JP2008296238A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】確実に傾斜面にヒーターチップといった加工ヘッドをならわせることができる加工装置を提供する。
【解決手段】ヒーターチップ16は基点38回りで姿勢変化自在に支持される。押し付け部材43は基点38でヒーターチップ16に押し付け力を加える。押し付け部材43はヒーターチップ16に点接触することから、対象物の表面が規定の姿勢から傾斜してもヒーターチップ16は表面にならう。ヒーターチップ16は対象物の表面に対して規定の姿勢を確立する。したがって、ヒーターチップ16は確実に対象物に対して平坦面31全面から熱を伝達することができる。
【選択図】図6
【解決手段】ヒーターチップ16は基点38回りで姿勢変化自在に支持される。押し付け部材43は基点38でヒーターチップ16に押し付け力を加える。押し付け部材43はヒーターチップ16に点接触することから、対象物の表面が規定の姿勢から傾斜してもヒーターチップ16は表面にならう。ヒーターチップ16は対象物の表面に対して規定の姿勢を確立する。したがって、ヒーターチップ16は確実に対象物に対して平坦面31全面から熱を伝達することができる。
【選択図】図6
Description
本発明は、対象物に加工ヘッドを押し付ける加工装置に関する。
例えば特許文献2に記載されるように、同時に複数のはんだを加熱するはんだ接合装置は広く知られる。このはんだ接合装置では平板状のヒーターチップが水平軸回りに揺動自在に支持される。ヒーターチップの先端には直線の縁が規定される。たとえ水平軸に直交する仮想垂直面内で水平面から傾斜する直線上にはんだが配列されても、ヒーターチップの縁は水平軸回りの揺動に基づき全てのはんだに接触することができる。
特開平2−169178号公報
特開昭55−24726号公報
ハードディスク駆動装置にはキャリッジアセンブリが組み込まれる。キャリッジアセンブリではキャリッジブロックに複数のヘッドサスペンションが搭載される。このとき、キャリッジブロック上のフレキシブルプリント基板にヘッドサスペンションのフレキシブルプリント基板は接合される。接合にあたってはんだが利用される。フレキシブルプリント基板はキャリッジブロック上でアルミニウム板に受け止められる。アルミニウム板の変形に応じてフレキシブルプリント基板の表面は水平面から傾斜する。こういった表面に満遍なく接触するヒーターチップはこれまでのところ提供されていない。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、確実に傾斜面にヒーターチップといった加工ヘッドをならわせることができる加工装置を提供することを目的とする。本発明は、そういった加工装置に適用されることができる加熱装置の制御方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第1発明によれば、基点回りで姿勢変化自在に支持される加工ヘッドと、基点で加工ヘッドに押し付け力を加える押し付け部材とを備えることを特徴とする加工装置が提供される。
こういった加工装置では、押し付け部材は加工ヘッドに点接触することから、対象物の表面が規定の姿勢から傾斜しても加工ヘッドは表面にならう。加工ヘッドは対象物の表面に対して規定の姿勢を確立する。したがって、加工ヘッドは確実に対象物に対して所望の動作を実現することができる。
加工装置は、鉛直方向下方に加工ヘッドの先端を突き出させつつ加工ヘッドの重量を支持する支持部材と、鉛直方向に支持部材を上下動させる駆動機構とをさらに備えてもよい。かかる加工装置では加工ヘッドは鉛直方向上向きに下方から支えられる。したがって、支持部材が鉛直方向に下降すると、加工ヘッドの先端が対象物に突き当たる。反作用で加工ヘッドは支持部材から浮き上がる。こうして加工ヘッドは対象物の表面にならう。支持部材が鉛直方向に上昇すると、加工ヘッドは対象物から引き離される。
加工装置は、加工ヘッドに接触し、所定の温度まで加工ヘッドを加熱するヒーターブロックをさらに備えてもよい。かかる加工装置では加工ヘッドは加熱ヘッドとして機能する。加工装置は加熱装置として機能する。こういった加熱装置は例えばはんだの接合にあたって利用されることができる。複数のはんだが所定の二次元平面内に散在しても、加工ヘッドははんだに満遍なく熱を加えることができる。その結果、複数のはんだは確実に同時に溶融することができる。
このとき、加工装置は、鉛直方向にヒーターブロックを引き上げる引き上げ機構をさらに備えてもよい。かかる加工装置では、引き上げ機構の働きでヒーターブロックは加工ヘッドから引き離されることができる。加工ヘッドの冷却は促進される。このとき、押し付け部材は加工ヘッドに対して押し付け力の付加を維持することができる。したがって、加工ヘッドは冷却時に所定の位置に対象物を保持することができる。
ここで、加工装置は、加工ヘッドの表面に向き合わせられる開口から気流を噴き出す送風機構をさらに備えてもよい。気流は加工ヘッドに吹き付けられる。気流は加工ヘッドの熱を奪う。加工ヘッドの冷却はさらに促進される。
加工装置は、加工ヘッドに組み込まれて、測定温度を特定する第1温度情報を出力する第1温度センサと、ヒーターブロックに組み込まれて、測定温度を特定する第2温度情報を出力する第2温度センサとをさらに備えてもよい。第1および第2温度センサの出力に基づきヒーターブロックの加熱は制御されることができる。ヒーターブロックが加工ヘッドに接触する間には第1温度センサの出力に基づきヒーターブロックの加熱は制御されればよい。その結果、加工ヘッドは確実に所定の温度に加熱されることができる。その一方で、ヒーターブロックが加工ヘッドから引き離される間には第2温度センサの出力に基づきヒーターブロックの加熱は制御されればよい。その結果、加工ヘッドの冷却時にはヒーターブロックの過度の温度上昇は確実に回避されることができる。
第2発明によれば、伝熱ブロックにヒーターブロックを接触させつつヒーターブロックで所定の温度まで伝熱ブロックを加熱し、対象物に伝熱ブロックを接触させる工程と、伝熱ブロックからヒーターブロックを引き離し、伝熱ブロックを冷却する工程とを備えることを特徴とする加熱装置の制御方法が提供される。
かかる加熱装置の制御方法では、ヒーターブロックの働きで伝熱ブロックは加熱される。伝熱ブロックは所定の温度で対象物に接触することができる。対象物は確実に加熱される。伝熱ブロックからヒーターブロックが引き離されると、伝熱ブロックの温度は下降する。このとき、伝熱ブロックは対処物との接触を維持することができる。伝熱ブロックは対象物の冷却を促進しつつ所定の位置に対処物を保持することができる。
こういった加熱装置の制御方法では、伝熱ブロックの冷却にあたってヒーターブロックは所定の加熱温度に維持されればよい。その結果、伝熱ブロックの冷却時、ヒーターブロックの温度は高温に維持されることができる。伝熱ブロックの冷却完了後、ヒーターブロックが伝熱ヘッドに接触すると、伝熱ヘッドはすぐさま加熱されることができる。こうして伝熱ヘッドの冷却および加熱は短い周期で繰り返されることができる。加熱装置の処理時間は短縮される。こういった加熱装置ではヒーターブロックの加熱にあたって例えばセラミックヒーターが用いられることができる。セラミックヒーターでは加熱および冷却は短い周期で繰り返されることができないものの、比較的に小さな電流量で十分な熱は生み出されることができる。電流供給用の配線は小径化されることができる。したがって、比較的に小さい力でセラミックヒーターの姿勢変化は実現されることができる。伝熱ブロックおよびヒーターブロックの姿勢変化は簡単に許容されることができる。
加熱装置の制御方法は、伝熱ブロックの加熱にあたって伝熱ブロック内の温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づきヒーターブロックの加熱を制御する工程と、温度センサの温度情報で伝熱ブロックの温度が第1温度に到達すると、前記対象物に伝熱ブロックを接触させる工程と、伝熱ブロックの冷却にあたって前記温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づき対象物から伝熱ブロックを引き離す工程とを備えてもよい。温度センサの働きで加熱時に伝熱ブロックは確実に所定の温度まで加熱されることができる。同様に、温度センサの働きで引き離しに先立って伝熱ブロックは確実に所定の温度まで冷却されることができる。
このとき、加熱装置の制御方法は、伝熱ブロックからヒーターブロックが引き離されると、ヒーターブロック内の温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づきヒーターブロックの加熱を制御する工程とを備えてもよい。ヒーターブロックが加工ヘッドから引き離されると、ヒーターブロック内の温度センサの出力に基づきヒーターブロックの加熱は制御される。その結果、伝熱ブロックの冷却時にはヒーターブロックの過度の温度上昇は確実に回避されることができる。
以上のように本発明によれば、確実に傾斜面にヒーターチップといった加工ヘッドをならわせることができる加工装置は提供される。そういった加工装置に適用されることができる加熱装置の制御方法は提供される。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る加工装置すなわちはんだ接合装置を概略的に示す。このはんだ接合装置11は加工ヘッドユニットすなわち加熱ヘッドユニット12を備える。加熱ヘッドユニット12はバックプレート13に固定される。バックプレート13は案内レール14に支持される。案内レール14は鉛直方向に延びる。バックプレート13は案内レール14に沿って鉛直方向に上下動することができる。
バックプレート13には動力源すなわちアクチュエータ15が接続される。アクチュエータ15はバックプレート13に駆動力を伝達する。アクチュエータ15の駆動力に基づきバックプレート13は鉛直方向に上下動する。
加熱ヘッドユニット12はヒーターチップ16を備える。ヒーターチップ16は支持部材17に支持される。支持部材17はバックプレート13に固定される。ヒーターチップ16は本発明に係る加工ヘッドおよび伝熱ブロックとして機能する。ヒーターチップ16には上方からヒーターブロック18が重ねられる。ヒーターチップ16およびヒーターブロック18は高い熱伝導率を有する金属材料から成形されればよい。こういった金属には例えばモリブデンやタングステン、黄銅などが挙げられる。黄銅には硬質クロムめっき処理が施されてもよい。ヒーターチップ16およびヒーターブロック18の詳細は後述される。
ヒーターブロック18には引き上げ機構19が関連づけられる。この引き上げ機構19は、後述されるように、先端でヒーターブロック18に連結される1対の腕部材21を備える。腕部材21は可動プレート22に固定される。可動プレート22は案内機構23に連結される。案内機構23は鉛直方向に可動プレート22の移動を案内する。
引き上げ機構19はシリンダ24を備える。シリンダ24は可動プレート22に駆動力を伝達する。シリンダ24の駆動力に基づき可動プレート22は鉛直方向に上下動する。案内機構23およびシリンダ24は支持部材17に支持される。
ヒーターチップ16には送風機構26が関連づけられる。この送風機構26は、支持部材17のニップル27に接続される1対の可撓性パイプ28を備える。可撓性パイプ28には空気ポンプ29が接続される。空気ポンプ29は可撓性パイプ28に空気を送り込む。空気ポンプ29はバックプレート13に取り付けられる。
ヒーターチップ16の先端には平坦な接触面31が規定される。この接触面31には水平移動ステージ32が向き合わせられる。水平移動ステージ32は水平面に沿って移動することができる。水平移動ステージ32は、水平面内に規定される直交座標系に従って位置決めされることができる。
水平移動ステージ32上にはキャリッジ受け33が固定される。このキャリッジ受け33にハードディスク駆動装置向けのキャリッジユニットが受け止められる。キャリッジ受け33は水平移動ステージ32上にキャリッジユニットを固定する。同様に、水平移動ステージ32上には押さえ具34が固定される。キャリッジ受け33にキャリッジユニットが受け止められると、後述されるように、押さえ具34はヘッドサスペンションのフレキシブルプリント基板を保持する。
図2に示されるように、ヒーターチップ16は、下端で接触面31を規定する先端ブロック35を備える。先端ブロック35の上端には拡大ブロック36が結合される。先端ブロック35および拡大ブロック36は一体化されればよい。拡大ブロック36は先端ブロック35よりも外側に広がる。拡大ブロック36には接触面31に平行に広がる下向きの平坦面36aが区画される。拡大ブロック36は鉛直方向上方に向かって先細るテーパー形状に形作られる。
支持部材17には、先端ブロック35の周囲で拡大ブロック36の重量を支持する1対の水平片37が区画される。水平片37の働きで拡大ブロック36は鉛直方向上向きに下方から支えられる。先端ブロック35は水平片37同士の間から下方に突き出る。こうして先端ブロック35の接触面31は水平片37の下面よりも下方に到達する。水平片37には上向きの水平面37aが規定される。水平片37は水平面37aで拡大ブロック36の平坦面36aに向き合わせられる。水平片37および先端ブロック35の間には水平方向に所定の遊びが確保される。その結果、基点38回りでヒーターチップ16の姿勢変化は許容される。
水平面37a上には断熱部材39が敷き詰められる。断熱部材39は比較的に低い熱伝導率を有する材料から構成されればよい。こういった材料には例えばステンレス鋼が挙げられる。断熱部材39の表面には位置決めピン41が形成される。位置決めピン41は断熱部材39の表面から鉛直方向に直立する。位置決めピン41の上端は円錐形に形作られる。円錐形の頂点は1水平面内に配置される。
拡大ブロック36の平坦面36aにはピン穴42が形成される。ピン穴42は位置決めピン41を受け入れる。ピン穴42の底面には円錐形の窪みが形成される。これら円錐形の頂点同士の間隔は位置決めピン41の頂点同士の間隔に等しく設定される。しかも、2つのピン穴42の深さは等しく設定される。したがって、位置決めピン41の先端がピン穴42の最深部に受け止められると、ヒーターチップ16の水平姿勢は確立される。こうして接触面31は水平に維持されることができる。
ヒーターチップ16には押し付け部材43が関連づけられる。押し付け部材43は、鉛直方向に延びる軸部材から構成される。押し付け部材43は比較的に低い熱伝導率を有する金属材料から成形されればよい。こういった材料には例えばステンレス鋼が挙げられる。押し付け部材43の先端は例えば円錐形に形作られる。したがって、押し付け部材43はヒーターチップ16の上面に基点38で点接触する。押し付け部材43は鉛直方向に移動自在に受け部材44に支持される。受け部材44は支持部材17に固定される。
押し付け部材43にはフランジ部材45が装着される。フランジ部材45は軸方向移動不能に押し付け部材43に固定される。フランジ部材45と支持部材17の下向き面との間には弾性部材すなわち第1伸張ばね46が組み込まれる。第1伸張ばね46は比較的に低い熱伝導率を有する金属材料から成形されればよい。こういった材料には例えばステンレス鋼が挙げられる。この第1伸張ばね46は支持部材17の下向き面から鉛直方向に下向きに押し付け部材43を遠ざける。第1伸張ばね46の伸張力に基づきヒーターチップ16には鉛直方向に下向きの押し付け力が作用する。こうしてヒーターチップ16は支持部材17の水平片37に押し付けられる。
ヒーターブロック18には貫通孔47が形成される。この貫通孔47は鉛直方向に延びる。押し付け部材43は貫通孔47を通り抜ける。貫通孔47と押し付け部材43との間には所定の遊びが確保される。その結果、基点38回りでヒーターブロック18の姿勢変化は許容される。ヒーターブロック18はヒーターチップ16の姿勢変化に追従することができる。ヒーターブロック18は鉛直方向上方に向かって先細るテーパー形状に形作られる。
ヒーターブロック18の上向き面とフランジ部材45との間には弾性部材すなわち第2伸張ばね48が組み込まれる。第2伸張ばね48は比較的に低い熱伝導率を有する金属材料から成形されればよい。こういった材料には例えばステンレス鋼が挙げられる。この第2伸張ばね48はフランジ部材45から鉛直方向に下向きにヒーターブロック18を遠ざける。第2伸張ばね48の伸張力に基づきヒーターブロック18には鉛直方向に下向きの押し付け力が作用する。第2伸張ばね48のばね力は第1伸張ばね46のそれよりも著しく小さく設定される。こうしてヒーターブロック18の下向き面は全面でヒーターチップ16の上向き面に押し付けられる。ヒーターブロック18はヒーターチップ16に接触する。
ヒーターブロック18には水平方向に開口する2つの横穴51が区画される。横穴51には前述の腕部材21の先端が水平方向から進入する。シリンダ24の働きで可動プレート22が下限位置に位置決めされると、腕部材21と横穴51の内壁との間に遊びが確保される。その結果、ヒーターブロック18の姿勢変化は許容される。ヒーターブロック18の姿勢変化時、ヒーターブロック18と腕部材21との接触は回避される。シリンダ24の働きで可動プレート22が下限位置から上限位置に向かって移動すると、腕部材21と横穴51の内壁との間隔は解消される。腕部材21は横穴51に引っかかる。その後、可動プレート22が上限位置に到達すると、ヒーターブロック18は持ち上げられる。ヒーターブロック18はヒーターチップ16から引き離される。
送風機構26は、支持部材17内に区画される2本の通路52を備える。個々の通路52の一端には前述のニップル27が接続される。通路52の他端は開口53でヒーターチップ16の表面に向き合わせられる。可撓性パイプ28に送り込まれた空気は通路52の開口53からヒーターチップ16に向かって噴き出される。
図3に示されるように、ヒーターチップ16には第1温度センサ55が組み込まれる。第1温度センサ55はヒーターチップ16の温度を測定する。第1温度センサ55は第1温度情報信号を出力する。第1温度情報信号では第1温度センサ55の測定結果が特定される。
ヒーターブロック18には第2温度センサ56が組み込まれる。第2温度センサ56はヒーターブロック18の温度を測定する。第2温度センサ56は第2温度情報信号を出力する。第2温度情報信号では第2温度センサ56の測定結果が特定される。
ヒーターブロック18には例えばセラミックヒーター57が結合される。セラミックヒーター57は例えばヒーターブロック18内に埋め込まれればよい。セラミックヒーター57はヒーターブロック18を加熱する。
セラミックヒーター57には制御回路58が接続される。制御回路58はセラミックヒーター57の加熱温度を制御する。制御にあたって制御回路58は第1および第2温度センサ55、56から第1および第2温度情報信号を取得する。後述されるように、制御回路58は所定のソフトウェアプログラムに従って制御処理を実行する。こういったソフトウェアプログラムは例えば制御回路58に内蔵のメモリ内に格納されればよい。
制御回路58にはシリンダ24、アクチュエータ15、空気ポンプ29および水平移動ステージ32が接続される。制御回路58はシリンダ24、アクチュエータ15、空気ポンプ29および水平移動ステージ32の動作を制御する。こういった制御処理の実行にあたって制御回路58は前述のソフトウェアプログラムを利用する。
次にはんだ接合装置11の動作を説明する。動作の開始に先立ってはんだ接合装置11では初期状態が確立される。この初期状態では可動プレート22は下限位置に位置決めされる。すなわち、シリンダ24は休止状態に維持される。腕部材21はヒーターブロック18から離れる。第1伸張ばね46の働きで押し付け部材43からヒーターチップ16上の基点38に押し付け力は作用する。位置決めピン41の先端はピン穴42の最深部に受け止められる。ヒーターチップ16の水平姿勢は確立される。接触面31は水平に維持される。第2伸張ばね48の働きでヒーターブロック18の下向き平坦面はヒーターチップ16の上向き平坦面に受け止められる。ヒーターブロック18およびヒーターチップ16は平坦面同士で広い接触面積で接触する。アクチュエータ15の働きで支持部材17は比較的に高い位置に保持される。空気ポンプ29は休止状態に維持される。
ここで、図4に示されるように、はんだ接合装置11にはハードディスク駆動装置向けのキャリッジユニット61がセットされる。キャリッジユニット61はキャリッジ受け33に固定される。図5に示されるように、このキャリッジユニット61ではキャリッジブロックの表面に第1フレキシブルプリント基板62が重ね合わせられる。重ね合わせにあたって第1フレキシブルプリント基板62にはアルミニウム製の薄板63が裏打ちされる。第1フレキシブルプリント基板62の表面には、相互に並列に延びる複数列の導電パッド端子列が形成される。個々の導電パッド端子にははんだペーストが盛られる。
第1フレキシブルプリント基板62上には複数の第2フレキシブルプリント基板64が重ね合わせられる。1つの導電パッド端子列に1つの第2フレキシブルプリント基板64が位置合わせされる。第2フレキシブルプリント基板64は押さえ具34で保持される。押さえ具34は導電パッド端子列に対応の第2フレキシブルプリント基板64を押さえ込む。こうして第2フレキシブルプリント基板64の導電端子は個々の導電パッド端子上に配置される。
キャリッジユニット61のセットが完了すると、作業者はスイッチを入れる。制御回路58はソフトウェアプログラムに従って制御処理を開始する。最初に制御回路58は水平移動ステージ32の位置合わせを実施する。その結果、キャリッジユニット61上で全ての導電端子を含む領域はヒーターチップ16の接触面31に向き合わせられる。続いて制御回路58はセラミックヒーター57の加熱を制御する。セラミックヒーター57の熱はヒーターブロック18およびヒーターチップ16に伝達される。ヒーターチップ16の温度は上昇する。制御回路58はセラミックヒーター57の制御にあたって第1温度センサ55の第1温度情報信号を参照する。制御回路58は第1目標温度に第1温度(例えば摂氏350度)を設定する。第1温度ははんだの溶融温度よりも高い温度に設定されればよい。ヒーターチップ16の温度は第1温度に向けて上昇していく。
ヒーターチップ16の温度が第1温度に到達すると、制御回路58は加熱ヘッドユニット12の下降を指示する。アクチュエータ15に向けて所定の制御信号が制御回路58から出力される。ヒーターチップ16は第2フレキシブルプリント基板64上の導電端子に向けて下降していく。
図6に示されるように、ヒーターチップ16が鉛直方向に下降すると、ヒーターチップ16の先端は導電端子に突き当たる。このとき、制御回路58は支持部材17の下降を維持する。アクチュエータ15は駆動力を維持する。その結果、キャリッジユニット61の反作用でヒーターチップ16は位置決めピン41から浮き上がる。第1伸張ばね46は収縮する。ヒーターチップ16の接触面31はキャリッジユニット61上の傾斜面にならう。接触面31は水平面から傾斜する。ヒーターチップ16の傾斜に応じてヒーターブロック18は傾斜する。ヒーターチップ16およびヒーターブロック18の接触は維持される。接触面31は、傾斜面内に配列される全ての導電端子に満遍なく接触する。導電端子にはヒーターチップ16から均一に熱が伝達される。ヒーターチップ16の接触は所定の時間(例えば5秒)にわたって維持される。全てのはんだは同時に溶融する。ヒーターチップ16の温度は第1温度センサ55の働きで前述の第1温度に維持されればよい。
所定の時間が経過すると、制御回路58は腕部材21の引き上げを指示する。シリンダ24には所定の制御信号が制御回路58から供給される。腕部材21は鉛直方向に上昇する。図7に示されるように、腕部材21はヒーターブロック18の横穴51に引っかかる。したがって、ヒーターブロック18は鉛直方向に引き上げられていく。第2伸張ばね48は収縮していく。第1伸張ばね46のばね力に比べて第2伸張ばね48のばね力は著しく小さいことから、第2伸張ばね48の収縮に拘わらず第1伸張ばね46はヒーターチップ16に押し付け力を作用し続ける。ヒーターチップ16は導電端子との接触を維持する。こうしてヒーターブロック18はヒーターチップ16から引き離される。ヒーターブロック18からヒーターチップ16に向けて熱の伝達は阻害される。その結果、ヒーターチップ16の温度は下降し始める。このとき、制御回路58は空気ポンプ29に作動を指示する。開口53から気流が噴き出す。気流はヒーターチップ16に吹き付けられる。こうしてヒーターチップ16の冷却は促進される。ヒーターチップ16の温度は下降していく。
制御回路58はヒーターチップ16の温度を監視する。制御回路58は第2目標温度に第2温度(例えば摂氏200度)を設定する。第2温度ははんだの固化温度よりも低い温度に設定されればよい。ヒーターチップ16の温度が十分に低下すると、はんだは固化する。その結果、キャリッジブロック上の第1フレキシブルプリント基板62に個々の第2フレキシブルプリント基板64は接合される。第1温度情報信号で第2温度が特定されると、制御回路58ははんだの固化を確認する。
こうしてはんだの固化が確認されると、制御回路58は加熱ヘッドユニット12の上昇を指示する。アクチュエータ15に向けて所定の制御信号が制御回路58から出力される。支持部材17は鉛直方向に上昇していく。その結果、図8に示されるように、位置決めピン41の先端はピン穴42の最深部に受け止められる。こうしてヒーターチップ16は水平片37に鉛直方向下方から支えられる。ヒーターチップ16は水平姿勢に復帰する。さらに支持部材17が上昇していくと、ヒーターチップ16は上昇する。ヒーターチップ16は第2フレキシブルプリント基板64上の導電端子から引き離される。同時に、制御回路58は空気ポンプ29の停止を指示する。空気ポンプ29は休止状態に復帰する。
ヒーターチップ16の冷却中、セラミックヒーター57の加熱は制御され続ける。制御にあたって制御回路58は第2温度センサ56の第2温度情報信号を参照する。制御回路58は例えば前述の第1目標温度(第1温度)を維持する。こうしてヒーターブロック18の温度は第1温度に維持される。このとき、第1温度センサ55の第1温度情報信号では冷却中のヒーターチップ16の温度が特定されることから、第1温度情報信号に基づきセラミックヒーター57の加熱が制御されると、セラミックヒーター57は過度の温度上昇に曝されてしまう。加熱の制御にあたって制御回路58が第2温度情報信号を参照すれば、セラミックヒーター57の過度の温度上昇は確実に回避されることができる。
加熱ヘッドユニット12が初期位置に復帰すると、制御回路58は下限位置に腕部材21を復帰させる。したがって、ヒーターブロック18はヒーターチップ16に重ね合わせられる。ヒーターブロック18はヒーターチップ16に支えられる。前述のようにヒーターブロック18は第1温度に維持されることから、ヒーターチップ16はすぐさま加熱されることができる。ヒーターチップ16の加熱および冷却は短い周期で繰り返されることができる。
続いて制御回路58は水平移動ステージ32の移動を開始する。水平移動ステージ32は加熱ヘッドユニット12に向き合わせられる空間から離脱する。その後、キャリッジ受け33からキャリッジユニット61は取り外される。新たなキャリッジユニット61がセットされる。こうしてはんだ接合装置11の動作は繰り返されていく。
以上のようなはんだ接合装置11では、例えば図9に示されるように、ヒーターチップの加熱にあたって熱気流が利用されてもよい。熱気流は例えば開口53からヒーターチップ16aに吹き付けられればよい。このとき、ヒーターチップ16aには熱気流の流通路上でフィン65が形成されてもよい。フィン65の働きで熱気流から効率的にヒーターチップ16aに熱は伝達されることができる。ヒーターチップ16aの冷却時には、前述と同様に、開口53から低温(常温)の気流がヒーターチップ16aに吹き付けられればよい。図中、前述の実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
その他、例えば図10に示されるように、ヒーターチップの加熱にあたってハロゲンランプ66が用いられてもよい。ハロゲンランプ66はヒーターチップ16bの表面に向き合わせられればよい。このとき、図10から明らかなように、ヒーターチップ16bはできる限り薄型化されることが望まれる。図中、前述の実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
11 加工装置(加熱装置としてのはんだ接合装置)、14 駆動機構を構成する案内機構、15 駆動機構を構成するアクチュエータ、16 加工ヘッド(伝熱ブロック)としてのヒーターチップ、17 支持部材、18 ヒーターブロック、19 引き上げ機構、26 送風機構、35 加工ヘッドの先端(先端ブロック)、38 基点、43 押し付け部材、53 開口、55 第1温度センサ、56 第2温度センサ。
Claims (10)
- 基点回りで姿勢変化自在に支持される加工ヘッドと、基点で加工ヘッドに押し付け力を加える押し付け部材とを備えることを特徴とする加工装置。
- 請求項1に記載の加工装置において、鉛直方向下方に加工ヘッドの先端を突き出させつつ加工ヘッドの重量を支持する支持部材と、鉛直方向に支持部材を上下動させる駆動機構とをさらに備えることを特徴とする加工装置。
- 請求項2に記載の加工装置において、前記加工ヘッドに接触し、所定の温度まで加工ヘッドを加熱するヒーターブロックをさらに備えることを特徴とする加工装置。
- 請求項3に記載の加工装置において、鉛直方向に前記ヒーターブロックを引き上げる引き上げ機構をさらに備えることを特徴とする加工装置。
- 請求項4に記載の加工装置において、前記加工ヘッドの表面に向き合わせられる開口から気流を噴き出す送風機構をさらに備えることを特徴とする加工装置。
- 請求項5に記載の加工装置において、前記加工ヘッドに組み込まれる第1温度センサと、前記ヒーターブロックに組み込まれる第2温度センサとをさらに備えることを特徴とする加工装置。
- 伝熱ブロックにヒーターブロックを接触させつつヒーターブロックで所定の温度まで伝熱ブロックを加熱し、対象物に伝熱ブロックを接触させる工程と、伝熱ブロックからヒーターブロックを引き離し、伝熱ブロックを冷却する工程とを備えることを特徴とする加熱装置の制御方法。
- 請求項7に記載の加熱装置の制御方法において、前記伝熱ブロックの冷却にあたって、前記ヒーターブロックは所定の加熱温度に維持されることを特徴とする加熱装置の制御方法。
- 請求項8に記載の加熱装置の制御方法において、前記伝熱ブロックの加熱にあたって伝熱ブロック内の温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づきヒーターブロックの加熱を制御する工程と、温度センサの温度情報で伝熱ブロックの温度が第1温度に到達すると、前記対象物に伝熱ブロックを接触させる工程と、伝熱ブロックの冷却にあたって前記温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づき対象物から伝熱ブロックを引き離す工程とを備えることを特徴とする加熱装置の制御方法。
- 請求項9に記載の加熱装置の制御方法において、前記伝熱ブロックからヒーターブロックが引き離されると、前記ヒーターブロック内の温度センサから温度情報を取得する工程と、取得した温度情報に基づきヒーターブロックの加熱を制御する工程とを備えることを特徴とする加熱装置の制御方法。
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