40内に差し込むことができる。そのため、工具や工具を持つ手がフレーム40と接触することがなく、調整ネジ80の調整を容易に行うことができる。
第2固定部材70によって梁状部材50における1次固有振動の節F1,F1がフレーム40(詳しくは、フレーム40に固定される支持ブロック71)に固定されるので、振動ミラー21の回転振動に伴って振動する梁状部材50から発生する騒音を良好に抑えることができる。
第2固定部材70が板ばね72を含んで構成されるので、梁状部材50の位置調整を容易に行うことができる。
梁状部材50を3点支持する突起のうちの2つが、前後に進退自在な第1ネジN1の先端N11および第2ネジN2の先端N21で構成されているので、第1ネジN1または第2ネジN2を回転することで簡単に梁状部材50(振動ミラー21)の煽り角を調整することができる。
上下押さえ部72cで梁状部材50の上下方向の移動を押さえたので、振動ミラー21の上下方向の位置を安定させることができる。
梁状部材50に形成した凹部53によって、振動ミラー21の回転振動軸RAが梁状部材50の後面52aの面内に位置するので、第1ネジN1または第2ネジN2を操作して梁状部材50の後面52aの煽り角を調整すると、この後面52aと同じ角度で振動ミラー21の煽り角も調整されることとなる。すなわち、後面52aの面から外れた位置に回転振動軸RAが位置する場合には、調整前後の後面52aの角度差と、調整前後の振動ミラー21の角度差に誤差が生じるが、後面52aの面内に回転振動軸RAを位置させることで、このような問題が解消される。
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、以下に例示するように様々な形態で利用できる。
前記実施形態では、第1弾性部材および第2弾性部材として板ばね状の位置調整用ばね部72dおよび前後押さえ部72bを採用したが、本発明はこれに限定されず、コイルスプリングなどであってもよい。
前記実施形態では、調整ネジ80の進退方向を振動ミラー21の回転振動軸RAに沿った方向とし、この調整ネジ80と接触する梁状部材50の被押圧面を回転振動軸RAに対して傾斜する傾斜面54としたが、本発明はこれに限定されず、調整部材の進退方向に対して被押圧面が傾斜していればよい。例えば、図8に示すように、調整ネジ80の進退方向を回転振動軸RAに対して傾斜する方向とし、梁状部材50の左側の端面を回転振動軸RA(上下方向)に対して平行に形成してもよい。この場合であっても、調整ネジ80と位置調整用ばね部72dとによって、梁状部材50を主操作方向に位置決めすることができる。また、この構造の場合、梁状部材50の両端を平行に揃えることができるので、長尺状の板材を切断して複数の梁状部材50の材料を取り出す場合における板材の歩留まりを向上させることができる。
前記実施形態では、調整部材として調整ネジ80を採用したが、本発明はこれに限定されず、図9に示すように、偏心カム90を採用してもよい。この場合であっても、偏心カム90と位置調整用ばね部72dとによって、梁状部材50を主操作方向に位置決めすることができる。また、この構造の場合、図8の構造と同様に、梁状部材50の両端を平行に揃えることができるので、梁状部材50の原料となる板材の歩留まりを向上させることができる。
前記実施形態では、調整ネジ80の進退方向に対して傾斜する傾斜面54に調整ネジ80を接触させることで梁状部材50を主操作方向に移動可能としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図8のような梁状部材50の上下方向に沿う端面に対して直交する方向に進退するようにネジを設けてもよい。
前記実施形態では、第1弾性部材の一例である位置調整用ばね部72dを第2固定部材70を構成する板ばね72と一体に形成したが、本発明はこれに限定されず、別体であってもよい。
前記実施形態では、第1突起として進退不能な球状突起71eを採用したが、本発明はこれに限定されず、進退自在なネジで構成してもよい。
本発明の一実施形態に係る光走査装置を示す斜視図である。 光走査装置の各構成部品と光のルートを示す概略図である。 振動ミラーユニットを示す分解斜視図である。 ミラーパッケージを示す拡大斜視図である。 梁状部材を後側から見た状態を示す拡大斜視図(a)と、上面図(b)である。 組み立てられた状態の振動ミラーユニットを前側から見た状態示す斜視図(a)と、正面図(b)である。 調整ネジを緩めた際の梁状部材の動きを示す正面図(a)と、調整ネジを締め付けた際の梁状部材の動きを示す正面図(b)である。 調整ネジの進退方向を回転振動軸に対して斜めにした形態を示す斜視図である。 調整部材として偏心カムを採用した形態を示す斜視図である。
符号の説明
1 光走査装置
10 光源ユニット
20 振動ミラーユニット
21 振動ミラー
22 ミラーパッケージ
40 フレーム
50 梁状部材
51b 孔
53 凹部
54 傾斜面
60 第1固定部材
61a 長孔
70 第2固定部材
71e 球状突起
72b 前後押さえ部
72c 上下押さえ部
72d 位置調整ばね部
80 調整ネジ
81 鍔部
90 偏心カム
F1 節
N1 第1ネジ
N2 第2ネジ
N11 先端
N21 先端
RA 回転振動軸

Claims (15)

  1. 光を出射する光源と、
    前記光源を支持するフレームと、
    回転振動することで、前記光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、
    振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材と、
    前記振動ミラーの回転振動軸と直交する主走査方向へ延び、かつ、前記振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材と、
    前記振動ミラー保持部材を前記梁状部材に固定させる第1固定部材と、
    前記主走査方向に移動可能な状態で、前記梁状部材を前記フレームに固定させる第2固定部材と、
    前記梁状部材の端部を押圧して前記梁状部材の前記主走査方向における位置を調整する調整部材と、
    を備えたことを特徴とする光走査装置。
  2. 前記調整部材は、前記主走査方向とは異なる一方向に沿って進退可能に構成されて、前記梁状部材の一端に配設され、
    前記梁状部材は、前記調整部材に接触し、かつ、前記一方向に対して傾斜する被押圧面を有し、
    前記梁状部材の他端には、前記梁状部材を一端側に押圧する第1弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  3. 前記一方向は、前記振動ミラーの回転振動軸方向であることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置。
  4. 前記一方向は、前記振動ミラーの回転振動軸方向に対して傾斜する方向であるとともに、
    前記被押圧面は、前記回転振動軸方向に平行であることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置。
  5. 前記調整部材は、偏心カムであることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  6. 前記調整部材は、ネジであることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の光走査装置。
  7. 前記第2固定部材によって、前記梁状部材における1次固有振動の節となる2個所が前記フレームに固定されることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の光走査装置。
  8. 前記第2固定部材は、第2弾性部材を利用して前記梁状部材を挟持することを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の光走査装置。
  9. 前記第2固定部材は、
    前記振動ミラーの回転振動軸方向においてずれる第1突起および第2突起と、前記第2弾性部材との間で前記梁状部材を挟持するとともに、
    前記第1突起および前記第2突起に対して前記振動ミラーを挟んだ反対側に位置する第3突起と、前記第2弾性部材との間で前記梁状部材を挟持することを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  10. 前記第1突起および前記第2突起の少なくとも一方が、前記第2弾性部材の押圧力の方向に沿って進退可能に構成されることを特徴とする請求項9に記載の光走査装置。
  11. 前記第3突起が、前記第2弾性部材の押圧力の方向に沿って進退可能に構成されることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の光走査装置。
  12. 前記第2固定部材は、さらに、前記梁状部材を前記フレームに対して押し付けて固定させる上下押さえ部を有することを特徴とする請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載の光走査装置。
  13. 前記梁状部材に、
    前記振動ミラーの回転振動軸を前記第1突起、第2突起および第3突起で規定される面内に位置させる凹部を設けたことを特徴とする請求項9〜請求項12のいずれか1項に記載の光走査装置。
  14. 前記第1固定部材に、前記振動ミラーへ入射する光および前記振動ミラーで反射された光が通る孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか1項に記載の光走査装置。
  15. 前記梁状部材に、前記振動ミラーへ入射する光および前記振動ミラーで反射された光が通る孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか1項に記載の光走査装置。
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